JPH0522162B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0522162B2 JPH0522162B2 JP57216046A JP21604682A JPH0522162B2 JP H0522162 B2 JPH0522162 B2 JP H0522162B2 JP 57216046 A JP57216046 A JP 57216046A JP 21604682 A JP21604682 A JP 21604682A JP H0522162 B2 JPH0522162 B2 JP H0522162B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- synthetic resin
- conductive thin
- thin film
- resin sheet
- eddy current
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 26
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 claims description 25
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 claims description 25
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 6
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 claims description 4
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 claims description 4
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 4
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 4
- 238000000465 moulding Methods 0.000 claims description 2
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 22
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 4
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は対象物の変位測定を非接触で行なう
渦電流式位置検出器およびその製造方法に関する
ものである。
渦電流式位置検出器およびその製造方法に関する
ものである。
例えば磁気力によつて軸を空間に浮上させた状
態で回転駆動する磁気軸受に於いては、回転軸の
変位を非接触で検出し、設定位置からのずれ量を
これに応じた電流に変換して電磁コイルを励磁
し、生じた電磁力により軸を定位置に修正するフ
イードバツクシステムの為、軸の径方向及び軸方
向の変位を検出する必要がある。そこで、位置検
出器としてノイズドリフトが少なく、経年変化が
少ない等の理由により渦電流式位置検出器が多く
用いられている。
態で回転駆動する磁気軸受に於いては、回転軸の
変位を非接触で検出し、設定位置からのずれ量を
これに応じた電流に変換して電磁コイルを励磁
し、生じた電磁力により軸を定位置に修正するフ
イードバツクシステムの為、軸の径方向及び軸方
向の変位を検出する必要がある。そこで、位置検
出器としてノイズドリフトが少なく、経年変化が
少ない等の理由により渦電流式位置検出器が多く
用いられている。
渦電流式位置検出器は、交流電流が流れるコイ
ルに導電体を近付けると、コイルと導電体との距
離に応じて導電体に渦電流が流れて交流磁界が発
生し、この交流磁界がコイルに作用してコイルの
インピーダンスを変化させるという原理を応用
し、コイルをプローブとして利用することにより
導電体である対象物の位置を検出するものであ
る。
ルに導電体を近付けると、コイルと導電体との距
離に応じて導電体に渦電流が流れて交流磁界が発
生し、この交流磁界がコイルに作用してコイルの
インピーダンスを変化させるという原理を応用
し、コイルをプローブとして利用することにより
導電体である対象物の位置を検出するものであ
る。
ところで、従来の渦電流式位置検出器に於いて
は、第1図に示すような絶縁被覆銅細線aを樹脂
芯に数回〜数十回リング状に巻き付け、その外周
部を樹脂モールドしたプローブ用コイルAが使用
されているが、磁気軸受等のように多数個のプロ
ーブを使用して軸の位置を検出する場合、コイル
製造時の張力の不均一等による特性のバラツキを
無視することができない。又、磁気軸受等に於い
ては軸の径方向の位置を検出する為に2〜4個の
プローブを同一円周上に軸芯に対して90゜の位置
間隔で固定するが、従来のプローブ用コイルAで
は取付位置の正確な設定に手数を要する欠点があ
る。更に、従来のプローブ用コイルAは製造に工
数が掛り過ぎて製造コストが高価である等の問題
を含んでいる。
は、第1図に示すような絶縁被覆銅細線aを樹脂
芯に数回〜数十回リング状に巻き付け、その外周
部を樹脂モールドしたプローブ用コイルAが使用
されているが、磁気軸受等のように多数個のプロ
ーブを使用して軸の位置を検出する場合、コイル
製造時の張力の不均一等による特性のバラツキを
無視することができない。又、磁気軸受等に於い
ては軸の径方向の位置を検出する為に2〜4個の
プローブを同一円周上に軸芯に対して90゜の位置
間隔で固定するが、従来のプローブ用コイルAで
は取付位置の正確な設定に手数を要する欠点があ
る。更に、従来のプローブ用コイルAは製造に工
数が掛り過ぎて製造コストが高価である等の問題
を含んでいる。
この発明は従来の上記欠点に鑑み、これを改良
除去せんとしたもので、以下この発明の詳細を図
面について説明すると次の通りである。
除去せんとしたもので、以下この発明の詳細を図
面について説明すると次の通りである。
第2図はこの発明の渦電流位置検出器に用いら
れる新規なプローブの一実施例を示すもので、図
面に於いて、1は可撓性の合成樹脂シート、2は
合成樹脂シート1上に銅合金等の導電薄膜2aを
スパイラル状に形成した導電体部、3,3は導電
体部2の導電薄膜2aの両端部より導出した絶縁
被覆銅細線等のリード線である。
れる新規なプローブの一実施例を示すもので、図
面に於いて、1は可撓性の合成樹脂シート、2は
合成樹脂シート1上に銅合金等の導電薄膜2aを
スパイラル状に形成した導電体部、3,3は導電
体部2の導電薄膜2aの両端部より導出した絶縁
被覆銅細線等のリード線である。
上記プローブ用シートBは次の如く得られるも
のである。即ち、1mm以下の可撓性の合成樹脂シ
ート1上に電着法により導電薄膜2aを形成し、
この導電薄膜2aをフオトエツチング法によりス
パイラル状に残して導電体部2を形成し、この導
電体部2の導電薄膜2aの両端部にリード線3,
3を夫々電気的に接続して得られる。尚、前記ス
パイラル状導電体部2は、径方向の変位を正確に
検出できるようにする為にスパイラル外径を極力
小さくする必要があり、又、渦電流による交流磁
界を効率よく捕えるようにする為にスパイラル内
径を極力大きくする必要があり、従つてスパイラ
ルのピツチ間隔を極力狭く形成させる必要があ
る。
のである。即ち、1mm以下の可撓性の合成樹脂シ
ート1上に電着法により導電薄膜2aを形成し、
この導電薄膜2aをフオトエツチング法によりス
パイラル状に残して導電体部2を形成し、この導
電体部2の導電薄膜2aの両端部にリード線3,
3を夫々電気的に接続して得られる。尚、前記ス
パイラル状導電体部2は、径方向の変位を正確に
検出できるようにする為にスパイラル外径を極力
小さくする必要があり、又、渦電流による交流磁
界を効率よく捕えるようにする為にスパイラル内
径を極力大きくする必要があり、従つてスパイラ
ルのピツチ間隔を極力狭く形成させる必要があ
る。
第3図は上記プローブ用シートBを応用して形
成させた軸回転型磁気軸受に於ける回転軸の位置
検出プローブで、合成樹脂シート1上の等間隔4
個所に前述したようにスパイラル状導電体部2及
びリード線3,3を設け、この合成樹脂シート1
を上記スパイラル状導電体部2及びリード線3,
3を外側に向け、かつ対象物となる回転軸とのす
き間を所定方法例えば0.5mm程度に設定して円筒
状に形成すると共に、該合成樹脂シート1の外周
部を合成樹脂製の円筒状ケーシング4で樹脂モー
ルドしたものである。
成させた軸回転型磁気軸受に於ける回転軸の位置
検出プローブで、合成樹脂シート1上の等間隔4
個所に前述したようにスパイラル状導電体部2及
びリード線3,3を設け、この合成樹脂シート1
を上記スパイラル状導電体部2及びリード線3,
3を外側に向け、かつ対象物となる回転軸とのす
き間を所定方法例えば0.5mm程度に設定して円筒
状に形成すると共に、該合成樹脂シート1の外周
部を合成樹脂製の円筒状ケーシング4で樹脂モー
ルドしたものである。
第4図は軸固定のアウターローター回転型磁気
軸受に於ける位置検出プローブで、合成樹脂シー
ト1をスパイラル状導電体部2及びリード線3,
3を内側に向けて円筒状に形成し、図面では示さ
れていないが合成樹脂シート1の内周部を合成樹
脂製の円筒状ケーシングでモールドしたものであ
る。
軸受に於ける位置検出プローブで、合成樹脂シー
ト1をスパイラル状導電体部2及びリード線3,
3を内側に向けて円筒状に形成し、図面では示さ
れていないが合成樹脂シート1の内周部を合成樹
脂製の円筒状ケーシングでモールドしたものであ
る。
尚、上記第3図及び第4図に示す実施例では、
合成樹脂シート1上に複数個のスパイラル状導電
体部2及びリード線3,3を設ける方法により多
素子一体型プローブを得るようにしているが、合
成樹脂製ケーシングの内周面或いは外周面に複数
個の第2図に示す前記プローブ用シートBを貼着
する方法により多素子一体型プローブを得ること
も可能である。又、合成樹脂製ケーシングの熱膨
脹及びプローブの温度変化の影響を問題としない
用途に於いては、第5図に示すように軸芯に対し
て90゜の位置2個所にスパイラル状導電体部2及
びリード線3,3を設けた2素子一体型のプロー
ブの使用も可能である。更に、前述した実施例で
は対象物の径方向の位置検出について説明した
が、対象物の軸方向の位置検出にも使用が可能で
ある。又、スパイラル状導電体部2は図面に示す
ような丸形に限定されるものでなく、例えば四角
形等に形成しても可能である。
合成樹脂シート1上に複数個のスパイラル状導電
体部2及びリード線3,3を設ける方法により多
素子一体型プローブを得るようにしているが、合
成樹脂製ケーシングの内周面或いは外周面に複数
個の第2図に示す前記プローブ用シートBを貼着
する方法により多素子一体型プローブを得ること
も可能である。又、合成樹脂製ケーシングの熱膨
脹及びプローブの温度変化の影響を問題としない
用途に於いては、第5図に示すように軸芯に対し
て90゜の位置2個所にスパイラル状導電体部2及
びリード線3,3を設けた2素子一体型のプロー
ブの使用も可能である。更に、前述した実施例で
は対象物の径方向の位置検出について説明した
が、対象物の軸方向の位置検出にも使用が可能で
ある。又、スパイラル状導電体部2は図面に示す
ような丸形に限定されるものでなく、例えば四角
形等に形成しても可能である。
以上説明したところから明らかなように、この
発明は次のような効果を奏する。
発明は次のような効果を奏する。
この発明の渦電流式位置検出器は、合成樹脂シ
ートの表面に電着とフオトエツチングにより複数
の渦巻状導電薄膜を形成させたものであるから、
従来の機械巻による巻線タイプのプローブ(第1
図)を使用するのに比べて加工コストが格段に低
減するのみならず、素子間の特性のバラツキが少
ないので磁気軸受等における回転体の半径方向位
置検出のために円周上の複数位置で検出をするの
に非常に有利である。また、一枚の合成樹脂シー
トに複数の導電体部を配置した多素子一体型であ
るから、従来のように単体プローブをそれぞれ取
り付けるのに比べて、素子相互の相対的な位置関
係の調整が全く不要であり、したがつて取付作業
も非常に容易である。既述のように素子相互間の
特性のバラツキがもともと少ないことに加えて、
取り付けに際して相互の位置関係を変化させてし
まう心配もないから、所期の精度を保つて信頼性
の高い検出が可能である。
ートの表面に電着とフオトエツチングにより複数
の渦巻状導電薄膜を形成させたものであるから、
従来の機械巻による巻線タイプのプローブ(第1
図)を使用するのに比べて加工コストが格段に低
減するのみならず、素子間の特性のバラツキが少
ないので磁気軸受等における回転体の半径方向位
置検出のために円周上の複数位置で検出をするの
に非常に有利である。また、一枚の合成樹脂シー
トに複数の導電体部を配置した多素子一体型であ
るから、従来のように単体プローブをそれぞれ取
り付けるのに比べて、素子相互の相対的な位置関
係の調整が全く不要であり、したがつて取付作業
も非常に容易である。既述のように素子相互間の
特性のバラツキがもともと少ないことに加えて、
取り付けに際して相互の位置関係を変化させてし
まう心配もないから、所期の精度を保つて信頼性
の高い検出が可能である。
さらに、この発明の渦電流式位置検出器は、合
成樹脂シートの、導電薄膜が形成されている面と
は反対側の面が被検出回転体と対面するようにし
て実施した場合、合成樹脂シートが被検出回転体
と導電薄膜との間に介在して導電薄膜を保護す
る。したがつて、導電薄膜を傷つけないように細
心の注意を払うといつた組立作業に対する要求が
緩和され、作業能率の向上にも大いに寄与するこ
ととなる。また、合成樹脂シートと導電薄膜を合
わせても肉圧は非常に薄く、しかも、導電薄膜を
固めるモールド層も被検出回転体とは反対側の面
に形成されるため、その形状や寸法に関する制約
が少なく、磁気軸受等の対象機器における限られ
たスペースに組み込むうえで非常に有利である。
成樹脂シートの、導電薄膜が形成されている面と
は反対側の面が被検出回転体と対面するようにし
て実施した場合、合成樹脂シートが被検出回転体
と導電薄膜との間に介在して導電薄膜を保護す
る。したがつて、導電薄膜を傷つけないように細
心の注意を払うといつた組立作業に対する要求が
緩和され、作業能率の向上にも大いに寄与するこ
ととなる。また、合成樹脂シートと導電薄膜を合
わせても肉圧は非常に薄く、しかも、導電薄膜を
固めるモールド層も被検出回転体とは反対側の面
に形成されるため、その形状や寸法に関する制約
が少なく、磁気軸受等の対象機器における限られ
たスペースに組み込むうえで非常に有利である。
なお、導電薄膜を形成した合成樹脂シートは、
治具に巻いて合成樹脂モールドで固めて円筒形状
にするので、その際、各導電薄膜と被検出体との
間のすきまの設定ないし調整がしやすいことか
ら、合成樹脂シートの被検出体側の面にも導電薄
膜を設けて実施することが可能であり、これによ
り検出能力の向上を図ることができる。
治具に巻いて合成樹脂モールドで固めて円筒形状
にするので、その際、各導電薄膜と被検出体との
間のすきまの設定ないし調整がしやすいことか
ら、合成樹脂シートの被検出体側の面にも導電薄
膜を設けて実施することが可能であり、これによ
り検出能力の向上を図ることができる。
この発明の渦電流式位置検出器の製造方法によ
れば、被検出回転体と対面する円筒面に複数の渦
巻状導電薄膜を所定間隔で配設するにあたり、渦
巻状導電薄膜を円筒面に直接形成させるのではな
く、平板状合成樹脂シート上に形成させた後、そ
の合成樹脂シートを円筒形状に巻くようにしたの
で、渦巻状導電薄膜相互の位置関係が正確に保た
れ、かつ、導電薄膜と被検出体との間のすきまの
設定ないし調整がしやすく、したがつて精度のよ
い渦電流式位置検出器を容易に製造することがで
きる。
れば、被検出回転体と対面する円筒面に複数の渦
巻状導電薄膜を所定間隔で配設するにあたり、渦
巻状導電薄膜を円筒面に直接形成させるのではな
く、平板状合成樹脂シート上に形成させた後、そ
の合成樹脂シートを円筒形状に巻くようにしたの
で、渦巻状導電薄膜相互の位置関係が正確に保た
れ、かつ、導電薄膜と被検出体との間のすきまの
設定ないし調整がしやすく、したがつて精度のよ
い渦電流式位置検出器を容易に製造することがで
きる。
第1図は従来の巻線タイプのプローブを示す斜
視図、第2図はこの発明の渦電流式位置検出器に
用いられるプローブ用シートを示す図面、第3図
乃至第5図はこの発明の渦電流式位置検出器の具
体的な例を夫々示す斜視図である。 B…プローブ用シート、1…合成樹脂シート、
2a…導電薄膜、2…スパイラル状導電体部、
3,3…リード線、4…ケーシング。
視図、第2図はこの発明の渦電流式位置検出器に
用いられるプローブ用シートを示す図面、第3図
乃至第5図はこの発明の渦電流式位置検出器の具
体的な例を夫々示す斜視図である。 B…プローブ用シート、1…合成樹脂シート、
2a…導電薄膜、2…スパイラル状導電体部、
3,3…リード線、4…ケーシング。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 回転体の半径方向位置を検出するための渦電
流式位置検出器であつて、被検出回転体との間に
所定の半径方向すきまを形成するように円筒形に
巻いた可撓性の合成樹脂シート、上記合成樹脂シ
ートの円周方向に90度間隔で配設された複数の導
電体部、および上記合成樹脂シートの導電体部を
配設した面に形成された樹脂モールドからなり、
上記各導電体部が、上記合成樹脂シートに電着と
フオトエツチングで形成された渦巻状の導電薄膜
と、その導電薄膜の両端から導出した位置検出端
子を有する渦電流式位置検出器。 2 回転体の半径方向位置を円周上の90度間隔の
複数位置で検出するための渦電流式位置検出器を
製造する方法であつて、一枚の平板状可撓性合成
樹脂シートの表面に電着とフオトエツチングとに
より所定の間隔で複数の渦巻状導電薄膜を形成
し、上記シートを前記回転体との間に予め設定し
た半径方向スキマを形成する円筒形状に捲き、上
記シートの導電薄膜を形成した面を合成樹脂で固
めて前記渦巻状導電薄膜をモールドし、かつ前記
各渦巻状導電薄膜の両端部にリード線を接続する
ことからなる渦電流式位置検出器の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21604682A JPS59105505A (ja) | 1982-12-09 | 1982-12-09 | 渦電流式位置検出器及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21604682A JPS59105505A (ja) | 1982-12-09 | 1982-12-09 | 渦電流式位置検出器及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59105505A JPS59105505A (ja) | 1984-06-18 |
JPH0522162B2 true JPH0522162B2 (ja) | 1993-03-26 |
Family
ID=16682425
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP21604682A Granted JPS59105505A (ja) | 1982-12-09 | 1982-12-09 | 渦電流式位置検出器及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59105505A (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FI112278B (fi) * | 2000-01-20 | 2003-11-14 | High Speed Tech Ltd Oy | Menetelmä sähkökoneen roottorin sijainnin määrittämiseksi sekä sijaintianturi |
JP4542973B2 (ja) * | 2005-09-15 | 2010-09-15 | 株式会社東芝 | 移動距離計測装置および移動距離計測方法 |
JP5195336B2 (ja) * | 2008-11-14 | 2013-05-08 | 株式会社ジェイテクト | 変位センサ装置及び転がり軸受装置 |
JP5218101B2 (ja) * | 2009-01-28 | 2013-06-26 | 株式会社ジェイテクト | 変位センサ装置及び転がり軸受装置 |
JP5434577B2 (ja) * | 2009-12-25 | 2014-03-05 | 株式会社ジェイテクト | 変位センサ装置及び転がり軸受装置 |
JP5434585B2 (ja) * | 2009-12-28 | 2014-03-05 | 株式会社ジェイテクト | 変位センサ装置及び転がり軸受装置 |
JP5440205B2 (ja) * | 2010-01-22 | 2014-03-12 | 株式会社ジェイテクト | 変位センサ装置及び転がり軸受装置 |
JP6108523B2 (ja) * | 2012-12-07 | 2017-04-05 | 三菱重工業株式会社 | センサを備えた測定ツール |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5278464A (en) * | 1976-02-16 | 1977-07-01 | Akebono Brake Ind | Probe for wear indicator |
JPS5360661A (en) * | 1976-11-12 | 1978-05-31 | Sakata Denki Kk | Apparatus for detecting depth of landslide level |
