JPH0521657A - 冷媒定温制御装置とその制御方法 - Google Patents
冷媒定温制御装置とその制御方法Info
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- JPH0521657A JPH0521657A JP17353291A JP17353291A JPH0521657A JP H0521657 A JPH0521657 A JP H0521657A JP 17353291 A JP17353291 A JP 17353291A JP 17353291 A JP17353291 A JP 17353291A JP H0521657 A JPH0521657 A JP H0521657A
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- Japan
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- refrigerant
- temperature
- temperature sensor
- limit temperature
- lower limit
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 液体窒素等の冷媒を連続して低温で供給する
際の冷媒定温制御装置に関し，配管内温度を一定冷媒温
度で連続的に供給することを目的とする 【構成】 冷媒１を用いて，保冷対象物２を一定の温度
に冷却するに際して，冷媒１を供給する保冷配管３に冷
媒１の供給源から順にあらかじめ温度を設定した上限温
度センサー４及び下限温度センサー５と，自動バルブ６
とを設け，冷媒１の温度が上限温度になったら, 上限温
度センサー４からの信号により自動バルブ６を開いて,
冷媒１の保冷対象物２に対する供給を開始し, 冷媒１の
温度が下限温度になったら, 下限温度センサー５からの
信号により自動バルブ６を閉じて,冷媒１の保冷対象物
２に対する供給を停止するように構成する。
際の冷媒定温制御装置に関し，配管内温度を一定冷媒温
度で連続的に供給することを目的とする 【構成】 冷媒１を用いて，保冷対象物２を一定の温度
に冷却するに際して，冷媒１を供給する保冷配管３に冷
媒１の供給源から順にあらかじめ温度を設定した上限温
度センサー４及び下限温度センサー５と，自動バルブ６
とを設け，冷媒１の温度が上限温度になったら, 上限温
度センサー４からの信号により自動バルブ６を開いて,
冷媒１の保冷対象物２に対する供給を開始し, 冷媒１の
温度が下限温度になったら, 下限温度センサー５からの
信号により自動バルブ６を閉じて,冷媒１の保冷対象物
２に対する供給を停止するように構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は，液体窒素等の冷媒を連
続して低温で供給する際の冷媒定温制御装置とその制御
方法に関する。
続して低温で供給する際の冷媒定温制御装置とその制御
方法に関する。
【０００２】近年の半導体装置製造プロセスに使用され
る冷媒用液体窒素ガスには，半導体装置の高精度化にと
もなって，厳しい温度基準範囲内での制御が要求されて
いる。
る冷媒用液体窒素ガスには，半導体装置の高精度化にと
もなって，厳しい温度基準範囲内での制御が要求されて
いる。
【０００３】そのため，液体窒素の温度を低温で一定の
範囲内に制御することが必要となっている。
範囲内に制御することが必要となっている。
【０００４】
【従来の技術】図３は従来例の説明図である。図におい
て，18は液体窒素, 19は液体窒素容器, 20は保冷配管,
21は保冷対象物である。
て，18は液体窒素, 19は液体窒素容器, 20は保冷配管,
21は保冷対象物である。
【０００５】従来の低温保持機構においては，図３に示
すように，液体窒素18等の冷媒ガスを保冷対象物21であ
る半導体特性測定装置や気相成長装置の冷却部に供給す
る場合, 断熱材等で被覆した保冷配管20を用いて供給を
行っていた。
すように，液体窒素18等の冷媒ガスを保冷対象物21であ
る半導体特性測定装置や気相成長装置の冷却部に供給す
る場合, 断熱材等で被覆した保冷配管20を用いて供給を
行っていた。
【０００６】ところが，保冷配管20への外気温からの侵
入熱により，液体窒素18が気化して，保冷対象物21であ
る半導体製造装置, 測定装置の冷却部の温度が十分に下
