JPH05229852A - 低放射率フィルムを備えたガラス基材を含む製品 - Google Patents

低放射率フィルムを備えたガラス基材を含む製品

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JPH05229852A
JPH05229852A JP4314759A JP31475992A JPH05229852A JP H05229852 A JPH05229852 A JP H05229852A JP 4314759 A JP4314759 A JP 4314759A JP 31475992 A JP31475992 A JP 31475992A JP H05229852 A JPH05229852 A JP H05229852A
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coating
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film
functional film
oxide
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JP4314759A
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Georges Zagdoun
ザグドゥー ジョルジュ
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Saint Gobain Vitrage International SA
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 金属酸化物を基礎材料とする低放射率フィル
ムを備え、反射光の着色の準中性、太陽エネルギー率の
向上等を可能にするガラス基材を含む製品を提供する。 【構成】 本発明の製品では、ガラス基材は、金属酸化
物を基礎材料とする機能性フィルムを備え、その上に光
学的厚さが可視域の平均波長のおよそ四分の一の外側コ
ーティングが付着していて、更にガラス基材と機能性フ
ィルムとの間に、光学的厚さが50〜100nmの中間
コーティングが配置される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、金属酸化物の薄膜、よ
り具体的に言えば低放射率、低抵抗率、及び透明性とい
う諸性質を有するものを支持しているガラス基材を含ん
でなる製品に関する。
【0002】本発明はまた、特に金属誘導体からの熱分
解の技術を使ってあるいは真空を利用して、上記の製品
を製造する方法にも関し、またそのような製品の応用に
も関する。
【0003】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】この種
の製品は、実際のところ、その応用の点で、もっと具体
的に言えば建物の建設の分野において、大変に関心を寄
せられるものであって、部屋の窓ガラスを形成するため
に用いられる低放射率のフィルムで覆われたガラス基材
は、外側に向いた部屋からその窓ガラスを通して放射さ
れる遠赤外線を減少させるのを可能にする。これは、一
部分はこの放射線が窓ガラスを通って外へ逃げることに
由来するエネルギーの損失を減少させることによって、
居住者のとりわけ冬季における快適さを向上させるのを
可能にする。それは有利には、低放射率のフィルムが外
側の面から数えて三番目の面にくるように気体の層を介
してもう一つの透明基材と組み合わされて、効果的に断
熱二重窓ガラスを形成する。
【0004】とは言うものの、この製品を、フィルムの
低放射率と組み合わされたフィルムの低抵抗率のため
に、例えば、とりわけ自動車の加熱フロントガラス又は
後部窓ガラスのように電気バスバーを設けて加熱窓ガラ
スを形成するために使用することも可能である。
【0005】同様に、この製品をオプトエレクトロニク
装置で、特に透明電極として、使用しても良い。
【0006】これらの特性を有する金属酸化物フィルム
は、例えば、スズをドープした酸化インジウム(IT
O)のフィルム、あるいはアルミニウムをドープした酸
化亜鉛(ZnO:Al)、インジウムをドープした酸化
亜鉛(ZnO:In)、スズをドープした酸化亜鉛(Z
nO:Sn)、もしくはフッ素をドープした酸化亜鉛
(ZnO:F)のフィルム、又はフッ素をドープした酸
化スズ(SnO2 :F)のフィルムである。
【0007】これらの金属酸化物フィルムは、いろいろ
