JPH05222618A - 気相成長微細繊維の太さ成長装置 - Google Patents

気相成長微細繊維の太さ成長装置

Info

Publication number
JPH05222618A
JPH05222618A JP4019331A JP1933192A JPH05222618A JP H05222618 A JPH05222618 A JP H05222618A JP 4019331 A JP4019331 A JP 4019331A JP 1933192 A JP1933192 A JP 1933192A JP H05222618 A JPH05222618 A JP H05222618A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
furnace
substrate
gas
fiber
oven
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP4019331A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3585248B2 (ja
Inventor
Minoru Harada
稔 原田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikkiso Co Ltd
Original Assignee
Nikkiso Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nikkiso Co Ltd filed Critical Nikkiso Co Ltd
Priority to JP01933192A priority Critical patent/JP3585248B2/ja
Publication of JPH05222618A publication Critical patent/JPH05222618A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3585248B2 publication Critical patent/JP3585248B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
  • Carbon And Carbon Compounds (AREA)
  • Inorganic Fibers (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 気相成長法による微細繊維の製造を行う装置
であって、繊維生成炉と独立させて、生成繊維を載せた
基板を、原料ガスとキャリアガス雰囲気の加熱炉内を移
動させるようにして、均一で不純物の少ない製品を高生
産性で製造することができる気相成長微細繊維の太さ成
長装置を得る。 【構成】 炉10の一端部から順次その内部へ炉芯管2
0内を移動し得る基板18を供給し、炉10の他端部に
おいて前記基板18を回収するよう構成し、前記炉10
の一端部側に設けた供給手段26より繊維の太さ成長に
必要な成分としての原料ガス、キャリアガス等を供給し
て、前記移動する基板18の内部において繊維の太さ成
長を達成し、前記炉10の他端部において順次基板18
を回収することにより、これら基板18に堆積した微細
繊維の回収を連続的に行うことができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、流動気相法により、
気相成長微細繊維を製造するための生産性の改善された
連続製造装置であって、特に繊維の太さ成長を行うため
の装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、この種の気相成長炭素繊維の製造
方法として、流動法と基板法(シーディング法)とが知
られている。
【0003】前者の流動法としては、本出願人が先に提
案したもので、例えば、炭素化合物と有機金属化合物
とキャリアガスとの混合ガス、硫黄および炭素含有ケ
イ素化合物のガスとキャリアガスとの混合ガス、硫黄
含有ケイ素化合物のガスとキャリアガスと炭素化合物の
ガスとの混合ガス、炭素含有ケイ素化合物のガスとキ
ャリアガスと硫化水素ガスとの混合ガス、或いはケイ
素化合物のガスとキャリアガスと硫化水素ガスと炭素化
合物のガスとの混合ガスを、温度コントロールした反応
帯域に連続的に導入し、700℃〜1300℃の範囲の
所定温度に加熱することにより、浮遊状態で炭素繊維を
生成させ、これを連続的に加熱域から流出させるよう構
成したものが知られている(特開昭60−54999号
公報)。
【0004】また、後者の基板法は、電気炉内にアルミ
ナ等の磁器、黒鉛等の基板を置き、これに炭素繊維の成
長の核となる鉄、ニッケル、コバルトの超微粒子触媒を
形成し、この上にベンゼン等の炭化水素のガスと水素キ
ャリアガスの混合ガスを導入し、1000〜1300℃
の温度下に炭化水素を分解させることにより、基板上に
炭素繊維を成長させるものである。
【0005】しかるに、基板法は、一般的に次のような
