JPH05248954A - 改良されたマルチチャンネル検出分散形分光測定装置 - Google Patents

改良されたマルチチャンネル検出分散形分光測定装置

Info

Publication number
JPH05248954A
JPH05248954A JP3162795A JP16279591A JPH05248954A JP H05248954 A JPH05248954 A JP H05248954A JP 3162795 A JP3162795 A JP 3162795A JP 16279591 A JP16279591 A JP 16279591A JP H05248954 A JPH05248954 A JP H05248954A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
spectral image
spectral
detector elements
dispersion
detector
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP3162795A
Other languages
English (en)
Inventor
Michel Delhaye
デルエー ミシェル
Silva Edouard Da
ダシルブァ エドワール
Bernard Roussel
ルセル ベルナール
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dilor
Original Assignee
Dilor
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dilor filed Critical Dilor
Publication of JPH05248954A publication Critical patent/JPH05248954A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28—Investigating the spectrum
    • G01J3/2803—Investigating the spectrum using photoelectric array detector
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02—Details
    • G01J3/06—Scanning arrangements arrangements for order-selection
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02—Details
    • G01J3/06—Scanning arrangements arrangements for order-selection
    • G01J2003/066—Microprocessor control of functions, e.g. slit, scan, bandwidth during scan
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28—Investigating the spectrum
    • G01J3/2823—Imaging spectrometer
    • G01J2003/2826—Multispectral imaging, e.g. filter imaging
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28—Investigating the spectrum
    • G01J2003/283—Investigating the spectrum computer-interfaced
    • G01J2003/2833—Investigating the spectrum computer-interfaced and memorised spectra collection
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28—Investigating the spectrum
    • G01J3/2889—Rapid scan spectrometers; Time resolved spectrometry
    • G01J2003/2893—Rapid scan spectrometers; Time resolved spectrometry with rotating grating
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28—Investigating the spectrum
    • G01J2003/2896—Vidicon, image intensifier tube
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28—Investigating the spectrum
    • G01J3/30—Measuring the intensity of spectral lines directly on the spectrum itself
    • G01J3/32—Investigating bands of a spectrum in sequence by a single detector
    • G01J2003/326—Scanning mask, plate, chopper, e.g. small spectrum interval
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02—Details
    • G01J3/0294—Multi-channel spectroscopy
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28—Investigating the spectrum
    • G01J3/30—Measuring the intensity of spectral lines directly on the spectrum itself
    • G01J3/32—Investigating bands of a spectrum in sequence by a single detector

