JPH0524208Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 Ａ 産業上の利用分野 本考案は固体撮像装置用カバーガラスの検査装
置に関する。

Ｂ 考案の概要 本考案は、固体撮像装置用カバーガラスの検査
装置において、固体撮像素子がその受光面を露出
した状態で載置され且つ少なくとも接続線が樹脂
で被覆されるヘツダの受光面側に被検査カバーガ
ラスを配置し、光源からの光を上記被検査カバー
ガラスを通して上記固体撮像素子に受光させ、そ
の固体撮像素子の出力からモニターに映像を出す
ことにより、その検査精度の向上を実現するもの
である。

Ｃ 従来の技術 CCD（電荷結合デバイス）等の固体撮像装置
は、通常、固体撮像素子のチツプがヘツダ内に載
置され、そのヘツダの表面（受光面側）には気密
性保持や保護等の面から透明なカバーガラスが設
けられている。

従来、固体撮像装置の製造ラインにおいては、
そのカバーガラスのヘツダへの実装前に、カバー
ガラスに欠陥が有るか否かを検査しており、その
検査はカバーガラスを目視して行われていた。

Ｄ 考案が解決しようとする問題点 しかしながら、オペレーターの目視による検査
では、カバーガラスの欠陥の有無はオペレーター
の感覚に左右され、品質基準の設定が容易でな
い。また、オペレーターの目視による検査では、
各被検査カバーガラスに対して出力映像と無関係
に判断しなければならず、微妙な場合の判断が困
難となつていた。

そこで、本考案は上述の技術的課題に鑑み、確
実なカバーガラスの欠陥の検査を行う固体撮像装
置用カバーガラスの検査装置を提供することを目
的とする。

Ｅ 問題点を解決するための手段 本考案は、光源と、固体撮像素子がその受光面
を露出した状態で載置されると共に少なくとも接
続線が樹脂で被覆され且つその受光面側に被検査
カバーガラスが載置されるヘツダと、固体撮像素
子からの出力をモニターするモニター装置を有
し、上記光源からの光を上記被検査カバーガラス
を通して上記固体撮像素子に受光させ、上記モニ
ター装置に上記被検査カバーガラスの映像を出す
ことを特徴とする固体撮像装置用カバーガラスの
検査装置により上述の技術的課題を解決する。

Ｆ 作用 被検査カバーガラスをヘツダ上に載置し、光源
からの光を上記被検査カバーガラスを通して上記
固体撮像素子に受光させ、その固体撮像素子の出
力からモニター装置に映像を出す構造とすること
により、実際に使用状態に近い状態でのカバーガ
ラスの検査が行われ、オペレーターの目視によら
ない確実な検査が行われる。

Ｇ 実施例 本考案の好適な実施例を図面を参照しながら説
明する。

本実施例の固体撮像装置用カバーガラスの検査
装置は、第１図に示すように、光源１０と、固体
撮像素子３がその受光面を露出した状態で載置さ
れると共に少なくとも接続線が樹脂４で被覆され
且つその受光面側に被検査カバーガラス１が載置
されるヘツダ２と、上記固体撮像素子３からの出
力をモニターするモニター装置を有している。

上記光源１０は、例えばハロゲンランプ等の発
光装置であり、この光源１０からの光が被検査カ
バーガラス１に照射される。本実施例では、その
照射のための光学系として、光源１０と対向する
レンズ１２と、光源１０からの光を均一に分散さ
せる拡散板１３と、ミラー１４と、焦点深度を変
化させる絞り１５と、上記ヘツダ２に載置される
被検査カバーガラス１に対向するレンズ１６とが
光源１０側からヘツダ２側へ向かつて筐体１１に
取り付けられて順に配されている。

上記ヘツダ２は、移動可能な基台５上に固定さ
れており、図中矢印方向に基台５が移動する。こ
のヘツダの細部の構造は、第２図に示すような構
造とされ、ヘツダ２の中央部にはCCD等の固体
撮像素子３がヘツダ収納部２ａの底面でその受光
面３ａを露出した状態で載置されている。この固
体撮像素子３の上部には、当該固体撮像素子３の
保護を目的としたフイルターガラス７が形成され
ており、固体撮像素子３の電気信号の接続線６は
樹脂４により被覆されている。このため後述する
ように再生洗浄等が容易となる。このようなヘツ
ダ２の上面には周囲に亘る載置溝８が形成されて
おり、この載置溝８に被検査カバーガラス１が載
置される。すなわち、被検査カバーガラス１は、
検査する際に上記載置溝８を案内として固体撮像
素子３の受光面側に載置され、検査後、その受光
面側から取り除かれる。なお、上記載置溝８の構
造を２重構造やそれ以上の構造とすることで、異
なるサイズの被検査カバーガラス１を同じヘツダ
２を用いながら検査することが可能となる。

上記モニター装置は、第１図に示すように、固
体撮像素子３からの信号を処理して、被検査カバ
ーガラス１の映像をモニター２０に出力するため
の装置である。その信号処理系は、固体撮像素子
３からの出力を採り込むサンプルホールド回路２
２と、増幅器２３と、同期信号やレベル調整等の
ための信号処理回路２４と、増幅器２５とを有
し、増幅器２５のビデオ出力がモニター２０に入
力される構造とされている。そして、このような
信号処理系に加え本実施例の装置では、上記増幅
器２３の出力の一部は、オシロスコープ２１に入
力され、そのオシロスコープ２１からのトリガア
ウト信号も上記モニター２０に入力するようにさ
れている。

次に、上述のような概略構造を有する本実施例
の固体撮像装置用カバーガラスの検査装置の動作
について説明する。

まず、被検査カバーガラス１の交換動作につい
て説明すると、本実施例の検査装置では、多数の
被検査カバーガラス１を検査するために、上述の
如き構造のヘツダ２に対して被検査カバーガラス
１が載置され、これが取り換えられる様になつて
いる。この被検査カバーガラス１の交換時には、
上記基台５が、上記筐体１１の下部のレンズ１６
とヘツダ２とが対向する位置から第１図中の矢印
方向に沿つてその筐体１１から外れた位置へ移動
する。すると、基台５上のヘツダ２への被検査カ
バーガラス１の載置は、上記筐体１１が障害とな
らずに行うことができる。新たにヘツダ２の載置
溝８に載置された被検査カバーガラス１は、再び
上記筐体１１の下部の位置に移動し、上記ヘツダ
２の受光面が上記レンズ１６と対向することにな
る。

次に、検査時の動作について説明すると、光源
１０からの光がレンズ１２を介して拡散板１３を
通る。拡散板１３を通過した光は、均一に拡散し
たものとなり、ミラー１４で反射した後、絞り１
５を通過する。その絞り１５では、被検査カバー
ガラス１の位置に合わせた焦点深度の調整がなさ
れており、その調整された光がレンズ１６を介し
てヘツダ２に載置された被検査カバーガラス１に
入射する。なお、絞り１５の焦点深度の制御によ
つて、被検査カバーガラス１自体の欠陥か、或い
はフイルター等の部分の欠陥かを後述するモニタ
ー２０を見ながら識別することも可能である。