製造工程からなる。 1.基板に金属微粒子を担持。 2.基板の挿入。 3.炉の昇温。 4.炉内の空気を不活性ガスに置換。 5.キャリアガス置換。 6.原料ガスの注入。 7.キャリアガス、原料ガスの注入を停止し、不活性ガ
ス置換。 8.炉の冷却(必要に応じて)。 9.繊維の成長した基板の取出し。 10.繊維を基板から掻き取る。
【0006】ここでキャリアガスとしては、普通水素含
有ガスが使用されるので、第9の工程で基板を炉から取
出す時に空気が炉内に侵入して水素と酸素の混合ガスを
生成して危険であるので、第3の工程と第7の工程の不
活性ガス置換が必要となる。また、第1の工程で基板に
担持された金属超微粒子は、空気中では表面が直ぐに酸
化され、触媒能を失うので、第5の工程により粒子を完
全に還元する必要がある。従来は、基板1枚毎に、この
サイクルを繰り返さなければならなかった。
【0007】かくして、これら10の工程で、実際に炭
素繊維を製造しているのは、第6の工程のみであり、非
常に生産性が悪く、実験室的にはともかく工業的な基板
法による生産は未だなされていない。
【0008】一方、流動法では、加熱された炉内に、例
えばフェロセン等の金属化合物、水素を含むキャリアガ
ス、ベンゼン等の炭化水素を注入し、浮遊状態で炭素繊
維を生成させることができるが、この場合、繊維はキャ
リアガスに運ばれて炉を出ていくので、連続生産が可能
となり、基板法に比べて生産性が高い。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】しかし、この流動法で
生産される繊維は、直径が1μm以下と細く、また直径
を1μm以上にしようとした場合、繊維が炉芯管内に蓄
積して炉芯管を塞ぎ、すすを発生するようになるので、
時々炉の運転を停止して炉芯管内を不活性ガスで置換し
てから炉芯管内を掃除する必要があり、十分な生産性が
得られない難点がある。
【0010】そこで、本発明の目的は、流動法による気
相成長微細繊維の製造において、炉芯管内での繊維の蓄
積を防止して、微細繊維の太さ成長を効率よく達成して
微細繊維の生産性を向上することができる気相成長微細
繊維の太さ成長装置を提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明に係る気相成長微
細繊維の太さ成長装置は、一端部において炉芯管内を移
動し得る基板を供給する手段を設けると共に他端部に前
記基板の出口を設けた炉を備え、前記炉芯管内に前記基
板をその供給手段から出口へ順次移動させる手段を設
け、炉の一端部側に繊維の太さ成長に必要な成分の供給
手段を設け、さらに前記炉芯管内部を外気から遮断する
手段を設けることを特徴とする。
【0012】前記の気相成長微細繊維の太さ成長装置に
おいて、炉を長さ方向に複数に分割し、これら分割され
た各部の炉の温度を独立に制御可能に構成することがで
きる。また、炉の中間部にキャリアガスおよび/または
原料ガスの供給手段を1個以上設けることもできる。さ
らに、炉は横型炉として構成することができる。
【0013】
【作用】本発明に係る気相成長微細繊維の太さ成長装置
によれば、流動法により生成した気相成長微細繊維を基
板上に載せ、太さ成長条件に適した温度に設定し、太さ
成長に必要な原料、キャリアガスの供給手段を設けた炉
内に前記基板を供給することにより、繊維の太さ成長を
容易に行うことができる。
【0014】繊維の太さは、温度、原料供給量、原料濃
度、基板の炉内滞在時間を調節することにより、適宜制
御することができる。
【0015】また、炉を長さ方向に複数に分割してそれ
ぞれ複数のヒータブロックを構成し、これら複数のヒー
タブロックの温度を独立に温度調節することにより、繊
維の太さ成長にそれぞれ適した温度設定が可能になり、
繊維の太さの管理を行うことができる。
【0016】さらに、炉の中間部に原料ガス注入手段お
よび必要によりキャリアガス注入手段を長さ方向に複数
追加することにより、原料のガス濃度もそれぞれ繊維の
太さ成長に合せて設定することができる。
【0017】なお、繊維の生成と太さ成長とを同一炉ま
たは連続炉で行うと、太さ成長部分に触媒成分のガスが
存在し、その部分でも繊維の生成反応が起り、これによ
り繊維の太さムラ、炉壁に付着した繊維の生成、すすの
混在等が生じる。この場合、炉壁付着繊維を放置すると
すすの生成が増加するため、炉壁付着繊維のクリーニン
グが必要であり、このクリーニングを行うことにより生
産性が低下する。しかるに、本願発明においては、繊維
生成炉と独立した太さ成長炉を設けて、太さ成長部に触
媒成分ガスが入り込まないようにして、繊維の生産性を
向上するものである。
【0018】
【実施例】次に、本発明に係る気相成長微細繊維の太さ
成長装置の実施例につき、添付図面を参照しながら以下
詳細に説明する。
【0019】図1は、本発明に係る気相成長微細繊維の
太さ成長装置の一実施例を示す概略構成図である。図1
において、参照符号10は横型炉を示し、この横型炉1
0の外周部にはそれぞれ独立したヒータ12と14を配
設し、各炉に対して独立して温度条件等を調整し得るよ
う構成する。
【0020】しかるに、炉の構造は、一般的に断面円形
