JPH05238834A - 圧電セラミクスの製造法 - Google Patents
圧電セラミクスの製造法Info
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- JPH05238834A JPH05238834A JP12410391A JP12410391A JPH05238834A JP H05238834 A JPH05238834 A JP H05238834A JP 12410391 A JP12410391 A JP 12410391A JP 12410391 A JP12410391 A JP 12410391A JP H05238834 A JPH05238834 A JP H05238834A
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Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 厚み等の寸法が同一であっても複数の異なる
振動特性を持つ圧電セラミクスの製造法を提供すること
である。 【構成】 異なる特性を持つ圧電セラミクスの素原料を
複数種類取り揃え、調合、混合、仮焼き、粉砕、整流を
行う段階と、整粒された各材料の中１つを成形の型の中
央に置き他の材料を周囲に逐次付着させ成形し、焼成す
る段階と、研磨や切断を行って加工し、電極を取り付け
て分極する段階とから成る。
振動特性を持つ圧電セラミクスの製造法を提供すること
である。 【構成】 異なる特性を持つ圧電セラミクスの素原料を
複数種類取り揃え、調合、混合、仮焼き、粉砕、整流を
行う段階と、整粒された各材料の中１つを成形の型の中
央に置き他の材料を周囲に逐次付着させ成形し、焼成す
る段階と、研磨や切断を行って加工し、電極を取り付け
て分極する段階とから成る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は超音波探触子に用いる圧
電セラミクスの製造法の改良に関する。
電セラミクスの製造法の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＰＺＴのような圧電セラミクスは、従来
１枚の板が同一の材料で構成されており、図６のフロー
チャートに示す工程で製造されていた。
１枚の板が同一の材料で構成されており、図６のフロー
チャートに示す工程で製造されていた。
【０００３】ステップ１ ＰｂＯ，ＴｉＯ2 ，ＺｒＯ2 及び添加剤の素原料を揃え
る。この素原料は焼結性、圧電性を改善するため、通常
Ｐｂ，Ｚｒ，Ｔｉの構成元素の一部をアルカリ土類金属
や遷移元素と置換する目的で金属酸化物を用いている。
る。この素原料は焼結性、圧電性を改善するため、通常
Ｐｂ，Ｚｒ，Ｔｉの構成元素の一部をアルカリ土類金属
や遷移元素と置換する目的で金属酸化物を用いている。
【０００４】ステップ２ ステップ１で取り揃えた素原料をそれぞれの必要量を計
量して調合する。
量して調合する。
【０００５】ステップ３ 調合した素原料を完全に混ざるように混合する。
【０００６】ステップ４ 原料を分解すると共に固相熱化学反応によって固溶体化
するために８００〜１０００℃で仮焼きする。
するために８００〜１０００℃で仮焼きする。
【０００７】ステップ５ 仮焼きしたものを中心粒径２〜３μｍ程度の微粒子に湿
式粉砕する。
式粉砕する。
【０００８】ステップ６ 成形時に粉末と金型との間の摩擦を少なくし、成形品の
強度を増すために、有機質の粘結剤（バインダー）を使
って仮焼粉を顆粒状にする。上記のステップ６までを第
１工程とする。
強度を増すために、有機質の粘結剤（バインダー）を使
って仮焼粉を顆粒状にする。上記のステップ６までを第
１工程とする。
【０００９】ステップ７ 磁器の基本的な形状が与えられる。この成形は主として
乾式成形の方法がとられ、０．５〜３ｔ／cm2 の圧力が
用いられる。以下の工程を第２工程とする。
乾式成形の方法がとられ、０．５〜３ｔ／cm2 の圧力が
用いられる。以下の工程を第２工程とする。
【００１０】ステップ８ 未反応部分の化学反応を完結させると共に磁器化反応を
行なう。１１５０〜１３５０℃の温度で焼くことによ
り、緻密な組成にする。
行なう。１１５０〜１３５０℃の温度で焼くことによ
り、緻密な組成にする。
【００１１】ステップ９ 研磨したり、切断することにより目的の形状にするよう
に加工する。
に加工する。
【００１２】ステップ１０ 本焼きすることにより超音波探触子の特性を出現させ
る。
る。
【００１３】ステップ１１ 加工された探触子に通常ガラスフリットを含む銀ペース
