JPH05250627A

JPH05250627A - 磁気ヘッド

Info

Publication number: JPH05250627A
Application number: JP4045791A
Authority: JP
Inventors: Fumito Koike; 文人小池; Masaji Saito; 正路斎藤; Toshihiko Sato; 俊彦佐藤
Original assignee: Alps Electric Co Ltd
Current assignee: Alps Alpine Co Ltd
Priority date: 1992-03-03
Filing date: 1992-03-03
Publication date: 1993-09-28
Anticipated expiration: 2014-10-06
Also published as: JP2959909B2

Abstract

(57)【要約】【目的】磁気ギャップ幅の変形を防ぎ、高周波対応を
容易にする。【構成】非磁性体からなる一対のハーフコアの各々の
接合部分に巻線窓が形成され、この各々の巻線窓の周囲
にこれを囲む環状のメタル磁性膜が形成され、このメタ
ル磁性膜は複数の金属磁性膜からなり、このメタル磁性
膜における少なくとも１対の金属磁性膜が、媒体対向面
に露出されて磁気ギャップを形成して一体化されてな
り、かつ、最内周の金属磁性膜がギャップ表面部から最
深部まで達する厚さに形成されてなることを特徴とする
磁気ヘッド。【効果】磁気記録特性の劣化及びスペーシングロスの
発生を回避する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、磁気回路の小型化をな
し得るとともに高周波対応性を高めた新規な構造の磁気
ヘッドに関する。

【０００２】

【従来の技術】磁気テープに磁気記録される信号が高密
度化されてくるに従い、高い残留磁束密度を有する優れ
た磁性層を備えたメタルテープなどの磁気テープが使用
されてきている。このメタルテープなどの高い抗磁力を
有する磁気テープに適用される磁気ヘッドは、その磁気
ギャップにより発生される磁界強度を高くする必要があ
る。また、記録される信号の高密度化に伴い、磁気ヘッ
ドのトラック幅をより狭くする必要がある。

【０００３】従来、このような要求を満たすために提供
されている磁気ヘッドの一従来例として、図１２に示す
構造の磁気ヘッドＡが知られている。この磁気ヘッドＡ
は、磁気コア半体１、１をガラスなどの接合材で溶着一
体化してなるもので、各磁気コア半体１は、メタル磁性
膜２を非磁性体からなる板状のサイドコア半体３、３で
挟んで一体化されている。前記メタル磁性膜２は、スパ
ッタなどの成膜法により高透磁率合金の金属磁性薄膜を
層間絶縁層とともに積層してなるもので、メタル磁性膜
２の膜厚はトラック幅に等しい値にされている。なお、
前記磁気ヘッドＡの媒体対向面４は磁気テープに摺動す
る際の抵抗などを考慮して曲面状に研摩されている。

【０００４】また、媒体対向面４において、メタル磁性
膜２、２が接合された部分には、非磁性体からなるギャ
ップ層が介在されて磁気ギャップ５が形成されるととも
に、磁気コア半体１、１が接合された部分において、一
方の磁気コア半体１の側部には、巻線窓６が形成されて
いる。

【０００５】一方、前記要求を満たすために提供されて
いる磁気ヘッドの他の従来例として、図１３と図１４に
示す構造の磁気ヘッドＢが知られている。この磁気ヘッ
ドＢは、一対のフェライト製の磁気コア半体１１、１１
の側部に凸部１１ａを形成し、凸部１１ａを覆うように
メタル磁性膜１４とギャップ層１３を形成し、磁気コア
半体１１、１１をギャップ層１３を介して凸部１１ａど
うしで突き合わせ、ギャップ層１３、１３間に主ギャッ
プＧを形成し、磁気コア半体１１、１１をガラス層１
５、１５で接合してなる構造であり、ＭＩＧ（Ｍｅｔａ
ｌＩｎＧａｐ）型と称されている磁気ヘッドであ
る。

【０００６】このＭＩＧ型の磁気ヘッドＢは、メタル磁
性膜１４を用いていない構成のフェライトヘッドに比較
すると、磁気ギャップから発生される磁界を強く急峻な
ものとすることができるので、磁気記録の高密度化に対
応することができる優れたものであり、ＶＴＲの映像記
録用の磁気ヘッド、あるいは、デジタルテープレコーダ
ー用の磁気ヘッドなどとして広く使用されている。