がらず，冷媒ガスとしての役目を十分に果たすことがで
きなかった。
入熱により，液体窒素18が気化して，保冷対象物21であ
る半導体製造装置, 測定装置の冷却部の温度が十分に下
がらず，冷媒ガスとしての役目を十分に果たすことがで
きなかった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】従って，液体窒素を連
続して一定の低温度で供給することが出来ず，保冷対象
物を冷媒温度に冷却することが出来ないといった問題点
を生じていた。
続して一定の低温度で供給することが出来ず，保冷対象
物を冷媒温度に冷却することが出来ないといった問題点
を生じていた。
【０００８】本発明は，以上の問題点を鑑み，保冷配管
の配管内温度を一定冷媒温度で連続的に供給することを
目的として提供されるものである。
の配管内温度を一定冷媒温度で連続的に供給することを
目的として提供されるものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】図１は本発明の原理説明
図である。図において，１は冷媒，２は保冷対象物，３
は保冷配管，４は上限温度センサ，５は下限温度セン
サ，６は自動バルブ，７は冷媒容器である。
図である。図において，１は冷媒，２は保冷対象物，３
は保冷配管，４は上限温度センサ，５は下限温度セン
サ，６は自動バルブ，７は冷媒容器である。
【００１０】上記の問題点は，冷媒の供給に際して，温
度センサを用いて，保冷配管内の所定の位置において，
上限，下限の温度設定を行い，保冷配管内の冷媒の温度
を制御することにより解決される。
度センサを用いて，保冷配管内の所定の位置において，
上限，下限の温度設定を行い，保冷配管内の冷媒の温度
を制御することにより解決される。
【００１１】すなわち，本発明の目的は，図１に示すよ
うに，冷媒１を用いて，保冷対象物２を一定の温度に冷
却するに際して，該冷媒１を供給する保冷配管３に，供
給側より順に該冷媒１の温度を検知する上限温度センサ
ー４と自動バルブ６と下限温度センサー５を有し,該冷
媒１があらかじめ設定された上限, 下限の設定温度にな
ったら, 該上限・下限温度センサー４，５からの信号に
より自動バルブ６を開閉する制御手段を有することによ
り，また，該冷媒１を供給する保冷配管３に該冷媒１の
供給源から順にあらかじめ温度を設定した上限温度セン
サー４及び下限温度センサー５と，自動バルブ６とを設
け，該冷媒１の温度が上限温度になったら, 該上限温度
センサー４からの信号により該自動バルブ６を開いて,
該冷媒１の該保冷対象物２に対する供給を開始し,該冷
媒１の温度が下限温度になったら, 該下限温度センサー
５からの信号により該自動バルブ６を閉じて, 該冷媒１
の該保冷対象物２に対する供給を停止することにより達
成される。
うに，冷媒１を用いて，保冷対象物２を一定の温度に冷
却するに際して，該冷媒１を供給する保冷配管３に，供
給側より順に該冷媒１の温度を検知する上限温度センサ
ー４と自動バルブ６と下限温度センサー５を有し,該冷
媒１があらかじめ設定された上限, 下限の設定温度にな
ったら, 該上限・下限温度センサー４，５からの信号に
より自動バルブ６を開閉する制御手段を有することによ
り，また，該冷媒１を供給する保冷配管３に該冷媒１の
供給源から順にあらかじめ温度を設定した上限温度セン
サー４及び下限温度センサー５と，自動バルブ６とを設
け，該冷媒１の温度が上限温度になったら, 該上限温度
センサー４からの信号により該自動バルブ６を開いて,
該冷媒１の該保冷対象物２に対する供給を開始し,該冷
媒１の温度が下限温度になったら, 該下限温度センサー
５からの信号により該自動バルブ６を閉じて, 該冷媒１
の該保冷対象物２に対する供給を停止することにより達
成される。
【００１２】
【作用】本発明では，保冷配管内に設けた温度の上限，
下限センサーで，バルブを開閉して，温度が一定になる
ように冷媒の供給を制御するので，保冷配管内の冷媒温
度が常に，一定に保たれる。
下限センサーで，バルブを開閉して，温度が一定になる
ように冷媒の供給を制御するので，保冷配管内の冷媒温
度が常に，一定に保たれる。
【００１３】
【実施例】図２は本発明の一実施例の説明図である。図
において, ８は液体窒素，９は液体窒素容器，10は保冷
配管，11は低温特性測定装置，12は上限温度センサ，13
は下限温度センサ，14は自動バルブ, 15はバルブ, 16は
