JPH0798282A - 着色パターンの欠陥検査方法 - Google Patents
着色パターンの欠陥検査方法Info
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- JPH0798282A JPH0798282A JP26312093A JP26312093A JPH0798282A JP H0798282 A JPH0798282 A JP H0798282A JP 26312093 A JP26312093 A JP 26312093A JP 26312093 A JP26312093 A JP 26312093A JP H0798282 A JPH0798282 A JP H0798282A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 周期性着色パターン領域または略周期性着色
パターン領域を有する試料（工業製品）の着色パターン
領域の微細な白欠陥の欠陥検出感度を向上させた検出方
法の提供 【構成】 撮像手段によって撮像し、得られた画像信号
に強調処理を施すことにより欠陥を検出する方法で、透
過照明手段に暗視野光を用いる。
パターン領域を有する試料（工業製品）の着色パターン
領域の微細な白欠陥の欠陥検出感度を向上させた検出方
法の提供 【構成】 撮像手段によって撮像し、得られた画像信号
に強調処理を施すことにより欠陥を検出する方法で、透
過照明手段に暗視野光を用いる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は，液晶デイスプレイ等に
使用されるカラーフイルター等の外観検査方法に関し、
特に、微小白欠陥を検出する方法に関する。一定の光学
的性質、形状をもつ着色単位パターンが、一次元方向、
或いは二次元方向に規則正しく、繰り返し配列されてい
る試料（工業製品）、或いは単位パターンが、その光学
的性質、形状および一次元方向、二次元方向の配列ピッ
チを徐々に変化させながら繰り返し配列されている試料
（工業製品）に発生する欠陥を検査する方法に関するも
のである。以下、一定の光学的性質、形状をもつ着色単
位パターンが、一次元方向、或いは二次元方向に規則正
しく、繰り返し配列されている領域を周期性パターン領
域と言い、単位パターンの光学的性質、形状および一次
元方向、二次元方向の配列ピッチが徐々に変化しながら
繰り返し配列されている領域を略周期性パターン領域と
言う。
使用されるカラーフイルター等の外観検査方法に関し、
特に、微小白欠陥を検出する方法に関する。一定の光学
的性質、形状をもつ着色単位パターンが、一次元方向、
或いは二次元方向に規則正しく、繰り返し配列されてい
る試料（工業製品）、或いは単位パターンが、その光学
的性質、形状および一次元方向、二次元方向の配列ピッ
チを徐々に変化させながら繰り返し配列されている試料
（工業製品）に発生する欠陥を検査する方法に関するも
のである。以下、一定の光学的性質、形状をもつ着色単
位パターンが、一次元方向、或いは二次元方向に規則正
しく、繰り返し配列されている領域を周期性パターン領
域と言い、単位パターンの光学的性質、形状および一次
元方向、二次元方向の配列ピッチが徐々に変化しながら
繰り返し配列されている領域を略周期性パターン領域と
言う。
【０００２】
【従来の技術】従来、周期性パターン領域ないし略周期
性パターン領域を有する試料（工業製品）の欠陥検査に
ついては、パターンの配列の単位、及び欠陥形状を解像
できる顕微鏡撮影装置によって、ビデオ信号を調べてパ
ターン認識を行う第一の方法、欠陥の無いパターンを被
検査パターンと同様に撮影して、両パターンから得られ
た信号を比較して欠陥を検出する第二の方法、或いは周
期的開口を持つ製品についてはコヒーレント光を照射し
た時の周期的開口による光の回折像を利用する光学的フ
ーリエ変換、空間フイルタリング法により欠陥を検出す
る第三の方法、等が提案されている。しかしながら、い
ずれの方法においても、微小白欠陥の検査については、
