JPH05243898A - 圧電フィルタ - Google Patents
圧電フィルタInfo
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- JPH05243898A JPH05243898A JP4333392A JP4333392A JPH05243898A JP H05243898 A JPH05243898 A JP H05243898A JP 4333392 A JP4333392 A JP 4333392A JP 4333392 A JP4333392 A JP 4333392A JP H05243898 A JPH05243898 A JP H05243898A
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- piezoelectric substrate
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- piezoelectric
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- capacitance forming
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 厚み縦振動を用いる２以上のフィルタ素子の
間に、圧電基板の厚み方向に対向するように形成された
１対の容量形成電極をもって結合容量が与えられた、圧
電フィルタにおいて、結合容量が与える容量を所定値に
保ちながら、容量形成電極の面積を小さくして、圧電フ
ィルタの小型化を図る。 【構成】 １対の容量形成電極２１，２２のうち、一方
の容量形成電極２２を圧電基板１９の内部に位置させ
る。 【効果】 １対の容量形成電極間に励振される振動が、
フィルタ素子に悪影響を及ぼすことを防止できる。
間に、圧電基板の厚み方向に対向するように形成された
１対の容量形成電極をもって結合容量が与えられた、圧
電フィルタにおいて、結合容量が与える容量を所定値に
保ちながら、容量形成電極の面積を小さくして、圧電フ
ィルタの小型化を図る。 【構成】 １対の容量形成電極２１，２２のうち、一方
の容量形成電極２２を圧電基板１９の内部に位置させ
る。 【効果】 １対の容量形成電極間に励振される振動が、
フィルタ素子に悪影響を及ぼすことを防止できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、厚み縦振動を用いる
２以上のフィルタ素子が１枚の圧電基板内に設けられた
圧電フィルタに関するもので、特に、結合容量部の改良
に関するものである。
２以上のフィルタ素子が１枚の圧電基板内に設けられた
圧電フィルタに関するもので、特に、結合容量部の改良
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図３には、この発明にとって興味ある従
来の圧電フィルタが示されている。圧電フィルタは、分
極方向を矢印１で示すように、厚み方向に分極された、
たとえばセラミックからなる圧電基板２を備える。この
圧電基板２に関連して、厚み縦振動を用いる２つのフィ
ルタ素子３および４が構成され、この圧電フィルタは、
２重モードフィルタとなっている。
来の圧電フィルタが示されている。圧電フィルタは、分
極方向を矢印１で示すように、厚み方向に分極された、
たとえばセラミックからなる圧電基板２を備える。この
圧電基板２に関連して、厚み縦振動を用いる２つのフィ
ルタ素子３および４が構成され、この圧電フィルタは、
２重モードフィルタとなっている。
【０００３】図３において、圧電基板２の一方主面５と
もに、他方主面６が示されている。フィルタ素子３およ
び４の各々は、圧電基板２の一方主面５上に隣合って形
成される第１および第２の共振電極７および８ならびに
これら共振電極７および８に共通に対向するように圧電
基板２の他方主面６上に形成される第３の共振電極９を
もって構成される。
もに、他方主面６が示されている。フィルタ素子３およ
び４の各々は、圧電基板２の一方主面５上に隣合って形
成される第１および第２の共振電極７および８ならびに
これら共振電極７および８に共通に対向するように圧電
基板２の他方主面６上に形成される第３の共振電極９を
もって構成される。
【０００４】フィルタ素子３および４の間には、結合容
量１０が構成される。結合容量１０は、圧電基板２の厚
み方向に対向するように形成された１対の容量形成電極
１１および１２をもって構成される。一方の容量形成電
極１１は、圧電基板２の一方主面５上に形成され、他方
の容量形成電極１２は、圧電基板２の他方主面６上に形
成される。一方の容量形成電極１１は、接続部１３を介
して、２つのフィルタ素子３および４の各々の第１の共
振電極７に電気的に接続される。他方の容量形成電極１
２は、接続部１４を介して、２つのフィルタ素子３およ
び４の各々の第３の共振電極９に電気的に接続される。
また、フィルタ素子３および４の各々の第２の共振電極
８は、それぞれ、接続部１５および１６を介して、入出
