JPH05221670A - 石英系ガラス微粒子の堆積方法 - Google Patents
石英系ガラス微粒子の堆積方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 多孔質ガラス体の品質、有効長、歩留り、生
産性などを高めることのできる石英系ガラス微粒子の堆
積方法を提供する。 【構成】 二本以上の基体１１を循環ラインＬの二つ以
上の直線ゾーンZ1、Z3に配置した後、これら基体１１を
回転させながら、粉末生成器３から噴射した石英系ガラ
ス微粒子を各基体１１の外周面上に堆積させるとき、粉
末生成器３を備えた無端走行体２を循環ラインＬ沿いに
エンドレス走行させる。 【効果】 粉末生成器３が定常的に石英系ガラス微粒子
を生成しながら直線ゾーンZ1、Z3に沿い一定方向へ移動
するので、複数の多孔質ガラス体１２が同時に得られ、
石英系ガラス微粒子の生成状況、堆積状況も安定する。
その結果、多孔質ガラス体を形成する際の生産性、品
質、有効長、歩留りが向上する。
産性などを高めることのできる石英系ガラス微粒子の堆
積方法を提供する。 【構成】 二本以上の基体１１を循環ラインＬの二つ以
上の直線ゾーンZ1、Z3に配置した後、これら基体１１を
回転させながら、粉末生成器３から噴射した石英系ガラ
ス微粒子を各基体１１の外周面上に堆積させるとき、粉
末生成器３を備えた無端走行体２を循環ラインＬ沿いに
エンドレス走行させる。 【効果】 粉末生成器３が定常的に石英系ガラス微粒子
を生成しながら直線ゾーンZ1、Z3に沿い一定方向へ移動
するので、複数の多孔質ガラス体１２が同時に得られ、
石英系ガラス微粒子の生成状況、堆積状況も安定する。
その結果、多孔質ガラス体を形成する際の生産性、品
質、有効長、歩留りが向上する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はＯＶＤ法を介して多孔質
ガラス体を形成するための石英系ガラス微粒子の堆積方
法に関する。
ガラス体を形成するための石英系ガラス微粒子の堆積方
法に関する。
【０００２】
【従来の技術】光ファイバ用、イメージファイバ用、ラ
イトガイド用、ロッドレンズ用の各母材を作製する際の
一手段として、ＯＶＤ法が広く採用されている。
イトガイド用、ロッドレンズ用の各母材を作製する際の
一手段として、ＯＶＤ法が広く採用されている。
【０００３】周知のとおり、ＯＶＤ法によるときは、た
とえば多重管構造のバーナからなる粉末生成器を介して
生成した石英系ガラス微粒子を、棒状または管状からな
るの基体の外周面上に噴射かつ堆積させて、その基体の
外周面上に多孔質ガラス体を形成する。
とえば多重管構造のバーナからなる粉末生成器を介して
生成した石英系ガラス微粒子を、棒状または管状からな
るの基体の外周面上に噴射かつ堆積させて、その基体の
外周面上に多孔質ガラス体を形成する。
【０００４】ちなみに、一般的なＯＶＤ法では、基体を
定位置で回転させつつ粉末生成器を基体の軸線方向沿い
に往復動させ、当該粉末生成器により生成したガラス微
粒子を、これの往動行程、復動行程において基体の外周
面上に堆積させる。
定位置で回転させつつ粉末生成器を基体の軸線方向沿い
に往復動させ、当該粉末生成器により生成したガラス微
粒子を、これの往動行程、復動行程において基体の外周
面上に堆積させる。
【０００５】その後、多孔質ガラス体に脱泡、脱水、透
明ガラス化などの各処理を施し、これを透明な合成石英
に仕上げる。
明ガラス化などの各処理を施し、これを透明な合成石英
に仕上げる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上述したＯＶＤ法にお
いて、粉末生成器が往動行程から復動行程、復動行程か
ら往動行程へと切り換わる過渡期、粉末生成器から基体
に向けて噴射される石英系ガラス微粒子の流動性（噴射
範囲、噴射方向など）が一時的に変動し、多孔質ガラス
体の両端部においてガラス微粒子の堆積状況にバラツキ
が生じる。このようなバラツキが生じると、多孔質ガラ
ス体の有効長が短くなり、材料の歩留りが低下する。
いて、粉末生成器が往動行程から復動行程、復動行程か