トを焼付けて、７〜１０μｍの電極膜を形成し、電極と
する。
トを焼付けて、７〜１０μｍの電極膜を形成し、電極と
する。
【００１４】ステップ１２ ２〜５kV／mmの直流電圧を掛けて探触子に高電界を印加
し、等方性微結晶の方向を特定方向に揃え圧電性を与え
る。
し、等方性微結晶の方向を特定方向に揃え圧電性を与え
る。
【００１５】ステップ１３ 製作された探触子をエージングする。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】上記のように製造され
た圧電セラミクスは１枚の板が同一の材料によって構成
されており、部分的な使用特性の変化を与えるためには
厚み等の機械的寸法を変化させることによらなければな
らなかった。しかし、機械的寸法を部分的に変化させる
ことは、後工程を含め、極めて煩雑な作業に成りがちで
あるばかりでなく、製造上困難であった。
た圧電セラミクスは１枚の板が同一の材料によって構成
されており、部分的な使用特性の変化を与えるためには
厚み等の機械的寸法を変化させることによらなければな
らなかった。しかし、機械的寸法を部分的に変化させる
ことは、後工程を含め、極めて煩雑な作業に成りがちで
あるばかりでなく、製造上困難であった。
【００１７】本発明は上記の点に鑑みてなされたもの
で、その目的は、圧電セラミクスを構成する材料を部分
的に異ならせることにより、厚み等の寸法が同一であっ
ても複数の異なる振動特性を持つ圧電セラミクスを製造
することのできる圧電セラミクスの製造法を提供するこ
とである。
で、その目的は、圧電セラミクスを構成する材料を部分
的に異ならせることにより、厚み等の寸法が同一であっ
ても複数の異なる振動特性を持つ圧電セラミクスを製造
することのできる圧電セラミクスの製造法を提供するこ
とである。
【００１８】
【課題を解決するための手段】前記の課題を解決する本
発明は、異なる特性を持つ圧電セラミクスの素原料を複
数種類取り揃え、それぞれ別個に調合、混合、仮焼き、
粉砕、整粒を行う段階と、整粒された各材料の中１つを
成形の型の中央に置き、他の種類の材料をその周囲に逐
次付着させて高圧力を加え、高温を掛けて焼成する段階
と、研磨や切断を行って目標形状に加工し、電極を取り
付けた後分極する段階とから成り、部分的に異なる材料
定数を有する圧電セラミクスを得ることを特徴とするも
のである。
発明は、異なる特性を持つ圧電セラミクスの素原料を複
数種類取り揃え、それぞれ別個に調合、混合、仮焼き、
粉砕、整粒を行う段階と、整粒された各材料の中１つを
成形の型の中央に置き、他の種類の材料をその周囲に逐
次付着させて高圧力を加え、高温を掛けて焼成する段階
と、研磨や切断を行って目標形状に加工し、電極を取り
付けた後分極する段階とから成り、部分的に異なる材料
定数を有する圧電セラミクスを得ることを特徴とするも
のである。
【００１９】
【作用】異なる特性を持つ圧電セラミクスの素原料を複
数種類取り揃え、調合から整粒までの通常の工程を別個
に行い、成形の型の中央に整粒された材料の中の１つを
置き、他の種類のものを周囲に付着させて成形し、通常
の工程でエージングまでを行って、複数の特性の異なる
圧電セラミクスの層を作る。
数種類取り揃え、調合から整粒までの通常の工程を別個
に行い、成形の型の中央に整粒された材料の中の１つを
置き、他の種類のものを周囲に付着させて成形し、通常
の工程でエージングまでを行って、複数の特性の異なる
圧電セラミクスの層を作る。
【００２０】
【実施例】以下、図面を参照して、本発明の方法を説明
する。
する。
【００２１】図１は本発明の方法の工程を示すフローチ
ャート、図３は本発明の方法によって製作される圧電セ
ラミクスの外観斜視図である。
ャート、図３は本発明の方法によって製作される圧電セ
ラミクスの外観斜視図である。
【００２２】先ず、図３の圧電セラミクスの構造を説明
する。１はＡ材料で構成されたＰＺＴ−Ａ、２はＡ材料
ＰＺＴ−Ａ１の周囲に作られたＢ材料ＰＺＴ−Ｂであ
る。３はＡ材料ＰＺＴ−Ａ１とＢ材料ＰＺＴ−Ｂ２とで
作られた圧電セラミクスである。
する。１はＡ材料で構成されたＰＺＴ−Ａ、２はＡ材料
ＰＺＴ−Ａ１の周囲に作られたＢ材料ＰＺＴ−Ｂであ
る。３はＡ材料ＰＺＴ−Ａ１とＢ材料ＰＺＴ−Ｂ２とで
作られた圧電セラミクスである。
【００２３】この圧電セラミクス３の製法を図１のフロ
ーチャートを用いて説明する。
ーチャートを用いて説明する。
【００２４】ステップ１ 高い周波数定数を有する素原料Ａを取り揃える。
【００２５】ステップ２ 図６のフローチャートにおける第１工程の作業を実施す
る。
る。
【００２６】ステップ３ 低い周波数定数を有する素原料Ｂを取り揃える。