もしくは断面正方形ないしは矩形の筒形とし、炉の内壁
は、炉温(1000〜1300℃)に耐え、例えば炭素
繊維等の繊維生成の触媒となる鉄、ニッケル、コバルト
その他の遷移金属を含有しない石英ガラス、セラミック
ス、金属を使用する。なお、炉の長さは、製造条件によ
って異なる。
【0021】横型炉10の一端部には、基板供給手段1
6を設けて、例えば炉芯管の内壁全面にほぼ密接して移
動し得る基板18に、太さ成長させる気相成長微細繊維
を載せたものを順次供給するよう構成する。すなわち、
基板18は、図2に示すように、断面矩形の炉に適応す
るよう断面溝形にして、炉芯管20の内壁のほぼ全面に
接し得る相似形状とし、炉芯管20の内壁面に対し僅か
の隙間を設けて移動可能に構成する。また、基板18の
材質は、前記炉の内壁と同様に、炉温(1000〜13
00℃)に耐え、繊維生成の触媒となる鉄、ニッケル、
コバルトその他の遷移金属を含有しない石英ガラス、セ
ラミックス、金属を使用した構成とすることができる。
これら基板18は、これを横型炉10の内部に並べると
共に横型炉10の一端部に設けた基板供給手段16にお
いて、プッシャ等の押出し手段22により1個づつ横型
炉10の他端部側へ押出し移送する。そして、横型炉1
0の他端部において押出された基板18を順次基板取出
し手段24へ移送し、そこで繊維の回収を行うように構
成する。
【0022】なお、基板18は、前述した実施例が好ま
しい態様の1つではあるが、炉内に触媒成分ガスが存在
しないだけでも炉壁への繊維付着はかなり減少するた
め、前記実施例に限定されることなく、単なる板状、上
面を除いた直方型の容器(炉の断面が矩形の場合)、上
面を切欠いた円筒体(炉の断面が円形の場合)、ボート
型等、種々の形状のものが使用可能である。
【0023】基板供給手段16においては、横型炉10
と遮断し得る隔室を形成し、この隔室を前記炉10と連
通させて隔室内に予め配置した基板18を押出し手段2
2で炉10内へ押出す。すなわち、隔室を炉10と遮断
した状態において、上方の供給口より基板18を導入
し、次いでこの隔室内を不活性ガスもしくはキャリアガ
スで置換し、その後隔室を前記炉10と連通させて押出
し手段22により基板18を炉10内へ押出すと共に、
既に炉10内にある基板18をその1個分だけ基板取出
し手段24側に移動させる。以下、同様の動作を繰り返
すよう構成する。
【0024】前記隔室は開閉シャッタにより外気と十分
に遮断されていることが望ましい。この遮断が不十分で
あると、一方のシャッタを開いた時に隔室内のガスが上
昇気流となって外気へ逃げ、基板取出し手段24から炉
内に空気が侵入して危険な状態となる。従って、基板取
出し手段24の取出し口に、基板18の落下運動量によ
り、あるいは基板18の落下を検出して自動的に、開閉
する蓋を設けるのも好ましい態様である。
【0025】なお、太さ成長すべき繊維は、基板18が
横型炉10に導入される前(キャリアガス置換前)に、
基板18上に載置すればよい。また、例えば繊維生成炉
と共通の基板を使用して、繊維生成炉より出くる生成繊
維を載置した基板を、そのまま太さ成長を行う横型炉1
0に導入するように構成してもよい。そこで、繊維生成
炉から出てきた基板を、外気にさらすことなくそのまま
直接に、太さ成長を行う横型炉10に導入することも可
能であるが、この場合には両炉の炉内ガスの遮断に注意
する必要がある。
【0026】基板18は、1個づつ独立して押圧移送
し、横型炉10の他端部に設けた基板取出し手段24で
回収し、再び横型炉10の一端部に設けた基板供給手段
16へ手作業により戻すようにしてもよいが、これら基
板18を耐熱セラミックチェーンで一連に接続し、横型
炉10の他端部において炉の外へ出て、炉の外側より連
続して基板供給手段16側へ戻るように構成することも
できる(図3参照)。このように、基板18の還路が炉
外となる場合、キャリアガスとして水素が使用される際
には、炉の出入口から炉内に空気が入り込まないように
不活性ガスカーテンを設けたり、戻り基板18に対して
も水素気流中にシールする等の手段が必要である。
【0027】前記構成からなる炉の構成体において、横
型炉10の一端部すなわち基板18を供給する一端部に
繊維の太さ成長に必要な成分を供給するための供給手段
26が設けられる。そこで、この供給手段26には、原
料、キャリアガス等の繊維の太さ成長に必要な成分を供
給するよう構成する。また、この場合、供給手段26の
注入口1個当りの基板18の断面積は広い方が好まし
く、また生産量を増やすとき、基板18の断面積を大き
くして、供給手段を増やす方が同じ意味で好ましい。
【0028】このように構成した本発明に係る気相成長
微細繊維太さ成長装置は、予めヒータ12,14を作動
させて、横型炉10を所要の温度に条件に調整してお
き、次いで横型炉10の一端部に設けた供給手段26か
ら、原料ガス、キャリアガス等の繊維の太さ成長に必要
な成分を炉内に供給する。この結果、横型炉10内の基
板18の内部おいて、所定の繊維が気相成長によって太
さ成長する。そして、この基板18の内部で成長した繊
維は基板18上に堆積して、基板取出し手段24まで繊
維の太さ成長を続けながら搬送される。このようにし