ら往動行程へと切り換わる過渡期、粉末生成器から基体
に向けて噴射される石英系ガラス微粒子の流動性（噴射
範囲、噴射方向など）が一時的に変動し、多孔質ガラス
体の両端部においてガラス微粒子の堆積状況にバラツキ
が生じる。このようなバラツキが生じると、多孔質ガラ
ス体の有効長が短くなり、材料の歩留りが低下する。
【０００７】その対策として、粉末生成器の往動時にガ
ラス微粒子を生成し、粉末生成器の復動時にガラス微粒
子の生成を停止させて、粉末生成器が往動するときの
み、ガラス微粒子を基体の外周面上に堆積させることが
考えられる。しかし、この提案によるときは、粉末生成
器の往動時のみ、ガラス微粒子を堆積させるだけである
ので、多孔質ガラス体の生産性が低下し、しかも、粉末
生成器の頻繁な稼働、停止がガラス微粒子の生成を不安
定にするので、かえって、多孔質ガラス体の品質が悪く
なる。
ラス微粒子を生成し、粉末生成器の復動時にガラス微粒
子の生成を停止させて、粉末生成器が往動するときの
み、ガラス微粒子を基体の外周面上に堆積させることが
考えられる。しかし、この提案によるときは、粉末生成
器の往動時のみ、ガラス微粒子を堆積させるだけである
ので、多孔質ガラス体の生産性が低下し、しかも、粉末
生成器の頻繁な稼働、停止がガラス微粒子の生成を不安
定にするので、かえって、多孔質ガラス体の品質が悪く
なる。
【０００８】本発明はこのような技術的課題に鑑み、多
孔質ガラス体の品質、有効長、歩留り、生産性などを高
めることのできる石英系ガラス微粒子の堆積方法を提供
しようとするものである。
孔質ガラス体の品質、有効長、歩留り、生産性などを高
めることのできる石英系ガラス微粒子の堆積方法を提供
しようとするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は所期の目的を達
成するため、断面円形で軸方向に長いガラス微粒子堆積
用の基体を回転させつつ、ガラス微粒子生成用の粉末生
成器を基体の軸方向沿いに移動させて、粉末生成器から
噴射した石英系ガラス微粒子を基体の外周面上に堆積さ
せる方法において、複数の直線ゾーンを含む循環ライン
に沿ってエンドレス走行自在に設けられた無端走行体に
粉末生成器を備えつけておき、二本以上の基体を循環ラ
インの二つ以上の直線ゾーンに配置した後、これら基体
を回転させながら、粉末生成器から噴射した石英系ガラ
ス微粒子を各基体の外周面上に堆積させるとき、粉末生
成器を備えた無端走行体を循環ライン沿いにエンドレス
走行させることを特徴とする。
成するため、断面円形で軸方向に長いガラス微粒子堆積
用の基体を回転させつつ、ガラス微粒子生成用の粉末生
成器を基体の軸方向沿いに移動させて、粉末生成器から
噴射した石英系ガラス微粒子を基体の外周面上に堆積さ
せる方法において、複数の直線ゾーンを含む循環ライン
に沿ってエンドレス走行自在に設けられた無端走行体に
粉末生成器を備えつけておき、二本以上の基体を循環ラ
インの二つ以上の直線ゾーンに配置した後、これら基体
を回転させながら、粉末生成器から噴射した石英系ガラ
ス微粒子を各基体の外周面上に堆積させるとき、粉末生
成器を備えた無端走行体を循環ライン沿いにエンドレス
走行させることを特徴とする。
【００１０】
【作用】本発明方法の場合、無端走行体が複数の直線ゾ
ーンを含む循環ラインに沿ってエンドレス走行するよう
になっており、この無端走行体に石英系ガラス微粒子生
成用の粉末生成器が備えつけられている。かかる手段を
用いてＯＶＤ法を実施するとき、循環ラインにおける複
数の直線ゾーンにそれぞれ基体を配置した後、これら基
体を回転させ、かつ、粉末生成器により石英系ガラス微
粒子を生成しながら、無端走行体を循環ライン沿いにエ
ンドレス走行させる。こうした場合、粉末生成器が、各
基体の外周面上を繰り返し通過しながら、これら基体の
外周面上に石英系ガラス微粒子を噴射かつ堆積させるの
で、該各基体の外周面上には、石英系ガラス微粒子の堆
積物、すなわち、多孔質ガラス体が同時に形成される。
ーンを含む循環ラインに沿ってエンドレス走行するよう
になっており、この無端走行体に石英系ガラス微粒子生
成用の粉末生成器が備えつけられている。かかる手段を
用いてＯＶＤ法を実施するとき、循環ラインにおける複
数の直線ゾーンにそれぞれ基体を配置した後、これら基
体を回転させ、かつ、粉末生成器により石英系ガラス微
粒子を生成しながら、無端走行体を循環ライン沿いにエ
ンドレス走行させる。こうした場合、粉末生成器が、各
基体の外周面上を繰り返し通過しながら、これら基体の
外周面上に石英系ガラス微粒子を噴射かつ堆積させるの
で、該各基体の外周面上には、石英系ガラス微粒子の堆
積物、すなわち、多孔質ガラス体が同時に形成される。
【００１１】
【実施例】はじめ、本発明に係る石英系ガラス微粒子の
堆積方法について、図１、図２に例示した実施例を説明
する。図１、図２において、Ｌは循環ライン、１は回転
伝動輪、２は無端走行体、３は粉末生成器、４、５は回
転チャック、１１は基体、１２は多孔質ガラス体をそれ
ぞれ示す。
堆積方法について、図１、図２に例示した実施例を説明
する。図１、図２において、Ｌは循環ライン、１は回転
伝動輪、２は無端走行体、３は粉末生成器、４、５は回
転チャック、１１は基体、１２は多孔質ガラス体をそれ
ぞれ示す。
【００１２】循環ラインＬは、複数（長短各二つ）の直
線ゾーンZ1〜Z4を有する四角形（四辺形）からなる。
線ゾーンZ1〜Z4を有する四角形（四辺形）からなる。
【００１３】各回転伝動輪１は、スプロケットギアまた
はプーリ（Ｖ溝プーリも含む）からなり、無端走行体２
は、これら回転伝動輪１と相互に対応するチェーンまた
はベルト（Ｖベルトも含む）からなる。
はプーリ（Ｖ溝プーリも含む）からなり、無端走行体２
は、これら回転伝動輪１と相互に対応するチェーンまた
はベルト（Ｖベルトも含む）からなる。
【００１４】一対の回転チャック４および他の一対の回
転チャック５は、公知ないし周知のものであり、これら
は、図示しないガラス旋盤に装備されている。
転チャック５は、公知ないし周知のものであり、これら
は、図示しないガラス旋盤に装備されている。
【００１５】各粉末生成器３は、公知ないし周知の多重
管バーナ（トーチ）からなる。具体的一例として、粉末
生成器３は、気相のガラス原料（ＳｉＣｌ4 ）、気相の
ドープ原料（ＧｅＣｌ4 、ＰＯＣｌ3 、ＢＣｌ3 ）など
の供給を受ける原料ガス流路と、易燃性ガス（水素ガス
＝Ｈ2 、メタン、プロパン、ブタン）の単体または混合
体からなる燃料ガスの供給を受ける燃料ガス流路と、支
燃ガス（Ｏ2 ）の供給を受ける支燃ガス流路とを備えて
おり、他に、緩衝ガス（Ａｒ）の供給を受けるガス流路
を備えていることもある。粉末生成器３の各流路には、
所定のガスを供給するため、ガス供給源に通じる配管系
（図示せず）が接続されている。
管バーナ（トーチ）からなる。具体的一例として、粉末
生成器３は、気相のガラス原料（ＳｉＣｌ4 ）、気相の
ドープ原料（ＧｅＣｌ4 、ＰＯＣｌ3 、ＢＣｌ3 ）など
の供給を受ける原料ガス流路と、易燃性ガス（水素ガス
＝Ｈ2 、メタン、プロパン、ブタン）の単体または混合
体からなる燃料ガスの供給を受ける燃料ガス流路と、支
燃ガス（Ｏ2 ）の供給を受ける支燃ガス流路とを備えて
おり、他に、緩衝ガス（Ａｒ）の供給を受けるガス流路
を備えていることもある。粉末生成器３の各流路には、
所定のガスを供給するため、ガス供給源に通じる配管系
（図示せず）が接続されている。
【００１６】基体１１は、断面円形で軸方向に長い棒状
体または管状体からなる。基体１１の一例として、石英
系のガラス棒をあげることができ、基体１１の他例とし
て、石英系のガラス管をあげることができる。このよう
な基体１１の外周面上には、すでに、多孔質ガラス体が
形成されていることもある。
体または管状体からなる。基体１１の一例として、石英
系のガラス棒をあげることができ、基体１１の他例とし
て、石英系のガラス管をあげることができる。このよう
な基体１１の外周面上には、すでに、多孔質ガラス体が
形成されていることもある。
【００１７】図１、図２において、各回転伝動輪１は、
循環ラインＬの四隅部に対応して配置され、これら回転
伝動輪１にわたり、無端走行体２が掛け回されている。
この場合、回転伝動輪１は、周知の軸受を介して回転自
在に支持されており、図示しない電動機（モータ）が、
これら回転伝動輪の任意の一つに連結される。さらに、
無端走行体２には、一定の間隔をおいて多数の粉末生成
器３が取りつけられている。
循環ラインＬの四隅部に対応して配置され、これら回転
伝動輪１にわたり、無端走行体２が掛け回されている。
この場合、回転伝動輪１は、周知の軸受を介して回転自
在に支持されており、図示しない電動機（モータ）が、
これら回転伝動輪の任意の一つに連結される。さらに、
無端走行体２には、一定の間隔をおいて多数の粉末生成
器３が取りつけられている。
【００１８】図１、図２に示す循環ラインＬにおいて、
一対の回転チャック４は、直線ゾーンZ1の両端に配置さ
れており、他の一対の回転チャック５は、直線ゾーンZ3
の両端に配置されている。
一対の回転チャック４は、直線ゾーンZ1の両端に配置さ
れており、他の一対の回転チャック５は、直線ゾーンZ3
の両端に配置されている。
【００１９】図１、図２においてＯＶＤ法を実施すると
き、循環ラインＬの二つの直線ゾーンZ1、Z3に配置され
た各基体１１は、各一対の回転チャック４、５により両
端支持されて定位置で回転し、ＳｉＣｌ4 、Ｈ2 、Ｏ2
などのガスが連続供給されている各粉末生成器３は、こ
れらが燃焼状態に保持されて石英系のガラス微粒子を生
成し、無端走行体２は、各回転伝動輪１からの動力を受
けて、循環ラインＬに沿いエンドレス走行する。
き、循環ラインＬの二つの直線ゾーンZ1、Z3に配置され
た各基体１１は、各一対の回転チャック４、５により両
端支持されて定位置で回転し、ＳｉＣｌ4 、Ｈ2 、Ｏ2
などのガスが連続供給されている各粉末生成器３は、こ
れらが燃焼状態に保持されて石英系のガラス微粒子を生
成し、無端走行体２は、各回転伝動輪１からの動力を受
けて、循環ラインＬに沿いエンドレス走行する。
【００２０】以下、各粉末生成器３は、石英系のガラス
微粒子を生成しながら循環ラインＬの各直線ゾーンZ1〜
Z4をZ1→Z2→Z3→Z4→Z1のように繰り返し循環し、所定
の直線ゾーンZ1、Z3にある各基体１１の外周面上に石英
系ガラス微粒子を噴射かつ堆積させて、これら基体１１
の外周面上に多孔質ガラス体１２を形成する。
微粒子を生成しながら循環ラインＬの各直線ゾーンZ1〜
Z4をZ1→Z2→Z3→Z4→Z1のように繰り返し循環し、所定
の直線ゾーンZ1、Z3にある各基体１１の外周面上に石英
系ガラス微粒子を噴射かつ堆積させて、これら基体１１
の外周面上に多孔質ガラス体１２を形成する。
【００２１】上述した実施例のＯＶＤ法によるとき、複
数の多孔質ガラス体１２が同時に得られるほか、各粉末
生成器３が定常的に石英系ガラス微粒子を生成しながら
所定の直線ゾーンZ1、Z3に沿い一定方向へ移動するの
で、石英系ガラス微粒子の生成状況、堆積状況にバラツ
キが生ぜず、これらが共に安定する。したがって、多孔
質ガラス体を形成する際の生産性、品質、有効長、歩留
りなどを満足させることができる。その後、多孔質ガラ
ス体１２は、公知ないし周知の脱泡処理、脱水処理、透
明ガラス化処理を受け、透明なガラス体（合成石英）と
なる。
数の多孔質ガラス体１２が同時に得られるほか、各粉末
生成器３が定常的に石英系ガラス微粒子を生成しながら
所定の直線ゾーンZ1、Z3に沿い一定方向へ移動するの
で、石英系ガラス微粒子の生成状況、堆積状況にバラツ
キが生ぜず、これらが共に安定する。したがって、多孔
質ガラス体を形成する際の生産性、品質、有効長、歩留
りなどを満足させることができる。その後、多孔質ガラ
ス体１２は、公知ないし周知の脱泡処理、脱水処理、透
明ガラス化処理を受け、透明なガラス体（合成石英）と
なる。
【００２２】つぎに、本発明に係る石英系ガラス微粒子
の堆積方法について、図３に例示した実施例を説明す
る。図３に例示した実施例は、循環ラインＬが二つの直
線ゾーンZ1、Z3と二つの曲線ゾーンZ2、Z4とを備えた扁
平なリング形状である点を除き、図１、図２で述べた技
術内容と実質的に同じである。図３の実施例も、図１、
図２で述べたと同様にして、二本の基体１１の外周面上
に多孔質ガラス体１２を形成することができる。
の堆積方法について、図３に例示した実施例を説明す
る。図３に例示した実施例は、循環ラインＬが二つの直
線ゾーンZ1、Z3と二つの曲線ゾーンZ2、Z4とを備えた扁
平なリング形状である点を除き、図１、図２で述べた技
術内容と実質的に同じである。図３の実施例も、図１、
図２で述べたと同様にして、二本の基体１１の外周面上
に多孔質ガラス体１２を形成することができる。
【００２３】つぎに、本発明に係る石英系ガラス微粒子
の堆積方法について、図４に例示した実施例を説明す
る。図４に例示した実施例は、循環ラインＬが三つの直
線ゾーンZ1、Z2、Z3を主体にした三角形からなる。この
三角形の循環ラインＬに対応して、粉末生成器３付きの
無端走行体２が設備され、各直線ゾーンZ1、Z2、Z3の両
端に三対の各回転チャック４、５、６が配置されるな
ど、図１、図２の実施例に準じて、必要な設備が施され
る。図４の実施例も、図１、図２で述べたと同様にし
て、三本の基体１１の外周面上に多孔質ガラス体１２を
形成することができる。
の堆積方法について、図４に例示した実施例を説明す
る。図４に例示した実施例は、循環ラインＬが三つの直
線ゾーンZ1、Z2、Z3を主体にした三角形からなる。この
三角形の循環ラインＬに対応して、粉末生成器３付きの
無端走行体２が設備され、各直線ゾーンZ1、Z2、Z3の両
端に三対の各回転チャック４、５、６が配置されるな
ど、図１、図２の実施例に準じて、必要な設備が施され
る。図４の実施例も、図１、図２で述べたと同様にし
て、三本の基体１１の外周面上に多孔質ガラス体１２を
形成することができる。
【００２４】その他、図１、図２の実施例において、循
環ラインＬの直線ゾーンZ2、Z4を直線ゾーンZ1、Z3と同
程度に長くし、これに応じて既述のガラス微粒子堆積手
段を設備した場合、これら四つの直線ゾーンZ1〜Z4に基
体１１を配置して、四本の基体１１の外周面上に多孔質
ガラス体１２を形成することができる。同様に、循環ラ
インＬを五角形以上の多角形にし、これの各辺（直線ゾ
ーン）を利用して、ガラス微粒子堆積手段を既述の技術
内容に準じて設備すれば、五本以上の基体１１の外周面
上に多孔質ガラス体１２を形成することもできる。
環ラインＬの直線ゾーンZ2、Z4を直線ゾーンZ1、Z3と同
程度に長くし、これに応じて既述のガラス微粒子堆積手
段を設備した場合、これら四つの直線ゾーンZ1〜Z4に基
体１１を配置して、四本の基体１１の外周面上に多孔質
ガラス体１２を形成することができる。同様に、循環ラ
インＬを五角形以上の多角形にし、これの各辺（直線ゾ
ーン）を利用して、ガラス微粒子堆積手段を既述の技術
内容に準じて設備すれば、五本以上の基体１１の外周面
上に多孔質ガラス体１２を形成することもできる。
【００２５】
【発明の効果】本発明に係る石英系ガラス微粒子の堆積
方法は、二本以上の基体を循環ラインの二つ以上の直線
ゾーンに配置した後、これら基体を回転させながら、粉
末生成器から噴射した石英系ガラス微粒子を各基体の外
周面上に堆積させるとき、粉末生成器を備えた無端走行
体を循環ライン沿いにエンドレス走行させるから、多孔
質ガラス体を形成する際の生産性、品質、有効長、歩留
りなどを高めることができる。
方法は、二本以上の基体を循環ラインの二つ以上の直線
ゾーンに配置した後、これら基体を回転させながら、粉
末生成器から噴射した石英系ガラス微粒子を各基体の外
周面上に堆積させるとき、粉末生成器を備えた無端走行
体を循環ライン沿いにエンドレス走行させるから、多孔
質ガラス体を形成する際の生産性、品質、有効長、歩留
りなどを高めることができる。
【図１】本発明方法の第一実施例を略示した斜視図であ
る。
る。
【図２】図１に略示した実施例の正面図である。
【図３】本発明方法の第二実施例を略示した正面図であ
る。
る。
【図４】本発明方法の第三実施例を略示した正面図であ
る。
る。
１ 回転伝動輪 ２ 無端走行体 ３ 粉末生成器 ４ 回転チャック ５ 回転チャック ６ 回転チャック １１ 基体 １２ 多孔質ガラス体 Ｌ 循環ライン Z1 直線ゾーン Z2 直線ゾーン Z3 直線ゾーン Z4 直線ゾーン
Claims (1)
- 【請求項１】 断面円形で軸方向に長いガラス微粒子堆
