JPH0521336A - ウエハの縁取り露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は、露光強度を大きくしてもレジスト
が発泡することなく、かつ照射時間を短縮してスループ
ットを高め、パターンの寸法精度に影響を与えることな
く、ウエハに塗布したレジストの縁部の露光を可能にす
る。 【構成】 駆動部１１に接続したスピンチャック１２
と、スピンチャック１２に載置されるウエハ５１のレジ
ストの縁部側を露光する露光器１３とよりなるウエハの
縁取り露光装置１に、ウエハ５１のレジストの縁部側を
加熱する加熱器１４を設けたものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ウエハに塗布したレジ
ストの縁部側を露光するウエハの縁取り露光装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】ウエハに塗布したレジストの縁部は、レ
ジスト欠けによる塵埃の発生を防止するために除去され
る。除去するには、まずパターンの露光を行う前または
露光後に、ウエハのレジスト塗布面の縁部側を露光す
る。その後パターンの現像時に露光した部分のレジスト
を除去する。

【０００３】上記のようなウエハに塗布したレジストの
縁部側を露光する装置を図３により説明する。図に示す
如く、駆動部３１にはスピンチャック３２が接続されて
いる。このスピンチャック３２に載置されるウエハ５１
の縁部上方の一部には、ウエハ５１の上面に塗布したレ
ジスト５２の縁部側を露光する露光器３３が設けられて
いる。この露光器３３は、例えば、紫外線発生器３４と
光伝送部３５（例えば紫外線用の光ファイバケーブル）
と照射ヘッド３６とにより構成されている。また上記照
射ヘッド３６には移動機構３７が設けられている。この
移動機構３７によって、当該照射ヘッド３６はウエハ５
１のオリエンテーションフラットＯＦ（以下オリフラと
略記する）上方を移動する。

【０００４】次に、上記ウエハの縁取り露光装置３０で
ウエハ５１に塗布したレジスト５２の縁部側を露光する
方法の一例を図４により説明する。まずレジスト５２を
塗布したウエハ５１をスピンチャック３２（図３参照）
に載置する。続いてスピンチャック３２を例えば矢印イ
方向に回動するとともに露光器３３（図３参照）によっ
てウエハ５１の円弧側のレジスト部分５２ａ（実線の斜
線で示す部分）を露光する。このとき照射ヘッド３６の
下方にオリフラＯＦ部分が来た場合には、ウエハ５１を
回動させた状態で、移動機構３７によって照射ヘッド３
６をウエハ５１の半径方向に移動して、当該照射ヘッド
３６をオリフラＯＦの上方に位置させる。このように照
射ヘッド３６を移動させながら、ウエハ５１のオリフラ
ＯＦに沿って、レジスト５２ｂ（破線の斜線で示す部
分）に紫外線を照射する。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記説
明したウエハの縁取り露光装置では、露光時間を短縮し
てスループットを高めようとすると、露光強度を強くし
なければならない。露光強度を強くするとレジストが発
泡するので、ウエハ表面のパーティクル数が増大する。
発泡を抑えるために露光強度を弱くして長時間露光を行
った場合には、スループットが非常に遅くなる。スルー
プットを遅くすることなくレジストの発泡を抑える方法
として、スピンチャックのウエハ載置面を加熱する方法
がある。この方法では、スピンチャックの内部にヒータ
を取りつけて、スピンチャックとともにウエハを加熱す
る。ところがスピンチャックのウエハ載置面を均一に加
熱することが困難なために、ウエハ上のレジストに加熱
むらが生じる。この結果、上記の如くに加熱したレジス
トで微細パターンを形成した場合には、微細パターンの
寸法ばらつきが大きくなる。

【０００６】本発明は、パターンの寸法精度に影響を与
えることなく、ウエハに塗布したレジストの縁部側を露
光するウエハの縁取り露光装置を提供することを目的と
する。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するためになされたウエハの縁取り露光装置である。
すなわち、駆動部に接続したスピンチャックと、スピン
チャックに載置されるウエハのレジストの縁部側を露光
する露光器とよりなるウエハの縁部露光装置に、露光器
に対してウエハの回動方向とは反対側にウエハのレジス
トの縁部側を加熱する加熱器を設けたものである。