自動検出が難しく、撮像手段を検出倍率をあげる等によ
り高解像度化すると、検査タクトが増加してしまう問題
があり、検査タクトを短縮するためには、装置費用が増
加してしまう問題があった。特に、ＬＣＤ用カラーフイ
ルター等の中間調の周期性着色パターン領域ないし略周
期性着色パターン領域を有する試料（工業製品）の場合
には、難しく、顕微鏡を用い、人間の目により、直接透
過光により欠陥を観察する方法が、一般に用いられてお
り、微小白欠陥の検査における高感度な自動欠陥検出が
望まれていた。
性パターン領域を有する試料（工業製品）の欠陥検査に
ついては、パターンの配列の単位、及び欠陥形状を解像
できる顕微鏡撮影装置によって、ビデオ信号を調べてパ
ターン認識を行う第一の方法、欠陥の無いパターンを被
検査パターンと同様に撮影して、両パターンから得られ
た信号を比較して欠陥を検出する第二の方法、或いは周
期的開口を持つ製品についてはコヒーレント光を照射し
た時の周期的開口による光の回折像を利用する光学的フ
ーリエ変換、空間フイルタリング法により欠陥を検出す
る第三の方法、等が提案されている。しかしながら、い
ずれの方法においても、微小白欠陥の検査については、
自動検出が難しく、撮像手段を検出倍率をあげる等によ
り高解像度化すると、検査タクトが増加してしまう問題
があり、検査タクトを短縮するためには、装置費用が増
加してしまう問題があった。特に、ＬＣＤ用カラーフイ
ルター等の中間調の周期性着色パターン領域ないし略周
期性着色パターン領域を有する試料（工業製品）の場合
には、難しく、顕微鏡を用い、人間の目により、直接透
過光により欠陥を観察する方法が、一般に用いられてお
り、微小白欠陥の検査における高感度な自動欠陥検出が
望まれていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の検査方法は、
このような状況のもと、ＬＣＤ用カラーフイルター等の
周期性着色パターン領域ないし略周期性着色パターン領
域を有する試料（工業製品）の微小白欠陥を高感度に自
動検出する方法を提供しようとするものである。
このような状況のもと、ＬＣＤ用カラーフイルター等の
周期性着色パターン領域ないし略周期性着色パターン領
域を有する試料（工業製品）の微小白欠陥を高感度に自
動検出する方法を提供しようとするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の着色パターン欠
陥検査方法は、周期性着色パターン領域もしくは略周期
性着色パターン領域を有する試料に対し、暗視野光の
み、または暗視野光と明視野光を同時に透過照明し、撮
像手段により試料の透過光を検出し、画像信号を得て、
得られた画像信号に強調処理を施した信号を得て、この
信号に対し、所定のスライスレベルで２値化するスライ
ス処理を施すことにより、欠陥部以外をマスキングし欠
陥部のみを検出するものである。尚、ここでは、明視野
光とは、照明光で光軸が撮像手段の受光部の光軸と一致
するもので、暗視野光とは、照明光で光軸が撮像手段の
受光部の光軸と一致しないものである。ここで強調処理
として一例を挙げる。先ず、試料の同一箇所において複
数回、撮像手段によって撮像し、画像信号を得て、得ら
れた複数回分の画像信号を積算、平均処理する。これ
は、欠陥部を含む箇所については、図４の（ａ）のよう
な光透過率分布をえるが、撮像装置からのビデオ信号は
（ｂ）のように、パターンの照明ムラ、撮像面の感度ム
ラ等によるゆるやかな信号変化（シエーデイング）とビ
デオ信号回路で発生するランダムノイズ、および光学系
に付着したゴミなどによる信号の局部的変化とが含まれ
た信号となってしまうことに対応するもので、同一箇所
において、複数回、撮像手段によって撮像し、画像信号
を得て、得られた複数回分の画像信号を積算、平均処理
するもので、これにより（ｃ）のように、加算回数をＮ
とした場合には、ランダムノイズの比率は１／Ｎ1/2 と
なる。ここで、Ａ１、Ｂ１、Ａ２、Ｂ２は欠陥部を示す
もので、Ｃは光学系に付着したゴミ等による信号の局部
的変化を示すものである。次いで、撮像する位置をわず