バイパス配管, 17はバイパスバルブである。
において, ８は液体窒素，９は液体窒素容器，10は保冷
配管，11は低温特性測定装置，12は上限温度センサ，13
は下限温度センサ，14は自動バルブ, 15はバルブ, 16は
バイパス配管, 17はバイパスバルブである。
【００１４】本発明の一実施例について説明する。図２
に示すように，液体窒素容器９内の液体窒素８を断熱材
を巻いて保冷した保冷配管10を通して，半導体デバイス
の低温温度特性を測定する低温特性測定装置11の冷却機
構に送る。
に示すように，液体窒素容器９内の液体窒素８を断熱材
を巻いて保冷した保冷配管10を通して，半導体デバイス
の低温温度特性を測定する低温特性測定装置11の冷却機
構に送る。
【００１５】低温特性測定装置11は６台が並列に設置さ
れており，−45℃の一定温度に低温特性測定装置11の測
定部を冷却する必要がある。本発明の定温制御装置は低
温特性測定装置11に各配管口を設けた保冷配管10の末端
に設けてある。
れており，−45℃の一定温度に低温特性測定装置11の測
定部を冷却する必要がある。本発明の定温制御装置は低
温特性測定装置11に各配管口を設けた保冷配管10の末端
に設けてある。
【００１６】液体窒素容９内の液体窒素８の温度は−19
5.8 度であるが, 保冷配管10を通る間に，侵入する外気
温度の影響により徐々に温度が上がる。そこで，保冷配
管10の末端に設けてある上限温度センサ12の設定温度を
−40℃とし, 下限温度センサ13の設定温度を−50℃に設
定する。
5.8 度であるが, 保冷配管10を通る間に，侵入する外気
温度の影響により徐々に温度が上がる。そこで，保冷配
管10の末端に設けてある上限温度センサ12の設定温度を
−40℃とし, 下限温度センサ13の設定温度を−50℃に設
定する。
【００１７】そして, 上限温度センサ12の温度が−40℃
まで上昇すると, 上限温度センサ12よりの信号をマイコ
ンが受け, 直ちに, マイコン制御により自動バルブ14が
自動的に開いて,液体窒素８が流れ，液体窒素８の低温
特性測定装置11への供給温度はどんどん下がって行く。
まで上昇すると, 上限温度センサ12よりの信号をマイコ
ンが受け, 直ちに, マイコン制御により自動バルブ14が
自動的に開いて,液体窒素８が流れ，液体窒素８の低温
特性測定装置11への供給温度はどんどん下がって行く。
【００１８】暫くして，下限温度センサ13の設定温度−
50℃まで下がったら, 同様に, 下限温度センサ13よりの
信号をマイコンが受け, 直ちに, マイコン制御により自
動バルブ14が自動的に閉まって, 液体窒素８の低温特性
測定装置11への供給が停止する。
50℃まで下がったら, 同様に, 下限温度センサ13よりの
信号をマイコンが受け, 直ちに, マイコン制御により自
動バルブ14が自動的に閉まって, 液体窒素８の低温特性
測定装置11への供給が停止する。
【００１９】このような自動バルブ14の開閉を, 上限・
下限温度センサ13,14 の信号を受けたマイコンの制御に
より絶えず繰り返して, 液体窒素８の低温特性測定装置
11への供給温度を絶えず−45℃±5 ℃の一定温度にする
ことができる。
下限温度センサ13,14 の信号を受けたマイコンの制御に
より絶えず繰り返して, 液体窒素８の低温特性測定装置
11への供給温度を絶えず−45℃±5 ℃の一定温度にする
ことができる。
【００２０】これによって，冷媒ガスである液体窒素８
の温度は，いつでも，上限，下限の範囲内にて保冷対象
物である低温特性測定装置11の冷却部分に供給されるこ
ととなる。
の温度は，いつでも，上限，下限の範囲内にて保冷対象
物である低温特性測定装置11の冷却部分に供給されるこ
ととなる。
【００２１】また，センサー及びバルブ類が故障した時
のために，図２に示すように，バイパスバルブ17を有す
るバイパス配管16を設けておく。
のために，図２に示すように，バイパスバルブ17を有す
るバイパス配管16を設けておく。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように, 本発明によれば,
液体窒素を一定の冷媒温度に連続して供給することがで
き，液体窒素の連続温度管理，及び一定温度での安定供
給に寄与するところが大きい。
液体窒素を一定の冷媒温度に連続して供給することがで
き，液体窒素の連続温度管理，及び一定温度での安定供
給に寄与するところが大きい。