【０００８】

【作用】上記構成のウエハの縁取り露光装置では、露光
器に対してウエハの回動方向とは反対側にレジストの縁
部側を加熱する加熱器を設けたことにより、レジストの
縁部側は、加熱した状態で露光される。このときパター
ンが形成される部分のレジストは加熱されない。

【０００９】

【実施例】本発明の実施例を図１の概略構成図および図
２に示す図１中のＡ−Ａ線矢視図により説明する。図に
示すように、駆動部１１にはスピンチャック１２が接続
されている。スピンチャック１２に載置されるウエハ５
１の縁部側の上方の一部には、露光器１３が設けられて
いる。この露光器１３に対してウエハ５１の回動方向
（矢印ア方向）とは反対側に隣接した状態で、ウエハ５
１の上面に塗布したレジスト５２の縁部側に赤外線を照
射して加熱する加熱器１４が設けられている。

【００１０】上記加熱器１４は、例えば、赤外線発生器
１５と、赤外線発生器１５より発生させた赤外線を伝送
する光ファイバケーブル１６と、光ファイバケーブル１
６の先端側に接続した照射ヘッド１７とによりなる。さ
らに上記照射ヘッド１７には移動機構１８が設けられて
いる。この移動機構１８によって、当該照射ヘッド１７
はウエハ５１のオリエンテーションフラットＯＦ（以下
オリフラと略記する）上方を移動する。

【００１１】また上記露光器１３は、従来の技術中で説
明したと同様に、紫外線発生器１９と、光ファイバケー
ブル２０と、照射ヘッド２１とによりなる。さらに上記
照射ヘッド２１には、前述の従来の技術で説明したと同
様に当該照射ヘッド２１を移動させる移動機構２２が設
けられている。

【００１２】次に、上記構成のウエハの縁取り露光装置
１の動作を説明する。まずレジスト５２を塗布したウエ
ハ５１をスピンチャック１２に載置する。次いでスピン
チャック１２を矢印ア方向に、例えば３０ｒｐｍ程度で
回動する。この状態で、加熱器１４によってウエハ５１
の円弧側のレジスト部分５２ａ（実線の斜線で示す部
分）に赤外線ＲＬを照射する。このとき照射ヘッド２１
の下方にオリフラＯＦ部分が来た場合には、ウエハ５１
を回動させた状態で、移動機構２２によって照射ヘッド
２１をウエハ５１の半径方向に移動して、当該照射ヘッ
ド２１をオリフラＯＦの上方に位置させる。このように
照射ヘッド３６を移動させながら、ウエハ５１のオリフ
ラＯＦ部分に沿って、レジスト５２ｂ（破線の斜線で示
す部分）に赤外線ＲＬを照射する。上記赤外線の照射に
よって、レジスト５２は、例えば５０℃ないし７０℃程
度に加熱される。そして、赤外線ＲＬを照射して加熱し
た状態のレジストに露光器１３で紫外線ＶＬを照射し
て、感光する。感光は、前述した従来の技術で説明した
と同様に行う。したがって、ここでの詳細な説明は省略
する。

【００１３】上記照射ヘッド１７の設置位置は、レジス
ト５２に赤外線ＲＬを照射して加熱したレジスト５２が
紫外線ＶＬを照射するときに冷めない位置ならば、上記
説明した位置に限定されない。

【００１４】

【発明の効果】以上、説明したように本発明によれば、
レジストの縁部側のみを加熱する加熱器を設けたので、
レジストの縁部側のみが加熱される。このため、パター
ン形成部は加熱されないので、パターン形成部のパター
ンの寸法精度を低下させることなく、ウエハの縁取り露
光ができる。しかも、レジストが発泡を起こさない程度
の露光強度で短時間に露光することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例の概略説明図である。

【図２】図１中のＡ−Ａ線矢視図である。

【図３】従来例の概略説明図である。

【図４】従来例の露光方法の説明図である。

【符号の説明】

１ ウエハの縁取り露光装置 １１ 駆動部 １２ スピンチャック １３ 露光器 １４ 加熱器 ５１ ウエハ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 【請求項１】 駆動部に接続したスピンチャックと、 前記スピンチャックに載置されるウエハのレジストの縁
   部側を露光する露光器とよりなるウエハの縁取り露光装
   置において、 前記露光器に対して前記ウエハの回動方向とは反対側
   に、当該ウエハのレジストの縁部側を加熱する加熱器を
   設けたことを特徴とするウエハの縁取り露光装置。