【０００７】また、従来、前記構造の磁気ヘッドＢを製
造するには、まず、フェライトなどの磁性体からなる２
個のコアブロックを用意し、これらのコアブロックに溝
加工を施して複数の凹凸部を形成し、これらの凹凸部の
表面にスパッタなどの成膜法でメタル磁性膜を積層し、
次いでスパッタなどの成膜法でメタル磁性膜上にＳｉＯ
₂層などからなるギャップ層を形成する。

【０００８】次に、前記ギャップ層を形成したコアブロ
ックどうしをギャップ層どうしを介して突き合わせ、突
き合わせた部分の凹部を埋めるように、ガラスを流し込
んで、コアブロックどうしを接合する。そして、接合し
たコアブロックを複数の磁気コアに切り出し、各磁気コ
アに仕上加工を施して前記一対のコアブロックから複数
の磁気ヘッドを同時に製造している。

【０００９】図１２に示す従来の磁気ヘッドＡにあって
は、製造時において、磁気コア半体１、１をガラスなど
の接合材で接合する工程の他に、サイドコア半体３、３
およびメタル磁性膜２を一体化するために、これらを接
着剤などで接合する工程を行なわなくてはならず、製造
工程が煩雑化する問題があった。また、一般に磁気ヘッ
ドを高周波対応とするためには、磁気回路を小型化する
必要があるが、図１２に示す構成の磁気ヘッドＡにあっ
ては、メタル磁性膜２がサイドコア半体３、３の一面全
部に形成されているのでこれ以上磁気回路を小型化でき
ない問題がある。

【００１０】一方、図１３と図１４に示す従来の磁気ヘ
ッドＢにあっては、フェライト製の磁気コア半体１１を
用いているがために、フェライト材自体の磁気特性の限
界がメタル磁性膜１４の磁気特性を抑制するので高周波
対応には限界があり、また、磁気コアの大半をフェライ
ト材が占めるため、磁気ヘッドのコイルインダクタンス
を小さくできない問題がある。

【００１１】更に、図１３と図１４に示す構成の磁気ヘ
ッドにあっては、主ギャップＧとメタル磁性膜１４との
平行部分、および、主ギャップＧとギャップ層１３との
平行部分が長く、しかもそれらが主ギャップＧの両側に
配置されているので、これらが疑似ギャップを形成して
再生出力の周波数依存特性にうねりを生じる、いわゆる
コンター効果を生じてしまう問題がある。

【００１２】そこで、本願発明者らは上記課題を解決す
べく、平成４年２月２６日に、以下に示すような構成か
らなる磁気ヘッドについて出願している。以下、図面を
参照しつつこの磁気ヘッドの構成について説明する。図
９〜図１１は、この磁気ヘッドの第一構成例の構造を示
すものであり、この第一構成例の磁気ヘッドＣは、左右
一対の磁気コア半体１２０、１２０をそれらの側面部に
おいてガラス部１２１、１２８により一体に接合してな
るもので、磁気コア半体１２０、１２０の図９における
上面側が媒体対向面１２２とされている。前記磁気コア
半体１２０は、結晶化ガラスあるいはセラミックスなど
の非磁性体からなる略長方形板状のハーフコア１２３
と、このハーフコア１２３の側部側に形成されたメタル
磁性膜１２４とを主体として構成されている。

【００１３】前記ハーフコア１２３がそれぞれ接合され
ている側面部には、溝部１２５が形成され、この溝部１
２５は、ハーフコア１２３の側面に平行な底面１２５ａ
とこの底面１２５ａに対して傾斜された内側面１２５
ｂ、１２５ｂとからなり、２つの内側面１２５ｂのうち
の一方は、傾斜状態で媒体対向面１２２に到達されてい
る。また、ハーフコア１２３の側面において、溝部１２
５を除いた部分には、対向する他方のハーフコア１２３
側に膨出するように表面が弓形に湾曲された凸部１２３
ａが形成されている。

【００１４】前記ハーフコア１２３の側部全域、即ち、
ハーフコア１２３の側面と、溝部１２５の底面１２５ａ
と、溝部１２５の内側面１２５ｂの各々には、高透磁率
で飽和磁束密度の高い軟磁性合金薄膜などからなるメタ
ル磁性膜１２４が形成されている。このメタル磁性膜１
２４は、図１１に示すように複数の金属磁性薄膜１３０
を個々に層間絶縁層１３１を介し積層して形成されてい
る。