力端子１７および１８に電気的に接続される。
量１０が構成される。結合容量１０は、圧電基板２の厚
み方向に対向するように形成された１対の容量形成電極
１１および１２をもって構成される。一方の容量形成電
極１１は、圧電基板２の一方主面５上に形成され、他方
の容量形成電極１２は、圧電基板２の他方主面６上に形
成される。一方の容量形成電極１１は、接続部１３を介
して、２つのフィルタ素子３および４の各々の第１の共
振電極７に電気的に接続される。他方の容量形成電極１
２は、接続部１４を介して、２つのフィルタ素子３およ
び４の各々の第３の共振電極９に電気的に接続される。
また、フィルタ素子３および４の各々の第２の共振電極
８は、それぞれ、接続部１５および１６を介して、入出
力端子１７および１８に電気的に接続される。
【０００５】図４は、上述した圧電フィルタが与える等
価回路を示している。なお、上述した圧電フィルタは、
フィルタ素子３および４において基本波を用いるもので
あるが、２倍波を用いる圧電フィルタにあっては、圧電
基板２の内部であって、圧電基板２の厚みの半分の位置
に、さらに共振電極が形成される。
価回路を示している。なお、上述した圧電フィルタは、
フィルタ素子３および４において基本波を用いるもので
あるが、２倍波を用いる圧電フィルタにあっては、圧電
基板２の内部であって、圧電基板２の厚みの半分の位置
に、さらに共振電極が形成される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】このような圧電フィル
タにおいて、結合容量１０によって与えられる容量の大
きさは、容量形成電極１１および１２の面積に依存す
る。したがって、圧電フィルタの小型化を図ろうとする
場合であっても、結合容量１０における容量を所定以上
に保たなければならないため、容量形成電極１１および
１２の面積を単純に小さくすることはできない。
タにおいて、結合容量１０によって与えられる容量の大
きさは、容量形成電極１１および１２の面積に依存す
る。したがって、圧電フィルタの小型化を図ろうとする
場合であっても、結合容量１０における容量を所定以上
に保たなければならないため、容量形成電極１１および
１２の面積を単純に小さくすることはできない。
【０００７】また、フィルタ素子３および４における第
１および第２の共振電極７および８と第３の共振電極９
との距離が、１対の容量形成電極１１および１２間の距
離に等しいため、フィルタ素子３および４における共振
周波数が結合容量１０の部分における共振周波数とほと
んど同じになる。このため、結合容量１０における振動
が、電気的、機械的に、フィルタ素子３および４におけ
るフィルタ特性に悪影響を与えることがある。
１および第２の共振電極７および８と第３の共振電極９
との距離が、１対の容量形成電極１１および１２間の距
離に等しいため、フィルタ素子３および４における共振
周波数が結合容量１０の部分における共振周波数とほと
んど同じになる。このため、結合容量１０における振動
が、電気的、機械的に、フィルタ素子３および４におけ
るフィルタ特性に悪影響を与えることがある。
【０００８】それゆえに、この発明の目的は、結合容量
における容量形成電極の面積を問題なく小さくすること
ができるとともに、結合容量の部分での振動がフィルタ
素子に悪影響を及ぼすことを防止できる、圧電フィルタ
を提供しようとすることである。
における容量形成電極の面積を問題なく小さくすること
ができるとともに、結合容量の部分での振動がフィルタ
素子に悪影響を及ぼすことを防止できる、圧電フィルタ
を提供しようとすることである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この発明は、厚み方向に
分極された圧電基板と、圧電基板の一方主面上に隣合っ
て形成される第１および第２の共振電極ならびにこれら
共振電極に共通に対向するように圧電基板の他方主面上
に形成される第３の共振電極をもって各々が構成され
る、厚み縦振動を用いた２以上のフィルタ素子と、圧電
基板の厚み方向に対向するように形成された１対の容量
形成電極をもって構成され、かつフィルタ素子間に電気
的に接続される、結合容量とを備える、圧電フィルタに
向けられるものであって、上述した技術的課題を解決す
るため、前記１対の容量形成電極の少なくとも一方は、
前記圧電基板の内部に位置されることを特徴としてい
る。
分極された圧電基板と、圧電基板の一方主面上に隣合っ
て形成される第１および第２の共振電極ならびにこれら
共振電極に共通に対向するように圧電基板の他方主面上
に形成される第３の共振電極をもって各々が構成され
る、厚み縦振動を用いた２以上のフィルタ素子と、圧電
基板の厚み方向に対向するように形成された１対の容量
形成電極をもって構成され、かつフィルタ素子間に電気
的に接続される、結合容量とを備える、圧電フィルタに
向けられるものであって、上述した技術的課題を解決す
るため、前記１対の容量形成電極の少なくとも一方は、
前記圧電基板の内部に位置されることを特徴としてい
る。
【００１０】
【作用】上述のように、容量形成電極の少なくとも一方
