JPH05215801A - ミクロ配線検査の際の検査エラー認識方法 - Google Patents
ミクロ配線検査の際の検査エラー認識方法Info
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- JPH05215801A JPH05215801A JP4300507A JP30050792A JPH05215801A JP H05215801 A JPH05215801 A JP H05215801A JP 4300507 A JP4300507 A JP 4300507A JP 30050792 A JP30050792 A JP 30050792A JP H05215801 A JPH05215801 A JP H05215801A
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- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/302—Contactless testing
- G01R31/305—Contactless testing using electron beams
- G01R31/306—Contactless testing using electron beams of printed or hybrid circuits
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- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 それぞれ多数の接触点１…２４を有する多数
の回路網ＮＷ１…ＮＷ９を有するプリント配線板ＬＰの
形態のミクロ配線の検査、特に電子線検査の際の検査エ
ラーを認識するための方法を、追加的な中間または後検
査によりプリント回路板の検査エラーは真のエラー中
断、短絡との間の区別を可能にするように改良する。 【構成】 それぞれの主検査で確認された回路網ＮＷ２
のなかの中断Ｕおよび検査群ＴＧ１の回路網ＮＷ１…Ｎ
Ｗ３の間の短絡Ｋ１、Ｋ２または異なる検査群ＴＧ１、
ＴＧ２の回路網ＮＷ２、ＮＷ４の間の短絡Ｋ３がそれぞ
れの後検査中に認識され、またはたとえばミクロフィー
ルドまたは表面汚染に起因して主検査中に生ずる検査エ
ラーが確認される。
の回路網ＮＷ１…ＮＷ９を有するプリント配線板ＬＰの
形態のミクロ配線の検査、特に電子線検査の際の検査エ
ラーを認識するための方法を、追加的な中間または後検
査によりプリント回路板の検査エラーは真のエラー中
断、短絡との間の区別を可能にするように改良する。 【構成】 それぞれの主検査で確認された回路網ＮＷ２
のなかの中断Ｕおよび検査群ＴＧ１の回路網ＮＷ１…Ｎ
Ｗ３の間の短絡Ｋ１、Ｋ２または異なる検査群ＴＧ１、
ＴＧ２の回路網ＮＷ２、ＮＷ４の間の短絡Ｋ３がそれぞ
れの後検査中に認識され、またはたとえばミクロフィー
ルドまたは表面汚染に起因して主検査中に生ずる検査エ
ラーが確認される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は請求項１、２の前文およ
び同文の請求項３、４の前文による方法に関する。
び同文の請求項３、４の前文による方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】冒頭に記載した種類の方法はヨーロッパ
特許出願第 EP0189777B1号明細書から公知である。その
際に、たとえば検査すべきプリント回路板上に存在する
ミクロフィールドおよび表面汚染に基づいて誤った検査
結果を与え得る方法が扱われている。
特許出願第 EP0189777B1号明細書から公知である。その
際に、たとえば検査すべきプリント回路板上に存在する
ミクロフィールドおよび表面汚染に基づいて誤った検査
結果を与え得る方法が扱われている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、追加
的な中間または後検査によりプリント回路板の検査エラ
ーと真のエラー（中断、短絡）との間の区別を可能にす
る改良された方法を提供することである。
的な中間または後検査によりプリント回路板の検査エラ
ーと真のエラー（中断、短絡）との間の区別を可能にす
る改良された方法を提供することである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】この課題は、請求項１、
２、３および４の特徴部分にあげられている特徴により
解決される。
２、３および４の特徴部分にあげられている特徴により
解決される。
【０００５】請求項５ないし７には方法の好ましい実施
態様があげられている。
態様があげられている。
【０００６】
【発明の効果】本発明により得られる利点は特に、本発
明による方法では比較的少ない追加的な検査（中間検
査、後検査）により上記の公知の方法にくらべて信頼性
のある検査結果が得られることにある。
明による方法では比較的少ない追加的な検査（中間検
査、後検査）により上記の公知の方法にくらべて信頼性
のある検査結果が得られることにある。
【０００７】
【実施例】以下、図面により本発明を説明する。
【０００８】本発明による方法を説明するため、図面に
は、プリント回路板ＬＰの斜視図が示されており、その
表面上に互いに隔てられて回路網ＮＷ１…ＮＷ９が位置
しており、その際に回路網ＮＷ１…ＮＷ３は検査群ＴＧ
１に、回路網ＮＷ４…ＮＷ６は検査群ＴＧ２に、また回
路網ＮＷ７…ＮＷ９は検査群ＴＧ３に一括されている。
回路網ＮＷ１…ＮＷ９の各々は多数の接触点１…２４を
有し、その際に回路網ＮＷ１は接触点１、２および３
を、回路網ＮＷ２は接触点４、５および６を、回路網Ｎ