Abstract

(57)【要約】 【目的】 装置のスペクトル分解能が検出器要素の幾何
学的寸法によって制限されることがないマルチチャンネ
ル検出分散形分光測定装置。 【構成】 入口（Ｆｅ）、入射ビーム（ＯＮ）を受光し
てそのビームのスペクトル的に分散された像であって、
選択されたスペクトルバンド（ＢＺ）に制限された像を
発生する光学的フィルター手段（ＭＦ）、上記スペクト
ル像を受光するマルチチャンネル検出モジュール（Ｄ
Ｍ）、プロセッサー手段（ＵＴ）を含み、光学的フィル
ター手段（ＭＦ）は、偏向器段（ＤＦ）を備え、光学的
偏向器手段には、中心周波数およびバンド幅によってス
ペクトルを規定するための制御手段（ＡＪ１）及びスペ
クトル像を検出モジュール上に変位させるための制御手
段（ＡＪ２）が付随している。電子制御ユニット（ＵＣ
Ｅ）は、第１および第２の制御手段（ＡＪ１，ＡＪ
２）、プロセッサー手段（ＵＴ）を制御するために設け
られている。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、マルチチャンネル検出
方式の分散形分光測定法に関する。
【０００２】本発明は、一般に機器分光測定法、とりわ
け吸収、発光、拡散、蛍光、ラマンなどの分光測定法に
適用可能である。
【０００３】
【従来の技術】シングルチャンネル検出方式の分散形分
光測定装置は、古くから知られている。一般に、このタ
イプの装置は、分析すべき電磁放射ビームによって照射
される入射スリット、上記ビームの分散されたスペクト
ル像であって、選択されたスペクトルバンドに制限され
たスペクトル像を射出する出射スリットを有する分散
段、上記出射スリットを介して上記スペクトル像を受光
するシングルチャンネル検出モジュール、およびシング
ルチャンネル検出モジュールによって受光された信号を
解析するためのプロセッサー手段を含む。
【０００４】実際には、シングルチャンネル検出モジュ
ールは、フォトセル、光電子増倍管、またはサーモパイ
ルなどの光電検出器要素からなる。
【０００５】作動時、分析すべき電磁放射のスペクトル
成分の一つが出射スリットを通り、その結果シングルチ
ャンネル検出モジュールによって検出される。従って、
分散要素を変位（displace）させて他のスペクトル成分
を各々出射スリットに通す必要がある。
【０００６】フォトダイオードストリップおよび電荷転
送デバイスなどの集積された検出器要素が入手可能であ
り、それらはイメージ増倍システムと有利に結合するこ
とができるので、シングルチャンネル検出法は多くの場
合マルチチャンネル検出法によって取って代わられてい
る。というのも、マルチチャンネル検出法は、分散され
たスペクトル像をマルチチャンネル検出モジュール上に
直接、すなわち出射スリットを通すことなく、投影する
ことができ、そのため装置の相対的配置を変更すること
なしに電磁放射の複数のスペクトル成分を同時に検出す
ることができるからである。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかし、分析すべき電
磁放射のスペクトルを得るための信号取得は、その電磁
放射の分散されたスペクトル像がマルチチャンネル検出
モジュールに対して静止している時に行われ、そのため
にスペクトル幅が検出モジュールの幾何学的寸法に制限
され、装置のスペクトル分解能が検出器要素のスペクト
ル分解能に制限される。
【０００８】加えて、イメージ増倍システムが検出器要
素に結合されている時、連続するスペクトルは常に同一
の発光蛍光体を用いて観察される。その結果、上記蛍光
体の速度によって装置の時間的分解能が決定される。
【０００９】さらに、分散要素または他の光学要素によ
って拡散された光に起因する干渉光のレベルはシングル
チャンネル検出装置におけるよりも高い。シングルチャ
ンネル検出法の場合、このレベルは、一般に非常に狭く
設定される（たとえば、差し渡し数十ミクロン）入射ス
リットおよび出射スリットの面積に比例する。マルチチ
ャンネル検出法の場合、分散段からの分散されたスペク
トル像が検出器モジュール上に直接投影されるとすれば
（マルチチャンネル検出法では出射スリットを用いな
い）、干渉光のレベルは検出モジュールの面積（数平方
センチメートル程度）に比例する。
【００１０】最後に、装置の信号対背景雑音比は、とり
わけ検出モジュールそれ自体に起因する雑音、外乱によ
って引き起こされた雑音、および干渉光の連続的なバッ
クグラウンドによってあるいは干渉スペクトルバンドに
よって照射されている検出モジュールによって発生され
た光子雑音のために、不満足なものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明はマルチチャンネ
ル検出法による分散形分光測定装置を提供し、それは、
分析すべき電磁放射ビームの入口、入射ビームを受光し
てそのビームの分散されたスペクトル像であって、選択
されたスペクトルバンドに制限されたスペクトル像を発
生するのに好適な光学的フィルター手段、上記スペクト
ル像を受光する複数の検出器要素からなるマルチチャン
ネル検出器モジュール、および上記検出器要素によって
検出された信号を解析するためのプロセッサー手段を含
む。
【００１２】本発明の一般的定義によると、光学的フィ
ルター手段は少なくとも一つの偏向器段を備え、光学的
フィルター手段には、上記スペクトルバンドの中心周波
数およびバンド幅を定める第１の制御手段およびマルチ
チャンネル検出モジュール上でスペクトル像を変位させ
るのに好適な第２の制御手段が付随し、さらに、各々上
記選択されたスペクトルバンド、スペクトル像の変位、
およびプロセッサー手段を共同制御（joint control ）
することを含む複数の動作モードにおいて、選択された
所定の検出器要素の組を使用するために、第１および第
２の制御手段並びにプロセッサー手段を制御するのに適
当な電子制御手段が設けられている。
【００１３】実際には、各動作モードに対して、電子制
御ユニットは、所定の検出器要素の組の上に選択された
倍率のスペクトル像を得るためにあらかじめ定められた
規則に従うように、選択されたスペクトルバンド、スペ
クトル像の変位（displacement）、およびプロセッサー
手段の共同制御パラメータを適合（adapt ）させる。
【００１４】
【作用及び発明の効果】この分散されたスペクトル像の
拡大により、検出モジュールの幾何学的寸法によって制
限されずに分析すべき電磁放射のスペクトル幅を定める
ことが可能になる。
【００１５】このようにして、本発明によると、装置の
スペクトル分解能が検出器要素の幾何学的寸法によって
制限されることはもはやなくなる。
【００１６】加えて、分散されたスペクトル像が検出モ
ジュール上を変位することによって連続するスペクトル
が異なる蛍光体上で観察される限り、装置の時間的分解
能はもはやイメージ増倍管の発光蛍光体の速度に左右さ
れることはない。
【００１７】さらに、分散要素によって拡散された光に
起因する干渉光のレベルは、狭通過帯域光学的フィルタ
ー手段によって減少される。
【００１８】最後に、装置の信号対雑音比は、分散され
たスペクトル像によって励起された検出器要素の選択的
な電子読み取りによって改善される。
【００１９】別の観点からすると、本発明は、選択され
たスペクトルバンド、スペクトル像の変位、およびプロ
セッサー手段の共同制御パラメータを連続的に適合させ
ることによって、所定の検出器要素の組の上のスペクト
ル像の選択された倍率を連続的に変更することを可能に
する。
【００２０】さらに別の観点からすると、本発明は、選
択されたスペクトルバンド、スペクトル像の変位、およ
びプロセッサー手段の共同制御パラメータをシーケンシ
ャルに適合させることにより、所定の検出器要素の組の
上のスペクトル像の選択された倍率を連続的に変更する
ことを可能にする。
【００２１】本発明の一実施例においては、スペクトル
像の選択された倍率は、所定の検出器要素の組の上の上
記スペクトル像の分散を拡大する。
【００２２】本発明の別の実施例においては、スペクト
ル像の選択された倍率は、所定の検出器要素の組の上の
上記像の分散を縮小させる。
【００２３】実際には、偏向器段は、回折格子およびプ
リズムによって構成される群から選択された少なくとも
一つの分散光学要素を有する。
【００２４】別の態様では、偏向器段は、レンズ、平面
鏡、球面鏡および非球面鏡、ホログラフィックシステ
ム、スリット、並びに干渉計によって構成される群から
選択された少なくとも一つの光学要素を有する。
【００２５】さらに別の態様では、偏向器段は、適当な
場合には検出器要素に対するシャッター手段と結合した
検出器要素増倍システム、スリット走査カメラ、および
光学的拡大系によって構成される群から選択された少な
くとも一つのオプトエレクトロニクス要素を有する。
【００２６】有利には、偏向器段は検出モジュール中に
収容されている。
【００２７】実際には、検出モジュールは、分析すべき
電磁放射ビームの分散方向に平行に一列に配置されたＮ
個の検出器要素からなり、所定の検出器要素の組の上の
スペクトル像の選択された拡大は電磁放射ビームの上記
分散方向に平行である。
【００２８】別の態様では、検出モジュールは、電磁放
射ビームの分散方向に平行な方向にｍ行および上記ビー
ムの分散方向に垂直な方向にｐ列として配置されたＮ個
の検出器要素からなり、選択された所定の検出器要素の
組を構成するｍ’の所定の行およびｐ’の所定の列上の
スペクトル像の選択された拡大は上記ｍ’の所定の行上
では電磁放射ビームの分散方向に平行であり、上記ｐ’
の所定の列上では放射ビームの分散方向に垂直である。
【００２９】望ましくは、光学的フィルター手段は電子
制御ユニットによって制御されるのに適した次数分離手
段（order separation means）を含む。
【００３０】本発明のその他の特徴および利点は、以下
の詳細な説明および添付図面に照らして明らかになる。
【００３１】
【実施例】図１において、参照符号ＩＳＤは本発明に従
うマルチチャンネル検出分散形分光測定装置を示す。
【００３２】従来と同様に、装置ＩＳＤは、分析すべき
電磁放射ビームＯＮに対する入口Ｅ、入射ビームＯＮを
受け入れ、そのビームの分散されたスペクトル像であっ
て、選択されたスペクトルバンドＢＺに制限されている
スペクトル像ＩＳを発生するのに好適な光学的フィルタ
リング手段ＭＦ、上記スペクトル像ＩＳを受光する複数
の検出器要素ＥＬからなるマルチチャンネル検出モジュ
ールＤＭ、および上記検出器要素ＥＬによって検出され
た信号を解析するためのプロセッサー手段ＵＴを含む。
【００３３】本発明の一般的定義によると、光学的フィ
ルター手段ＭＦは少なくとも一つの偏向器段ＤＦを備え
ている。
【００３４】光学的フィルター手段ＭＦには、上記スペ
クトルバンドの中心周波数およびバンド幅を規定するた
めの第１の制御手段ＡＪ１、およびマルチチャンネル検
出モジュールＤＭ上にスペクトル像ＩＳを変位させるの
に適した第２の制御手段ＡＪ２が付随している。
【００３５】電子制御ユニットＵＣＥは、第１および第
２の制御手段ＡＪ１およびＡＪ２並びにプロセッサー手
段ＵＴを種々の異なる動作モードにて制御するのに好適
に設けられている。各動作モードは、上記選択されたス
ペクトルバンド、スペクトル像の変位、およびプロセッ
サー手段の共同制御を含み、それによって選択された所
定の組の検出器要素を使用する。
【００３６】出願人は、中心周波数およびバンド幅によ
ってスペクトルバンドを規定する光学的フィルタリング
手段ＭＦは選択された寸法のスペクトル窓を分離する光
学マスクに対応し、また、選択された所定の検出器要素
の組をこのようにして規定された光学マスクに対応する
ようにして使用することは、選択された検出器要素の組
のみを考慮に入れる電子マスクを備えることと等価であ
ることを見出だした。
【００３７】加えて、出願人は、各動作モードにおいて
電子制御ユニットＵＣＥは、選択されたスペクトルバン
ド（すなわち、光学マスク）、スペクトル像の変位、お
よびプロセッサー手段ＵＴ（すなわち、電子マスク）の
共同制御のパラメータを、所定の検出器要素ＥＬの組の
上に選択された倍率の分散されたスペクトル像を発生さ
せるためにあらかじめ定められた規則に従うように適合
させることができることを見出だした。
【００３８】本発明による所定の検出器要素の組の上の
分散されたスペクトル像のこの選択された拡大は、マル
チチャンネル検出分光測定装置の効率を、特に感度およ
び検出器要素によって検出された信号の読みだし速度に
関して改善する。
【００３９】本発明によると、選択されたスペクトルバ
ンド、スペクトル像の変位、およびプロセッサー手段の
共同制御のパラメータを連続的に適合させることが可能
であり、それによって所定の検出器要素の組の上の分散
されたスペクトル像の倍率を連続的に変化させることが
可能である。
【００４０】本発明によると、また選択されたスペクト
ルバンド、スペクトル像の変位、およびプロセッサー手
段の共同制御のパラメータをシーケンシャルに適合させ