を圧電基板の内部に位置させることにより、対をなす容
量形成電極間の距離を圧電基板の厚みより短くすること
ができる。１対の容量形成電極によって与えられる容量
は、これら容量形成電極の互いに対向する面積に比例す
るが、容量形成電極間の距離に反比例する。したがっ
て、上述のように、容量形成電極間の距離が短くされる
と、同じ容量を得るのに、容量形成電極の面積は小さく
て済む。
を圧電基板の内部に位置させることにより、対をなす容
量形成電極間の距離を圧電基板の厚みより短くすること
ができる。１対の容量形成電極によって与えられる容量
は、これら容量形成電極の互いに対向する面積に比例す
るが、容量形成電極間の距離に反比例する。したがっ
て、上述のように、容量形成電極間の距離が短くされる
と、同じ容量を得るのに、容量形成電極の面積は小さく
て済む。
【００１１】また、１対の容量形成電極の少なくとも一
方を圧電基板の内部に位置させることにより、結合容量
の部分で共振周波数を、圧電基板の厚み全体から与えら
れる共振周波数に対して大きく異ならせることができ
る。
方を圧電基板の内部に位置させることにより、結合容量
の部分で共振周波数を、圧電基板の厚み全体から与えら
れる共振周波数に対して大きく異ならせることができ
る。
【００１２】
【発明の効果】したがって、この発明によれば、結合容
量を与えるための容量形成電極の面積を、所定の容量を
保ちながら小さくすることができるので、圧電フィルタ
を小型化することができる。
量を与えるための容量形成電極の面積を、所定の容量を
保ちながら小さくすることができるので、圧電フィルタ
を小型化することができる。
【００１３】また、この発明によれば、１対の容量形成
電極間の共振周波数を、フィルタ素子における共振周波
数と異ならせることができるので、結合容量の部分での
振動が、フィルタ素子におけるフィルタ特性に対して、
電気的、機械的に悪影響を及ぼすことを防止できる。そ
れゆえに、良好なフィルタ特性を有する圧電フィルタを
得ることができる。
電極間の共振周波数を、フィルタ素子における共振周波
数と異ならせることができるので、結合容量の部分での
振動が、フィルタ素子におけるフィルタ特性に対して、
電気的、機械的に悪影響を及ぼすことを防止できる。そ
れゆえに、良好なフィルタ特性を有する圧電フィルタを
得ることができる。
【００１４】
【実施例】図１および図２は、この発明の第１および第
２の実施例をそれぞれ示している。これらの実施例は、
図３に示した圧電フィルタと実質的に同じ要素を含んで
おり、図１および図２は、図３の線Ａ−Ａに沿う断面を
示している。これら図１および図２では、図３に示した
フィルタ素子３および４が図示されていない。しかしな
がら、これら実施例は、図３に示したフィルタ素子３お
よび４と実質的に同様の構成を有するフィルタ素子を備
えている。
２の実施例をそれぞれ示している。これらの実施例は、
図３に示した圧電フィルタと実質的に同じ要素を含んで
おり、図１および図２は、図３の線Ａ−Ａに沿う断面を
示している。これら図１および図２では、図３に示した
フィルタ素子３および４が図示されていない。しかしな
がら、これら実施例は、図３に示したフィルタ素子３お
よび４と実質的に同様の構成を有するフィルタ素子を備
えている。
【００１５】図１に示した圧電フィルタは、基本波を利
用するものである。この圧電フィルタは、厚み方向に分
極された圧電基板１９を備える。圧電基板１９に構成さ
れた結合容量２０は、圧電基板１９の厚み方向に対向す
るように形成された１対の容量形成電極２１および２２
をもって与えられる。これら容量形成電極２１および２
２のうち、一方の容量形成電極２１は、圧電基板１９の
一方主面２３上に形成されるが、他方の容量形成電極２
２は、圧電基板１９の内部に位置される。この実施例で
は、また、結合容量２０の部分において、圧電基板１９
の他方主面２４上にダミー電極２５が形成される。
用するものである。この圧電フィルタは、厚み方向に分
極された圧電基板１９を備える。圧電基板１９に構成さ
れた結合容量２０は、圧電基板１９の厚み方向に対向す
るように形成された１対の容量形成電極２１および２２
をもって与えられる。これら容量形成電極２１および２
２のうち、一方の容量形成電極２１は、圧電基板１９の
一方主面２３上に形成されるが、他方の容量形成電極２
２は、圧電基板１９の内部に位置される。この実施例で
は、また、結合容量２０の部分において、圧電基板１９
の他方主面２４上にダミー電極２５が形成される。
【００１６】図１において、容量形成電極２１に接続し
たライン２６は、図３に示した接続部１３または１４に
対応している。また、ダミー電極２５に接続したライン
２７は、図３に示した接続部１４または１３に対応して
いる。このライン２７には、容量形成電極２２に接続さ
れるライン２８が接続される。この接続は、圧電基板１
９のたとえば端面上に導電膜を形成することによって、
達成される。
たライン２６は、図３に示した接続部１３または１４に
対応している。また、ダミー電極２５に接続したライン
２７は、図３に示した接続部１４または１３に対応して
いる。このライン２７には、容量形成電極２２に接続さ
れるライン２８が接続される。この接続は、圧電基板１
９のたとえば端面上に導電膜を形成することによって、
達成される。
【００１７】このように、この実施例によれば、１対の
容量形成電極２１および２２間の距離を、圧電基板１９
の厚みより短くすることができるので、同じ容量を得る
のに、容量形成電極２１および２２の面積を小さくする
ことができる。また、結合容量２０の部分での共振周波
数を、フィルタ素子における共振周波数と大きく異なら
せることができるので、結合容量２０の部分における振
動がフィルタ素子へ悪影響を及ぼすことを抑制できる。
容量形成電極２１および２２間の距離を、圧電基板１９
の厚みより短くすることができるので、同じ容量を得る
のに、容量形成電極２１および２２の面積を小さくする
ことができる。また、結合容量２０の部分での共振周波
数を、フィルタ素子における共振周波数と大きく異なら
せることができるので、結合容量２０の部分における振
動がフィルタ素子へ悪影響を及ぼすことを抑制できる。
【００１８】図２に示す圧電フィルタは、２倍波を利用
するものである。この圧電フィルタは、圧電基板２９を
備える。圧電基板２９に構成される結合容量３０は、圧
電基板２９の厚み方向に対向するように形成された１対
の容量形成電極３１および３２をもって与えられる。一
方の容量形成電極３１は、圧電基板２９の一方主面３３
上に形成されるが、他方の容量形成電極３２は、圧電基
板２９の内部に位置される。
するものである。この圧電フィルタは、圧電基板２９を
備える。圧電基板２９に構成される結合容量３０は、圧
電基板２９の厚み方向に対向するように形成された１対
の容量形成電極３１および３２をもって与えられる。一
方の容量形成電極３１は、圧電基板２９の一方主面３３
上に形成されるが、他方の容量形成電極３２は、圧電基
板２９の内部に位置される。
【００１９】この実施例では、圧電基板２９の他方主面
３４上に、ダミー電極３５が形成され、このダミー電極
３５に対して圧電基板２９の厚みのほぼ１／３の距離を
隔てて対向するように、もう１つのダミー電極３６が圧
電基板２９の内部に形成される。
３４上に、ダミー電極３５が形成され、このダミー電極
３５に対して圧電基板２９の厚みのほぼ１／３の距離を
隔てて対向するように、もう１つのダミー電極３６が圧
電基板２９の内部に形成される。
【００２０】図２において、一方の容量形成電極３１に
接続されるライン３７は、図３に示した接続部１３また
は１４に対応している。他方、ダミー電極３５に接続さ
れるライン３８は、図３の接続部１４または１３に対応
している。さらに、他方の容量形成電極３２および他方
のダミー電極３６にそれぞれ接続されるライン３９およ
び４０は、ライン３８に接続される。
接続されるライン３７は、図３に示した接続部１３また
は１４に対応している。他方、ダミー電極３５に接続さ
れるライン３８は、図３の接続部１４または１３に対応
している。さらに、他方の容量形成電極３２および他方
のダミー電極３６にそれぞれ接続されるライン３９およ
び４０は、ライン３８に接続される。
【００２１】図２に示した実施例では、容量形成電極３
１および３２間の距離に関して、次のような配慮がなさ
れている。すなわち、図１に示すように、１対の容量形
成電極２１および２２間の距離を圧電基板１９の厚みの
ほぼ１／２とした場合、結合容量２０の部分において、
２倍波またはそれに近い振動が現われることになる。そ
のため、フィルタ素子において２倍波を利用するもので
あれば、このフィルタ素子に悪影響を与え得る。これに
対して、図２では、１対の容量形成電極３１および３２
間の距離が圧電基板２９の厚みのほぼ１／３に選ばれて
いるので、フィルタ素子における２倍波に悪影響を及ぼ
すことがない。
１および３２間の距離に関して、次のような配慮がなさ
れている。すなわち、図１に示すように、１対の容量形
成電極２１および２２間の距離を圧電基板１９の厚みの
ほぼ１／２とした場合、結合容量２０の部分において、
２倍波またはそれに近い振動が現われることになる。そ
のため、フィルタ素子において２倍波を利用するもので
あれば、このフィルタ素子に悪影響を与え得る。これに
対して、図２では、１対の容量形成電極３１および３２
間の距離が圧電基板２９の厚みのほぼ１／３に選ばれて
いるので、フィルタ素子における２倍波に悪影響を及ぼ
すことがない。
【００２２】以上、この発明を図示した各実施例に従っ
て説明したが、フィルタ素子の数は、３以上あってもよ
い。したがって、結合容量も、１つの圧電フィルタにお
いて、２以上存在してもよい。
て説明したが、フィルタ素子の数は、３以上あってもよ
い。したがって、結合容量も、１つの圧電フィルタにお
いて、２以上存在してもよい。
【００２３】また、結合容量を構成する１対の容量形成
電極は、双方とも圧電基板の内部に位置されてもよい。
電極は、双方とも圧電基板の内部に位置されてもよい。
【図１】この発明の一実施例による圧電フィルタの結合
容量２０が形成された部分を示し、図３の線Ａ−Ａに沿
う断面図に相当する断面図である。
容量２０が形成された部分を示し、図３の線Ａ−Ａに沿