Ｗ３は接触点７、８および９を、回路網ＮＷ４は接触点
１０および１１を、回路網ＮＷ５は接触点１２、１３お
よび１４を、回路網ＮＷ６は接触点１５および１６を、
回路網ＮＷ７は接触点１７、１８および１９を、回路網
ＮＷ８は接触点２０および２１を、また回路網ＮＷ９は
接触点２２、２３および２４を有する。回路網ＮＷ１…
ＮＷ９は２つの直角に交わる平行な対によりシンボル的
に示されており、また回路網ＮＷ２のなかに回路網の導
線が参照符号Ｌを付して示されている。導線Ｌは接触点
６をその他の回路網ＮＷ２から隔てる中断Ｕを有する。
回路網ＮＷ２は短絡Ｋ１を介して回路網ＮＷ３と、短絡
Ｋ２を介して回路網ＮＷ１と、また検査群にわたる短絡
Ｋ３を介して回路網ＮＷ４と接続されている。
は、プリント回路板ＬＰの斜視図が示されており、その
表面上に互いに隔てられて回路網ＮＷ１…ＮＷ９が位置
しており、その際に回路網ＮＷ１…ＮＷ３は検査群ＴＧ
１に、回路網ＮＷ４…ＮＷ６は検査群ＴＧ２に、また回
路網ＮＷ７…ＮＷ９は検査群ＴＧ３に一括されている。
回路網ＮＷ１…ＮＷ９の各々は多数の接触点１…２４を
有し、その際に回路網ＮＷ１は接触点１、２および３
を、回路網ＮＷ２は接触点４、５および６を、回路網Ｎ
Ｗ３は接触点７、８および９を、回路網ＮＷ４は接触点
１０および１１を、回路網ＮＷ５は接触点１２、１３お
よび１４を、回路網ＮＷ６は接触点１５および１６を、
回路網ＮＷ７は接触点１７、１８および１９を、回路網
ＮＷ８は接触点２０および２１を、また回路網ＮＷ９は
接触点２２、２３および２４を有する。回路網ＮＷ１…
ＮＷ９は２つの直角に交わる平行な対によりシンボル的
に示されており、また回路網ＮＷ２のなかに回路網の導
線が参照符号Ｌを付して示されている。導線Ｌは接触点
６をその他の回路網ＮＷ２から隔てる中断Ｕを有する。
回路網ＮＷ２は短絡Ｋ１を介して回路網ＮＷ３と、短絡
Ｋ２を介して回路網ＮＷ１と、また検査群にわたる短絡
Ｋ３を介して回路網ＮＷ４と接続されている。
【０００９】回路網を充電するため、たとえば一次電子
線が回路網の接触点に向けられる。回路網を充電するた
めの他の可能性は、イオン照射、レーザービームによる
光電子発生またはミクロ電極の使用にある。接触点にお
ける電位を測定するため、一般に充電のためにも利用さ
れるそれぞれ１つの一次電子線がそれぞれの接触点に向
けられ、またそれにより二次電子線が発生される。接触
点における電位を測定するため、逆電界により検出器の
なかに到達した二次電子流が評価される。負に充電され
た接触点は放出された二次電子を加速し、二次電子はそ
れにより逆電界に打ち勝ち得る。それにより充電された
接触点に対して高い検出された電流、従ってまた高い信
号が生じ、他方において充電されない接触点に対しては
低い電流、従ってまた低い信号が生ずる。接触点におけ
る電位の測定はたとえばミクロ電極を介しても行われ得
る。図面中ではたとえば接触点４に回路網ＮＷ２を充電
するための一次電子線ＰＥ１が向けられている。接触点
５に向けられた一次電子線ＰＥ２は二次電子線ＳＥ２を
発生し、接触点６に向けられた一次電子線ＰＥ３は二次
電子線ＳＥ３を発生し、接触点７に向けられた一次電子
線ＰＥ５は二次電子線ＳＥ５を発生し、接触点１０に向
けられた一次電子線ＰＥ６は二次電子線ＳＥ６を発生
し、また接触点１７に向けられた一次電子線ＰＥ７は二
次電子線ＳＥ７を発生し、それらを介してそれぞれ当該
の接触点の電位が決定される。検査の前にすべての接触
点が零電位を有することから出発して、回路網のなかの
中断を確認するための主検査の第１のステップは、それ
ぞれ１つのまだ適切に充電されない回路網、たとえば回
路網ＮＷ２、がそれぞれの回路網の接触点、たとえば接
触点４、を介して適切に零電位と異なる充電電位に充電
されることにより開始する。表現“零電位”および“充
電電位”はここでは、また以下では電位範囲として理解
されるべきであり、その際に電位範囲は互いに重なって
いない。回路網のなかの中断を確認するための主検査の
第２のステップではそれぞれそれぞれの回路網の接触
点、たとえば回路網ＮＷ２の接触点５および６、のまだ
適切に充電されない接触点の電位が測定される。回路網
のなかの中断を確認するための主検査の第３のステップ
ではそれぞれの中断が、それぞれの回路網の中断接触点
が導線を介して、たとえば接触点６が導線Ｌを介して充
電電位に充電されなかったことにより確認される。ミク
ロフィールドおよび（または）表面汚染によりたとえば
二次電子は、中断が単に模擬されるように影響され得
る。この検査エラーを回避するため、主検査の後に本発
明による第１の後検査が行われる。その際に本発明によ
る第１の後検査の前にプリント回路板ＬＰのすべての接
触点１…２４を放電させる必要がある。放電はここで
は、また以下では、接触点が負に充電されているとき
に、低エネルギーの正のイオンビームにより行われる。
本発明による第１の後検査自体は、第１のステップでそ
れぞれの中断接触点、たとえば接触点６、が適切に充電
電位に充電され、第２のステップでこの後検査でそれぞ
れの回路網、たとえば回路網ＮＷ２、の適切に充電され
ない接触点、たとえば接触点４または５、の電位が測定
されることにより行われる。本発明による第１の後検査
の第３のステップで、主検査で確認されたそれぞれの中
断が、それぞれの中断接触点を有する回路網、ここでは
中断接触点６を有する回路網ＮＷ２、がそれぞれの回路
網の導線を介して充電電位に充電されなかったときに認
識される。主検査中にたとえば中断接触点６が中断Ｕが
存在することなしに確認されていたならば、たとえば回
路網ＮＷ２の接触点４および５が充電電位に充電され、
また主検査中に生じた検査エラーが確認されていたであ
ろう。
線が回路網の接触点に向けられる。回路網を充電するた