積用の基体を回転させつつ、ガラス微粒子生成用の粉末
生成器を基体の軸方向沿いに移動させて、粉末生成器か
ら噴射した石英系ガラス微粒子を基体の外周面上に堆積
させる方法において、複数の直線ゾーンを含む循環ライ
ンに沿ってエンドレス走行自在に設けられた無端走行体
に粉末生成器を備えつけておき、二本以上の基体を循環
ラインの二つ以上の直線ゾーンに配置した後、これら基
体を回転させながら、粉末生成器から噴射した石英系ガ
ラス微粒子を各基体の外周面上に堆積させるとき、粉末
生成器を備えた無端走行体を循環ライン沿いにエンドレ
ス走行させることを特徴とする石英系ガラス微粒子の堆
積方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5973192A JPH05221670A (ja) | 1992-02-14 | 1992-02-14 | 石英系ガラス微粒子の堆積方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5973192A JPH05221670A (ja) | 1992-02-14 | 1992-02-14 | 石英系ガラス微粒子の堆積方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05221670A true JPH05221670A (ja) | 1993-08-31 |
Family
ID=13121640
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5973192A Pending JPH05221670A (ja) | 1992-02-14 | 1992-02-14 | 石英系ガラス微粒子の堆積方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05221670A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003097542A1 (de) * | 2002-05-21 | 2003-11-27 | S & S Technologie- Und Investitionsgesellschaft Mbh | Cvd-anlage und verfahren zur herstellung von preformen |
| WO2004039737A1 (de) * | 2002-11-01 | 2004-05-13 | Heraeus Tenevo Gmbh | Verfahren und vorrichtung zur herstellung zylinderförmigen körpers aus quarzglas |
-
1992
- 1992-02-14 JP JP5973192A patent/JPH05221670A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003097542A1 (de) * | 2002-05-21 | 2003-11-27 | S & S Technologie- Und Investitionsgesellschaft Mbh | Cvd-anlage und verfahren zur herstellung von preformen |
| WO2004039737A1 (de) * | 2002-11-01 | 2004-05-13 | Heraeus Tenevo Gmbh | Verfahren und vorrichtung zur herstellung zylinderförmigen körpers aus quarzglas |
| US7310975B2 (en) | 2002-11-01 | 2007-12-25 | Heraeus Tenevo Gmbh | Method and device for producing a cylindrical body consisting of quartz glass |
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