ることも可能であり、それによって所定の検出器要素の
組の上の分散されたスペクトル像の倍率をシーケンシャ
ルに変化させることが可能である。
【００４１】換言すると、制御パラメータをシーケンシ
ャルに適合させることにより、スペクトルの所定の部分
をその各スペクトル像を本発明によって異なる倍率にし
つつ選択し、これらのスペクトル像を検出器モジュール
上に端と端を合わせて配置することが可能である。この
ようなシーケンシャルな適合は、多数のスペクトル線を
有する複雑なスペクトルを分析するのに特に適してい
る。
【００４２】次に、光学的フィルター手段によって規定
されたスペクトルバンドに対応する光学マスクの線図で
ある図２を参照する。
【００４３】光学マスクＭｏは、（Ｘ軸方向ＯＸに）幅
Ａｍｏおよび（Ｙ軸方向ＯＹに）高さＢｍｏを有する平
行四辺形Ａｏ中に描かれている。
【００４４】慣例により、スペクトル分散ＤＳはＸ軸Ｏ
Ｘに平行で、Ｙ軸ＯＹに垂直である。光学マスクＭｏに
よって規定されるスペクトル窓は、（Ｘ軸方向ＯＸに）
幅Ａｆｏおよび（Ｙ軸方向ＯＹに）高さＢｆｏを有す
る。
【００４５】電子制御ユニットＵＣＥからの制御下に、
制御手段ＡＪ１はスペクトル窓の寸法ＡｆｏおよびＢｆ
ｏ、すなわちスペクトルバンドを調整する。
【００４６】光学マスクＭｏは、幅Ａｆｏおよび高さＢ
ｆｏによって画成された領域の外側は電磁放射に対して
不透明であるが、上記マスク内は電磁放射に対して透明
であることに注意しなければならない。
【００４７】再び図１を参照する。マルチチャンネル検
出モジュールＤＭの前には、たとえば、イメージ増倍管
（図示せず）が置かれており、イメージ増倍管中ではス
ペクトル像を受光したフォトカソードから放出された電
子が加速され、２次放出によって増幅を行うマイクロチ
ャンネルプレートに向けられる。２次電子のビームは加
速され、検出器要素に光学的に結合されている蛍光スク
リーンに衝突する。
【００４８】たとえば、発光表面（図示せず）の蛍光体
は光ファイバー束ＦＯによってマルチチャンネル検出モ
ジュールの検出器要素ＥＬに結合されていてよい。
【００４９】マルチチャンネル検出モジュールＤＭに
は、電子制御ユニットＵＣＥによって制御されるプロセ
ッサー手段ＵＴが続き、検出モジュールによって受光さ
れた信号の関数として複数の電磁放射スペクトルＳが確
立される。
【００５０】たとえば、プロセッサー手段ＵＴは、検出
モジュールの検出器要素によって発生された信号を、ス
ペクトルのライブラリーを入れるのに適した参照メモリ
（図示せず）から発生される参照信号の関数として処理
するのに適した測定手段（図示せず）を含んでいてよ
い。
【００５１】検出モジュールは１次元（図示せず）でよ
く、分析すべき電磁放射ビームの分散方向に平行な方向
に一列に配置されたＮ個の検出器要素からなっていてよ
い。そのような１次元検出器を用いる場合、所定の検出
器要素の上の分散されたスペクトル像の拡大は電磁放射
ビームの上記分散方向に平行である。
【００５２】次に、２次元検出モジュールによって規定
され、図２を参照して述べられた光学マスクに対応する
電子マスクを示す図３を参照する。
【００５３】２次元検出モジュールＤＭは、電磁放射ビ
ームの分散ＤＳに平行に延びるｍ行、および上記ビーム
の分散に垂直に延びるｐ列として配置されたＮ個の検出
器要素ＥＬからなる（図示の場合、ｍおよびｐはいずれ
も９である）。
【００５４】各検出器要素ＥＬは、幅Ａｅｌおよび高さ
Ｂｅｌを有する。２次元検出モジュールは、高さＢｄｍ
および幅Ａｄｍを有する。
【００５５】本発明によると、全幅Ａｆｅおよび全高Ｂ
ｆｅを有する選択された所定の検出器要素の組Ｊ１（図
３の斜線部）を使用する電子マスクは、図２を参照して
述べられた光学マスクＭｏに対応するように関連づけら
れている。
【００５６】電子マスクは検出器要素の組Ｊ１のみを考
慮に入れることができることに注意すべきである。
【００５７】実際には、各光学マスクは電子マスクと結
合されて選択された所定の組の検出器要素を使用する。
【００５８】図３を参照して述べられた２次元検出器に
対して、分散されたスペクトル像の拡大は検出器要素の
所定の組Ｊ１のｍ’行（図示の場合、ｍ’は５である）
にわたって電磁放射ビームの上記分散に平行に行われ、
検出器要素の所定の組Ｊ１のｐ’列（図示の場合、ｐ’
は５である）にわたって上記分散に垂直に行われる。
【００５９】次に、分散格子型の偏向器段を含む本発明
の装置の一例を示している図４を参照する。
【００６０】レンズ（図示せず）は分析すべき電磁放射
ＯＮを入射スリットＦｅ上に集束させる。
【００６１】入射ビームは、たとえば、２枚のミラーＭ
１１およびＭ１３の間に配置された分散格子Ｒｅからな
る分散段ＤＩに入射する。有利には、ミラーＭ１２が格
子Ｒｅの裏面に固着される。
【００６２】ミラーＭ１４は、ミラーＭ１３からの分散
されたスペクトル像を、ミラーＭ１５を介して偏向器段
ＤＦへ伝達される電磁放射のスペクトルバンドのバンド
幅を選択する調整可能な幅を有する中間スリットＦｉ上
にフォーカスする。
【００６３】偏向器段ＤＦは、たとえば、２枚のミラー
Ｍ１６およびＭ１８の間に配置された分散格子Ｒｓから
なる。有利には、ミラーＭ１７が格子Ｒｓの裏面に固着
される。
【００６４】この場合、入射スリットＦｅと中間スリッ
トＦｉは、光学的に互いに共役である。
【００６５】加えて、入射スリットＦｅの幅は、マルチ
チャンネル検出器モジュールの検出器要素の面積に関係
する所定の条件を満たし、装置のスペクトル分解能を規
定する。
【００６６】電子制御ユニットＵＣＥの制御下に、制御
手段ＡＪ１２は、選択されたスペクトルバンドを決定す
るために中間スリットＦｉの幅及びその位置、すなわち
図２を参照して述べられた光学マスクＭｏの寸法を調整
する。
【００６７】その後、電子制御手段ＵＣＥの制御下に、
制御手段ＡＪ１１は格子Ｒｅを制御された速度Ｖ１で変
位させ、選択されたスペクトル像が偏向器段に入射でき
るようにする。
【００６８】最後に、電子制御ユニットＵＣＥの制御下
に、制御手段ＡＪ２は格子Ｒｓを制御された速度Ｖ２で
変位させ、検出モジュールに対してスペクトル像を変位
させる。
【００６９】ここで、速度Ｖ１およびＶ２は、検出モジ
ュールの平面内で測定されたスペクトル像の変位速度で
あることに注意すべきである。
【００７０】適当な場合には、電子制御ユニットＵＣＥ
の制御下に、プロセッサー手段ＵＴは所定の組Ｊ１を制
御された速度Ｖ３で変位させる。
【００７１】最も有利には、電子制御ユニットＵＣＥ