【図１】 本発明の原理説明図
【図２】 本発明の一実施例の説明図
【図３】 従来例の説明図
１ 冷媒
２ 保冷対象物
３ 保冷配管
４ 上限温度センサ
５ 下限温度センサ
６ 自動バルブ
７ 冷媒容器
８ 液体窒素
９ 液体窒素容器
10 保冷配管
11 低温特性測定装置
12 上限温度センサ
13 下限温度センサ
14 自動バルブ
15 バルブ
16 バイパス配管
17 バイパスバルブ
Claims (2)
- 【請求項１】 冷媒(1) を用いて，保冷対象物(2) を一
定の温度に冷却するに際して， 該冷媒(1) を供給する保冷配管(3) に，供給側より順に
該冷媒(1) の温度を検知する上限温度センサー(4) と自
動バルブ(6) と下限温度センサー(5) を有し, 該冷媒(1) があらかじめ設定された上限, 下限の設定温
度になったら, 該上限・下限温度センサー(4),(5) から
の信号により自動バルブ(6) を開閉する制御手段を有す
ることを特徴とする冷媒定温制御装置。 - 【請求項２】 冷媒(1) を用いて，保冷対象物(2) を一
定の温度に冷却するに際して， 該冷媒(1) を供給する保冷配管(3) に該冷媒(1) の供給
源から順にあらかじめ温度を設定した上限温度センサー
(4) 及び下限温度センサー(5) と，自動バルブ(6) とを
設け， 該冷媒(1) の温度が上限温度になったら, 該上限温度セ
ンサー(4) からの信号により該自動バルブ(6) を開い
て, 該冷媒(1) の該保冷対象物(2) に対する供給を開始
し, 該冷媒(1) の温度が下限温度になったら, 該下限温度セ
ンサー(5) からの信号により該自動バルブ(6) を閉じ
て, 該冷媒(1) の該保冷対象物(2) に対する供給を停止
することを特徴とする液体窒素定温制御方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17353291A JPH0521657A (ja) | 1991-07-15 | 1991-07-15 | 冷媒定温制御装置とその制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17353291A JPH0521657A (ja) | 1991-07-15 | 1991-07-15 | 冷媒定温制御装置とその制御方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0521657A true JPH0521657A (ja) | 1993-01-29 |
Family
ID=15962282
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17353291A Withdrawn JPH0521657A (ja) | 1991-07-15 | 1991-07-15 | 冷媒定温制御装置とその制御方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0521657A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2014083810A1 (ja) * | 2012-11-27 | 2014-06-05 | 日曹エンジニアリング株式会社 | 冷媒冷却装置及び方法 |
| CN109751802A (zh) * | 2017-11-07 | 2019-05-14 | 进得展有限公司 | 冷冻装置及具有冷冻装置的车辆 |
-
1991
- 1991-07-15 JP JP17353291A patent/JPH0521657A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2014083810A1 (ja) * | 2012-11-27 | 2014-06-05 | 日曹エンジニアリング株式会社 | 冷媒冷却装置及び方法 |
| JPWO2014083810A1 (ja) * | 2012-11-27 | 2017-01-05 | 日曹エンジニアリング株式会社 | 冷媒冷却装置及び方法 |
| CN109751802A (zh) * | 2017-11-07 | 2019-05-14 | 进得展有限公司 | 冷冻装置及具有冷冻装置的车辆 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19981008 |