【００２７】ステップ４ 図６のフローチャートにおける第１工程の作業を行う。
【００２８】ステップ５ 図２に示す成形の型により成形する。図において、図３
と同等の部分には同一の符号を付してある。図中、４は
本実施例の圧電セラミクスを成形するための成形の型で
ある。先ず、成形の型４の中央に顆粒状に整粒したＡ材
料１を置き、その周囲に顆粒状に整粒したＢ材料２を詰
める。その後、０．５〜３ｔ／cm2 の圧力を掛けて成形
する。図３は上記のようにして成形したインゴットであ
る。
と同等の部分には同一の符号を付してある。図中、４は
本実施例の圧電セラミクスを成形するための成形の型で
ある。先ず、成形の型４の中央に顆粒状に整粒したＡ材
料１を置き、その周囲に顆粒状に整粒したＢ材料２を詰
める。その後、０．５〜３ｔ／cm2 の圧力を掛けて成形
する。図３は上記のようにして成形したインゴットであ
る。
【００２９】ステップ６ 図６のフローチャートにおける第２工程の作業を行い、
所定の寸法、厚みにスライスして焼結し、研磨し、エー
ジング等の処理をする。
所定の寸法、厚みにスライスして焼結し、研磨し、エー
ジング等の処理をする。
【００３０】上記のようにして作られた圧電セラミクス
は図４に示すような形状となる。図において、図３と同
等の部分には同一の符号を付してある。圧電セラミクス
３はＡ材料１を中心にしてＢ材料２で挾んだ形状をして
いる。そして、この圧電セラミクス３は図のように切断
されて素子５を形成している。６は圧電セラミクス３の
各素子５を超音波探触子として用いる超音波診断装置で
ある。このように構成された圧電セラミクラ３において
Ａ材料１とＢ材料２の厚み方向の周波数定数をＮA ，Ｎ
B とし、ＮA ＝２ＮB とすることにより、同一の厚みに
対して両者の共振周波数がＢ材料２に対してＡ材料１は
周波数が２倍の共振周波数を得ることができるようにな
る。このことから、図示の圧電セラミクス３を用いて超
音波探触子を製造し、超音波診断装置に図示のように接
続することにより、周波数の切り替えを同一の探触子で
行うことができる。
は図４に示すような形状となる。図において、図３と同
等の部分には同一の符号を付してある。圧電セラミクス
３はＡ材料１を中心にしてＢ材料２で挾んだ形状をして
いる。そして、この圧電セラミクス３は図のように切断
されて素子５を形成している。６は圧電セラミクス３の
各素子５を超音波探触子として用いる超音波診断装置で
ある。このように構成された圧電セラミクラ３において
Ａ材料１とＢ材料２の厚み方向の周波数定数をＮA ，Ｎ
B とし、ＮA ＝２ＮB とすることにより、同一の厚みに
対して両者の共振周波数がＢ材料２に対してＡ材料１は
周波数が２倍の共振周波数を得ることができるようにな
る。このことから、図示の圧電セラミクス３を用いて超
音波探触子を製造し、超音波診断装置に図示のように接
続することにより、周波数の切り替えを同一の探触子で
行うことができる。
【００３１】Ａ材料１とＢ材料２とを周波数特性の異な
る材料を用いるのではなく、圧電特性を変化させておけ
ば、図５に示すように、１つのエレメント内で厚み方向
に超音波発生時又は受波時に重み付けをすることが可能
で、このようにすれば超音波の音線を集中して細いビー
ムを作る場合により細いビームを得ることができる。
る材料を用いるのではなく、圧電特性を変化させておけ
ば、図５に示すように、１つのエレメント内で厚み方向
に超音波発生時又は受波時に重み付けをすることが可能
で、このようにすれば超音波の音線を集中して細いビー
ムを作る場合により細いビームを得ることができる。
【００３２】尚、本発明は実施例に示したように構成す
る素材をＡ材料とＢ材料の２種類に限定する必要はな
く、更に多くの種類の材料を用いて多層化すれば、更に
その用途を拡大することができる。その製法は中央にＣ
材料、その周囲にＤ材料、更にその周囲にＥ材料と逐次
各材料を配置して作る。この多層化の作業は同一作業の
繰り返しであって、技術的に困難な問題点はない。
る素材をＡ材料とＢ材料の２種類に限定する必要はな
く、更に多くの種類の材料を用いて多層化すれば、更に
その用途を拡大することができる。その製法は中央にＣ
材料、その周囲にＤ材料、更にその周囲にＥ材料と逐次
各材料を配置して作る。この多層化の作業は同一作業の
繰り返しであって、技術的に困難な問題点はない。
【００３３】
【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明によれ
ば、圧電セラミクスを構成する材料を部分的に異ならせ
ることにより、厚み等の寸法を部分的に変更することな