は、スペクトルバンド（光学マスク）、分散されたスペ
クトル像の変位、およびプロセッサー手段（電子マス
ク）の共同制御パラメータ（たとえば、Ｖ１，Ｖ２，お
よびＶ３）を、所定の検出器要素の組Ｊ１の上に選択さ
れた倍率の分散されたスペクトル像を得るためにあらか
じめ定められた規則に従うように適合させる。
【００７２】本発明は、次数分離手段（図示せず）と適
合した光学的フィルター手段ＭＦとともに用いるのに好
適であるということに注意すべきである。
【００７３】次に、図４に示されている装置中で分散さ
れたスペクトル像の倍率が所定の規則に従って変化する
様子を示す図５を参照する。
【００７４】Ｙ軸ＯＹ方向の速度成分Ｖ１，Ｖ２および
Ｖ３はゼロ、すなわちスペクトル分散ＤＳが発生する方
向に垂直な方向への偏向はないものとする。電子マスク
の速度Ｖ３は、光学マスクの速度Ｖ１に等しい。
【００７５】簡単にするために、光学マスクの幅Ａｆｏ
は電子マスクの幅Ａｆｅに等しく、従って光学マスクお
よび電子マスクは同一の寸法および同一の変位速度を有
する（Ｖ１＝Ｖ３）。
【００７６】格子ＲｅおよびＲｓは、各々速度Ｖ１およ
びＶ２で変位される。分散されたスペクトル像の倍率Ｇ
はＸ軸ＯＸに沿ってプロットされ、変位速度の比Ｖ１／
Ｖ２はＹ軸ＯＹに沿ってプロットされている。
【００７７】上述の条件下に、出願人は分散されたスペ
クトル像の倍率Ｇは式Ｄ＝１＋Ｖ１／Ｖ２で表される直
線Ｄに従って変化することを見出だした。
【００７８】より正確には、正の比Ｖ１／Ｖ２に対し
て、倍率Ｇは１より大きな値を有する（Ｒ１）、すなわ
ち分散されたスペクトル像は組Ｊ１上で拡大される。
【００７９】比Ｖ１／Ｖ２がー１から０の範囲にある
時、倍率Ｇは０から１の範囲の値を有する（Ｒ２）、す
なわち分散されたスペクトル像は組Ｊ１上で縮小され
る。
【００８０】比Ｖ１／Ｖ２がー２からー１の範囲にある
時、倍率Ｇは０からー１の範囲の値を有する（Ｒ３）、
すなわち分散は縮小されると同時に反転される。
【００８１】比Ｖ１／Ｖ２がー２より小さい時、倍率Ｇ
はー１より小さな値を有する（Ｒ４）、すなわち分散さ
れたスペクトル像は組Ｊ１上で拡大される。
【００８２】最も有利には、倍率Ｇは分散体（disperse
rs）および光学的表面中での拡散、さらには検出器の使
用されていない領域に起因する固有または誘導ノイズお
よび連続的バックグラウンドおよび光学系中の干渉的拡
散に起因する干渉光のレベルおよび干渉像に対応するバ
ンドを減少させる。
【００８３】最も有利には、倍率Ｇは検出モジュール中
の検出要素の離散的構造に起因する欠点を除去する。
【００８４】次に、ミラー型の偏向器段を有する本発明
の装置の一例を示している図６を参照する。
【００８５】この図は図４と同一の必須構成要素を有
し、ただ分散格子型の偏向器段がミラーＭ２５を有する
タイプの偏向器段ＤＦによって置き換えられている点に
おいてのみ相違する。
【００８６】電子制御ユニットＵＣＥの制御下に、制御
手段ＡＪ２は、ミラーＭ２５を制御された速度Ｖ２で変
位させて検出モジュールＤＭに対してスペクトル像を変
位させる。
【００８７】格子ＲｅがミラーＭ２５で置き換えられた
時は、最終的な分解能は偏向器段中での分散の恩恵を受
けることがなく、従って分散段それ自身の回折およびス
リット幅によって制限されることに注意しなければなら
ない。
【００８８】次に、図６に示されている装置中で分散さ
れたスペクトル像の倍率が所定の規則に従って変化する
様子を示す図７を参照する。
【００８９】分散されたスペクトル像の倍率ＧはＸ軸Ｏ
Ｘに沿ってプロットされ、変位速度の比Ｖ１／Ｖ２はＹ
軸ＯＹに沿ってプロットされている。
【００９０】上述の条件下に、出願人は分散されたスペ
クトル像の倍率Ｇの変化は式Ｄ＝２Ｖ１／Ｖ２で表され
る直線Ｄに従うことを見出だした。
【００９１】より正確には、比Ｖ１／Ｖ２が０．５より
大きい時、倍率Ｇは１より大きな値を有する（Ｒ１）、
すなわち分散されたスペクトル像は組Ｊ１上で拡大され
る。比Ｖ１／Ｖ２が０から０．５の範囲にある時、倍率
Ｇの値は０から１の範囲にある（Ｒ２）、すなわち分散
されたスペクトル像は組Ｊ１上で縮小される。
【００９２】比Ｖ１／Ｖ２がー０．５から０の範囲にあ
る時、倍率Ｇの値は０からー１の範囲にある（Ｒ３）、
すなわち分散は縮小されると同時に反転される。
【００９３】比Ｖ１／Ｖ２がー０．５より小さい時、倍
率Ｇの値はー１より小さい（Ｒ４）、すなわち分散され
たスペクトル像は組Ｊ１上で拡大される。
【００９４】次に、オプトエレクトロニクス型の偏向器
段を有する本発明の装置の一例を示す図８を参照する。
【００９５】この図は、図４および図５と同一の必須構
成要素を有し、ただ分散格子型の偏向器段またはミラー
型の偏向器段がオプトエレクトロニクス型の偏向器段Ｄ
Ｆによって置き換えられている点においてのみ相違す
る。
【００９６】マルチチャンネル検出器モジュールＤＭの
前には、分散段ＤＩによって発生された分散されたスペ
クトル像をミラーＭ１３を介して直接受像するフォトカ
ソードＰＣを含む偏向器段ＤＦが配置されている。
【００９７】電子は加速され、偏向プレートＰＤによっ
てマイクロチャンネルプレート（図示せず）に向けて偏
向され、そこで２次放出によって増幅が行われる。２次
電子ビームは加速されて検出器要素に光学的に結合され
ている蛍光スクリーンに衝突する。
【００９８】電子制御ユニットＵＣＥの制御下に、制御
手段ＡＪ２は、電子偏向プレートＰＤの電位を制御され
た速度Ｖ２で変化させ、スペクトル像を検出モジュール
ＤＭに対して変位させる。
【００９９】Ｙ軸ＯＹ方向の偏向がゼロでない場合、検
出器要素を迅速に停止（shut off）させることが可能で
あり、従って分光測定装置の時間的分解能を改善するこ
とが可能であることに注意すべきである。
【０１００】この改善は、偏向が図８を参照して述べら
れたオプトエレクトロニクス型の時に有利である。とい
うのも、蛍光体の減衰時間に起因する”スミアー”効果
を回避することができるからである。
【０１０１】光学マスクＭｏおよび電子マスクＭｅの透
過窓の幅が検出モジュールＤＭ中の単一の検出器要素Ｅ
Ｌの幅Ａｅｌよりずっと広く、かつ偏向器段ＤＦの変位
速度Ｖ２が０の時、分散段ＤＩの光学マスクＭｏによっ
て分離されたスペクトル窓は速度Ｖ１で移動し、そのた
め分散されたスペクトル像は所定の検出器要素の組Ｊ１
を静止状態で照明するようにして偏向器段に入射するこ
とに注意すべきである。
【０１０２】この場合、もし分散に適用される規則と変
位に適用される規則が同一ならば、得られるスペクトル
は従来の動作におけるのと同一の分散および同一のスペ
クトル分解能を有するが、干渉光のレベルは光学マスク
Ｍｏおよび電子マスクＭｅの面積に比例して減少してい
る。
【０１０３】偏向器段中の格子Ｒｓの変位速度Ｖ２がゼ
ロでない時、光学マスクＭｏによって分離されたスペク
トル窓がスペクトル中を速度Ｖ１で移動している間、分
散されたスペクトル像は検出器モジュールＤｍ上を速度
Ｖ２で移動する。そのため、検出器モジュール中の各検
出器要素によって受光された異なる放射が混じりあい、
スペクトルがごちゃまぜになってしまう。
【０１０４】しかし、このような状況で、これは分散お
よび偏向器段の光学要素の制御された速度Ｖ１およびＶ
２での連続する直線および／または回転変位を、信号プ
ロセッサー手段ＵＴによって同期された不連続的な変位
で置き換えることにより改善される。
【０１０５】たとえば、異なるスペクトル部分は別々の
読みだしサイクルで光学的に重複することなく一つずつ
分析され、各検出器の読み出しに対応する信号はプロセ
ッサー手段ＵＴによって別々に記憶される。
【０１０６】続くコンピュータ処理は、このようにして
得られたすべてのデータを考慮に入れて複合スペクトル
を再生する。
【０１０７】ｒ回の連続する積分期間の各々について複
数の点ｉでサンプリングするとｉｒ回の一組の強度測定
がなされるので、この操作はいくつかの改善を生み出
す。
【０１０８】もし各積分間の変位ピッチｑが単一の検出
器要素ＥＬの幅Ａｅｌより小さければ、多数の点にわた
ってスペクトル線プロフィールをサンプリングすること
で検出器の構造が離散的であることによる分解能の低下
を抑制することが可能になる。
【０１０９】理想的な場合、その時スペクトル分解能は
係数Ａｅｌ／ｑだけ改善される。
【０１１０】もし各積分間の変位ピッチｑが単一の検出
器要素の幅Ａｅｌと検出モジュールの幅の間にあるなら
ば、スペクトルの異なる部分を反復並置することによる
再生は、第１にスペクトルフィールドを拡大し、第２に
検出モジュールの検出器要素間の小さな感度差を取り除
く。
【０１１１】加えて、フィールドの中心と端の間でバン
ド強度に変動を生じさせる光学的口径食効果が減少す
る。
【０１１２】スペクトルバンド（光学マスク）、スペク
トル像の変位、およびプロセッサー手段（電子マスク）
の共同制御の速度Ｖ１，Ｖ２，およびＶ３は、上述のよ
うに、スペクトル分散ＤＳに平行な方向およびスペクト
ル分散ＤＳに垂直な方向の両方向に適合される。
【０１１３】これら２方向における適合を結合すること
により、分散されたスペクトル像と検出モジュール平面
の間に任意の相対的変位を達成することが可能である。
【０１１４】有利には、電荷転送検出器は、純粋に電子
的な方法でフレームの転送または列の転送を行うことに
より、これら２つの方向ＯＸおよびＯＹにおける適合と
等価なことの実行を可能にする。
【０１１５】光学マスクの変位速度Ｖ３の水平成分（Ｏ
Ｘ）がその垂直成分（ＯＹ）と異なる時、電子マスクの
変位は不連続であって検出モジュールが停止（shut of
f）する期間と同期される。
【０１１６】スペクトル分散に平行な軸ＯＸの方向の変
位ピッチは、好ましくは光学的スペクトルを近接したス
ペクトル領域に分割することに相当するように選択され
る。スペクトル分散に垂直な軸の方向の変位は、検出器
要素のマトリックスの平行ストリップ上のスペクトル領
域を記憶するのに役立つ。
【０１１７】電子マスクの連続的変位は、電子マスクの
高さが検出器要素の高さと同程度の時に意図されるであ
ろう。その時、スペクトルは傾いたストリップの形で現
れる。
【０１１８】”高分解能”操作の例においては、入射ス
リットＦｅおよび中間スリットＦｉは同一の狭い幅、た
とえば数十ミクロン、を有するように選択される。この
時、光学マスクＭｏは狭いスペクトル窓を分離し、その
幅はこの場合回折によってのみ制限を受ける。
【０１１９】分散格子Ｒｅ（有利には、分散段は２個の
分散格子を含む）は角速度Ｖ１の回転によって変位さ
れ、その結果、光学マスクＭｏによって分離された窓は
検出モジュールの平面内に分散ＤＳに平行にＶ１で変位
される。
【０１２０】偏向格子ＲＳは回転させられることによっ
て変位し、それによってスペクトル像は検出モジュール
上をスペクトル分散方向に平行な速度Ｖ１と同一の方向
に速度Ｖ２で変位させられる。
【０１２１】その結果、スペクトルは検出器平面内にシ
ーケンシャルに再生され、検出器平面は各瞬間に光学マ
スクＭｏによって定められた狭いバンドの幅に対応する
一つの幅の狭い像のみを受像する。
【０１２２】従って、本発明の装置の見かけの分散は、
信号取得の間光学要素が固定されている従来の装置の見
かけの分散に比較してして増大する。
【０１２３】加えて、スペクトル線プロフィールを多数
の検出器要素上に自在に広げることができるので、本発
明のスペクトル分解能は検出モジュールの離散的構造に
よって制限を受けない。さらに、サンプリングは多数の
点で行われる。
【０１２４】このように、装置のスペクトル分解能は、
入射スリットおよび中間スリットの関数としてのみ制限
される。
【０１２５】要するに、本発明の装置は分散格子の理論
的な固有分解能に近づくことを可能にする。
【０１２６】もちろん、本発明は上述の実施例に制限さ
れるものではなく、特許請求の範囲に包含される全ての
態様に及ぶ。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に従うマルチチャンネル検出分散形分光
測定装置の線図である。
【図２】本発明の分散段によって規定された光学マスク
を示す線図である。
【図３】本発明の検出モジュールによって規定された図
２の光学マスクに対応する電子マスクの線図である。
【図４】本発明に従うマルチチャンネル検出分散形分光
測定装置の一例で、格子型偏向器段を有するものを示す
線図である。
【図５】図４に示されている装置中でのスペクトル像の
倍率の変化の様子を示すグラフである。
【図６】回転ミラー型偏向器段を有し、本発明に従う分
散形分光測定装置の線図である。
【図７】図６に示されている装置中でのスペクトル像の
倍率の変化の様子を示すグラフである。
【図８】電子型の偏向器段を有し、本発明に従う分散形
分光測定装置の線図である。
【符号の説明】
ＯＮ …入射ビーム ＭＦ …光学的フィルタリング手段 ＤＭ …マルチチャンネル検出モジュール ＵＴ …プロセッサ手段 ＤＦ …偏向器段 ＵＣＥ…電子制御ユニット ＡＪ１…第１の制御手段 ＡＪ２…第２の制御手段

Claims (13)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 分析すべき電磁放射ビーム（ＯＮ）の入
    口（Ｆｅ）と、 入射ビームを受けて上記ビームの分散されたスペクトル
    像であって、選択されたスペクトルバンド（ＢＺ）に制
    限されているスペクトル像を射出するのに適した光学的
    フィルター手段（ＭＦ）と、 上記スペクトル像を受光する複数の検出器要素（ＥＬ）
    を含むマルチチャンネル検出モジュール（ＤＭ）と、 上記検出器要素によって検出された信号を解析するため
    のプロセッサー手段（ＵＴ）とと含む形式のスペクトル
    測定装置であって、 光学的フィルター手段（ＭＦ）は少なくとも一つの偏向
    器段（ＤＦ）を備え、 光学的フィルター手段には、上記スペクトルバンドの中
    心周波数およびバンド幅を定める第１の制御手段（ＡＪ
    １）、およびスペクトル像をマルチチャンネル検出モジ
    ュール（ＤＭ）上に変位させるのに適した第２の制御手
    段（ＡＪ２）とが付随し、 かつ、各々が上記選択されたスペクトルバンド、スペク
    トル像の変位、およびプロセッサー手段の共同制御を含
    む複数の動作モードにおいて、選択された所定の検出器
    要素の組を使用するために、第１および第２の制御手段
    （ＡＪ１，ＡＪ２）並びにプロセッサー手段（ＵＴ）を
    制御するのに適した電子制御ユニット（ＵＣＥ）が設け
    られていることを特徴とするスペクトル測定装置。
  2. 【請求項２】 各動作モードに対して、電子制御ユニッ
    トは、選択されたスペクトルバンド、スペクトル像の変
    位、およびプロセッサー手段の共同制御パラメータを、
    所定の検出器要素の組の上に選択された倍率のスペクト
    ル像を得るためにあらかじめ定められた規則に従うよう
    に適合させることを特徴とする請求項１記載の装置。
  3. 【請求項３】 選択されたスペクトルバンド、スペクト
    ル像の変位、およびプロセッサー手段の共同制御パラメ
    ータが連続的に適合され、それによって所定の検出器要
    素の組の上のスペクトル像の選択された倍率を連続的に
    変化させることを可能にすることを特徴とする請求項２
    記載の装置。
  4. 【請求項４】 選択されたスペクトルバンド、スペクト
    ル像の変位、およびプロセッサー手段の共同制御パラメ
    ータがシーケンシャルに適合され、それによって所定の
    検出器要素の組の上のスペクトル像の選択された倍率を
    シーケンシャルに変化させることを可能にすることを特
    徴とする請求項２記載の装置。
  5. 【請求項５】 スペクトル像の選択された倍率は、所定
    の検出器要素の組の上で上記スペクトル像の分散を拡大
    することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に
    記載の装置。
  6. 【請求項６】 スペクトル像の選択された倍率は、所定
    の検出器要素の組の上で上記スペクトル像の分散を縮小
    することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に
    記載の装置。
  7. 【請求項７】 偏向器段（ＤＦ）は、回折格子およびプ
    リズムによって構成される群から選択された少なくとも
    一つの分散光学要素を有することを特徴とする請求項１
    乃至６のいずれか１項に記載の装置。
  8. 【請求項８】 偏向器段（ＤＦ）は、レンズ、平面鏡、
    球面鏡および非球面鏡、ホログラフィックシステム、ス
    リット、並びに干渉計によって構成される群から選択さ
    れた少なくとも一つの光学要素を有することを特徴とす
    る請求項１乃至６のいずれか１項に記載の装置。
  9. 【請求項９】 偏向器段（ＤＦ）は、適当な場合には検
    出器要素に対するシャッター手段と結合した検出器要素
    増倍システム、スリット走査カメラ、および光学的拡大
    系によって構成される群から選択された少なくとも一つ
    のオプトエレクトロニクス要素を有することを特徴とす
    る請求項１乃至６のいずれか１項に記載の装置。
  10. 【請求項１０】 偏向器段（ＤＦ）は、検出器モジュー
    ル（ＤＭ）中に収容されていることを特徴とする請求項
    ９記載の装置。
  11. 【請求項１１】 検出モジュール（ＤＭ）は、分析すべ
    き電磁放射ビームの分散方向に平行に一列に配置された
    Ｎ個の検出器要素（ＥＬ）からなり、かつ所定の検出器
    要素の組の上のスペクトル像の選択された拡大は電磁放
    射ビームの上記分散方向に平行であることを特徴とする
    請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の装置。
  12. 【請求項１２】 検出モジュール（ＤＭ）は、電磁放射
    ビームの分散方向に平行な方向にｍ行および上記ビーム
    の分散方向に垂直な方向にｐ列として配置されたＮ個の
    検出器要素（ＥＬ）からなり、かつ選択された所定の検
    出器要素の組を構成するｍ’の所定の行およびｐ’の所
    定の列上のスペクトル像の選択された拡大は上記ｍ’の
    所定の行上では放射ビームの分散方向に平行であり、上
    記ｐ’の所定の列上では放射ビームの分散方向に垂直で
    あることを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項
    に記載の装置。
  13. 【請求項１３】 光学的フィルター手段は、電子制御ユ
    ニット（ＵＣＥ）によって制御されるのに適した次数分
    離手段を含むことを特徴とする請求項１乃至１２のいず
    れか１項に記載の装置。
JP3162795A 1990-07-03 1991-07-03 改良されたマルチチャンネル検出分散形分光測定装置 Pending JPH05248954A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR9008407A FR2664382B1 (fr) 1990-07-03 1990-07-03 Installation de spectrometrie dispersive a detection multicanale perfectionnee.
FR9008407 1990-07-03