な方法で得ることができ、すなわち真空下でのプロセス
(熱蒸着、任意的にマグネトロンに支援されての、陰極
スパッタリング)により、あるいは軟化温度よりは低い
高温に加熱されたガラス基材の表面へキャリヤガスによ
り液体、固体もしくは気体の形態で供給された有機金属
化合物の熱分解により得ることができる。これらの化合
物は、このように高温表面と接触すると酸化により分解
して、その表面上に金属酸化物フィルムを形成する。こ
の後者の技術は、フロートガラス式の生産ラインからの
帯状ガラスの上に連続法で直接付着させるのを可能にす
るので、より特別に有利である。
【0008】しかしながら、この種の機能性フィルムが
ガラス基材に放射率及び/又は表面抵抗の点から申し分
のない性能を与えるためには、それが十分な厚さ、通常
は少なくとも180〜200nmから最高で400nm
までの厚さ、を有することが必要である。ガラス基材の
屈折率とは実質的に相違する屈折率を伴うこの無視でき
ない厚さは、美観上及び/又はエネルギー上の問題が存
在しかねない一定の光度特性を有する製品を与える。
【0009】実際のところ、インジウムをドープした酸
化スズITOあるいはフッ素をドープした酸化スズSn
2 :Fのおよそ180nmのフィルムは、反射光が明
らかに青色であるのに対し、それらは厚さがおよそ36
0nmになるともっと緑色になる。
【0010】この後者の場合、例えば、厚さ4mmの透
明ガラス基材上に付着したSnO2:Fのフィルムは、
「フィルム側」の光反射率を10%より高く、実際のと
ころ15%より高くし、そしてこの10〜15%を超え
ることがある反射に関連した色の純度を与え、このこと
は基材の「フィルム側」(すなわち一般には建物に取付
けられる二重窓ガラスの面3にある側であり、従って屋
外から正面を見る際に見える側である)での外観がはっ
きりと着色して反射するものであることを意味する。実
際のところ、純度の値は色の強度を指示し、すなわちそ
れが0%に近づけば近づくほど「白っぽく」且つパステ
ル調に見える、と言うことができる。従って着色は光反
射率RL の値に相関して増加する。
【0011】今日の傾向は窓ガラス、より具体的には建
物用のもののデザインの方により向いており、それらは
特に屋外から眺めた際の反射が中性であることの方に傾
く傾向がある。そして干渉性の、反射のこの着色は、そ
れが測定入射角の関数として変わるものであって、その
ような窓ガラスを取付けた建物の外壁が屋外から眺める
人に見掛けの色を不均質に見せることになる点で、それ
だけやっかいなものである。
【0012】更に、たとえ本質的におよそ15%の光反
射率RL は大きくないとしても、それはそれにもかかわ
らず、特に屋内への、透過太陽エネルギーの量のある程
度の低下を意味し、従って、透過太陽エネルギーと窓ガ
ラスに吸収され次いで室内の方に再放射された太陽エネ
ルギーとの合計と、入射する太陽エネルギーとの比であ
る太陽エネルギー率(solar factor)を何%か低下させ
る原因になる。これは、エネルギーの側面から言えば、
とりわけ加熱費の低減の目的でそのような基材を断熱二
重窓ガラスで採用することが所望される場合に、不都合
である。
【0013】単一の機能性フィルムを用いるのに関連し
たこれらの問題を部分的に解決するため、とりわけ反射
の影響を低減するためあるいは反射の着色を弱めるため
に、いろいろな研究が行われてきた。
【0014】厚さが下にくる機能性フィルムの厚さの関
数として160nm未満であって、屈折率がその機能性
フィルムの屈折率の平方根にほぼ等しい誘電コーティン
グ、とりわけ酸化ケイ素SiO2 を基礎材料とするもの
で、機能性フィルムを覆うことが提案されている(フラ
ンス国特許出願公開第2542728号明細書)。この
選択は、光透過率TL を上昇させることを、またあるい
は機能性フィルムを摩耗から保護することをも目的とし
て、本質的に必要とされる。従ってそれは、反射光の着
色の強度、純度の値pe により特に影響を受ける強度、
に影響を及ぼす問題ではない。
【0015】もう一つの可能性が考えられている(フラ
ンス国特許出願公開第2439167号明細書)。これ
は、ガラス基材と機能性フィルムとの間に、1枚のフィ
ルム、2枚のフィルム又は多数のフィルムでよい中間コ
ーティングを挿入することを必要とし、そしてそれが存
在することは、発明者らによると、ベール効果と反射の
真珠光現像の両方を弱めるのを可能とし、またガラス基
材中に含まれるアルカリ性イオンの移動に対するバリヤ
の役割を果たすことも可能にする。均質な1枚のフィル
ムの場合には、その屈折率はガラス基材の屈折率と機能