【００１５】前記金属磁性薄膜１３０を形成する軟磁性
材料は、飽和磁束密度で１００００Ｇ以上のＦｅ-Ａｌ-
Ｓｉ系合金のセンダスト、Ｆｅ-Ａｌ-Ｔａ-Ｃ系などの
軟磁性合金、アモルファス合金など、通常知られている
フェライトよりも飽和磁束密度の高い軟磁性材料を適宜
用いれば良い。

【００１６】また、図１０に示すように一対の磁気コア
半体１２３のメタル磁性膜１２４、１２４の間には、Ｓ
ｉＯ₂、Ａｌ₂Ｏ₃、ＣｒＳｉＯ₂などの非磁性層からなる
ギャップ層が形成されて磁気ギャップＧが形成されてい
る。そして、媒体対向面１２２に露出された各メタル磁
性膜１２４の表面部は、磁気ギャップＧ側に向けて膨出
するような弓形に湾曲されて、各メタル磁性膜１２４、
１２４の形成する湾曲部分の先端部で磁気ギャップＧに
最も接近している。また、磁気ギャップ側に湾曲してい
るメタル磁性膜１２４の先端部分は、磁気ギャップＧの
中央部分で磁気ギャップＧに最も接近するようになって
いる。更に、ハーフコア１２３、１２３の側部側の接合
部には前記溝部１２５、１２５を突き合わせることによ
り６角形状の巻線窓１２６が形成され、この巻線窓１２
６の磁気ギャップ側にガラスが充填されてガラス部１２
１が形成されている。

【００１７】一方、図１０に示すように、ハーフコア１
２３、１２３の接合部における厚さ方向両端部には、ハ
ーフコア１２３、１２３の凸部１２３ａにより挟まれて
形成された接合溝１２３ｂが形成されていて、この接合
溝１２３ｂにガラスが充填されてガラス部１２８が形成
されている。なお、図９に示す磁気ヘッドＣの両側部に
は、前記巻線窓１２６に対応する高さ位置に巻線溝１２
９が形成され、一方の巻線溝１２９と巻線窓１２６の一
端部側を介して巻線コイルが設けられるように、また、
他方の巻線溝１２９と巻線窓１２６の他端部側を介して
巻線コイルが設けられるようになっている。

【００１８】前記構成の磁気ヘッドＣは、従来の磁気ヘ
ッドと同様に、磁気テープなどの磁気記録媒体に対する
磁気記録と再生を行なうために使用する。それには、前
記磁気ヘッドＣに設けた巻線コイルに通電して磁気ギャ
ップＧの外方に磁束の勾配を形成してこれにより磁気記
録媒体の所用の箇所の磁化を行なえば良い。この場合、
高透磁率で飽和磁束密度の高い金属磁性薄膜１３０が磁
気ギャップＧの外方に急峻な磁界を発生させるので、抗
磁力の高い磁性層を備えた磁気記録媒体であっても余裕
をもって磁気記録を行なうことができ、磁気記録の高密
度化に対応することができる。

【００１９】また、溝部１２５に沿って形成されたメタ
ル磁性膜１２４、１２４が巻線窓１２６の周囲を囲むよ
うな環状の磁気回路を形成するので、図１２に示す従来
構造の磁気ヘッドＡ、あるいは、図１３と図１４に示す
従来構造のＭＩＧ型の磁気ヘッドＢと比較して磁気回路
を小型化することができる。従って従来の磁気ヘッドよ
りも高周波対応に有利な特徴があり、磁気回路の小型化
により磁気記録媒体に記録された磁気情報を読み取り易
くなり、再生時の効率も向上させることができる。

【００２０】前記構造の磁気ヘッドＣにあっては、媒体
対向面１２２に露出しているメタル磁性膜１２４、１２
４の表面部が個々に湾曲して磁気ギャップＧに接近し、
徐々に磁気ギャップＧから離間しているので、この構成
のメタル磁性膜１２４、１２４では、図１３と図１４に
示す従来の磁気ヘッドＢとは異なり、磁気ギャップと平
行に配置されるメタル磁性膜部分が存在しないので、疑
似ギャップを生じることはなく、コンター効果による波
形歪の発生現象を生じることがない。

【００２１】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記構成から
なる磁気ヘッドＣは、図１１に示すように、その媒体対
向面にメタル磁性膜が露出し、これらのメタル磁性膜の
間に挟まれた形状で磁気ギャップが形成されているた
め、このような磁気ヘッドを長期間使用すると、磁気テ
ープの摺動によって前記磁気ギャップを直接挟んでいる
前記メタル磁性膜における金属磁性薄膜の媒体対向面側
が摩耗して擦り減り、前記磁気ギャップを形成している
金属磁性薄膜が摩耗変形し、場合によっては、この金属
磁性薄膜の下地層を構成している層間絶縁膜が露出し
て、この層間絶縁層と磁気ギャップが一体化し磁気ギャ
ップの幅が変化してしまうおそれがあった。