めの他の可能性は、イオン照射、レーザービームによる
光電子発生またはミクロ電極の使用にある。接触点にお
ける電位を測定するため、一般に充電のためにも利用さ
れるそれぞれ１つの一次電子線がそれぞれの接触点に向
けられ、またそれにより二次電子線が発生される。接触
点における電位を測定するため、逆電界により検出器の
なかに到達した二次電子流が評価される。負に充電され
た接触点は放出された二次電子を加速し、二次電子はそ
れにより逆電界に打ち勝ち得る。それにより充電された
接触点に対して高い検出された電流、従ってまた高い信
号が生じ、他方において充電されない接触点に対しては
低い電流、従ってまた低い信号が生ずる。接触点におけ
る電位の測定はたとえばミクロ電極を介しても行われ得
る。図面中ではたとえば接触点４に回路網ＮＷ２を充電
するための一次電子線ＰＥ１が向けられている。接触点
５に向けられた一次電子線ＰＥ２は二次電子線ＳＥ２を
発生し、接触点６に向けられた一次電子線ＰＥ３は二次
電子線ＳＥ３を発生し、接触点７に向けられた一次電子
線ＰＥ５は二次電子線ＳＥ５を発生し、接触点１０に向
けられた一次電子線ＰＥ６は二次電子線ＳＥ６を発生
し、また接触点１７に向けられた一次電子線ＰＥ７は二
次電子線ＳＥ７を発生し、それらを介してそれぞれ当該
の接触点の電位が決定される。検査の前にすべての接触
点が零電位を有することから出発して、回路網のなかの
中断を確認するための主検査の第１のステップは、それ
ぞれ１つのまだ適切に充電されない回路網、たとえば回
路網ＮＷ２、がそれぞれの回路網の接触点、たとえば接
触点４、を介して適切に零電位と異なる充電電位に充電
されることにより開始する。表現“零電位”および“充
電電位”はここでは、また以下では電位範囲として理解
されるべきであり、その際に電位範囲は互いに重なって
いない。回路網のなかの中断を確認するための主検査の
第２のステップではそれぞれそれぞれの回路網の接触
点、たとえば回路網ＮＷ２の接触点５および６、のまだ
適切に充電されない接触点の電位が測定される。回路網
のなかの中断を確認するための主検査の第３のステップ
ではそれぞれの中断が、それぞれの回路網の中断接触点
が導線を介して、たとえば接触点６が導線Ｌを介して充
電電位に充電されなかったことにより確認される。ミク
ロフィールドおよび（または）表面汚染によりたとえば
二次電子は、中断が単に模擬されるように影響され得
る。この検査エラーを回避するため、主検査の後に本発
明による第１の後検査が行われる。その際に本発明によ
る第１の後検査の前にプリント回路板ＬＰのすべての接
触点１…２４を放電させる必要がある。放電はここで
は、また以下では、接触点が負に充電されているとき
に、低エネルギーの正のイオンビームにより行われる。
本発明による第１の後検査自体は、第１のステップでそ
れぞれの中断接触点、たとえば接触点６、が適切に充電
電位に充電され、第２のステップでこの後検査でそれぞ
れの回路網、たとえば回路網ＮＷ２、の適切に充電され
ない接触点、たとえば接触点４または５、の電位が測定
されることにより行われる。本発明による第１の後検査
の第３のステップで、主検査で確認されたそれぞれの中
断が、それぞれの中断接触点を有する回路網、ここでは
中断接触点６を有する回路網ＮＷ２、がそれぞれの回路
網の導線を介して充電電位に充電されなかったときに認
識される。主検査中にたとえば中断接触点６が中断Ｕが
存在することなしに確認されていたならば、たとえば回
路網ＮＷ２の接触点４および５が充電電位に充電され、
また主検査中に生じた検査エラーが確認されていたであ
ろう。
【００１０】回路網の間の短絡を確認するための検査の
際には、主検査の開始前にすべての接触点が零電位を有
するという前提のもとに、主検査の第１のステップでそ
れぞれまだ適切に充電されない回路網、たとえば回路網
ＮＷ２、がそれぞれの回路網の少なくとも１つの接触
点、たとえば接触点４、を介して適切に零電位と異なる
充電電位に充電される。この主検査の第２のステップで
それぞれ他のまだ適切に充電されない回路網、たとえば
回路網ＮＷ３、の電位がそれぞれの他の回路網の少なく
とも１つの接触点、たとえば接触点７、を介して測定さ
れる。ここで主検査の第３のステップでそれぞれの短
絡、たとえば既に適切に充電された回路網、たとえばＮ
Ｗ１およびＮＷ２、の１つからそれぞれの他のまだ適切
に充電されない回路網、たとえば回路網ＮＷ３、への短
絡Ｋ１が、それぞれの他のまだ適切に充電されない回路
網の１つの少なくとも短絡接触点、たとえば接触点７、
が既にそれぞれの短絡を介して充電電位に充電されたこ
とにより確認される。回路網の接触点の電位の測定の際
に同じく、たとえばミクロフィールドおよび（または）
表面汚染により、充電された回路網、従ってまた短絡、
たとえば回路網ＮＷ３により短絡Ｋ１、が模擬され得
る。この検査エラーを回避するため、本発明による第２
の後検査が行われる。その際に、すべての接触点１…２
４が放電された後に、第１のステップでそれぞれの短絡
接触点、たとえば接触点７、を介してそれぞれの短絡接
触点を有する回路網、たとえば回路網ＮＷ３、が適切に
充電電位に充電され、また第２のステップでこの後検査
中にまだ適切に充電されない回路網、たとえば回路網Ｎ
Ｗ１およびＮＷ２、の電位が、それぞれ電位がそれぞれ
の後検査中にまだ適切に充電されない回路網の１つの少
なくとも接触点、たとえば接触点２または５、を介して
測定されることにより求められる。本発明による第２の
後検査の第３のステップでその際に、後検査中にまだ適
切に充電されない回路網、たとえば回路網ＮＷ２、がそ
れぞれの短絡を介して充電電位に充電されたときに、そ
れぞれの主検査の第３のステップで確認された短絡、た