く同一寸法の圧電セラミクスによっても複数の異なる振
動特性を持った圧電セラミクスの製造法を実現すること
ができて、実用上の効果は大きい。
ば、圧電セラミクスを構成する材料を部分的に異ならせ
ることにより、厚み等の寸法を部分的に変更することな
く同一寸法の圧電セラミクスによっても複数の異なる振
動特性を持った圧電セラミクスの製造法を実現すること
ができて、実用上の効果は大きい。
【図１】本発明の一実施例の製造法のフローチャートで
ある。
ある。
【図２】本発明の実施例の製造法の成形の型の図であ
る。
る。
【図３】本発明の実施例によって製造されたインゴット
の図である。
の図である。
【図４】本発明の実施例の製造法によって製造された圧
電セラミクスと、超音波診断装置への接続状態を示す図
である。
電セラミクスと、超音波診断装置への接続状態を示す図
である。
【図５】本発明の実施例の製造法によって製造された他
の構成の圧電セラミクスの図である。
の構成の圧電セラミクスの図である。
【図６】従来の圧電セラミクスの製造法のフローチャー
トである。
トである。
１ Ａ材料 ２ Ｂ材料 ３ 圧電セラミクス ４ 成形の型 ５ 素子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 41/24
Claims (1)
- 【請求項１】 異なる特性を持つ圧電セラミクスの素原
料を複数種類取り揃え、それぞれ別個に調合、混合、仮
焼き、粉砕、整粒を行う段階と、 整粒された各材料の中１つを成形の型（４）の中央に置
き、他の種類の材料をその周囲に逐次付着させて高圧力
を加え、高温を掛けて焼成する段階と、 研磨や切断を行って目標形状に加工し、電極を取り付け
た後分極する段階とから成り、 部分的に異なる材料定数を有する圧電セラミクスを得る
ことを特徴とする圧電セラミクスの製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12410391A JP3028250B2 (ja) | 1991-05-29 | 1991-05-29 | 圧電セラミクスの製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12410391A JP3028250B2 (ja) | 1991-05-29 | 1991-05-29 | 圧電セラミクスの製造法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05238834A true JPH05238834A (ja) | 1993-09-17 |
| JP3028250B2 JP3028250B2 (ja) | 2000-04-04 |
Family
ID=14877001
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12410391A Expired - Lifetime JP3028250B2 (ja) | 1991-05-29 | 1991-05-29 | 圧電セラミクスの製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3028250B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111945793A (zh) * | 2020-07-09 | 2020-11-17 | 青海大学 | 一种新型的基于非均匀层和波阻板隔振屏障的构建方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR200491897Y1 (ko) * | 2018-03-05 | 2020-06-25 | 이성엽 | 물품 진열장치 |
-
1991
- 1991-05-29 JP JP12410391A patent/JP3028250B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111945793A (zh) * | 2020-07-09 | 2020-11-17 | 青海大学 | 一种新型的基于非均匀层和波阻板隔振屏障的构建方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3028250B2 (ja) | 2000-04-04 |
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Legal Events
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