【００２２】よって、本発明は前記事情に鑑みてなされ
たものであり、磁気ギャップ幅の変形を防ぎ、磁気回路
を小型化して高周波対応を容易にする磁気ヘッドを提供
することを目的とする。

【００２３】

【課題を解決するための手段】本発明の磁気ヘッドは上
記課題を解決するために、非磁性体からなる一対のハー
フコアが、それらの側部に形成された金属磁性膜及び層
間絶縁層からなるメタル磁性膜をギャップ層を介して突
き合わせ、前記メタル磁性膜どうしの間に磁気ギャップ
を形成して一体化されてなり、前記ハーフコアの側面に
隣接するハーフコアの一面が、媒体対向面にされてなる
磁気ヘッドにおいて、ハーフコアの接合部分に巻線窓が
形成され、この巻線窓の周囲にこれを囲む環状のメタル
磁性膜が形成され、このメタル磁性膜は絶縁層を介して
少なくとも２層以上の多層膜とされており、この多層膜
におけるギャップ面を形成する単層のみが、金属磁性膜
のギャップ表面部から最深部まで達する厚さに形成され
てなることを特徴とするものである。

【００２４】

【作用】ハーフコアを非磁性体で構成し、巻線窓の周囲
部分に複数のメタル磁性膜を環状に形成し、この絶縁層
を介した多層膜におけるギャップ面を形成する単層のみ
が、ギャップ表面部から最深部まで達する厚さに形成さ
れてなることにより、前記磁気ギャップ部周辺が磁気テ
ープの摺動によって多少摩耗しても、従来構造の磁気ヘ
ッドのように前記磁気ギャップを形成する金属磁性膜が
摩耗することにより、層間絶縁層が露出することがな
く、結果的に磁気ギャップ幅が変化してしまうといった
不具合が回避される。従って、磁気ギャップ幅を一定の
値に保つことによって、磁気記録特性の劣化及びスペー
シングロスの発生が回避される。

【００２５】また、非磁性体のハーフコアの接合部に形
成された巻線窓を囲むようにメタル磁性膜による環状の
磁気回路が形成されているので、磁気回路が従来構造よ
りも小さくなる。また、この小型化した磁気回路により
記録再生ができるので、高周波に対応した記録再生特性
が得られる。更に、メタル磁性膜のみで記録再生ができ
るので、フェライト部分の存在により高周波対応に限界
を生じていた従来のＭＩＧ型の磁気ヘッドよりも有利に
なる。

【００２６】

【実施例】以下、図面を参照して本発明の磁気ヘッドに
ついて説明する。図１〜図３は本発明に係わる磁気ヘッ
ドの実施例を示すものであり、この実施例の磁気ヘッド
Ｄは、左右一対の磁気コア半体２０、２０をそれらの側
面部においてガラス部２１、２８により一体に接合して
なるもので、磁気コア半体２０、２０の図１における上
面側が媒体対向面２２とされている。前記磁気コア半体
２０は、結晶化ガラスあるいはセラミックスなどの非磁
性体からなる略長方形板状のハーフコア２３と、このハ
ーフコア２３の側部側に形成されたメタル磁性膜２４と
を主体として構成されている。

【００２７】前記ハーフコア２３がそれぞれ接合されて
いる側面部には、溝部２５が形成され、この溝部２５
は、ハーフコア２３の側面に平行な底面２５ａとこの底
面２５ａに対して傾斜された内側面２５ｂ、２５ｂとか
らなり、２つの内側面２５ｂのうちの一方は、傾斜状態
で媒体対向面２２に到達されている。また、ハーフコア
２３の側面において、溝部２５を除いた部分には、対向
する他方のハーフコア２３側に膨出するように表面が弓
形に湾曲された凸部２３ａが形成されている。

【００２８】前記ハーフコア２３の側部全域、即ち、ハ
ーフコア２３の側面と、溝部２５の底面２５ａと、溝部
２５の内側面２５ｂの各々には、高透磁率で飽和磁束密
度の高い軟磁性合金薄膜などからなるメタル磁性膜２４
が形成されている。このメタル磁性膜２４は、図３に示
すように、複数の金属磁性薄膜３０、３０を個々に層間
絶縁層３１、３１を介し積層して形成され、かつ最内周
の金属磁性薄膜３０ａ、３０ａが磁気ギャップＧを形成
しギャップＧの最深部まで達している。そして、前記最
内周の金属磁性薄膜３０ａの膜厚ｔは、ギャップ深さ方
向と前記最内周の金属磁性薄膜３０ａとのなす角である
θに左右され、前記θと磁気ギャップ深さＧｄとの間で
以下のような関係を満足している。ｔ＞Ｇｄｓｉｎθ

【００２９】また、前記構造の磁気ヘッドＤにあって
は、ギャップ深さＧｄを３〜３０μｍ程度、層間絶縁層
３１の厚さを０.１〜０.４μｍ程度、前記金属磁性薄膜
３０の最内周以外の膜厚を３〜５μｍ程度、ギャップ層
の厚さを０.２〜０.５μｍ程度とすることができる。

【００３０】そして、前記金属磁性薄膜３０を形成する
軟磁性材料は、上記図９〜図１１に示した従来例と同様
に、飽和磁束密度で１００００Ｇ以上のＦｅ−Ａｌ−Ｓ
ｉ系合金、Ｆｅ−Ｔａ−Ｃ系などの軟磁性合金、アモル
ファス合金など、通常知られているフェライトよりも飽
和磁束密度の高い軟磁性材料を適宜用いれば良い。

【００３１】また、この金属磁性薄膜３０を形成する材
料として好ましくは、Ｆｅ−Ｔａ−Ｃ系、Ｆｅ−Ｍ−Ｏ
系（ＭはＺｒとＨｆのうち、少なくとも１種以上を示
す）、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｍ−Ｏ系、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｍ−Ｏ−Ｘ
系の軟磁性薄膜などを用いることができる。これらの軟
磁性薄膜の内、好ましくは、本発明の出願人が先に、特
願平２−２６８０５１号明細書、特願平３−３１５０３
６号明細書などにおいて特許出願しているものを用い
る。これらの軟磁性薄膜の組成範囲として好ましくは、
Ｆｅ_50-96−Ｍ_2-30−Ｃ_0.5-25（Ｍ＝Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈ
ｆ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｍｏ、Ｗ）Ｆｅ_70-96Ｍ_1-12Ｏ_3-25、
Ｆｅ_13-86Ｃｏ_10-50Ｍ_1-12Ｏ_3-25、Ｆｅ_13-85Ｃｏ₁₀ _-50
Ｍ_1-12Ｏ_3-25Ｘ_0.1-26などであるが、これらの組成以外
のものを用いても良いのは勿論である。（なお、前記組
成式において、Ｆｅ_70-96とは、Ｆｅの含有量が原子％
で７０％≦Ｆｅ≦９６％であることを示す。）

【００３２】また、図２に示すように一対の磁気コア半
体２３のメタル磁性膜２４、２４の間には、ＳｉＯ₂、
Ａｌ₂Ｏ₃、ＣｒＳｉＯ₂などの非磁性層からなるギャッ
プ層が形成されて磁気ギャップＧが形成されている。媒
体対向面２２に露出された各メタル磁性膜２４の表面部
は、磁気ギャップＧ側に向けて膨出するような弓形に湾
曲されて、各メタル磁性膜２４、２４の形成する湾曲部
分の先端部分で磁気ギャップＧに最も接近している。そ
して、磁気ギャップ側に湾曲しているメタル磁性膜２４
の先端部で磁気ギャップＧに最も接近している。そし
て、磁気ギャップ側に湾曲している先端部分は、磁気ギ
ャップＧの中央部分で磁気ギャップＧに最も接近するよ
うになっている。なお、前記メタル磁性膜２４の最内周
の層は、前記磁気ギャップＧを形成するために、磁気ギ
ャップ部では、前記磁気ギャップに平行な状態に設けら
れている。更にまた、ハーフコア２３、２３の側部側の
接合部には前記溝部２５、２５を突き合わせることによ
り６角形状の巻線窓２６が形成され、この巻線窓２６の
磁気ギャップ側にガラスが充填されてガラス部２１が形
成されている。

【００３３】一方、図２に示すように、ハーフコア２
３、２３の接合部における厚さ方向両端部には、ハーフ
コア２３、２３の凸部２３ａにより挟まれて形成された
接合溝２３ｂが形成されていて、この接合溝２３ｂにガ
ラスが充填されてガラス部２８が形成されている。な
お、図１に示す磁気ヘッドＤの両側部には、前記巻線窓
２６に対応する高さ位置に巻線溝２９が形成され、一方
の巻線溝２９と巻線窓２６の一端部側を介して巻線コイ
ルが設けられるように、また、他方の巻線溝２９と巻線
窓２６の他端部側を介して巻線コイルが設けられるよう
になっている。

【００３４】前記構成の磁気ヘッドＤは、従来の磁気ヘ
ッドと同様に、磁気テープなどの磁気記録媒体に対する
磁気記録と再生を行なうために使用する。それには、前
記磁気ヘッドＤに設けた巻線コイルに通電して磁気ギャ
ップＧの外方に磁束の勾配を形成してこれにより磁気記
録媒体の所用の箇所の磁化を行なえば良い。この場合、
高透磁率で飽和磁束密度の高い金属磁性薄膜３０が磁気
ギャップＧの外方に急峻な磁界を発生させるので、抗磁
力の高い磁性層を備えた磁気記録媒体であっても余裕を
もって磁気記録を行なうことができ、磁気記録の高密度
化に対応することができる。また、フェライト部分と金
属磁性薄膜を用いた従来のＭＩＧ型の磁気ヘッドに比較
すると、フェライト部分が無いため高周波磁気記録に有
利である。

【００３５】そして更に、ハーフコアを非磁性体で構成
し、巻線窓の周囲部分に複数のメタル磁性膜２４を環状
に形成し、このメタル磁性膜２４における最内周の金属
磁性膜３０ａが媒体対向面に露出されて磁気ギャップが
形成され、この金属磁性膜３０ａがギャップ表面部から
最深部まで達する厚さに形成されてなることにより、前
記磁気ギャップ部Ｇ周辺が磁気テープの摺動によって多
少摩耗しても、従来構造の磁気ヘッドのように前記磁気
ギャップ部Ｇを形成する金属磁性膜が摩耗及び摩耗変形
することにより、層間絶縁層が露出してしまい、結果的
に磁気ギャップ幅が変化してしまうといった不具合を回
避することができる。従って、本発明による磁気ヘッド
のように磁気ギャップ幅を一定の値に保つことによっ
て、磁気記録特性の劣化及びスペーシングロスの発生を
回避することが可能である。

【００３６】また、溝部２５に沿って形成されたメタル
磁性膜２４、２４が巻線窓２６の周囲を囲むような環状
の磁気回路を形成するので、図１２に示す従来構造の磁
気ヘッドＡ、あるいは、図１３と図１４に示す従来構造
のＭＩＧ型の磁気ヘッドＢと比較して磁気回路を小型化
することができる。従って、従来の磁気ヘッドよりも高
周波対応に有利な特徴があり、磁気回路の小型化により
磁気記録媒体に記録された磁気情報を読み取り易くな
り、再生時の効率も向上させることができる。更に、巻
線窓２６の周囲に設けたメタル磁性膜２４、２４が磁気
ギャップＧに向けて傾斜しつつ相互に接近しているの
で、磁気ギャップＧでの磁界発生に有利な形状になって
いる。

【００３７】前記構造の磁気ヘッドＤにあっては、媒体
対向面２２に露出しているメタル磁性膜２４、２４の表
面部が個々に湾曲して磁気ギャップＧに接近し、一点で
最接近し、他の部分では徐々に磁気ギャップＧから離間
しているので、この構成のメタル磁性膜２４、２４で
は、図１３と図１４に示す従来の磁気ヘッドＢとは異な
り、磁気ギャップと平行に配置されるメタル磁性膜部分
が存在しないので、疑似ギャップを生じることはなく、
コンター効果による波形歪の発生現象を生じることがな
い。

【００３８】次に図１〜図３に示す構造の磁気ヘッドＣ
を製造する方法の一例について説明する。磁気ヘッドＤ
を製造するには、まず、結晶化ガラスあるいはセラミッ
クなどの非磁性体からなる平面長方形状の板状のブロッ
ク３８を用い、このブロック３８の上面に砥石などを用
いて研削加工を施して図４に示すようなＶ字溝３９を複
数互いに平行に形成する。これにより各Ｖ字溝３９の間
には側面三角形状の細長い突部４０が形成される。続い
て前記各突部４０の先端部をレーザビーム加工、逆スパ
ッタ、ドライエッチング、パッドポリッシングなどの手
法により図５に示すように曲面状に加工する。

【００３９】次に、砥石などを用いてブロック３８に溝
加工を施し、図６に示すような溝部４１を前記Ｖ字溝３
９に対して直角方向に形成する。この溝部４１は、ブロ
ック４０の上面に対して平行に形成した底面４１ａと、
この底面４１ａの両側に、底面４１ａに対して斜めに形
成した内側面４１ｂとからなるものである。

【００４０】続いて図７に示すようにブロック４０の上
面全部に、スパッタあるいは真空蒸着などの成膜手段に
より、金属磁性薄膜を複数、層間絶縁層とともに交互に
積層してメタル磁性膜４５を形成する。この際に最上層
の金属磁性膜の膜厚ｔは、ギャップ深さ方向と前記最内
周の金属磁性薄膜３０ａとのなす角θと磁気ギャップ深
さＧｄの間にｔ＞Ｇｄｓｉｎθ の関係を満たすように形成する。

【００４１】また、前記最内周の金属磁性膜上には、ギ
ャップ層を被覆する。なお、突部４０の上面とＶ字溝３
９の上面を除く部分に形成された積層膜を突部４０の先
端に形成された積層膜と同一高さになるまで研摩して除
去する。

【００４２】図７に示す状態のブロック４０を一対形成
したならば、図８に示すようにメタル磁性膜４５、４５
どうし、更には溝部４１、４１どうしを位置合わしてブ
ロック４０、４０を突き合わせ、突き合わせ部分に形成
された空洞部に溶融ガラスを流入させてブロック４０、
４０を接合する。この接合作業は、接合用のガラス棒を
前記空洞部に収納し、これを溶融してブロック４０、４
０の各部に流し込むことによって行う。

【００４３】次に、図８に示す状態で接合したブロック
４０、４０を図８の鎖線に沿って切り出すとともに、ブ
ロック４０、４０の媒体対向面側を研摩してゆくことで
図１に示す構造の磁気ヘッドＣをブロック４０、４０か
ら多数同時に製造することができる。

【００４４】以上説明した方法を実施して磁気ヘッドＤ
を製造することで、ブロック４０、４０から多数の磁気
ヘッドＤを同時に製造することができる。また、前記の
方法によれば、図１３と図１４を基に先に説明したＭＩ
Ｇ型の磁気ヘッドＢと同様に、ブロックの切出加工工程
と金属磁性薄膜の形成工程とガラス溶着工程と切断工程
を行なうことで磁気ヘッドＣを大量に製造できるので、
従来と同様の製造設備で同様の手順で磁気ヘッドＤを製
造することができる。従って新規な構造の高性能の磁気
ヘッドＤを従来の磁気ヘッドＢ用の製造設備で製造する
ことができる。なお、前記の方法では、ガラスにより溶
着する工程が一度で済むので溶着工程を２回以上必要と
する図１２に示す構造の磁気ヘッドＡよりも溶着工程が
少なくなり、製造しやすくなるので低コストで製造でき
るようになる。

【００４５】また、得られた磁気ヘッドＤにおいて、ハ
ーフコア２３の凸部２３ａは磁気ギャップＧに向かって
弓形に突出されているが、この突出部分の形状は、ブロ
ック３８に形成する三角山型の突部４０の先端部を湾曲
加工する際の曲率によって自由に設定することができ
る。したがってコンター効果を抑制するためのメタル薄
膜２４の特殊な形状をブロック４０に形成する突部４０
の先端部加工により容易に決定することができる。

【００４６】ところで、前記実施例においては、メタル
磁性膜２４を弓形に湾曲させて形成したが、メタル磁性
膜２４が媒体対向面２２において円弧状に湾曲されるよ
うに形成されていても良い。また、ハーフコア２３、２
３に形成される各メタル磁性膜２４は、磁気ギャップＧ
の中央部分で互いに最接近し、その他の部分では磁気ギ
ャップＧから徐々に離間していればコンター効果を抑制
できるので、メタル磁性膜２４の湾曲状態は種々の形状
をとることができる。よって、本発明においてメタル磁
性膜２４が湾曲しているというのは、平面状の複数のメ
タル磁性膜が、微小角度ずつ傾斜しながら接続されて全
体として湾曲している状態をも含むものとする。

