JPH05238764A - ガラス膜付き基板の製造方法 - Google Patents
ガラス膜付き基板の製造方法Info
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- JPH05238764A JPH05238764A JP3642392A JP3642392A JPH05238764A JP H05238764 A JPH05238764 A JP H05238764A JP 3642392 A JP3642392 A JP 3642392A JP 3642392 A JP3642392 A JP 3642392A JP H05238764 A JPH05238764 A JP H05238764A
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- JP
- Japan
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- glass
- film
- glass fine
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- Pending
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
- C04B41/50—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials
- C04B41/5022—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials with vitreous materials
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B19/00—Other methods of shaping glass
- C03B19/12—Other methods of shaping glass by liquid-phase reaction processes
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B19/00—Other methods of shaping glass
- C03B19/14—Other methods of shaping glass by gas- or vapour- phase reaction processes
- C03B19/1453—Thermal after-treatment of the shaped article, e.g. dehydrating, consolidating, sintering
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明の目的は基板上にのせたガラス微粒子
層を透明ガラス化する際に、基板の変形（ソリ）を１μ
ｍ以下にすることができるガラス膜付き基板の製造方法
を提供することにある。 【構成】 本発明は基板上に、火炎加水分解反応あるい
は金属アルコキシド溶液を加水分解、縮合反応させて生
成したガラス微粒子の層を均一に形成すると共に、該基
板を耐熱基台上に載置して、これらを電気炉内にいれ、
上記ガラス微粒子層を電気炉で焼結して透明ガラス化す
るガラス膜付き基板の製造方法において、上記耐熱基台
と基板の間に、二酸化ケイ素の微粉末を介在させて基板
上のガラス微粒子層を透明ガラス化するまで加熱するこ
とを特徴としている。
層を透明ガラス化する際に、基板の変形（ソリ）を１μ
ｍ以下にすることができるガラス膜付き基板の製造方法
を提供することにある。 【構成】 本発明は基板上に、火炎加水分解反応あるい
は金属アルコキシド溶液を加水分解、縮合反応させて生
成したガラス微粒子の層を均一に形成すると共に、該基
板を耐熱基台上に載置して、これらを電気炉内にいれ、
上記ガラス微粒子層を電気炉で焼結して透明ガラス化す
るガラス膜付き基板の製造方法において、上記耐熱基台
と基板の間に、二酸化ケイ素の微粉末を介在させて基板
上のガラス微粒子層を透明ガラス化するまで加熱するこ
とを特徴としている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はガラス導波路等のガラス
膜付き基板の製造方法に関するものである。
膜付き基板の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】基板上に透明なガラス膜を形成する方法
としては従来、火炎加水分解反応あるいは金属アルコキ