かにずらして、同様に積算、平均処理することにより、
信号（ｃ）をわずかに変位させた信号（ｄ）を得ること
ができ、（ｃ）と（ｄ）との差信号をえると（ｅ）のよ
うになり、ゆるやかな信号変化（シエーデイング）や撮
像する位置の移動により変化しない信号分が除去され
る。ここでは、光の透過率変化による信号分と低減され
たランダムノイズ成分だけが残るが、更に、この信号
（ｅ）について、近傍平均値の減算あるいは微分処理を
施すと、（ｆ）のような、ゆるやかな信号変化（シエー
デイング）成分も除去され、結果として、得られた信号
（ｆ）は、欠陥部に相当のみが局部的に変化しており、
強調されていることが分かる。又、スライス処理による
２値化については、信号（ｆ）を所定のスライスレベル
ＳＬで処理するもので、欠陥部のみを判定し２値化する
ものである。尚、図４の（ｅ）での欠陥部における信号
の反転の順序によって、欠陥の種類（白欠陥、黒欠陥）
が識別できる。
陥検査方法は、周期性着色パターン領域もしくは略周期
性着色パターン領域を有する試料に対し、暗視野光の
み、または暗視野光と明視野光を同時に透過照明し、撮
像手段により試料の透過光を検出し、画像信号を得て、
得られた画像信号に強調処理を施した信号を得て、この
信号に対し、所定のスライスレベルで２値化するスライ
ス処理を施すことにより、欠陥部以外をマスキングし欠
陥部のみを検出するものである。尚、ここでは、明視野
光とは、照明光で光軸が撮像手段の受光部の光軸と一致
するもので、暗視野光とは、照明光で光軸が撮像手段の
受光部の光軸と一致しないものである。ここで強調処理
として一例を挙げる。先ず、試料の同一箇所において複
数回、撮像手段によって撮像し、画像信号を得て、得ら
れた複数回分の画像信号を積算、平均処理する。これ
は、欠陥部を含む箇所については、図４の（ａ）のよう
な光透過率分布をえるが、撮像装置からのビデオ信号は
（ｂ）のように、パターンの照明ムラ、撮像面の感度ム
ラ等によるゆるやかな信号変化（シエーデイング）とビ
デオ信号回路で発生するランダムノイズ、および光学系
に付着したゴミなどによる信号の局部的変化とが含まれ
た信号となってしまうことに対応するもので、同一箇所
において、複数回、撮像手段によって撮像し、画像信号
を得て、得られた複数回分の画像信号を積算、平均処理
するもので、これにより（ｃ）のように、加算回数をＮ
とした場合には、ランダムノイズの比率は１／Ｎ1/2 と
なる。ここで、Ａ１、Ｂ１、Ａ２、Ｂ２は欠陥部を示す
もので、Ｃは光学系に付着したゴミ等による信号の局部
的変化を示すものである。次いで、撮像する位置をわず
かにずらして、同様に積算、平均処理することにより、
信号（ｃ）をわずかに変位させた信号（ｄ）を得ること
ができ、（ｃ）と（ｄ）との差信号をえると（ｅ）のよ
うになり、ゆるやかな信号変化（シエーデイング）や撮
像する位置の移動により変化しない信号分が除去され
る。ここでは、光の透過率変化による信号分と低減され
たランダムノイズ成分だけが残るが、更に、この信号
（ｅ）について、近傍平均値の減算あるいは微分処理を
施すと、（ｆ）のような、ゆるやかな信号変化（シエー
デイング）成分も除去され、結果として、得られた信号
（ｆ）は、欠陥部に相当のみが局部的に変化しており、
強調されていることが分かる。又、スライス処理による
２値化については、信号（ｆ）を所定のスライスレベル
ＳＬで処理するもので、欠陥部のみを判定し２値化する
ものである。尚、図４の（ｅ）での欠陥部における信号
の反転の順序によって、欠陥の種類（白欠陥、黒欠陥）
が識別できる。
【０００５】このような、強調処理、スライス処理によ
り、白、黒欠陥の検出は可能であるが、撮像手段に得ら
れる信号自体の照明によるＳ／Ｎに限度があり、例え
ば、ＣＣＤカメラの解像度が３０μｍの場合５μｍφ以
下のの微小の白欠陥、黒欠陥については、欠陥として検
出することは、従来、難しいとされていたが、本発明の
パターン欠陥検査方法は、透過光暗視野照明を用いるこ
とにより、撮像手段に得られる信号自体の照明によるＳ