JPS5455463A (en) * | 1977-10-12 | 1979-05-02 | Shin Nippon Sokki Kk | Sensor |
JPS5684501A (en) * | 1979-11-15 | 1981-07-09 | Bosch Gmbh Robert | Measuring device for detecting distance between metallic surface and its opposite surface under nonncontact condition |
-
1982
- 1982-12-09 JP JP21604682A patent/JPS59105505A/ja active Granted
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5278464A (en) * | 1976-02-16 | 1977-07-01 | Akebono Brake Ind | Probe for wear indicator |
JPS5360661A (en) * | 1976-11-12 | 1978-05-31 | Sakata Denki Kk | Apparatus for detecting depth of landslide level |
JPS5455463A (en) * | 1977-10-12 | 1979-05-02 | Shin Nippon Sokki Kk | Sensor |
JPS5684501A (en) * | 1979-11-15 | 1981-07-09 | Bosch Gmbh Robert | Measuring device for detecting distance between metallic surface and its opposite surface under nonncontact condition |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS59105505A (ja) | 1984-06-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4965074B2 (ja) | 計測機能付きころがり軸受及びこれを備えた電動機 | |
CN106052918B (zh) | 扭矩传感器 | |
US5521495A (en) | Sensor for contactless determination of an angle of rotation of a rotatable structural element | |
US4962331A (en) | Rotatable control signal generator | |
US4302692A (en) | Rotational speed signal sensor | |
US5827968A (en) | Hub unit with rotation speed sensor | |
US9983075B2 (en) | Magnetostrictive torque sensor that prevents torque measurement error due to offset voltage | |
JPH0522162B2 (ja) | ||
WO2019123836A1 (ja) | 回転角度センサ | |
US6215210B1 (en) | Motor, structure of stator of the motor and assembly method of the stator | |
US11204261B2 (en) | Rotational position detection device | |
JP7155846B2 (ja) | 回転装置 | |
EP0200537A2 (en) | Electrical motor with improved tachometer generator | |
JPH0477246B2 (ja) | ||
US4425522A (en) | Rotational speed indication signal generator having a plurality of generating coils | |
EP3517896B1 (en) | Contactless radial position sensor having improved response behavior to target defects | |
JP4382927B2 (ja) | 相対回転角度検出装置 | |
US6003375A (en) | Hub unit with rotation speed sensor | |
US9518843B2 (en) | Flange and resolver assembly | |
JPS6173567A (ja) | 電子転流直流機 | |
JPH079043Y2 (ja) | 非接触変位センサ | |
JPS5947942B2 (ja) | 回転速度信号検出器 | |
CN217786211U (zh) | 编码器 | |
JPS625603Y2 (ja) | ||
US3394363A (en) | Differential reluctance shaft angle transducer |