シドを加水分解と縮合反応により生成したガラス微粒子
層を基板上に形成し、高温加熱処理する方法がある。
としては従来、火炎加水分解反応あるいは金属アルコキ
シドを加水分解と縮合反応により生成したガラス微粒子
層を基板上に形成し、高温加熱処理する方法がある。
【０００３】この場合の加熱処理の温度は、基板上に生
成したガラス微粒子層が透明になる温度であり、基板上
に生成したガラス微粒子層の組成によって大きく異な
る。
成したガラス微粒子層が透明になる温度であり、基板上
に生成したガラス微粒子層の組成によって大きく異な
る。
【０００４】図２は基板上にのせたガラス微粒子層を透
明ガラス化する従来の方法を示したものである。この方
法は、先ず、ガラス微粒子層ａがのった基板ｂを基台ｃ
上に載せ、これらを電気炉ｄ内にセットする。次に、基
板ｂ上に生成したガラス微粒子層が透明になる温度まで
電気炉ｄを昇温することで、基板ｂ上に生成したガラス
微粒子層を透明なガラス膜とするものである。
明ガラス化する従来の方法を示したものである。この方
法は、先ず、ガラス微粒子層ａがのった基板ｂを基台ｃ
上に載せ、これらを電気炉ｄ内にセットする。次に、基
板ｂ上に生成したガラス微粒子層が透明になる温度まで
電気炉ｄを昇温することで、基板ｂ上に生成したガラス
微粒子層を透明なガラス膜とするものである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、この従来方
法では基板ｂを高温加熱処理すると基板ｂが図３に示す
ような変形（ソリ）を起こしてしまうといった欠点があ
った。すなわち、この基板ｂの変形は基板ｂを置く基台
ｃの表面の平滑性に大きく依存し、特に基板ｂを置く基
台ｃの使用回数が多くなるほど基板ｂの変形は大きくな
る。例えば、材質が石英ガラスで３インチ厚さ１ｍｍの
基板ｂを１３００℃で加熱処理した場合、基板ｂの変形
量（ソリ）は１０μｍとなり、また加熱処理の温度を１
４００℃に上昇させると基板ｂの変形量は３０μｍとな
ってしまい、その変形量は温度を上昇させるにつれ、大
きくなるものであった。
法では基板ｂを高温加熱処理すると基板ｂが図３に示す
ような変形（ソリ）を起こしてしまうといった欠点があ
った。すなわち、この基板ｂの変形は基板ｂを置く基台
ｃの表面の平滑性に大きく依存し、特に基板ｂを置く基
台ｃの使用回数が多くなるほど基板ｂの変形は大きくな
る。例えば、材質が石英ガラスで３インチ厚さ１ｍｍの
基板ｂを１３００℃で加熱処理した場合、基板ｂの変形
量（ソリ）は１０μｍとなり、また加熱処理の温度を１
４００℃に上昇させると基板ｂの変形量は３０μｍとな
ってしまい、その変形量は温度を上昇させるにつれ、大
きくなるものであった。
【０００６】そこで、本発明は上記の問題点を有効に解
決するために案出されたものであり、その目的は基板上
にのせたガラス微粒子層を透明ガラス化する際に、基板
の変形（ソリ）を１μｍ以下にすることを達成したガラ
ス膜付き基板の製造方法を提供することにある。
決するために案出されたものであり、その目的は基板上
にのせたガラス微粒子層を透明ガラス化する際に、基板
の変形（ソリ）を１μｍ以下にすることを達成したガラ
ス膜付き基板の製造方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、基板上に、火炎加水分解反応あるいは金属
アルコキシド溶液を加水分解、縮合反応させて生成した
ガラス微粒子の層を形成し、該基板を耐熱基台上に載置
して加熱し、透明ガラス化するガラス膜付き基板の製造
方法において、上記耐熱基台と上記基板との間に、二酸
化ケイ素の微粉末を介在させて基板上のガラス微粒子の
層を透明ガラス化するまで加熱するものである。
に本発明は、基板上に、火炎加水分解反応あるいは金属
アルコキシド溶液を加水分解、縮合反応させて生成した
ガラス微粒子の層を形成し、該基板を耐熱基台上に載置
して加熱し、透明ガラス化するガラス膜付き基板の製造
方法において、上記耐熱基台と上記基板との間に、二酸
化ケイ素の微粉末を介在させて基板上のガラス微粒子の
層を透明ガラス化するまで加熱するものである。
【０００８】この基板としては純粋石英ガラス、石英子
系ガラスまたはシリコン、インジリウムリン等が使用可
能である。
系ガラスまたはシリコン、インジリウムリン等が使用可
能である。
【０００９】
【作用】本発明は以上のような発明方法であるため、加
熱処理温度が非常に高くても、基板の変形が１μｍ以下
と極めて少なく、しかも基板上に密着した透明ガラス膜
を簡単に得ることができる。
熱処理温度が非常に高くても、基板の変形が１μｍ以下
と極めて少なく、しかも基板上に密着した透明ガラス膜