て、基板取出し手段24へ搬送された基板18は、順次
炉外へ取出されてそれぞれ基板18に堆積された微細繊
維の回収が行われる。
【0029】また、横型炉10のほぼ中間部にみ、供給
手段28を設け、その注入口から必要に応じて、原料ガ
ス、キャリアガス等の繊維の太さ成長に必要な成分を注
入するよう構成する。このように、原料ガスを補給し
て、炉内を高濃度に設定し、それぞれ独立に調整し得る
ヒータの機能と相俟って、繊維の太さ成長の最適条件を
設定することができる。このように、横型炉10の長さ
方向に多数の供給手段を設けることにより、原料ガスの
消費分を補い、原料ガスの濃度を一定に保つのは好まし
い態様である。炉幅が広くて、幅方向の原料ガス濃度の
ムラの惧れのある時は、幅方向に複数の供給手段を設け
てもよい。原料ガスとキャリアガスを別の注入口より供
給してもよいが、同じ注入口を用いる方がすすの発生を
防止する点から好ましい。さらに、注入ガスは、原料の
分解温度を越えない範囲で予め予熱しておけば、炉内の
温度ムラを大きく生じないので有効である。このように
して、本発明装置によれば、ほぼ均一な径を有する繊維
が、連続的にしかも炉の内壁に付着することなく、円滑
に太さ成長し、そして回収することができる。
【0030】なお、本発明装置において、炉内部は、空
気の侵入を防ぐために、内部圧力を大気圧よりやや高め
に設定することが好ましい。また、キャリアガスとして
水素等の可燃性ガスを用いるときは、基板取出し手段2
4を形成する通路の一部にガス排出口30を設けて、こ
のガス排出口30でガスを燃焼させることにより、前記
通路のガス排出口30近傍に空気と水素の比重差による
界面Pが形成されて、空気が炉内に入り込まないように
構成することができる。なお、図3に示す実施例におい
ても、前記と同様にして、基板18の供給側の通路の一
部にもガス排出口30を設けて、このガス排出口30で
ガスを燃焼させることにより、空気が炉内に入り込まな
いように構成することができる。
【0031】本発明装置において、例えば気相成長炭素
繊維を製造する場合、一般に炭素生成(carburizing )
傾向の低い条件では繊維の長さ方向の成長が主として起
り、炭素生成傾向の高い雰囲気条件では繊維表面での炭
素の沈着が激しくなって太さの成長が速くなり、長さの
成長端である金属微粒子も炭素で覆われて長さ方向の成
長は停止する。故に、本発明装置を使用すれば、炉の前
半部においては比較的低温に、気相中の原料濃度を低め
に、水素濃度を高めに設定して、金属微粒子を長時間寿
命を伸ばして長さ成長の効率を高め、一方炉の後半部で
は、逆に温度を高めに、原料濃度も高めに、水素濃度を
低めに(但し、いずれもすすを発生しない範囲で)設定
して、太さの成長の効率を高めて、総合的な生産性を上
げかつ製品のばらつきを抑えることができる。
【0032】また、本発明装置においては、繊維の太さ
成長は流動法によるものであり、基板18上に堆積して
いるだけであって基板から生成したものではない。従っ
て、繊維を簡単に基板18から回収することができる。
【0033】以上、本発明の好適な実施例について説明
したが、本発明はこれに限定されることなく、本発明の
精神を逸脱しない範囲内において種々の設計変更をなし
得る。例えば、ベンゼン等の炭化水素に代えて有機硅素
化合物を使用した炭素と硅素からなる微細繊維、有機硫
黄化合物や一酸化炭素を使用した炭素繊維にも応用可能
である。さらに、供給手段26および/または供給手段
28に用いるキャリアガスおよび/または原料に、硫化
水素、チオフェン等の硫黄化合物を使用することもでき
る。
【0034】
【発明の効果】前述した実施例から明らかなように、本
発明によれば、炉芯管の内部を移動し得る基板を設け
て、これを順次移動させつつその内部に微細繊維を太さ
成長させてこれを堆積保持することにより、内壁への繊
維付着を殆ど生じさせることなく、また炉内に蓄積させ
ることもなく、長時間に亘って連続運転を行うことがで
きる。しかも、本発明装置は、繊維の太さ成長工程を独
立して行うことから、太さ成長条件の変更を行うことが
でき、それぞれ使用する原料、キャリアガスに応じて、
温度、濃度、滞在時間等を自由に選ぶことにより、繊維
の直径を自由に設定することができる。また、太さ成長
した繊維は連続して回収することができると共に長時間
連続運転することができ、この結果高い生産性を得るこ
とができる。従って、本発明装置によれば、気相成長微
細繊維の製造に際して、例えば粒状炭素の生成の少ない
条件を選ぶことができ、製品の品質の向上並びに安定性
に寄与する効果も極めて大きい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る気相成長微細繊維の太さ成長装置
の一実施例を示す概略断面図である。
【図2】図1に示す炉のA−A線要部断面図である。
【図3】本発明装置の変形例を示す要部概略断面図であ
る。
【符号の説明】
10 横型炉 12 ヒー
タ 14 ヒータ 16 基板
供給手段 18 基板 20 炉芯
管 22 押出し手段 24 基板
取出し手段 26 供給手段 28 供給
手段 30 ガス排出口