上記被検査カバーガラス１に入射した光は、上
記フイルターガラス７を介して固体撮像素子３に
入射する。この固体撮像素子３上では光電変換が
行われ、固体撮像素子３の動作に基づてい被検査
カバーガラス１の欠陥情報を含む出力信号が得ら
れることになる。そして、固体撮像素子３の出力
は、本実施例の装置において、まず、サンプルホ
ールド回路２２でサンプリングされる。このサン
プルホールド回路２２では、カラー切換え信号等
によりカラー（RGB等）に対応した動作をさせ
る様にすることもできる。次に、サンプルホール
ド回路２２の出力は増幅器２３で増幅され、信号
処理回路２４に入力する。この信号処理回路２４
では、ビデオ信号とするための同期信号等が加え
られ、さらに光源１０からの光量が多い場合に、
モニター２０での飽和を防止するためのスライス
処理等も行うことができる。そして、信号処理回
路２４の出力は増幅器２５を介しビデオ信号とし
てモニター２０に入力する。このモニター２０で
は、被検査カバーガラス１の状態に対応した映像
が得られ、その被検査カバーガラス１に欠陥があ
るときはその欠陥に対応した映像が観測されるこ
とになり、欠陥の無い被検査カバーガラス１に対
しては一様な映像が得られることになる。このよ
うに本実施例の検査装置では、カバーガラスをヘ
ツダ２に載置した実際の使用状態に近い状態での
観測が行われることから、確実な検査が実現され
ることになる。

また、上記増幅器２３の出力は一部オシロスコ
ープ２１に入力する様にすることもできる。そし
て、この増幅器２３から入力した信号の一部から
オシロスコープのトリガアウト信号を取り出し、
このトリガアウト信号でカーソル信号を作りモニ
ター画面上の任意の点を指定する。これにより、
モニター２０とオシロスコープ２１の対応関係を
把握することができ、欠陥レベルを容易に判断す
ることが可能となる。また、ボーダーラインの欠
陥レベルをプリセツトすることで自動的な判断も
可能となる。

次に、当該固体撮像装置用カバーガラスの検査
装置の保守機能について説明する。本実施例の検
査装置では、その検査毎に被検査カバーガラス１
は交換されるが、ヘツダ２の構造を上述の如き構
造とすることでヘツダ２を定常的に検査に最適な
状態に維持できる。すなわち、第２図に示す様に
ヘツダ２の内部の接続線６等を剥き出しの状態と
した場合では、気密性を維持するためのカバーガ
ラス１が交換されることから、接続線６等の表面
状態が経時的に変化する。すると、抵抗増大や断
線等の問題が生ずるが、本実施例では接続線６等
が樹脂４に被覆されており、このため弊害を防止
することができる。従つて、装置の保守のために
再生洗浄等を行うこともでき、ヘツダ２を定常的
に検査に最適な状態に維持できる。また、固体撮
像素子３の受光面３ａの保護のためにフイルター
ガラス７を設けており、受光面３ａが保護され防
塵等も図ることができる。

上述のように、本実施例の固体撮像装置用カバ
ーガラスの検査装置は、カバーガラスをヘツダ２
に載置した実際の使用状態に近い状態での観測が
行われることから、オペレーターの目視のみに依
存しない確実な検査が実現されることになる。

Ｈ 考案の効果 本考案の固体撮像装置用カバーガラスの検査装
置は、上述のように、被検査カバーガラスをヘツ
ダに載置しての検査が可能であり、実際の使用状
態に近い状態の測定から被検査カバーガラスの欠
陥状態を確実に把握することができ、欠陥の有無
を容易に判断することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の固体撮像装置用カバーガラス
の検査装置の一例を概略的に示すブロツク図、第
２図はその要部断面図である。 １……被検査カバーガラス、２……ヘツダ、３
……固体撮像素子、４……樹脂、５……基台、６
……接続線、１０……光源、２０……モニター。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 光源と、固体撮像素子がその受光面を露出した
   状態で載置されると共に少なくとも接続線が樹脂
   で被覆され且つその受光面側に被検査カバーガラ
   スが載置されるヘツダと、固体撮像素子からの出
   力をモニターするモニター装置を有し、上記光源
   からの光を上記被検査カバーガラスを通して上記
   固体撮像素子に受光させ、上記モニター装置に上
   記被検査カバーガラスの映像を出すことを特徴と
   する固体撮像装置用カバーガラスの検査装置。