う断面図に相当する断面図である。
【図２】この発明の他の実施例による圧電フィルタの結
合容量３０が形成された部分を示し、図３の線Ａ−Ａに
沿う断面図に相当する断面図である。
合容量３０が形成された部分を示し、図３の線Ａ−Ａに
沿う断面図に相当する断面図である。
【図３】この発明にとって興味ある従来の圧電フィルタ
を示す斜視図であり、併せて圧電基板２の他方主面６が
示されている。
を示す斜視図であり、併せて圧電基板２の他方主面６が
示されている。
【図４】図３に示した圧電フィルタの等価回路図であ
る。
る。
２，１９，２９ 圧電基板 ３，４ フィルタ素子 ５，２３，３３ 一方主面 ６，２４，３４ 他方主面 ７ 第１の共振電極 ８ 第２の共振電極 ９ 第３の共振電極 １０，２０，３０ 結合容量 １１，１２，２１，２２，３１，３２ 容量形成電極
Claims (1)
- 【請求項１】 厚み方向に分極された圧電基板と、 前記圧電基板の一方主面上に隣合って形成される第１お
よび第２の共振電極ならびに前記第１および第２の共振
電極に共通に対向するように前記圧電基板の他方主面上
に形成される第３の共振電極をもって各々が構成され
る、厚み縦振動を用いた２以上のフィルタ素子と、 前記圧電基板の厚み方向に対向するように形成された１
対の容量形成電極をもって構成され、かつ前記フィルタ
素子間に電気的に接続される、結合容量とを備える、圧
電フィルタにおいて、 前記１対の容量形成電極の少なくとも一方は、前記圧電
基板の内部に位置されることを特徴とする、圧電フィル
タ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04333392A JP3218068B2 (ja) | 1992-02-28 | 1992-02-28 | 圧電フィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04333392A JP3218068B2 (ja) | 1992-02-28 | 1992-02-28 | 圧電フィルタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05243898A true JPH05243898A (ja) | 1993-09-21 |
| JP3218068B2 JP3218068B2 (ja) | 2001-10-15 |
Family
ID=12660911
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04333392A Expired - Lifetime JP3218068B2 (ja) | 1992-02-28 | 1992-02-28 | 圧電フィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3218068B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1096675A2 (en) * | 1999-10-29 | 2001-05-02 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric resonator |
| CN112415288A (zh) * | 2020-10-22 | 2021-02-26 | 同济大学 | 测量同轴压电电缆静水压压电系数的系统及其测量方法 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0352316A (ja) * | 1989-07-19 | 1991-03-06 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電共振子 |
| JPH0388407A (ja) * | 1989-07-19 | 1991-04-12 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電共振子 |
| JPH0397313A (ja) * | 1989-09-09 | 1991-04-23 | Murata Mfg Co Ltd | チップ型圧電フィルタ |
| JPH047908A (ja) * | 1990-04-25 | 1992-01-13 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電共振子 |
| JPH047909A (ja) * | 1990-04-25 | 1992-01-13 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電共振子 |
-
1992
- 1992-02-28 JP JP04333392A patent/JP3218068B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| JP3218068B2 (ja) | 2001-10-15 |
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