JPH0523290Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 この考案は、半導体製造の工程において円柱状
のインゴツトの末端から薄いウエハを切断する際
に使用されるスライシング装置のインゴツト末端
部の支持装置に関するものである。

〈従来技術及びその問題点〉 スライシング装置においては、円柱状のインゴ
ツトを上端において接着剤等により該装置の保持
機構で保持し、その末端部を高速回転するブレー
ドの内円周刃に押し付けながら薄円盤のウエハに
切断する方式がある。そこで片持ちに支持された
インゴツトは切断の抵抗を受けて、上端の保持部
に撓み力を受け、上記刃から後退する方向に逃げ
ようとする。この撓み力は切断の当初は小さく、
次第に大きくなり、切断終了付近で再び小さくな
る傾向を持つているので、切断面もこれにしたが
つて真平面からずれて曲面になりやすい問題があ
る。そこでこれを防止するため、インゴツトの末
端部、即ち刃に近い部分を固定することが考えら
れている。実公昭54−1961号、実公昭50−1310号
等はこの技術に関するもので、前者は円筒ホルダ
の内側先端にインゴツトを真空吸着する構成を設
けてインゴツト末端部を固定し、後者は保持台に
添わせたインゴツトの末端部を更に該保持台側に
圧接する構成を設けて固定するようにしたもので
ある。しかしこれらの構成は何れも部分的に積極
的な負荷をかけて固定するものであるため、上記
切削抵抗と同様にインゴツトの上端の保持面にも
該負荷が影響してその接着面を剥離させる力が加
わることになる。従つてこのようなことが発生し
ないためには上下端の保持固定部とホルダ並びに
インゴツト外周等の真直度、平行度等を正確に作
り且つ正確にセツトする必要があり、それだけ作
業が面倒で煩雑なものであつた。

〈問題点の解決手段〉 以上のような問題点により本考案がなされたも
ので、第１図にスライシング装置の概要を示して
おり、上面の開いた回転体１に内周刃ブレード２
を張り、その中央孔にインゴツト３を立てて配
し、ブレード２を高速回転状態にしてインゴツト
３を右方向に押し付けてインゴツト３の末端部を
薄いウエハに切断する。このときインゴツト３は
上端において保持され、インゴツトの上下移動及
び左右移動により切断するものである。ここで上
下移動はウエハを一枚ずつ切断するためのピツチ
送りであり、そのために従来知られているような
移動機構４を有する。また左右方向移動はインゴ
ツトに刃を押し付けたり後退させたりするための
送りであり、上記移動機構４を有する機構５とし
ている。

本考案においては、回転されることにより円柱
状のインゴツトを円板状ウエハに切断する内周刃
と、インゴツトの軸線と直交するインゴツト切断
方向にインゴツトを移動させる第１の移動機構
と、第１の移動機構に支持され、インゴツトの上
端部を保持してインゴツトをインゴツトの軸線方
向に移動させる第２の移動機構と、第１の移動機
構に固着された基台と、この基台とでインゴツト
の下端部を囲むように四辺形に形成された３本の
バー部材と、３本のバー部材のうちの内周刃切込
側の反対側の辺のバー部材に設けられたインゴツ
ト当接支持部と、インゴツト当接支持部が形成さ
れたバー部材と隣接するバー部材の一方に設けら
れた伸縮機構と、から成り、前記伸縮機構はイン
ゴツトの軸線方向送り時には伸び作動してインゴ
ツト当接支持部をインゴツトから離すと共に、イ
ンゴツトの切断時には縮み作動してインゴツトの
切込側の反対側をインゴツト当接支持部で支持す
ることを特徴としている。

〈実施例〉 以下具体的な実施構成例を説明する。

第２図において、垂直に位置する移動機構５に
対して上下位置調整可能にバー基台１０を取り付
ける。そしてインゴツト３を内側に囲んで、バー
基台１０から径方向に突き出した第１バー１１、
第２バー１２とこの両バー１１，１２の先端部を
接続する第３バー１３をもつて四角形状の枠を形
成する。ここでバー基台１０と第２バー１２の間
には支点１４、第１バー１１と第３バー１３の間
には支点１５を設けて回動可能とする。また、バ
ー基台１０と第１バー１１の間及び第２バー１２
と第３バー１３の間の連結部は、インゴツト３の
径に応じて調整可能のスライド機構とする。