を簡単に得ることができる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の好適一実施例を添付図面に基
づいて詳述する。
づいて詳述する。
【００１１】図１は本発明の一実施例を示したものであ
る。
る。
【００１２】先ず、耐熱性の基台２上に成分が二酸化ケ
イ素（ＳｉＯ2 ）であるガラス微粉末３を厚さ２〜３ｍ
ｍ程度になるように均等に敷きつめる。次に、火炎加水
分解反応あるいは金属アルコキシド溶液を加水分解、縮
合反応させて生成したガラス微粒子層４を均一な厚さに
形成した石英ガラス基板（３インチ、１ｍｍ）５を、上
記ガラス微粉末３上に載置する。そして、この基台２を
電気炉１の中へ入れ、この石英ガラス基板５を１３００
℃に加熱して焼結し、その上面に形成されたガラス微粒
子層４を透明ガラス化し、石英ガラス基板５上に透明な
ガラス膜を形成した。
イ素（ＳｉＯ2 ）であるガラス微粉末３を厚さ２〜３ｍ
ｍ程度になるように均等に敷きつめる。次に、火炎加水
分解反応あるいは金属アルコキシド溶液を加水分解、縮
合反応させて生成したガラス微粒子層４を均一な厚さに
形成した石英ガラス基板（３インチ、１ｍｍ）５を、上
記ガラス微粉末３上に載置する。そして、この基台２を
電気炉１の中へ入れ、この石英ガラス基板５を１３００
℃に加熱して焼結し、その上面に形成されたガラス微粒
子層４を透明ガラス化し、石英ガラス基板５上に透明な
ガラス膜を形成した。
【００１３】そして、焼結工程が終了した後、この石英
ガラス基板５の変形量を測定したところ、その変形量は
０．５μｍ以下であった。
ガラス基板５の変形量を測定したところ、その変形量は
０．５μｍ以下であった。
【００１４】また、上記と同様な方法で、焼結温度を１
４００℃にしたところ、同じく石英ガラス基板５の変形
量は１μｍ以下であった。
４００℃にしたところ、同じく石英ガラス基板５の変形
量は１μｍ以下であった。
【００１５】
【発明の効果】以上要するに本発明によれば、加熱処理
温度が非常に高くても、基板の変形が１μｍ以下と極め
て少なく、しかも基板上に密着した透明ガラス膜を簡単
に得ることができるといった優れた効果を有する。
温度が非常に高くても、基板の変形が１μｍ以下と極め
て少なく、しかも基板上に密着した透明ガラス膜を簡単
に得ることができるといった優れた効果を有する。
【図１】本発明の一実施例を示す概略図である。
【図２】従来のガラス微粒子をのせた基板の焼結方法で
ある。
ある。
【図３】基板の変形量を示す断面図である。
１ 電気炉 ２ 基台 ３ 微粉末 ４ ガラス微粒子層 ５ 基板
Claims (1)
- 【請求項１】 基板上に、火炎加水分解反応あるいは金
属アルコキシド溶液を加水分解、縮合反応させて生成し
たガラス微粒子の層を形成した後、該基板を耐熱基台上
に載置して加熱し、上記ガラス微粒子の層を透明ガラス
化するガラス膜付き基板の製造方法において、上記耐熱
基台と上記基板との間に、二酸化ケイ素の微粉末を介在
させて上記基板上のガラス微粒子の層を透明ガラス化す
るまで加熱することを特徴とするガラス膜付き基板の製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3642392A JPH05238764A (ja) | 1992-02-24 | 1992-02-24 | ガラス膜付き基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3642392A JPH05238764A (ja) | 1992-02-24 | 1992-02-24 | ガラス膜付き基板の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05238764A true JPH05238764A (ja) | 1993-09-17 |
Family
ID=12469419
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3642392A Pending JPH05238764A (ja) | 1992-02-24 | 1992-02-24 | ガラス膜付き基板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05238764A (ja) |
-
1992
- 1992-02-24 JP JP3642392A patent/JPH05238764A/ja active Pending
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