JPH05251422A - ウェットエッチング装置 - Google Patents
ウェットエッチング装置Info
- Publication number
- JPH05251422A JPH05251422A JP5057092A JP5057092A JPH05251422A JP H05251422 A JPH05251422 A JP H05251422A JP 5057092 A JP5057092 A JP 5057092A JP 5057092 A JP5057092 A JP 5057092A JP H05251422 A JPH05251422 A JP H05251422A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tank
- shower
- liquid
- valve
- wet etching
- Prior art date
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ウェットエッチング装置において、シャワー
槽内の液の排液時間短縮とシャワー能力向上による純水
置換能力を向上させる。 【構成】 排液槽４内の空気をロータリーポンプ９で排
気することである。ロータリーポンプ９にて排液槽４内
を排気することで槽内を負圧状態にし、シャワー槽１の
排液を自然流下とシャワー槽１と排液槽４の圧力差によ
る吸引力で排液し、排液時間を短縮する。又、シャワー
槽１を密閉しロータリーポンプ９にて槽内を排気しなが
らシャワー給水することにより、シャワー能力が向上す
る。
槽内の液の排液時間短縮とシャワー能力向上による純水
置換能力を向上させる。 【構成】 排液槽４内の空気をロータリーポンプ９で排
気することである。ロータリーポンプ９にて排液槽４内
を排気することで槽内を負圧状態にし、シャワー槽１の
排液を自然流下とシャワー槽１と排液槽４の圧力差によ
る吸引力で排液し、排液時間を短縮する。又、シャワー
槽１を密閉しロータリーポンプ９にて槽内を排気しなが
らシャワー給水することにより、シャワー能力が向上す
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造装置に関
し、特にウェハー上の酸化膜、ポリシリ、窒化膜、アル
ミを薬液にてエッチングするウェットエッチング装置に
関する。
し、特にウェハー上の酸化膜、ポリシリ、窒化膜、アル
ミを薬液にてエッチングするウェットエッチング装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のウェットエッチング装置のシャワ
ー槽の構成を図２に示す。シャワー槽１内にはシャワー
ノズル３が備えられており、シャワー槽１内の排液は、
バルブ５の開閉にて行い、自然流下方式であった。その
ため、シャワー槽１内の液の排液時間は、バルブ５の径
によって決まっていた。
ー槽の構成を図２に示す。シャワー槽１内にはシャワー
ノズル３が備えられており、シャワー槽１内の排液は、
バルブ５の開閉にて行い、自然流下方式であった。その
ため、シャワー槽１内の液の排液時間は、バルブ５の径
によって決まっていた。
【０００３】又、従来のウェットエッチング装置では、
シャワー槽１の純水シャワーの噴出圧力は、シャワーノ
ズル３にかかる装置の純水用力の圧力により決定づけら
れていた。
シャワー槽１の純水シャワーの噴出圧力は、シャワーノ
ズル３にかかる装置の純水用力の圧力により決定づけら
れていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この従来のウェットエ
ッチング装置のシャワー槽では、シャワー槽内の液の排
液方法が自然流下式であり、液の排液時間が排液ダクト
の径で決定されるため、排液に一定の時間が掛かり、薬
液で処理されたウェハーの純水置換が遅れるという問題
があった。また、シャワー槽のシャワーの噴出圧力が装
置の純水用力の圧力で決定されるため、用力以上の噴出
力を得られないという問題があった。
ッチング装置のシャワー槽では、シャワー槽内の液の排
液方法が自然流下式であり、液の排液時間が排液ダクト
の径で決定されるため、排液に一定の時間が掛かり、薬
液で処理されたウェハーの純水置換が遅れるという問題
があった。また、シャワー槽のシャワーの噴出圧力が装
置の純水用力の圧力で決定されるため、用力以上の噴出
力を得られないという問題があった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明のウェットエッチ
ング装置は、シャワー槽上部に槽内密閉用のフタと、シ
ャワー槽下部に排液槽を設け、密閉されたシャワー槽内
の空気と排液槽内の空気を排気するロータリーポンプを
備えている。
ング装置は、シャワー槽上部に槽内密閉用のフタと、シ
ャワー槽下部に排液槽を設け、密閉されたシャワー槽内
の空気と排液槽内の空気を排気するロータリーポンプを
備えている。
【０００６】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。
る。
【０００７】図１は、本発明の実施例のシャワー槽と排
液槽近傍の断面図である。シャワー槽１の上部にシャワ
ー槽カバー２、シャワー槽１の内部にシャワーノズル
３、シャワー槽１の下部に排液槽４、シャワー槽１と排
液槽４の間にバルブ５、排液槽４の下部にバルブ６を設
置する。又、シャワー槽１の上部に排気管１０、排液槽
４の上部に排気管１１、そして排気管１０と排気管１１
の間に排気管１２、排気管１２の先にロータリーポンプ
９、排気管１０と排気管１２の間にバルブ７、排気管１
１と排気管１２の間にバルブ８を設置する。
液槽近傍の断面図である。シャワー槽１の上部にシャワ
ー槽カバー２、シャワー槽１の内部にシャワーノズル
３、シャワー槽１の下部に排液槽４、シャワー槽１と排
液槽４の間にバルブ５、排液槽４の下部にバルブ６を設
置する。又、シャワー槽１の上部に排気管１０、排液槽
４の上部に排気管１１、そして排気管１０と排気管１１
の間に排気管１２、排気管１２の先にロータリーポンプ
９、排気管１０と排気管１２の間にバルブ７、排気管１
１と排気管１２の間にバルブ８を設置する。
【０００８】バルブ５，バルブ６，バルブ７を閉じ、バ
ルブ８を開き、ロータリーポンプ９にて排液槽４中の空
気を真空度１Paまで吸引する。シャワー槽１中の純水の
排液時には、バルブ８を閉じ、バルブ５を開き、排液槽
４にシャワー槽１の純水を排液する。排液後、バルブ５
を閉じ、バルブ６を開き、排液槽４中の液を排液する。
ルブ８を開き、ロータリーポンプ９にて排液槽４中の空
気を真空度１Paまで吸引する。シャワー槽１中の純水の
排液時には、バルブ８を閉じ、バルブ５を開き、排液槽
４にシャワー槽１の純水を排液する。排液後、バルブ５
を閉じ、バルブ６を開き、排液槽４中の液を排液する。
【０００９】シャワー槽１への給水時には、シャワー槽
カバー２を閉じシャワー槽１を密閉状態にし、シャワー
ノズル３より給水を行う。給水と同時にバルブ７を開
き、ロータリーポンプ９にてシャワー槽１内の空気を真
空度１Paまで吸引する。
カバー２を閉じシャワー槽１を密閉状態にし、シャワー
ノズル３より給水を行う。給水と同時にバルブ７を開
き、ロータリーポンプ９にてシャワー槽１内の空気を真
空度１Paまで吸引する。
【００１０】
【発明の効果】以上説明したように本発明では、排液槽
内の空気をロータリーポンプにて真空度１Paまで吸引す
ることにより、排液時間が自然流下だけの場合の半分で
行えるため、純水置換が迅速に出来るという効果を有す
る。又、シャワー槽を密閉し槽内の空気をロータリーポ
ンプにより真空度１Paまで吸引することにより、純水用
力の圧力が１．０kg/cm2の時、シャワー槽内のシャワー
圧は１．０kg/cm2以上得られるという効果を有する。
内の空気をロータリーポンプにて真空度１Paまで吸引す
ることにより、排液時間が自然流下だけの場合の半分で
行えるため、純水置換が迅速に出来るという効果を有す
る。又、シャワー槽を密閉し槽内の空気をロータリーポ
ンプにより真空度１Paまで吸引することにより、純水用
力の圧力が１．０kg/cm2の時、シャワー槽内のシャワー
圧は１．０kg/cm2以上得られるという効果を有する。
【図１】本発明のウェットエッチング装置のシャワー槽
の一実施例の断面図である。
の一実施例の断面図である。
【図２】従来のウェットエッチング装置のシャワー槽の
断面図である。
断面図である。
１ シャワー槽 ２ シャワー槽カバー ３ シャワーノズル ４ 排液槽 ５ バルブ ６ バルブ ７ バルブ ８ バルブ ９ ロータリーポンプ １０ 排気管 １１ 排気管 １２ 排気管
Claims (1)
- 【請求項１】 シャワー槽を有するウェットエッチング
装置において、前記シャワー槽上部に槽内密閉用のフタ
が備えられ、かつ前記シャワー槽下部に排液槽が備えら
れて、前記シャワー槽と前記排液槽とを負圧にするロー
タリーポンプを備えていることを特徴とするウェットエ
ッチング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5057092A JPH05251422A (ja) | 1992-03-09 | 1992-03-09 | ウェットエッチング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5057092A JPH05251422A (ja) | 1992-03-09 | 1992-03-09 | ウェットエッチング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05251422A true JPH05251422A (ja) | 1993-09-28 |
Family
ID=12862665
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5057092A Withdrawn JPH05251422A (ja) | 1992-03-09 | 1992-03-09 | ウェットエッチング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05251422A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5970698A (en) * | 1996-11-14 | 1999-10-26 | Howa Machinery, Ltd. | Rotary spinning ring structure |
-
1992
- 1992-03-09 JP JP5057092A patent/JPH05251422A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5970698A (en) * | 1996-11-14 | 1999-10-26 | Howa Machinery, Ltd. | Rotary spinning ring structure |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990518 |