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH05248954A true JPH05248954A (ja) 1993-09-28

Family

ID=9398290

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3162795A Pending JPH05248954A (ja) 1990-07-03 1991-07-03 改良されたマルチチャンネル検出分散形分光測定装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US5164786A (ja)
EP (1) EP0465350B1 (ja)
JP (1) JPH05248954A (ja)
DE (1) DE69105838T2 (ja)
FR (1) FR2664382B1 (ja)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5442438A (en) * 1988-12-22 1995-08-15 Renishaw Plc Spectroscopic apparatus and methods
DE19502521A1 (de) * 1995-01-27 1996-08-01 Abb Patent Gmbh Passiv-Infrarot-Melder mit einer Optik, die von einem Strahlungsobjekt emittierte Wärmestrahlung auf einen Infrarotsensor fokussiert
US7221452B2 (en) * 2002-08-07 2007-05-22 Coherent, Inc. Tunable optical filter, optical apparatus for use therewith and method utilizing same
FR2894332B1 (fr) * 2005-12-01 2014-12-12 Eads Astrium Sas Spectrophotometre a large fente d'entree
FR2894333B1 (fr) * 2005-12-01 2008-02-15 Eads Astrium Sas Soc Par Actio Spectrophotometre a echantillonnage comprenant un interferometre
US20080174777A1 (en) * 2006-04-11 2008-07-24 University Of Wyoming Spectrometers using 2-dimensional microelectromechanical digital micromirror devices
US8179526B2 (en) * 2007-01-25 2012-05-15 Renishaw Plc Spectroscopic apparatus with dispersive device for collecting sample data in synchronism with relative movement of a focus
GB0708582D0 (en) 2007-05-03 2007-06-13 Renishaw Plc Spectroscope apparatus and methods
US20120200854A1 (en) * 2009-10-14 2012-08-09 Joss Bland-Hawthorn Integrated Photonic Spectrograph
WO2019207467A1 (en) * 2018-04-24 2019-10-31 Agilent Technologies, Inc. An optical apparatus having independent drives
CN112763065A (zh) * 2020-12-30 2021-05-07 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 三支路大视场pgp成像光谱仪

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU817489A1 (ru) * 1979-02-09 1981-03-30 Новосибирский Институт Инженеровгеодезии, Аэрофотосъемки Икартографии Способ сканировани спектра вРАСТРОВОМ СпЕКТРОМЕТРЕ
US4326802A (en) * 1980-02-06 1982-04-27 Instrumentation Laboratory Inc. Dual monochromator type of spectroanalysis system
US4455087A (en) * 1981-04-06 1984-06-19 Hamamatsu Systems Inc. Monochromatic imaging apparatus
SU1044111A1 (ru) * 1982-05-14 1984-08-15 Тартуский Филиал Специального Конструкторского Бюро Ан Эсср Двойной дифракционный монохроматор
JPS5963533A (ja) * 1982-10-04 1984-04-11 Union Giken:Kk 測光方法
EP0320530B1 (en) * 1987-12-18 1992-03-04 Hewlett-Packard GmbH Photodiode array spectrometer

Also Published As

Publication number Publication date
EP0465350A1 (fr) 1992-01-08
US5164786A (en) 1992-11-17
FR2664382B1 (fr) 1992-10-09
DE69105838T2 (de) 1995-08-03
DE69105838D1 (de) 1995-01-26
EP0465350B1 (fr) 1994-12-14
FR2664382A1 (fr) 1992-01-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Vogt et al. Self-scanned photodiode array: high performance operation in high dispersion astronomical spectrophotometry
US5329353A (en) High sensitive multi-wavelength spectral analyzer
Talmi et al. Self-scanned photodiode array: a multichannel spectrometric detector
Mende et al. Far ultraviolet imaging from the Image Spacecraft. 3. Spectral Imaging of Lyman-∝ and OI 135.6 nm
CA2153591C (en) Method and apparatus for imaging
AU2005252809B8 (en) Echelle spectrometer with improved use of the detector by means of two spectrometer arrangements
EP0156232B1 (en) Multiwavelength spectrophotometer
JP3260469B2 (ja) 粒子分析装置
JPH05248954A (ja) 改良されたマルチチャンネル検出分散形分光測定装置
US4630925A (en) Compact temporal spectral photometer
US6208413B1 (en) Hadamard spectrometer
US4494872A (en) Multiple entrance aperture dispersive optical spectrometer
US5050991A (en) High optical density measuring spectrometer
Chaffee et al. Astronomical applications of echelle spectroscopy
US3708666A (en) Multiple detector scanner with detectors spaced across scan direction
Hunter et al. Use of an optical multichannel analyzer for recording absorption spectra of short‐lived transients
Deffontaine et al. The third generation of multichannel Raman spectrometers
JPH0676919B2 (ja) ダブルビーム型分光光度計
JP3226308B2 (ja) 明るい高分解能分光装置
Treffers A single ETALON Fabry-Perot spectrometer for observations of nebulae at visible and infrared wavelengths
JPH0526728A (ja) ラマン分光用分光器
Burke Fast-scan spectrometry
JPS5895250A (ja) 発光分光分析装置
JPS63139222A (ja) 面分光装置
JPH02105026A (ja) 分光装置およびその応用装置

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081225

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 11

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091225

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101225

Year of fee payment: 12

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 12

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101225

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 13

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111225

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 14

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121225

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131225

Year of fee payment: 15

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250