とえば短絡Ｋ１、が認識される。短絡Ｋ１なしではたと
えば回路網ＮＷ１およびＮＷ２はこの場合に充電されて
おらず、また主検査中に確認された短絡は単に検査エラ
ーに基づいて報知されたものであろう。
際には、主検査の開始前にすべての接触点が零電位を有
するという前提のもとに、主検査の第１のステップでそ
れぞれまだ適切に充電されない回路網、たとえば回路網
ＮＷ２、がそれぞれの回路網の少なくとも１つの接触
点、たとえば接触点４、を介して適切に零電位と異なる
充電電位に充電される。この主検査の第２のステップで
それぞれ他のまだ適切に充電されない回路網、たとえば
回路網ＮＷ３、の電位がそれぞれの他の回路網の少なく
とも１つの接触点、たとえば接触点７、を介して測定さ
れる。ここで主検査の第３のステップでそれぞれの短
絡、たとえば既に適切に充電された回路網、たとえばＮ
Ｗ１およびＮＷ２、の１つからそれぞれの他のまだ適切
に充電されない回路網、たとえば回路網ＮＷ３、への短
絡Ｋ１が、それぞれの他のまだ適切に充電されない回路
網の１つの少なくとも短絡接触点、たとえば接触点７、
が既にそれぞれの短絡を介して充電電位に充電されたこ
とにより確認される。回路網の接触点の電位の測定の際
に同じく、たとえばミクロフィールドおよび（または）
表面汚染により、充電された回路網、従ってまた短絡、
たとえば回路網ＮＷ３により短絡Ｋ１、が模擬され得
る。この検査エラーを回避するため、本発明による第２
の後検査が行われる。その際に、すべての接触点１…２
４が放電された後に、第１のステップでそれぞれの短絡
接触点、たとえば接触点７、を介してそれぞれの短絡接
触点を有する回路網、たとえば回路網ＮＷ３、が適切に
充電電位に充電され、また第２のステップでこの後検査
中にまだ適切に充電されない回路網、たとえば回路網Ｎ
Ｗ１およびＮＷ２、の電位が、それぞれ電位がそれぞれ
の後検査中にまだ適切に充電されない回路網の１つの少
なくとも接触点、たとえば接触点２または５、を介して
測定されることにより求められる。本発明による第２の
後検査の第３のステップでその際に、後検査中にまだ適
切に充電されない回路網、たとえば回路網ＮＷ２、がそ
れぞれの短絡を介して充電電位に充電されたときに、そ
れぞれの主検査の第３のステップで確認された短絡、た
とえば短絡Ｋ１、が認識される。短絡Ｋ１なしではたと
えば回路網ＮＷ１およびＮＷ２はこの場合に充電されて
おらず、また主検査中に確認された短絡は単に検査エラ
ーに基づいて報知されたものであろう。
【００１１】回路網のなかの中断および回路網の間の短
絡を確認するための検査は、次のようにして組み合わさ
れ得る。すなわち、それぞれの回路網のなかの中断を確
認するため次々とそれぞれ回路網が充電され、また続い
て既に充電された回路網の１つとそれぞれの回路網との
間の短絡を確認するためまだ適切に充電されない回路網
が測定されるようにして組み合わされ得る。たとえば回
路網ＮＷ１およびＮＷ２が主検査中に既に適切に充電さ
れたならば、たとえば回路網ＮＷ３は、それが充電され
てはいるが適切には充電されていないかぎり、回路網Ｎ
Ｗ１への短絡および（または）回路網ＮＷ２への短絡に
より充電されている。それぞれの短絡に関与する回路網
の確認は一義的な仕方で可能ではない。図面中に記入さ
れている短絡Ｋ２およびＫ３はこの際に問題ではない。
回路網のなかの中断および回路網の間の短絡を確認する
ための主検査に本発明による第３の後検査が続き、その
際に最初にプリント回路板ＬＰのすべての接触点１…２
４が放電され、第１のステップでそれぞれの短絡接触点
を介して、たとえば接触点７を介して、それぞれの短絡
接触点を有する回路網、たとえば回路網ＮＷ３、が適切
に充電電位に充電され、また後検査の第２のステップで
後検査中にまだ適切に充電されない他の回路網、たとえ
ば回路網ＮＷ１およびＮＷ２、の電位が、それぞれ電位
がそれぞれの後検査中に適切に充電されない他の回路網
の少なくとも１つの接触点、たとえば接触点２または
５、を介して測定されることにより求められる。本発明
による第３の後検査の第３のステップで、主検査の第５
のステップで確認されたそれぞれの短絡、たとえば短絡
Ｋ１、が認識され、また、後検査中に適切に充電されな
い回路網がそれぞれの短絡を介して充電電位に充電され
たとき、それぞれのまだ適切に充電されておらず、また
それぞれの短絡に関与する他の回路網、たとえば回路網
ＮＷ２、が一義的に決定され、またそれぞれの短絡接触
点、たとえば接触点７、を有する回路網と一緒に報知さ
れる。こうしてこの後検査により、適切に充電された回
路網がそれぞれ他の回路網の意図された充電の前に適切
に放電されずに、充電された状態にとどまっても、それ
ぞれの短絡に関与する回路網の一義的な対応付けが可能
である。本発明による第２の後検査の際のように、ここ
で相応の仕方でたとえばミクロフィールドおよび（また
は）表面汚染に基づく検査エラーがたとえば中断および
短絡のような真のプリント回路板エラーから区別され得
る。
絡を確認するための検査は、次のようにして組み合わさ
れ得る。すなわち、それぞれの回路網のなかの中断を確
認するため次々とそれぞれ回路網が充電され、また続い
て既に充電された回路網の１つとそれぞれの回路網との
間の短絡を確認するためまだ適切に充電されない回路網
が測定されるようにして組み合わされ得る。たとえば回
路網ＮＷ１およびＮＷ２が主検査中に既に適切に充電さ
れたならば、たとえば回路網ＮＷ３は、それが充電され
てはいるが適切には充電されていないかぎり、回路網Ｎ
Ｗ１への短絡および（または）回路網ＮＷ２への短絡に
より充電されている。それぞれの短絡に関与する回路網
の確認は一義的な仕方で可能ではない。図面中に記入さ
れている短絡Ｋ２およびＫ３はこの際に問題ではない。
回路網のなかの中断および回路網の間の短絡を確認する
ための主検査に本発明による第３の後検査が続き、その
際に最初にプリント回路板ＬＰのすべての接触点１…２
４が放電され、第１のステップでそれぞれの短絡接触点
を介して、たとえば接触点７を介して、それぞれの短絡
接触点を有する回路網、たとえば回路網ＮＷ３、が適切
に充電電位に充電され、また後検査の第２のステップで
後検査中にまだ適切に充電されない他の回路網、たとえ
ば回路網ＮＷ１およびＮＷ２、の電位が、それぞれ電位
がそれぞれの後検査中に適切に充電されない他の回路網
の少なくとも１つの接触点、たとえば接触点２または
５、を介して測定されることにより求められる。本発明
による第３の後検査の第３のステップで、主検査の第５
のステップで確認されたそれぞれの短絡、たとえば短絡
Ｋ１、が認識され、また、後検査中に適切に充電されな
い回路網がそれぞれの短絡を介して充電電位に充電され
たとき、それぞれのまだ適切に充電されておらず、また
それぞれの短絡に関与する他の回路網、たとえば回路網
ＮＷ２、が一義的に決定され、またそれぞれの短絡接触
点、たとえば接触点７、を有する回路網と一緒に報知さ
れる。こうしてこの後検査により、適切に充電された回
路網がそれぞれ他の回路網の意図された充電の前に適切
に放電されずに、充電された状態にとどまっても、それ
ぞれの短絡に関与する回路網の一義的な対応付けが可能
である。本発明による第２の後検査の際のように、ここ
で相応の仕方でたとえばミクロフィールドおよび（また
は）表面汚染に基づく検査エラーがたとえば中断および
短絡のような真のプリント回路板エラーから区別され得
る。
【００１２】既に適切に充電された回路網が他の回路網
の電位の測定に擾乱作用をし得るので、また回路網がプ
リント回路板の制限された絶縁能力に基づいて制限され
た時間のみ充電された状態にとどまるので、なかんず
く、より大きいプリント回路板では検査すべき回路網の
検査群への一括が行われなければならない。最大でも１
つの検査群のすべての回路網しか同時に充電されていな
いので、たとえば多くの最終充電ステップおよび検査群
の間の短絡の確認のための追加的ステップが必要であ
り、このことは追加的な費用を意味する。この理由から
検査群を任意に小さくすることはできない。検査群のあ
る大きさ以下では状況によっては、エラー、たとえばプ
リント回路板の十分でない絶縁能力またはそれぞれの回
路網を覆う電荷雲、に基づいて、検査群が完全に検査さ
れる以前に回路網の放電に通ずることがあり得る。回路
網ＮＷ１とＮＷ２との間の短絡Ｋ２のみが存在し、また
検査群ＴＧ１の主検査の開始時に回路網ＮＷ１が適切に
充電されることから出発すると、たとえば回路網ＮＷ２
の電位が短絡の確認のために測定されるとき、回路網Ｎ
Ｗ１は既に再び放電した状態にあり得る。すなわち回路
網ＮＷ１は短絡Ｋ２を介して回路網ＮＷ２をもはや充電
し得ず、それによって短絡Ｋ２が主検査中に発見されず
にとどまる。この検査エラーを回避するため、回路網の
なかの中断および回路網の間の短絡を確認するための主
検査の後に、本発明による中間検査が主検査とその後続
の後検査との間で行われ得る。本発明による中間検査中
に、それぞれの検査群ＴＧ１のなかのたとえば回路網Ｎ
Ｗ１のような既に再び充電されない回路網が、それぞれ
それぞれの回路網の少なくとも１つの接触点、たとえば
回路網ＮＷ１の接触点２、の電位が測定され、またその
電位が充電電位に一致するか否かを確認されることによ
り求められる。中間検査中に求められた充電されない回
路網、すなわち短絡の確認のために適していなかった回
路網に対しては、それぞれ本発明による第３の後検査が
実行され、その際に短絡接触点を有する回路網の代わり
に、または短絡接触点を有する回路網に追加して、先行
の本発明による中間検査中に求められた回路網がこの後
検査を受ける。こうしてたとえば中間検査中に求められ
た回路網ＮＷ１が適切に充電され、また、回路網ＮＷ１
が主検査中に既に放電されたとしても、回路網ＮＷ２へ
の短絡Ｋ２が求められる。
の電位の測定に擾乱作用をし得るので、また回路網がプ
リント回路板の制限された絶縁能力に基づいて制限され
た時間のみ充電された状態にとどまるので、なかんず
く、より大きいプリント回路板では検査すべき回路網の
検査群への一括が行われなければならない。最大でも１
つの検査群のすべての回路網しか同時に充電されていな
いので、たとえば多くの最終充電ステップおよび検査群
の間の短絡の確認のための追加的ステップが必要であ
り、このことは追加的な費用を意味する。この理由から
検査群を任意に小さくすることはできない。検査群のあ
る大きさ以下では状況によっては、エラー、たとえばプ
リント回路板の十分でない絶縁能力またはそれぞれの回
路網を覆う電荷雲、に基づいて、検査群が完全に検査さ
れる以前に回路網の放電に通ずることがあり得る。回路
網ＮＷ１とＮＷ２との間の短絡Ｋ２のみが存在し、また
検査群ＴＧ１の主検査の開始時に回路網ＮＷ１が適切に
充電されることから出発すると、たとえば回路網ＮＷ２
の電位が短絡の確認のために測定されるとき、回路網Ｎ
Ｗ１は既に再び放電した状態にあり得る。すなわち回路
網ＮＷ１は短絡Ｋ２を介して回路網ＮＷ２をもはや充電
し得ず、それによって短絡Ｋ２が主検査中に発見されず
にとどまる。この検査エラーを回避するため、回路網の
なかの中断および回路網の間の短絡を確認するための主
検査の後に、本発明による中間検査が主検査とその後続
の後検査との間で行われ得る。本発明による中間検査中
に、それぞれの検査群ＴＧ１のなかのたとえば回路網Ｎ
Ｗ１のような既に再び充電されない回路網が、それぞれ
それぞれの回路網の少なくとも１つの接触点、たとえば
回路網ＮＷ１の接触点２、の電位が測定され、またその
電位が充電電位に一致するか否かを確認されることによ
り求められる。中間検査中に求められた充電されない回
路網、すなわち短絡の確認のために適していなかった回
路網に対しては、それぞれ本発明による第３の後検査が
実行され、その際に短絡接触点を有する回路網の代わり
に、または短絡接触点を有する回路網に追加して、先行
の本発明による中間検査中に求められた回路網がこの後
検査を受ける。こうしてたとえば中間検査中に求められ
た回路網ＮＷ１が適切に充電され、また、回路網ＮＷ１
が主検査中に既に放電されたとしても、回路網ＮＷ２へ
の短絡Ｋ２が求められる。
【００１３】より多くの検査群が形成されると、たとえ
ば回路網ＮＷ２とＮＷ４との間の検査群にわたる短絡Ｋ
３のように、異なった検査群の回路網の間の検査群にわ
たる短絡も生じ得る。別の本発明による中間検査中にそ
れぞれ他の検査群の回路網、たとえば検査群ＴＧ２およ
びＴＧ３の回路網ＮＷ４…ＮＷ９、の電位が他の検査群
のそれぞれの回路網の少なくとも１つの接触点、たとえ
ば検査群ＴＧ２の回路網ＮＷ４の接触点１０、を介して
測定される。それぞれの別の中間検査の第２のステップ
で、それぞれの主検査中に既に適切に充電されたそれぞ
れの検査群の回路網の１つから他の検査群のそれぞれの
回路網へのそれぞれの検査群にわたる短絡が、他の検査
群のそれぞれの回路網の少なくとも１つの検査群にわた
る短絡接触点が既にそれぞれの検査群にわたる短絡を介
して充電電位に充電されたことにより確認される。たと
えば検査群にわたる短絡Ｋ３は、少なくともたとえば検
査群ＴＧ２の回路網ＮＷ４の短絡接触点１０が既に検査
群にわたる短絡Ｋ３を介して充電電位に充電されたこと
により確認される。
ば回路網ＮＷ２とＮＷ４との間の検査群にわたる短絡Ｋ
３のように、異なった検査群の回路網の間の検査群にわ
たる短絡も生じ得る。別の本発明による中間検査中にそ
れぞれ他の検査群の回路網、たとえば検査群ＴＧ２およ
びＴＧ３の回路網ＮＷ４…ＮＷ９、の電位が他の検査群
のそれぞれの回路網の少なくとも１つの接触点、たとえ
ば検査群ＴＧ２の回路網ＮＷ４の接触点１０、を介して
測定される。それぞれの別の中間検査の第２のステップ
で、それぞれの主検査中に既に適切に充電されたそれぞ
れの検査群の回路網の１つから他の検査群のそれぞれの
回路網へのそれぞれの検査群にわたる短絡が、他の検査
群のそれぞれの回路網の少なくとも１つの検査群にわた
る短絡接触点が既にそれぞれの検査群にわたる短絡を介
して充電電位に充電されたことにより確認される。たと
えば検査群にわたる短絡Ｋ３は、少なくともたとえば検
査群ＴＧ２の回路網ＮＷ４の短絡接触点１０が既に検査
群にわたる短絡Ｋ３を介して充電電位に充電されたこと
により確認される。
【００１４】前記別の本発明による中間検査中に少なく
とも１つの検査群にわたる短絡接触点または検査群にわ
たる短絡、たとえば短絡接触点１０および短絡Ｋ３、が
確認されたならば、本発明によりそれぞれの中間検査の
第３のステップとしてプリント回路板のすべての接触点
１…２４が、この場合にも場合によっては短絡を認識、
するためにまたは検査エラーを確認するために本発明に
よる後検査が実行される以前に、放電される。この本発
明による後検査の際に第１のステップでたとえば検査群
にわたる短絡接触点１０を介して回路網ＮＷ２が適切に
充電電位に充電され、第２のステップで後検査中にまだ
適切に充電されない検査群ＴＧ１およびＴＧ３の回路網
ＮＷ１…ＮＷ３およびＮＷ７…ＮＷ９の電位が、それぞ
れ電位が少なくとも１つの接触点２、４、７、１７、２
０および２２を介して測定されることにより求められ、
また第３のステップで前記別の本発明による中間検査の
第２のステップで確認されたそれぞれの検査群にわたる
短絡Ｋ３が、後検査中にまだ適切に充電されないそれぞ
れの他の検査群の回路網、たとえば検査群ＴＧ１の回路
網ＮＷ２、がそれぞれの検査群にわたる短絡Ｋ３を介し
て充電電位に充電されたときに認識される。検査群にわ
たる短絡Ｋ３が本発明による後検査中に認識されない場
合には、検査エラーが存在する。
とも１つの検査群にわたる短絡接触点または検査群にわ
たる短絡、たとえば短絡接触点１０および短絡Ｋ３、が
確認されたならば、本発明によりそれぞれの中間検査の
第３のステップとしてプリント回路板のすべての接触点
１…２４が、この場合にも場合によっては短絡を認識、
するためにまたは検査エラーを確認するために本発明に
よる後検査が実行される以前に、放電される。この本発
明による後検査の際に第１のステップでたとえば検査群
にわたる短絡接触点１０を介して回路網ＮＷ２が適切に
充電電位に充電され、第２のステップで後検査中にまだ
適切に充電されない検査群ＴＧ１およびＴＧ３の回路網
ＮＷ１…ＮＷ３およびＮＷ７…ＮＷ９の電位が、それぞ
れ電位が少なくとも１つの接触点２、４、７、１７、２
０および２２を介して測定されることにより求められ、
また第３のステップで前記別の本発明による中間検査の
第２のステップで確認されたそれぞれの検査群にわたる
短絡Ｋ３が、後検査中にまだ適切に充電されないそれぞ
れの他の検査群の回路網、たとえば検査群ＴＧ１の回路
網ＮＷ２、がそれぞれの検査群にわたる短絡Ｋ３を介し
て充電電位に充電されたときに認識される。検査群にわ
たる短絡Ｋ３が本発明による後検査中に認識されない場
合には、検査エラーが存在する。
【図１】本発明による方法を説明するためのプリント回
路板の斜視図。
路板の斜視図。
１…２４ 接触点 Ｋ１、Ｋ２ 検査群のなかでの短絡 Ｋ３ 検査群にわたる短絡 Ｌ ＮＷ２の導線 ＮＷ１…ＮＷ９ ＬＰの回路網 ＰＥ１…ＰＥ７ 種々の接触点における一次電子線 ＳＥ１…ＳＥ７ 種々の接触点における二次電子線 ＴＧ１…ＴＧ３ 検査群
Claims (7)
- 【請求項１】 多数の回路網（ＮＷ１…ＮＷ９）を有す
るプリント配線板（ＬＰ）の形態のミクロ配線の検査、
特に電子線検査の際の検査エラーを認識するための方法
であって、各回路網が多数の接触点（１…２４）を有し
ており、回路網のなかの中断（Ｕ）が確認され、主検査
の開始前にすべての接触点が零電位を有し、主検査の第
１のステップでそれぞれまだ適切に充電されない回路網
（ＮＷ２）がそれぞれの回路網の接触点（４）を介して
適切に零電位と異なる充電電位に充電され、主検査の第
２のステップでそれぞれの回路網（ＮＷ２）の適切に充
電されなかった接触点（５、６）の電位が測定され、ま
た主検査の第３のステップでそれぞれの回路網（ＮＷ
２）の中断（Ｕ）が、それぞれの回路網の中断接触点
（６）がそれぞれの回路網の導線（Ｌ）を介して充電電
位に充電されなかったことにより確認される方法におい
て、後検査の前にすべての接触点（１…２４）が放電さ
れ、後検査の第１のステップでそれぞれの中断接触点
（６）が適切に充電電位に充電され、後検査の第２のス
テップでそれぞれの回路網（ＮＷ２）の後検査中に適切
に充電されない接触点（４、５）の電位が測定され、後
検査の第３のステップで主検査の第３のステップで確認
されたそれぞれの中断が、それぞれの回路網（ＮＷ２）
の少なくとも１つの接触点（４、５）がそれぞれの回路
網（ＮＷ２）の導線（Ｌ）を介して充電電位に充電され
たときに認識され、またそれぞれ主検査中に生じた検査
エラーが、主検査の第３のステップで確認されたそれぞ
れの中断が認識されないときに確認されることを特徴と
するミクロ配線検査の際の検査エラー認識方法。 - 【請求項２】 多数の回路網（ＮＷ１…ＮＷ９）を有す
るプリント配線板（ＬＰ）の形態のミクロ配線の検査、
特に電子線検査の際の検査エラーを認識するための方法
であって、各回路網が多数の接触点（１…２４）を有し
ており、回路網の間の短絡（Ｋ１）が確認され、主検査
の開始前にすべての接触点が零電位を有し、主検査の第
１のステップでそれぞれまだ適切に充電されない回路網
（ＮＷ２）がそれぞれの回路網（ＮＷ２）の少なくとも
１つの接触点（４）を介して適切に零電位と異なる充電
電位に充電され、主検査の第２のステップでまだ適切に
充電されない他の回路網（ＮＷ３）の電位がそれぞれの
他の回路網（ＮＷ３）の少なくとも１つの接触点（７）
を介して測定され、また主検査の第３のステップで既に
適切に充電された回路網（ＮＷ１、ＮＷ２）の１つから
それぞれの他のまだ適切に充電されない回路網（ＮＷ
３）へのそれぞれの短絡（Ｋ１）が、それぞれの他のま
だ適切に充電されない回路網（ＮＷ３）の少なくとも１
つの短絡接触点（７）が既にそれぞれの短絡（Ｋ１）を
介して充電電位に充電されたことにより確認される方法
において、後検査の前にすべての接触点（１…２４）が
放電され、後検査の第１のステップでそれぞれの短絡接
触点（７）を介してそれぞれの短絡接触点（７）の回路
網（ＮＷ３）が適切に充電電位に充電され、後検査の第
２のステップで後検査中にまだ適切に充電されない回路
網（ＮＷ１、ＮＷ２）の電位が、それぞれ電位がそれぞ
れの後検査中にまだ適切に充電されない回路網（ＮＷ
１、ＮＷ２）の少なくとも１つの接触点（２、５）を介
して測定されることにより求められ、後検査の第３のス
テップで主検査の第３のステップで確認されたそれぞれ
の短絡（Ｋ１）が、後検査中にまだ適切に充電されない
回路網（ＮＷ２）がそれぞれの短絡（Ｋ１）を介して充
電電位に充電されたときに認識され、またそれぞれ主検
査中に生じた検査エラーが、主検査の第３のステップで
確認されたそれぞれの短絡が認識されないときに確認さ
れることを特徴とするミクロ配線検査の際の検査エラー
認識方法。 - 【請求項３】 多数の回路網（ＮＷ１…ＮＷ９）を有す
るプリント配線板（ＬＰ）の形態のミクロ配線の検査、
特に電子線検査の際の検査エラーを認識するための方法
であって、各回路網が多数の接触点（１…２４）を有し
ており、回路網（ＮＷ２）のなかの中断（Ｕ）および回
路網（ＮＷ２、ＮＷ３）の間の短絡が確認され、主検査
の開始前にすべての接触点が零電位を有し、主検査の第
１のステップでそれぞれまだ適切に充電されない回路網
（ＮＷ２）がそれぞれの回路網の接触点（４）を介して
適切に零電位と異なる充電電位に充電され、主検査の第
２のステップでそれぞれの回路網（ＮＷ２）の適切に充
電されなかった接触点（５、６）の電位が測定され、主
検査の第３のステップでそれぞれの回路網（ＮＷ２）の
中断（Ｕ）が、それぞれの回路網の中断接触点（６）が
それぞれの回路網の導線（Ｌ）を介して充電電位に充電
されなかったことにより確認され、主検査の第４のステ
ップでそれぞれまだ適切に充電されない他の回路網（Ｎ
Ｗ３）の電位がそれぞれの他の回路網（ＮＷ３）の少な
くとも１つの接触点（７）を介して測定され、また主検
査の第５のステップで既に適切に充電電位に充電された
回路網（ＮＷ１、ＮＷ２）の１つからそれぞれの他のま
だ適切に充電されない回路網（ＮＷ３）へのそれぞれの
短絡（Ｋ１）が、それぞれの他のまだ適切に充電されな
い他の回路網（ＮＷ３）の少なくとも１つの短絡接触点
（７）が既にそれぞれの短絡（Ｋ１）を介して充電電位
に充電されたことにより確認される方法において、後検
査の前にプリント配線板（ＬＰ）のすべての接触点（１
…２４）が放電され、後検査の第１のステップでそれぞ
れの短絡接触点（７）を介してそれぞれの短絡接触点
（７）の回路網（ＮＷ３）が適切に充電電位に充電さ
れ、後検査の第２のステップで後検査中にまだ適切に充
電されない他の回路網（ＮＷ１、ＮＷ２）の電位が、そ
れぞれ電位が後検査中にまだ適切に充電されない他の回
路網（ＮＷ１、ＮＷ２）の少なくとも１つの接触点
（２、５）を介して測定されることにより測定され、後