／Ｎを向上させ、５μｍφ以下の微小の白欠陥の検出を
可能にしている。尚、ここでは、白欠陥とは、着色パタ
ーン部のピンホールや絵柄欠けを言い、黒欠陥とは、着
色パターン部の所定の絵柄以外の余分な着色部または遮
光部を言っている。暗視野光は、光軸が撮像手段の受光
部の光軸と一致しない為、受光部への暗視野照明による
光は、周期性パターンまたは略周期性パターン部の開口
部透過光は受光部へ入射されない為、ほぼ、欠陥部の回
折光のみが、検出される為、明視野照明の場合に比べＳ
／Ｎが大きいのである。透過暗視野照明を併用すること
により、Ｓ／Ｎが向上するのは、撮像手段により、得ら
れる照明からの透過光からの信号のＳ／Ｎを透過暗視野
照明の場合、Ｓ1／Ｎ1 、透過明視野照明の場合、Ｓ2
／Ｎ2 とすると、Ｓ1 ／Ｎ1 ＞Ｓ2 ／Ｎ2であることよ
り、（Ｓ1 ＋Ｓ2 ）／（Ｎ1 ＋Ｎ2 ）＞Ｓ2 ／Ｎ2 とな
るためであるが、透過暗視野照明を単独使用する場合に
おいては、Ｓ1 ／Ｎ1 ＞Ｓ2 ／Ｎ2であり、言うまでも
ない。
り、白、黒欠陥の検出は可能であるが、撮像手段に得ら
れる信号自体の照明によるＳ／Ｎに限度があり、例え
ば、ＣＣＤカメラの解像度が３０μｍの場合５μｍφ以
下のの微小の白欠陥、黒欠陥については、欠陥として検
出することは、従来、難しいとされていたが、本発明の
パターン欠陥検査方法は、透過光暗視野照明を用いるこ
とにより、撮像手段に得られる信号自体の照明によるＳ
／Ｎを向上させ、５μｍφ以下の微小の白欠陥の検出を
可能にしている。尚、ここでは、白欠陥とは、着色パタ
ーン部のピンホールや絵柄欠けを言い、黒欠陥とは、着
色パターン部の所定の絵柄以外の余分な着色部または遮
光部を言っている。暗視野光は、光軸が撮像手段の受光
部の光軸と一致しない為、受光部への暗視野照明による
光は、周期性パターンまたは略周期性パターン部の開口
部透過光は受光部へ入射されない為、ほぼ、欠陥部の回
折光のみが、検出される為、明視野照明の場合に比べＳ
／Ｎが大きいのである。透過暗視野照明を併用すること
により、Ｓ／Ｎが向上するのは、撮像手段により、得ら
れる照明からの透過光からの信号のＳ／Ｎを透過暗視野
照明の場合、Ｓ1／Ｎ1 、透過明視野照明の場合、Ｓ2
／Ｎ2 とすると、Ｓ1 ／Ｎ1 ＞Ｓ2 ／Ｎ2であることよ
り、（Ｓ1 ＋Ｓ2 ）／（Ｎ1 ＋Ｎ2 ）＞Ｓ2 ／Ｎ2 とな
るためであるが、透過暗視野照明を単独使用する場合に
おいては、Ｓ1 ／Ｎ1 ＞Ｓ2 ／Ｎ2であり、言うまでも
ない。
【０００６】
【作用】本発明の着色パターンの欠陥検査方法は、透過
照明手段に暗視野光を用いることにより、撮像手段によ
り、試料（工業製品）を撮像する際の、撮像手段へのＳ
／Ｎを向上させ、結果として、微小白欠陥の検出を可能
とするものであり、得られた信号に強調処理、スライス
処理等の信号処理を施すことにより、自動化による微小
白欠陥検出を可能としている。
照明手段に暗視野光を用いることにより、撮像手段によ
り、試料（工業製品）を撮像する際の、撮像手段へのＳ
／Ｎを向上させ、結果として、微小白欠陥の検出を可能
とするものであり、得られた信号に強調処理、スライス
処理等の信号処理を施すことにより、自動化による微小
白欠陥検出を可能としている。
【０００７】
【実施例】本発明の実施例１を以下、図にそって説明す
る。図１は実施例１の検出方法を実施する構成図で、検
査試料としてＬＣＤカラーフイルターを用いた場合で、
ＣＣＤラインセンサにより欠陥を自動検査する装置を示
している。１はＣＣＤラインセンサを用いた撮像カメ
ラ、２はＬＣＤカラーフイルター、３、３ａ、３ｂは光
源、４は画像処理装置である。検査試料のＬＣＤカラー
フイルターは、赤、緑、青に着色された着色パターン部
が、周期的にストライプ状に配列されたもので、予め、
着色パターン部の所定の位置に、所定サイズの白欠陥
を，複数個作製されたテスト用の着色パターンをもった
ものである。試料と撮像カメラ１等の撮像するための装
置、全てを静止しておいた場合には、撮像カメラ１は１
個以上のＣＣＤラインセンサを直線状に配置されてお