【００４７】そして更に、ハーフコアを非磁性体で構成
し、巻線窓の周囲部分に複数のメタル磁性膜２４を環状
に形成し、このメタル磁性膜２４における最内周の金属
磁性膜３０ａが媒体対向面に露出されて磁気ギャップが
形成され、この金属磁性膜３０ａがギャップ表面部から
最深部まで達する厚さに形成されてなることにより、前
記磁気ギャップ部Ｇ周辺が磁気テープの摺動によって摩
耗しても、従来構造の磁気ヘッドのように前記磁気ギャ
ップ部Ｇを形成する金属磁性膜が摩耗及び摩耗変形する
ことにより、層間絶縁層が露出してしまい、結果的に磁
気ギャップ幅が変化してしまうといった不具合を回避す
ることができる。従って、本発明による磁気ヘッドのよ
うに磁気ギャップ幅を一定の値に保つことによって、磁
気記録特性の劣化及びスペーシングロスの発生を回避す
ることが可能である。

【００４８】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、ハ
ーフコアを非磁性体で構成し、巻線窓の周囲部分に複数
のメタル磁性膜を環状に形成し、このメタル磁性膜にお
ける少なくとも１つの金属磁性膜が媒体対向面に露出さ
れて磁気ギャップが形成され、この金属磁性膜がギャッ
プ表面部から最深部まで達する厚さに形成されてなるこ
とにより、前記磁気ギャップ部Ｇ周辺が磁気テープの摺
動によって摩耗しても、従来構造の磁気ヘッドのように
前記磁気ギャップ部Ｇを形成する金属磁性膜が摩耗及び
摩耗変形することにより、層間絶縁層が露出してしま
い、結果的に磁気ギャップ幅が変化してしまうといった
不具合を回避することができる。従って、本発明による
磁気ヘッドのように磁気ギャップ幅を一定の値に保つこ
とによって、磁気記録特性の劣化及びスペーシングロス
の発生を回避することが可能である。

【００４９】更に、メタル磁性膜による磁気回路のみで
磁気記録再生ができるので、フェライト部分の存在によ
り高周波対応に限界を生じていた従来のＭＩＧ型の磁気
ヘッドよりも有利になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は本発明の実施例の磁気ヘッドの断面図で
ある。

【図２】図２は図１に示す磁気ヘッドの平面図である。

【図３】図３は図１に示す磁気ヘッドの要部拡大図であ
る。

【図４】図４は本発明方法の実施に用いる非磁性体ブロ
ックにＶ字溝を形成した状態を示す斜視図である。

【図５】図５は図４に示すＶ字溝の先端部を加工した状
態を示す側面図である。

【図６】図６は図５に示すブロックに溝部を形成した状
態を示す斜視図である。

【図７】図７は同ブロックに金属磁性膜を積層した状態
を示す正面図である。

【図８】図８は図７に示すブロックを突き合わせた状態
を示す平面図である。

【図９】図９は従来の磁気ヘッドの一構成例を示す斜視
図である。

【図１０】図１０は図９に示す磁気ヘッドの平面図であ
る。

【図１１】図１１は図９に示す磁気ヘッドの要部拡大図
である。

【図１２】図１２は従来の磁気ヘッドの一構造例を示す
斜視図である。

【図１３】図１３は従来のＭＩＧ型の磁気ヘッドの一構
造例を示す斜視図である。

【図１４】図１４は図１３に示す磁気ヘッドの平面図で
ある。

【符号の説明】

Ｄ磁気ヘッドＧギャップ２０磁気コア半体２１ガラス部２８ガラス部２２媒体対向面２３ハーフコア２３ａ突部２４メタル磁性膜２５溝部２５ａ底面２５ｂ内側面２６巻線窓２７ギャップ層３０金属磁性薄膜３０ａ最内周の金属磁性薄膜３１層間絶縁膜３８ブロック３９Ｖ字溝４０凸部４１溝部４５メタル磁性膜

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】非磁性体からなる一対のハーフコアが、
それらの側部に形成された金属磁性膜及び層間絶縁層か
らなるメタル磁性膜をギャップ層を介して突き合わせ、
前記メタル磁性膜どうしの間に磁気ギャップを形成して
一体化されてなり、前記ハーフコアの側面に隣接するハ
ーフコアの一面が、媒体対向面にされてなる磁気ヘッド
において、ハーフコアの接合部分に巻線窓が形成され、この巻線窓
の周囲にこれを囲む環状のメタル磁性膜が形成され、メ
タル磁性膜が複数の金属磁性膜からなり、このメタル磁
性膜における少なくとも１対の金属磁性膜が媒体対向面
に露出されて磁気ギャップが形成され、かつ最内周の金
属磁性膜がギャップ表面部から最深部まで達する厚さに
形成されてなることを特徴とする磁気ヘッド。