性フィルムの屈折率の積の平方根に近く、その一方でそ
の光学的厚さ(その物理的厚さにその屈折率をかけた
積)は500nmを中心とする波長のおよそ四分の一で
ある。フランス国特許出願公開第2439167号明細
書の目的である、追加のコーティングを加えて真珠光
(これは、定義によれば、フィルムの厚さの変動のため
に反射光の着色が不均一になることに起因する)をなく
す試みは、反射光の着色の全飽和度を低下させることが
できるとは言うものの、それにもかかわらずこの文書は
反射防止効果を研究しているものでもそれに言及してい
るものでもないのが実情である。
【0016】更に、これらの文書はいずれも、入射角が
反射光の見掛けに及ぼす影響の評価を思い起こしておら
ず、また確かにそれらはそれを定量していないのに対し
て、例えば建物の建設においては、高い外壁を築くのに
用いられる窓ガラスの全体的な外観はそれらを見る角度
によって均一性を欠いて見えないことがますます望まれ
ている。
【0017】従って、本発明の目的は、たとえ測定入射
角が通例選ばれる垂直入射角と異なるとしても、フィル
ム側での光反射率RL が適度であり且つ反射光の着色が
準中性であることの両方によって前述の欠点を軽減す
る、金属酸化物を基礎材料とする低放射率フィルムを備
えたガラスの基材を提供することである。
【0018】この第一の目的とことによると組み合わさ
れる本発明のもう一つの目的は、太陽エネルギー率の向
上した同じタイプの製品を提供することにある。
【0019】
【課題を解決するための手段及び作用効果】本発明は、
1種又は2種以上の金属酸化物を基礎材料とする導電性
で透明な低放射率の機能性フィルムを備え、この上に光
学的厚さが可視域、好ましくは550nmを中心とする
もの、の平均波長のおよそ四分の一である「外側」コー
ティングが付着しているガラスの基材を主題とする。こ
れに加えて、機能性フィルムとの間に「中間」コーティ
ングが施され、このコーティングの光学的厚さは50n
mと100nmの間、好ましくは50nmと75nmの
間にある。
【0020】通常は、機能性フィルムの屈折率nは2に
近く、またその厚さは200〜400nm、好ましくは
おおよそ360nmである。
【0021】機能性フィルムは、有利には、ドープされ
た金属酸化物、例えばスズをドープされた酸化インジウ
ム(ITO)、フッ素をドープされた酸化スズ(SnO
2 :F)、インジウムをドープされた酸化亜鉛(Zn
O:In)、フッ素をドープされた酸化亜鉛(ZnO:
F)、アルミニウムをドープされた酸化亜鉛(ZnO:
Al)、あるいはスズをドープされた酸化亜鉛(Zn
O:Sn)といったようなものから構成される。
【0022】中間コーティングは、好ましくは、屈折率
が機能性フィルムのそれ未満であって、好ましくは1.
75と1.90の間にあり、物理的厚さがとりわけ30
〜50nm程度であって、好ましくは35nmと45n
mの間にある。
【0023】2種類のコーティングがこれらの条件を都
合よく満たす。例えば、1種又は2種以上の金属酸化物
を基礎材料とするコーティング、とりわけ、酸化アルミ
ニウム、酸化チタン、酸化スズ、酸化亜鉛及び酸化イン
ジウムの群に属するもののうちの少なくとも一つを基礎
材料とするコーティングを形成することが可能である。
このようにして、フランス国特許出願第90−1527
7号明細書で言及されたように屈折率を、例えば、屈折
率が小さい酸化アルミニウムのような酸化物を屈折率が
大きい酸化チタン、酸化スズ、酸化インジウム又は酸化
亜鉛といったような少なくとも1種の酸化物と組み合わ
せて調節する。
【0024】上記の基準に従う中間コーティングの第二
番目のタイプは、オキシ窒化ケイ素及び/又はオキシ炭
化ケイ素を基礎材料とするコーティングである。
【0025】外側のコーティングに関しては、これは屈
折率が機能性フィルムのそれ未満であるように、とりわ
け1.40〜1.65であるように選ばれる。その物理
的厚さは、有利には80〜110nmであり、好ましく
は90〜100nmである。このように比較的小さい屈
折率は、例えば、酸化ケイ素を基礎材料とするフィルム
で得られる。
【0026】本発明による製品の本質的利点は、少なく
とも二つのコーティングを備え、それらの間に機能性フ
ィルムが配置されるということにある。こうすると、外
側のコーティングかあるいは中間コーティングかの単一
コーティングの場合におけるよりもずっと幅広い組み合
わせの可能性を提供することで、所望の目的を達成する
ために機能性フィルムのコーティングのおのおのの特
性、本質的には光学的厚さ、物理的厚さ及び屈折率を最
適なものにすることが可能になる。これらのコーティン
グの効果を組み合わせることにより、機能性フィルムに
固有の性質をどのようにも損なわずに、製品の反射光の
見掛けをうまく制御することができる。
【0027】このようにして、これらの二つのコーティ
ングの間で「共働」効果と言えるもの、どちらかと言え
ば予想できなかったものが達成される。これは、殊に、
中間コーティングの特性の選定に関して言えることであ
り、特にその物理的厚さは機能性フィルムのそれと比べ
て非常に薄くなり、またその屈折率は機能性フィルムの
それより小さくなるが、それでもそれにかなり近い。
【0028】このように、光学的厚さを前述の範囲内で
選択すると、二つのコーティングの屈折率と物理的厚さ
の結果として、本発明による一体式の基材は、フィルム
側での光の反射率RL が最高で6%となり、それに伴っ
て垂直入射での反射光の色の純度は最高で3%となる。
その放射率も最高で0.2となる。
【0029】これらのフィルムが二重窓ガラスで面3に
くるようにすると、この一体式基材は、光の反射率がわ
ずかに高くなり(それでもなお15%未満)、反射光の
色純度は垂直入射でなお更に低下して、通常は不利と考
えられる測定用の入射角でも最高で5%である。垂直入
射時のその太陽エネルギー率は少なくとも0.76に達
する。
【0030】このようなRL の値は、まず第一に、窓ガ
ラスの反射効果のうちのより大きな部分がなくなること
を意味し、こうしてエネルギー透過率TE の値の全体的
な上昇を可能にし、その結果として太陽エネルギー率の
上昇を可能にする。
【0031】RL の値に関連する反射光の色純度の値に
関しては、それらは一体式のものかあるいは二重窓ガラ
スとして取付けられるものである本発明による窓ガラス
に、たとえ一般にはあまり有利であるとは見なされない
垂直入射角とは異なる入射角が選定されるとしても、中
性に非常に近い外観を与える。こうして、外側から眺め
た建物の外壁の窓ガラスの見掛けの均一性の向上が保証
される。
【0032】任意のタイプの付着(deposition)技術
を、機能性フィルムとそれのコーティングを付着させる
ために使用することができる。とりわけ、フィルムのう
ちの少なくとも一つを、それが1種又は2種以上の金属
酸化物を基礎材料としている場合には、真空を利用する
技術により、特に、ことによっては酸素の存在下で反応
性の、陰極スパッタリングによって、適当な組成の金属
合金又はセラミックスのターゲットから付着させること
ができる。
【0033】また、フィルムのうちの少なくとも一つを
付着させるために、気相での、CVD(化学気相成長)
とも称される熱分解技術、液相での熱分解技術、あるい
は粉末形態の固相での熱分解技術を選ぶことも可能であ
る。
【0034】例えば、「中間」コーティングを有機金属
の前駆物質又はケイ素含有前駆物質からの気相での熱分
解CVDで、あるいは有機金属の前駆物質からの粉末熱
分解で付着させてもよい。
【0035】機能性フィルムも熱分解によりたやすく製
造することができる。例えば、SnO2 :FとITOの
フィルムは、粉末熱分解により都合よく製造することが
できる。フッ素をドープした酸化スズのフィルムは、フ
ランス国特許第2380997号明細書に記載されたよ
うに、粉末形態のジブチルスズオキシド(DBTO)と
気体の無水フッ化水素酸とから、また欧州特許出願公開
第178956号又は同第039256号明細書に記載
されたように、ことによってはDBTOとの混合物で、
ジブチルスズジフルオリド(DBTF)から、製造する
ことができる。ITOのフィルムに関しては、これらは
例えば、ギ酸インジウムと欧州特許出願公開第1920
09号明細書に記載されたDBTOのようなスズ化合物
とから製造することができる。
【0036】SnO2 :Fの半導体フィルムを、特に欧
州特許出願公開第027403号明細書に記載されたよ
うに(CH3 2 SnCl2 、(C4 9 2 SnCl
2 、Sn(C2 5 4 といったようなスズ化合物とC
Cl2 2 、CHClF2 及びCH3 CHF2 といった
ような有機フッ素化化合物との混合物から、あるいはま
たモノブチルスズトリクロライドと欧州特許出願公開第
121459号明細書で言及されたクロロジフルオロメ
タンといったような式XCHF2 の化合物とから、気相
中での熱分解によって得ることも可能である。
【0037】インジウム又はアルミニウムをドープした
酸化亜鉛のフィルムは、欧州特許出願公開第38576
9号明細書に記載されたように、ジエチル亜鉛又は酢酸
亜鉛とトリエチルインジウム、塩化インジウム又はトリ
エチルアルミニウム、塩化アルミニウムとから気相熱分
解によって得ることができる。
【0038】また、SnO2 :Fのフィルムを、特にフ
ランス国特許第2211411号明細書に記載されたよ
うに、適当な有機溶媒中のジメチルスズ−2−プロピオ
ネートから又はスズアセチルアセトネートから液相中で
得ることもできる。
【0039】外側のコーティングは、好ましくは、ケイ
素含有前駆物質から気相熱分解CVDにより付着させら
れる。1.40に近い屈折率を有するようにそれが選ば
れる場合には、それは欧州特許第230188号明細書
に記載されたようにプラズマCVDでも都合よく付着さ
せることができる。
【0040】更に、中間コーティング又は外側コーティ
ングは、酸化ケイ素を基礎材料としそしてまたことによ
っては炭素及び/又は窒素も基礎材料とする場合には、
プラズマCVD、すなわち欧州特許出願公開第4136
17号明細書に記載された真空を利用する技術により付
着させてもよい。
【0041】
【実施例】本発明のこのほかの詳細と有利な特徴は、以
下に掲げる本発明の態様の限定を目的としない例の説明
から明らかになろう。
【0042】まず第一に、付着は全部が、厚さ4mmの
透明なシリコ−ソーダ−石灰フロートガラスの基材上で
行われることを述べるべきである。二重窓ガラスとする
場合には、厚さ12mmの空気層を設けてもう一つの透
明な厚さ4mmの同様の基材と組み合わせ、フィルムを
面3に位置させる。この基材のタイプは限定するもので
ないことは自明であろう。
【0043】比較のために、機能性フィルムは全部の例
において同一の特性を有する機能性フィルム、すなわち
厚さが360nmで屈折率がほぼ1.9のものである。
このフィルムはSnO2 :Fから構成され、先に言及し
た特許出願明細書に記載されたようにDBTFから当業
者に知られたやり方で製造される。
【0044】中間コーティングは、それが金属酸化物の
混合物から構成される場合には、特に欧州特許出願公開
第0489621号明細書に記載されたように、粉末の
熱分解によって知られているやり方でもって製造され
る。
【0045】それが酸化ケイ素又はオキシ炭化ケイ素か
ら構成される場合には、例えば米国特許出願第07/8
97782号明細書に対応する欧州特許出願第92/4
01593.6号明細書の教示を応用して、シランとエ
チレン系化合物からやはり知られているやり方でもっ
て、CVDによって製造される。酸化ケイ素を基礎材料
とする「外側」コーティングの場合も同じである。
【0046】分光光度測定はいずれも、光源D65を参照
して行った。
【0047】以下に掲げる表で使用する略号はそれぞれ
次の意味を表わす。すなわち、RLはフィルム側での光
の反射率(%)を表し、TL は光の透過率(%)を表
し、FSは太陽エネルギー率を表し、pe (0°)は垂
直入射角に対する反射光の色純度(%)を表し、そして
e (20)及びpe (40)は垂直入射角からそれぞ
れ20度及び40度変動した入射角で測定した反射光の
色純度(%)を表す。厚さeの単位は全てナノメートル
(nm)である。
【0048】例1 機能性フィルムだけを備えた基材を含むものであるか
ら、これは対照例である。一体式基材を有する製品1−
aと二重窓ガラスとして組み込んだ基材を有する製品1
−bの特性を下表に示す。
【0049】 L FS e (0°) 1−a 17 − 15.0 1−b 22.4 0.72 10.0
【0050】従ってその反射光の見掛けは緑色にかなり
強く着色している。
【0051】例2〜4 例2〜4は、いずれも同じ形態の外側コーティングに関
連し、すなわちこのコーティングは、通常のやり方でケ
イ素含有化合物からCVDにより製造される酸化ケイ素
を基礎材料とする厚さ95nm及び屈折率1.45のコ
ーティングである。
【0052】対照的に、中間コーティングの特性(屈折
率と厚さ)を最適化する。
【0053】例2 中間コーティングの屈折率は1.80、厚さは37nm
である。これは、適当な割合の前駆物質の粉末熱分解に
より、詳しく言えば酢酸亜鉛とアルミニウムトリイソプ
ロピレート(後者が20重量%を構成する)から得られ
た、アルミニウム及び亜鉛の酸化物の混合物を基礎材料
としている。これらの屈折率及び厚さの特性は、そして
また下記の例のそれらも、CVDにより製造される、酸
素とケイ素、そしてことによっては炭素を基礎材料とす
るフィルムでもたやすく得られる。
【0054】2−aは一体式基材に相当し、2−bは二
重窓ガラスに組み込んだ基材に相当する。結果は次のと
おりである。
【0055】 FS L e (0°) e (20) e (40) 2−a − 4.5 1.12 − − 2−b 0.76 11.7 1.65 1.02 3.09
【0056】例3 中間コーティングの厚さは30nm、屈折率は1.85
である。これは、40重量%のギ酸インジウムと60重
量%のアルミニウムトリイソプロピレートを含む前駆物
質から粉末熱分解で得られるアルミニウム及びインジウ
ムの酸化物の混合物を基礎材料とし、あるいはオキシ炭
化ケイ素を基礎材料とする。
【0057】例4 中間コーティングの屈折率は1.75、厚さは40nm
である。これは、ジブチルスズジフルオリド(DBT
F)とアルミニウムトリイソプロピレート(後者が全体
の78重量%を構成している)を含有している粉末の熱
分解によって生成されるアルミニウム及びスズの酸化物
の混合物を基礎材料とする。オキシ炭化ケイ素を選ぶこ
ともできる。
【0058】一体式基材として例3及び4について得ら
れた特性を要約して次表に示す。
【0059】 L L e (0°) 3 85.5 4.7 0.44 30 4 85.7 4.7 2.69 40
【0060】例2−a,3及び4から、垂直入射光に対
する「フィルム側」での反射光の純度で、極めて小さな
値を達成することが可能であるということになり、とり
わけ例3において、すなわちコーティングの屈折率が一
番大きいものにおいてそうである。
【0061】更に、例1−bと例2−bとを比べると、
機能性フィルムがコーティングを備えている場合には太
陽エネルギー率が実質的に上昇するということも認める
ことができる。例2−bはまた、二重窓ガラスでの純度
は垂直入射角とは著しく異なる入射角でも非常に低いま
まであるということ、それゆえに種々の角度で見たその
ような窓ガラスの外観はほとんど均一であるとみなすこ
とができるということを示している。
【0062】例5,6 これらの二つの例は、中間コーティングの特性が同じで
あるもの、すなわち厚さが45nm、そして屈折率が例
4で得られたもののように1.75であるものである。
【0063】例5 外側コーティングは屈折率が1.45、厚さが95nm
であって、このコーティングは既に説明したようにCV
Dによって得られた酸化ケイ素である。
【0064】例6 外側コーティングの屈折率は1.6、厚さは85nmで
ある。これは酸素、ケイ素、そして任意的に炭素、を基
礎材料とするフィルムである。
【0065】これらの二つの例の特性をまとめて下表に
示す。
【0066】 L L e (0°) 5 85.8 4.3 2.79 6 84.4 5.9 1.60
【0067】これら二つの例は折衷の可能性を考えるこ
とを許し、すなわち、実際上、光の反射率RL が小さく
なればなるほど太陽エネルギー率が改善される(例
5)。対照的に、RL がわずかに大きい例6は、純度が
ほとんど半分に低下する。
【0068】結論として、それぞれの面に一つずつ付着
させた二つのコーティングを有する機能性フィルムを備
えることは、応用分野を大きく広げるのを可能にし、そ
して所望の用途に関連して変わる主要な目的に応じて、
反射光の中立性、改善された太陽エネルギー率等を選択
することを可能にする。本発明がこの成果に到達するの
は、機能性フィルムの特性に関係してこれらのコーティ
ングの光学的厚さを選択することによるものである。

Claims (19)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 1種又は2種以上の金属酸化物を基礎材
    料とする導電性で透明な低放射率の機能性フィルムを備
    えたガラス基材であり、このフィルムに、光学的厚さが
    可視域、とりわけ550nmを中心とするもの、の平均
    波長のおよそ四分の一である外側コーティングが付着し
    ているものを含む製品であって、機能性フィルムと基材
    との間に光学的厚さが50〜100nmである追加の中
    間コーティングが配置されていることを特徴とする製
    品。
  2. 【請求項2】 前記機能性フィルムの屈折率が2に近
    く、厚さが200〜400nmであることを特徴とす
    る、請求項1記載の製品。
  3. 【請求項3】 前記外側コーティングの屈折率が前記機
    能性フィルムのそれより小さいことを特徴とする、請求
    項1又は2記載の製品。
  4. 【請求項4】 前記外側コーティングの屈折率が1.4
    0〜1.65であることを特徴とする、請求項3記載の
    製品。
  5. 【請求項5】 前記外側コーティングの物理的厚さが8
    0〜110nmであることを特徴とする、請求項1から
    4までのいずれか一つに記載の製品。
  6. 【請求項6】 前記中間コーティングの屈折率が前記機
    能性フィルムのそれより小さいことを特徴とする、請求
    項1から5までのいずれか一つに記載の製品。
  7. 【請求項7】 前記中間コーティングの屈折率が1.7
    5〜1.90であることを特徴とする、請求項6記載の
    製品。
  8. 【請求項8】 前記中間コーティングの物理的厚さが3
    0〜50nmであることを特徴とする、請求項1から7
    までのいずれか一つに記載の製品。
  9. 【請求項9】 前記機能性フィルムが、スズをドープさ
    れた酸化インジウムITO、インジウムをドープされた
    酸化亜鉛ZnO:In、フッ素をドープされた酸化亜鉛
    ZnO:F、アルミニウムをドープされた酸化亜鉛Zn
    O:Al、スズをドープされた酸化亜鉛ZnO:Sn、
    及びフッ素をドープされた酸化スズSnO2 :Fを含む
    群に属する少なくとも1種の、ドープされた金属酸化物
    を含むことを特徴とする、請求項1から8までのいずれ
    か一つに記載の製品。
  10. 【請求項10】 前記中間コーティングが、酸化チタ
    ン、酸化アルミニウム、酸化亜鉛、酸化スズ及び酸化イ
    ンジウムを含む群に属する金属酸化物のうちの少なくと
    も一つから構成されることを特徴とする、請求項1から
    9までのいずれか一つに記載の製品。
  11. 【請求項11】 前記中間コーティングがオキシ炭化ケ
    イ素及び/又はオキシ窒化ケイ素から構成されることを
    特徴とする、請求項1から9までのいずれか一つに記載
    の製品。
  12. 【請求項12】 前記外側コーティングが酸化ケイ素を
    基礎材料とすることを特徴とする、請求項1から11ま
    でのいずれか一つに記載の製品。
  13. 【請求項13】 前記コーティングと前記機能性フィル
    ムとで被覆された一体式基材の当該フィルム側での光の
    反射率RL が最高でおよそ6%、垂直入射での反射光の
    色の純度が最高で3%、そして放射率が最高で0.2で
    あることを特徴とする、請求項1から12までのいずれ
    か一つに記載の製品。
  14. 【請求項14】 別のガラス基材と一緒にして、前記フ
    ィルムと前記コーティングとを面3に備えた二重窓ガラ
    スを形成し、この二重窓ガラスの太陽エネルギー率(so
    lar factor)が少なくとも0.76であり、いろいろな
    入射角での反射光の色純度が最高で5%であることを特
    徴とする、請求項1から13までのいずれか一つに記載
    の製品。
  15. 【請求項15】 請求項1から14までに記載の製品を
    製造する方法であって、1種又は2種以上の金属酸化物
    を基礎材料とするコーティングのうちの少なくとも一つ
    及び/又は機能性フィルムを、真空を利用する技術によ
    り、特に、ことによっては酸素の存在下で反応性の、陰
    極スパッタリングの技術により、適当な組成の金属合金
    又はセラミックスのターゲットから付着させることを特
    徴とする方法。
  16. 【請求項16】 請求項1から13までに記載の製品を
    製造する方法であって、前記コーティングのうちの少な
    くとも一方及び/又は前記機能性フィルムを熱分解技術
    により付着させることを特徴とする方法。
  17. 【請求項17】 請求項1から14までに記載の製品を
    製造する方法であって、前記中間コーティングを有機金
    属前駆物質もしくはケイ素含有前駆物質の化学気相成長
    により、又は有機金属前駆物質の粉末の熱分解により付
    着させることを特徴とする方法。
  18. 【請求項18】 請求項1から14までに記載の製品を
    製造する方法であって、前記機能性フィルムを有機金属
    前駆物質の粉末熱分解による付着技術によって付着させ
    ることを特徴とする方法。
  19. 【請求項19】 請求項1から14までに記載の製品を
    製造する方法であって、前記外側コーティングをケイ素
    含有前駆物質の化学気相成長による付着技術により付着
    させることを特徴とする方法。
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