り、カラーフイルター２の像が、レンズによりＣＣＤラ
インセンサの受光面に結像されるもので、カラーフイル
ターの一直線上の像のみが撮像されるが、本実施例１
は、撮像カメラ１を直線状のＣＣＤラインセンサと直交
する方向に移動して試料の全面を撮像するようにしてい
る。光源３は撮像カメラ１の視野全体のカラーフイルタ
ーを透過明視野照明しており、光源３ａ、３ｂは撮像カ
メラ１の視野全体のカラーフイルターを透過暗視野照明
している。透過暗視野光が試料の着色部の微細なピンホ
ール部分に照明されると回折光がＣＣＤラインセンサ上
に結像することにより、透過明視野光のみの照明の場合
に比較してＳ／Ｎが向上し、より微細な白欠陥を検出す
ることができた。比較、赤色着色パターンについての結
果を以下の表１にあげる。従来の透過明視野照明の場合
には、ＣＣＤカメラの解像度３０μｍにて、５μｍφ未
満サイズ欠陥検出率０％、５μｍφ〜８μｍφサイズ欠
陥検出率０％、８μｍφサイズ以上で欠陥検出率５０％
に対し、実施例１の透過暗視野照明と透過明視野照明併
用した場合には、５μｍφ未満サイズ欠陥検出率５０
％、５μｍφ〜８μｍφサイズ欠陥検出率９０％、８μ
ｍφサイズ以上で欠陥検出率１００％となり白欠陥検出
率が格段と向上したことが分かる。 尚、１μｍφ以下のサイズの黒欠陥に関しては、、
とも検出はできず、１５μｍφ以上サイズの欠陥に関し
ては、白欠陥、黒欠陥とも暗視野照明を用いた場合と、
用いない場合については、差が見られなかった。赤色以
外のパターン部についても、ほぼこれと同じような結果
を得ることができた。以下に、実施例１とは別の他の検
査方法を以下に挙げる。実施例２を図２を挙げ、概要を
説明する。図２に於いて、１１、１１ａは撮像カメラ、
１２ａ、１２ｂはＬＣＤ用カラーフイルター、１３、１
３ａ、１３ｂは光源、１４は画像処理装置で、撮像カメ
ラ１１、１１ａは実施例１と同様のＣＣＤラインセンサ
を直線的に配列したもので、試料をＣＣＤラインセンサ
と直交する方向に移動して試料全体を撮影するものであ
る。光源１３は、撮像カメラ１１の視野全体のカラーフ
イルターを透過明視野照明しており、撮像カメラ１１か
らの映像信号に画像処理を施し、黒欠陥や大きな白欠陥
を検出する。次いで、光源１３ａ、１３ｂは、撮像カメ
ラ１１ａの視野全体のカラーフイルターを透過暗視野照
明しており、撮像カメラ１１ａからの映像信号に画像処
理を施して、微細な白欠陥を検出する。更に、実施例３
を図３を用いて説明する。ＬＣＤ用カラーフイルター２
２をＣＣＤエリアセンサーを用いた撮像カメラ２１によ
り自動検査する場合で、ＬＣＤ用カラーフイルター２２
の全面または一部を撮像カメラ２１で一度に撮影する。
２３、２３ａは光源、２４は画像処理装置である。光源
２３は、撮像カメラ２１の視野全体のカラーフイルター
部を透過明視野照明しており、光源２３ａはリングフア
イバー光源で、撮像カメラ１の視野全体のカラーフイル
ター部を透過暗視野照明する。
る。図１は実施例１の検出方法を実施する構成図で、検
査試料としてＬＣＤカラーフイルターを用いた場合で、
ＣＣＤラインセンサにより欠陥を自動検査する装置を示
している。１はＣＣＤラインセンサを用いた撮像カメ
ラ、２はＬＣＤカラーフイルター、３、３ａ、３ｂは光
源、４は画像処理装置である。検査試料のＬＣＤカラー
フイルターは、赤、緑、青に着色された着色パターン部
が、周期的にストライプ状に配列されたもので、予め、
着色パターン部の所定の位置に、所定サイズの白欠陥
を，複数個作製されたテスト用の着色パターンをもった
ものである。試料と撮像カメラ１等の撮像するための装
置、全てを静止しておいた場合には、撮像カメラ１は１
個以上のＣＣＤラインセンサを直線状に配置されてお
り、カラーフイルター２の像が、レンズによりＣＣＤラ
インセンサの受光面に結像されるもので、カラーフイル
ターの一直線上の像のみが撮像されるが、本実施例１
は、撮像カメラ１を直線状のＣＣＤラインセンサと直交
する方向に移動して試料の全面を撮像するようにしてい
る。光源３は撮像カメラ１の視野全体のカラーフイルタ
ーを透過明視野照明しており、光源３ａ、３ｂは撮像カ
メラ１の視野全体のカラーフイルターを透過暗視野照明
している。透過暗視野光が試料の着色部の微細なピンホ
ール部分に照明されると回折光がＣＣＤラインセンサ上
に結像することにより、透過明視野光のみの照明の場合
に比較してＳ／Ｎが向上し、より微細な白欠陥を検出す
ることができた。比較、赤色着色パターンについての結
果を以下の表１にあげる。従来の透過明視野照明の場合
には、ＣＣＤカメラの解像度３０μｍにて、５μｍφ未
満サイズ欠陥検出率０％、５μｍφ〜８μｍφサイズ欠
陥検出率０％、８μｍφサイズ以上で欠陥検出率５０％
に対し、実施例１の透過暗視野照明と透過明視野照明併
用した場合には、５μｍφ未満サイズ欠陥検出率５０
％、５μｍφ〜８μｍφサイズ欠陥検出率９０％、８μ
ｍφサイズ以上で欠陥検出率１００％となり白欠陥検出
率が格段と向上したことが分かる。 尚、１μｍφ以下のサイズの黒欠陥に関しては、、
とも検出はできず、１５μｍφ以上サイズの欠陥に関し
ては、白欠陥、黒欠陥とも暗視野照明を用いた場合と、
用いない場合については、差が見られなかった。赤色以
外のパターン部についても、ほぼこれと同じような結果
を得ることができた。以下に、実施例１とは別の他の検
査方法を以下に挙げる。実施例２を図２を挙げ、概要を
説明する。図２に於いて、１１、１１ａは撮像カメラ、
１２ａ、１２ｂはＬＣＤ用カラーフイルター、１３、１
３ａ、１３ｂは光源、１４は画像処理装置で、撮像カメ
ラ１１、１１ａは実施例１と同様のＣＣＤラインセンサ
を直線的に配列したもので、試料をＣＣＤラインセンサ
と直交する方向に移動して試料全体を撮影するものであ
る。光源１３は、撮像カメラ１１の視野全体のカラーフ
イルターを透過明視野照明しており、撮像カメラ１１か
らの映像信号に画像処理を施し、黒欠陥や大きな白欠陥
を検出する。次いで、光源１３ａ、１３ｂは、撮像カメ
ラ１１ａの視野全体のカラーフイルターを透過暗視野照
明しており、撮像カメラ１１ａからの映像信号に画像処
理を施して、微細な白欠陥を検出する。更に、実施例３
を図３を用いて説明する。ＬＣＤ用カラーフイルター２
２をＣＣＤエリアセンサーを用いた撮像カメラ２１によ
り自動検査する場合で、ＬＣＤ用カラーフイルター２２
の全面または一部を撮像カメラ２１で一度に撮影する。
２３、２３ａは光源、２４は画像処理装置である。光源
２３は、撮像カメラ２１の視野全体のカラーフイルター
部を透過明視野照明しており、光源２３ａはリングフア
イバー光源で、撮像カメラ１の視野全体のカラーフイル
ター部を透過暗視野照明する。
【０００８】
【発明の効果】上記のような構成にすることにより、本
発明の欠陥検出方法は、着色周期性パターン領域もしく
は着色略周期性パターン領域を有する試料に対して、自
動化された、高感度の白欠陥検出方法を提供するもの
で、特に、微小な白欠陥の検出に効果的な欠陥検出方法
の提供を可能としている。
発明の欠陥検出方法は、着色周期性パターン領域もしく
は着色略周期性パターン領域を有する試料に対して、自
動化された、高感度の白欠陥検出方法を提供するもの
で、特に、微小な白欠陥の検出に効果的な欠陥検出方法
の提供を可能としている。
【図１】本発明の実施例１の装置概略図
【図２】本発明の実施例２の装置概略図
【図３】本発明の実施例３の装置概略図
【図４】本発明の強調処理を説明するための図
１ 、１１ 、１１ａ、２１ 撮像装置 ２ 、１２ａ、１２ｂ、２２ ＬＣＤカ
ラーフイルター ３ 、１３ 、２３ 明視野光
源 ３ａ 、３ｂ、１３ａ、１３ｂ、２３ａ 暗視野光
源 ４ 、１４、 ２４ 画像処理
装置
ラーフイルター ３ 、１３ 、２３ 明視野光
源 ３ａ 、３ｂ、１３ａ、１３ｂ、２３ａ 暗視野光
源 ４ 、１４、 ２４ 画像処理
装置
Claims (1)
- 【請求項１】 周期性着色パターン領域もしくは略周期
性着色パターン領域を有する試料に透過照明して観察さ
れる白欠陥を、撮像手段によって撮像し、得られた画像
信号に強調処理を施すことにより欠陥を検出する自動検
査方法において、透過照明手段に暗視野光を用いること
を特徴とする着色パターンの欠陥検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26312093A JP3390931B2 (ja) | 1993-09-28 | 1993-09-28 | 着色パターンの欠陥検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26312093A JP3390931B2 (ja) | 1993-09-28 | 1993-09-28 | 着色パターンの欠陥検査方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0798282A true JPH0798282A (ja) | 1995-04-11 |
| JP3390931B2 JP3390931B2 (ja) | 2003-03-31 |
Family
ID=17385107
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26312093A Expired - Lifetime JP3390931B2 (ja) | 1993-09-28 | 1993-09-28 | 着色パターンの欠陥検査方法 |
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Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001023869A1 (de) * | 1999-09-28 | 2001-04-05 | Parsytec Ag | Vorrichtung und verfahren zur oberflächeninspektion eines kontinuierlich zulaufenden bandmaterials |
| JP2006208084A (ja) * | 2005-01-26 | 2006-08-10 | Toppan Printing Co Ltd | 周期性パターンのムラ検査装置 |
| JP2009128131A (ja) * | 2007-11-21 | 2009-06-11 | Kawakami Sangyo Co Ltd | 気泡シート体成形情報検出装置、及び気泡シート体成形情報検出方法 |
| JP2009276165A (ja) * | 2008-05-14 | 2009-11-26 | Panasonic Corp | 基板検査装置 |
| JP2010519515A (ja) * | 2007-02-16 | 2010-06-03 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 自動検査用に材料を照明するための方法及び装置 |
-
1993
- 1993-09-28 JP JP26312093A patent/JP3390931B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| KR101442871B1 (ko) * | 2007-02-16 | 2014-09-19 | 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 컴파니 | 시트 재료 조명 시스템 및 방법 |
| EP2126552A4 (en) * | 2007-02-16 | 2016-04-20 | 3M Innovative Properties Co | METHOD AND APPARATUS FOR LIGHTING MATERIAL FOR AUTOMATED INSPECTION |
| JP2009128131A (ja) * | 2007-11-21 | 2009-06-11 | Kawakami Sangyo Co Ltd | 気泡シート体成形情報検出装置、及び気泡シート体成形情報検出方法 |
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