検査の第３のステップで主検査の第５のステップで確認
されたそれぞれの短絡（Ｋ１）が認識され、またまだ適
切に充電されず、またそれぞれの短絡（Ｋ１）に関与す
るそれぞれの他の回路網（ＮＷ２）が一義的に確認さ
れ、また後検査中にまだ適切に充電されない回路網（Ｎ
Ｗ３）がそれぞれの短絡（Ｋ１）を介して充電電位に充
電されたときにそれぞれの短絡接触点（７）の回路網
（ＮＷ３）と一緒に報知され、またそれぞれ主検査中に
生じた検査エラーが、主検査の第５のステップで確認さ
れたそれぞれの短絡が認識されないときに確認されるこ
とを特徴とするミクロ配線検査の際の検査エラー認識方
法。 - 【請求項４】 多数の回路網（ＮＷ１…ＮＷ９）を有す
るプリント配線板（ＬＰ）の形態のミクロ配線の検査、
特に電子線検査の際の検査エラーを認識するための方法
であって、各回路網が多数の接触点（１…２４）を有し
ており、回路網（ＮＷ２）のなかの中断（Ｕ）および回
路網（ＮＷ２、ＮＷ３）の間の短絡が確認され、主検査
の開始前にすべての接触点が零電位を有し、主検査の第
１のステップでそれぞれまだ適切に充電されない回路網
（ＮＷ２）がそれぞれの回路網の接触点（４）を介して
適切に零電位と異なる充電電位に充電され、主検査の第
２のステップでそれぞれそれぞれの回路網（ＮＷ２）の
適切に充電されなかった接触点（５、６）の電位が測定
され、主検査の第３のステップでそれぞれの回路網（Ｎ
Ｗ２）の中断（Ｕ）が、それぞれの回路網の中断接触点
（６）がそれぞれの回路網の導線（Ｌ）を介して充電電
位に充電されなかったことにより確認され、主検査の第
４のステップでそれぞれまだ適切に充電されない他の回
路網（ＮＷ３）の電位がそれぞれの他の回路網（ＮＷ
３）の少なくとも１つの接触点（７）を介して測定さ
れ、また主検査の第５のステップで既に適切に充電電位
に充電された回路網（ＮＷ１、ＮＷ２）の１つからそれ
ぞれの他のまだ適切に充電されない回路網（ＮＷ３）へ
のそれぞれの短絡（Ｋ１）が、それぞれの他のまだ適切
に充電されない他の回路網（ＮＷ３）の少なくとも１つ
の短絡接触点（７）が既にそれぞれの短絡（Ｋ１）を介
して充電電位に充電されたことにより確認される方法に
おいて、多数の回路網が少なくとも１つの検査群（ＴＧ
１、ＴＧ２、ＴＧ３）に一括され、また主検査がそれぞ
れ１つの検査群（ＴＧ１）に対して実行され、またそれ
ぞれの中間検査により補われることを特徴とするミクロ
配線の検査の際の検査エラーの認識方法。 - 【請求項５】 中間検査中にエラーに基づいて既に再び
ロードされないそれぞれの検査群（ＴＧ１）のなかの回
路網（ＮＷ１）が、それぞれの回路網（ＮＷ１）の少な
くとも１つの接触点（２）の電位が測定され、またこの
電位が充電電位に一致するか否かが確認されることによ
り求められ、後検査の前にすべての接触点（１…２４）
が放電され、後検査の第１のステップでそれぞれ中間検
査中に求められた回路網（ＮＷ１）が適切に充電電位に
充電され、後検査の第２のステップでそれぞれ少なくと
も１つの接触点（５、７）を介してそれぞれの検査群
（Ｔ１）の他の回路網（ＮＷ２、ＮＷ３）の電位が測定
され、また後検査の第３のステップで短絡（Ｋ２）が求
められ、またそれぞれの短絡（Ｋ２）に関与した他の回
路網（ＮＷ２）が一義的に確認され、また、後検査中に
まだ適切に充電されない回路網（ＮＷ３）が短絡（Ｋ
２）を介して充電電位に充電されたときに、後検査の第
１のステップで適切に充電された同じく（Ｋ２）に関与
した回路網（ＮＷ１）と一緒に報知されることを特徴と
する請求項４記載の方法。 - 【請求項６】 それぞれの中間検査の第１のステップで
それぞれ他の検査群（ＴＧ２、ＴＧ３）の回路網（ＮＷ
４…ＮＷ９）の電位が他の検査群（ＴＧ２）の回路網
（ＮＷ４）の少なくとも１つの接触点（１０、１２、１
５、１７、２０および２２）を介して測定され、それぞ
れの中間検査の第２のステップで、それぞれの主検査中
に既に適切に充電されたそれぞれの検査群（ＴＧ１）の
回路網の１つ（ＮＷ２）から他の検査群（ＴＧ２）のそ
れぞれの回路網（ＮＷ４）への、それぞれの検査群にわ
たる短絡（Ｋ３）が、他の検査群（ＴＧ２）のそれぞれ
の回路網（ＮＷ４）の少なくとも１つの検査群にわたる
短絡接触点（１０）が既にそれぞれの検査群にわたる短
絡（Ｋ３）を介して充電電位に充電されたことにより確
認されることを特徴とする請求項４記載の方法。 - 【請求項７】 それぞれの中間検査の第３のステップと
してプリント回路板（ＬＰ）のすべての接触点（１…２
４）が放電され、後検査の第１のステップでそれぞれの
検査群にわたる短絡接触点（１０）を介してそれぞれの
検査群にわたる短絡接触点（１０）の回路網（ＮＷ４）
が適切に充電電位に充電され、後検査の第２のステップ
で後検査中にまだ適切に充電されないそれぞれの他の検
査群（ＴＧ１、ＴＧ３）の回路網（ＮＷ１…ＮＷ３、Ｎ
Ｗ７…ＮＷ９）の電位が、それぞれ電位がそれぞれの後
検査中にまだ適切に充電されないそれぞれの他の検査群
（ＴＧ１、ＴＧ３）の回路網（ＮＷ１…ＮＷ３、ＮＷ７
…ＮＷ９）の少なくとも１つの接触点（２、４、７、１
７、２０、２２）を介して測定されることにより求めら
れ、後検査の第３のステップで中間検査の第２のステッ
プで確認されたそれぞれの検査群にわたる短絡（Ｋ３）
が、後検査中にまだ適切に充電されないそれぞれの他の
検査群（ＴＧ１）の回路網（ＮＷ２）がそれぞれの検査
群にわたる短絡（Ｋ３）を介して充電電位に充電された
ときに認識され、また検査エラーが、主検査の第３のス
テップで確認された短絡が認識されないときに確認され
ることを特徴とする請求項６記載の方法。
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