そして第２バー１２は二つに分けて、その間に
ロツクシリンダ１６を介在させる。また第３バー
１３はインゴツト３の切断方向の反対側から接触
支持して切断抵抗によるインゴツトの逃げを防ぐ
もので、その内側にはインゴツト３に添設してス
ライスベース３ａとの接触部１７を設ける。

上記のロツクシリンダ１６は各種の形式のもの
が提供されているが、例えば加圧空気の制御によ
つてシリンダ内のピストンを移動させ、希望する
位置でピストンをシリンダに対してロツク（クラ
ンプ）するような機構である。

従つてその動作は、図示しない空気供給孔から
加圧空気を入れると、内部のピストンが移動して
例えば第２バー１２の一方を構成するピストンロ
ツドを押し出すように作用する。そうすると四つ
のバーで作る枠は、第２バー１２が伸びて第３バ
ー１３は支点１５を中心とした時計回りに回動し
て、接触部１７がインゴツト３（スライスベース
３ａ）との間隔を開く。次に送気を止めて適宜動
作させると、ピストンが復帰方向に移動して、接
触部１７がインゴツト３（スライスベース３ａ）
に接触する。これを検知して内部のロツク機構を
動作させれば第２バー１２は一体に位置決めロツ
クされ、接触部１７はインゴツトに接触した状態
で停止する。そこでこの状態においてインゴツト
を刃の方向に移動させれば、インゴツトは上下端
部において固定されて切断される。

そして一枚のウエハの切断が完了したところで
ロツクシリンダのロツク状態を解除し、前述と同
様の動作で接触部１７をインゴツト３がら離し、
インゴツトを１ピツチ下降させて次の切断に移
る。尚、このシリンダ動作はウエハ切断完了の信
号によつて自動制御する機構とすればよい。

〈本案の効果〉 以上説明したように、本考案に係るスライシン
グ装置によれば、インゴツトの切断時に伸縮機構
を縮み作動させてインゴツトの切込側の反対側に
インゴツト当接支持部を当接支持したので、イン
ゴツト当接支持部からの負荷をインゴツトにかけ
ないでインゴツトを同じ姿勢を保持した状態で切
断することができる。

従つて、本願考案は、インゴツトの保持状態
（真直度等）について格別の注意を要するもとな
くインゴツトの下端部を支持できるので、作業性
の良いスライシング装置を提供できる。

また、本考案によれば、インゴツトの軸線方向
送り時に、伸縮機構を伸び作動させてインゴツト
当接支持部をインゴツトから離すようにしたの
で、インゴツトをインゴツト当接支持部からの抵
抗を受けないで送ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の概要を示す説明図、第２図は
本考案の具体的構成を示す要部平面図である。 ２……ブレード、３……インゴツト、４……上
下移動機構（インゴツト保持機構）５……左右移
動機構（インゴツト保持機構）、７……インゴツ
ト支持装置、１０，１１，１２，１３……バー部
材、１６……ロツクシリンダ、１７……接触部。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 回転されることにより円柱状のインゴツトを円
   板状ウエハに切断する内周刃と、 インゴツトの軸線と直交するインゴツト切断方
   向にインゴツトを移動させる第１の移動機構と、 第１の移動機構に支持され、インゴツトの上端
   部を保持してインゴツトをインゴツトの軸線方向
   に移動させる第２の移動機構と、 第１の移動機構に固着された基台と、 この基台とでインゴツトの下端部を囲むように
   四辺形に形成された３本のバー部材と、 ３本のバー部材のうちの内周刃切込側の反対側
   の辺のバー部材に設けられたインゴツト当接支持
   部と、 インゴツト当接支持部が形成されたバー部材と
   隣接するバー部材の一方に設けられた伸縮機構
   と、 から成り、前記伸縮機構はインゴツトの軸線方向
   送り時には伸び作動してインゴツト当接支持部を
   インゴツトから離すと共に、インゴツトの切断時
   には縮み作動してインゴツトの切込側の反対側を
   インゴツト当接支持部で支持することを特徴とす
   るスライシング装置。