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 一端部において炉芯管内を移動し得る基
    板を供給する手段を設けると共に他端部に前記基板の出
    口を設けた炉を備え、前記炉芯管内に前記基板をその供
    給手段から出口へ順次移動させる手段を設け、炉の一端
    部側に繊維の太さ成長に必要な成分の供給手段を設け、
    さらに前記炉芯管内部を外気から遮断する手段を設ける
    ことを特徴とする気相成長微細繊維の太さ成長装置。
  2. 【請求項2】 炉を長さ方向に複数に分割し、これら分
    割された各部の炉の温度を独立に制御可能に構成してな
    る請求項1記載の気相成長微細繊維の太さ成長装置。
  3. 【請求項3】 炉の中間部にキャリアガスおよび/また
    は原料ガスの供給手段を1個以上設けてなる請求項1記
    載の気相成長微細繊維の太さ成長装置。
  4. 【請求項4】 炉が横型炉である請求項1記載の気相成
    長微細繊維の太さ成長装置。
JP01933192A 1992-02-05 1992-02-05 流動気相成長微細繊維の太さ成長装置 Expired - Fee Related JP3585248B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP01933192A JP3585248B2 (ja) 1992-02-05 1992-02-05 流動気相成長微細繊維の太さ成長装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP01933192A JP3585248B2 (ja) 1992-02-05 1992-02-05 流動気相成長微細繊維の太さ成長装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH05222618A true JPH05222618A (ja) 1993-08-31
JP3585248B2 JP3585248B2 (ja) 2004-11-04

Family

ID=11996429

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP01933192A Expired - Fee Related JP3585248B2 (ja) 1992-02-05 1992-02-05 流動気相成長微細繊維の太さ成長装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3585248B2 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5362333A (en) * 1990-10-15 1994-11-08 Henkel Corporation Pretreatment for zinc and zinc alloy prior to chromating
JP2009174093A (ja) * 2008-01-25 2009-08-06 Sonac Kk カーボンファイバ製造方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5362333A (en) * 1990-10-15 1994-11-08 Henkel Corporation Pretreatment for zinc and zinc alloy prior to chromating
JP2009174093A (ja) * 2008-01-25 2009-08-06 Sonac Kk カーボンファイバ製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP3585248B2 (ja) 2004-11-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7504078B1 (en) Continuous production of aligned carbon nanotubes
US8241602B2 (en) Method and installation for the manufacture of carbon nanotubes
EP1277858B1 (en) Carbon fibrous matter, production device of carbon fibrous matter, production method of carbon fibrous matter and deposit prevention device for carbon fibrous matter
CN1681963A (zh) 连续化学气相沉积工艺和加工炉
JP2007091556A (ja) カーボン系薄膜の連続製造装置
CZ287335B6 (en) Process for producing carbon black and apparatus for making the same
JPH0424320B2 (ja)
US5227142A (en) Production apparatus for vapor-grown fine fibers
JPH05139891A (ja) 半導体級多結晶シリコンの製造方法とその装置
KR100376202B1 (ko) 탄소나노튜브 또는 탄소나노섬유 합성용 기상합성 장치 및이를 사용한 합성방법
JPH05222618A (ja) 気相成長微細繊維の太さ成長装置
JP2919647B2 (ja) 微細炭素繊維製造装置
CN217887942U (zh) 制备碳纳米管的流化床设备
JP3278883B2 (ja) 流動気相成長微細繊維の製造装置
JPH04245922A (ja) 気相成長炭素繊維の製造装置
JP2501041B2 (ja) 気相成長炭素繊維の連続製造装置
JP2971189B2 (ja) 気相成長微細繊維の製造方法および装置
JPH04272229A (ja) 気相成長炭素繊維の製造装置
JP2004149961A (ja) 気相成長炭素繊維取出方法及び気相成長炭素繊維取出装置
JP2007091481A (ja) カーボンナノファイバの製造方法およびその方法を実施するためのカーボンナノファイバ製造装置
EP0214302A1 (en) Gas phase method of manufacturing carbon fibers
JPS6253418A (ja) 炭素質繊維の連続製造方法
JPH0860445A (ja) 気相法炭素繊維の製造法及びその装置
JP2002194625A (ja) 気相成長炭素繊維の搬送方法及び熱処理方法
JPS60252721A (ja) 炭素繊維の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20040701

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20040803

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100813

Year of fee payment: 6

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees