JPH05205662A - 非蒸発型ゲッタ - Google Patents
非蒸発型ゲッタInfo
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- JPH05205662A JPH05205662A JP4009840A JP984092A JPH05205662A JP H05205662 A JPH05205662 A JP H05205662A JP 4009840 A JP4009840 A JP 4009840A JP 984092 A JP984092 A JP 984092A JP H05205662 A JPH05205662 A JP H05205662A
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- evaporable getter
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- getter
- evaporative getter
- evaporable
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 非蒸発型ゲッタの主要部をなす活性金属粒子
などが飛散する恐れを解消するとともに、有効吸着面積
も増加され、常に十分なガス吸着能力を保持・発揮し得
る非蒸発型ゲッタの提供を目的とする。 【構成】 両主面間を貫通する多数の空隙部を有する支
持体３と、前記支持体３に圧接的に担持された活性金属
の微粉末から成る顆粒体層４とを具備して成ることを特
徴とする。そして、この様な本発明においては、前記支
持体３が非磁性金属メッシュであること、好ましくはそ
の非磁性金属メッシュの目開きが10〜1000μm であるこ
と、また、前記非蒸発型ゲッタの厚みが 0.1〜 0.4mm
で、かつ顆粒体層４表面が 2〜20μm の凹凸状を成して
いることが望ましい。
などが飛散する恐れを解消するとともに、有効吸着面積
も増加され、常に十分なガス吸着能力を保持・発揮し得
る非蒸発型ゲッタの提供を目的とする。 【構成】 両主面間を貫通する多数の空隙部を有する支
持体３と、前記支持体３に圧接的に担持された活性金属
の微粉末から成る顆粒体層４とを具備して成ることを特
徴とする。そして、この様な本発明においては、前記支
持体３が非磁性金属メッシュであること、好ましくはそ
の非磁性金属メッシュの目開きが10〜1000μm であるこ
と、また、前記非蒸発型ゲッタの厚みが 0.1〜 0.4mm
で、かつ顆粒体層４表面が 2〜20μm の凹凸状を成して
いることが望ましい。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電子管や照明用などの
真空容器に内装され、高真空の向上・保持に機能する非
蒸発型ゲッタに関する。
真空容器に内装され、高真空の向上・保持に機能する非
蒸発型ゲッタに関する。
【０００２】
【従来の技術】周知のように、電子管や照明用など各種
の真空容器においては、所要の高真空の向上・保持のた
め、非蒸発型ゲッタを内装（内蔵）させている。そし
て、この種の非蒸発型ゲッタとしては、たとえば Zr,T
i,Ta,Thもしくはこれらの金属元素を含む金属間化合物
など、いわゆる活性金属の粉末を圧着・焼結して成るシ
ート状ないしリボン状、またはペレット状のものが実用
に供されている。
の真空容器においては、所要の高真空の向上・保持のた
め、非蒸発型ゲッタを内装（内蔵）させている。そし
て、この種の非蒸発型ゲッタとしては、たとえば Zr,T
i,Ta,Thもしくはこれらの金属元素を含む金属間化合物
など、いわゆる活性金属の粉末を圧着・焼結して成るシ
ート状ないしリボン状、またはペレット状のものが実用
に供されている。
【０００３】図２および図３は、前記シート状ないしリ
ボン状1aの非蒸発型ゲッタ、またはペレット状1bの非蒸
発型ゲッタが、保持構体２を介して真空容器内に装着
（内蔵）されている構成を模式的に示したものである。
このように真空容器内に装着（内蔵）された非蒸発型ゲ
ッタ 1a,1bは、通常、 400℃〜1000℃に加熱されて活性
化し、その後の冷却に伴い封着された真空容器内の残留
ガスを吸着し、高真空化する。一方、真空容器内に封着
されている機能部品が動作するとき、真空容器の内壁面
や機能部品から放出されるガスを吸着して、長時間に亘
って真空容器内を所要の高真空に保持する機能をなして
いる。そして、この種の非蒸発型ゲッタのガス吸着能力
は、ゲッタ材の活性度と有効吸着面積に依存している。
ボン状1aの非蒸発型ゲッタ、またはペレット状1bの非蒸
発型ゲッタが、保持構体２を介して真空容器内に装着
（内蔵）されている構成を模式的に示したものである。
このように真空容器内に装着（内蔵）された非蒸発型ゲ
ッタ 1a,1bは、通常、 400℃〜1000℃に加熱されて活性
化し、その後の冷却に伴い封着された真空容器内の残留
ガスを吸着し、高真空化する。一方、真空容器内に封着
されている機能部品が動作するとき、真空容器の内壁面
や機能部品から放出されるガスを吸着して、長時間に亘
って真空容器内を所要の高真空に保持する機能をなして
いる。そして、この種の非蒸発型ゲッタのガス吸着能力
は、ゲッタ材の活性度と有効吸着面積に依存している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、従来
のシート状1aもしくはペレット状1bの非蒸発型ゲッタの
場合は、いずれも圧着・焼結によって形成されているた
め、たとえば衝撃や振動を受けたりするとペレット自体
などが容易に破損ないし破壊する恐れがある。この非蒸
発型ゲッタの破損ないし破壊が起こると、非蒸発型ゲッ
タを構成している活性金属の粉末ないし粒子が真空容器
内で飛散する現象を起こし易い。そして、前記真空容器
が電子管もしくはランプなどの場合、前記飛散した活性
金属の粉末ないし粒子は、耐圧特性，電気的なリーク，
ノイズの増加，異常放電など不良の原因となる。また、
前記シート状1aもしくはペレット状1bの非蒸発型ゲッタ
は、圧着・焼結によって形成されているので、非蒸発型
ゲッタを構成する活性金属の粉末同士ないし粒子同士が
融着（融合）した形態を成している。つまり、前記構成
の非蒸発型ゲッタにおいては、雰囲気に暴される活性金
属の粉末面ないし粒子面（有効吸着面積）が低減してお
り、十分なガス吸着能力を保持・発揮し得ないのが実情
といえる。
のシート状1aもしくはペレット状1bの非蒸発型ゲッタの
場合は、いずれも圧着・焼結によって形成されているた
め、たとえば衝撃や振動を受けたりするとペレット自体
などが容易に破損ないし破壊する恐れがある。この非蒸
発型ゲッタの破損ないし破壊が起こると、非蒸発型ゲッ
タを構成している活性金属の粉末ないし粒子が真空容器
内で飛散する現象を起こし易い。そして、前記真空容器
が電子管もしくはランプなどの場合、前記飛散した活性
金属の粉末ないし粒子は、耐圧特性，電気的なリーク，
ノイズの増加，異常放電など不良の原因となる。また、
前記シート状1aもしくはペレット状1bの非蒸発型ゲッタ
は、圧着・焼結によって形成されているので、非蒸発型
ゲッタを構成する活性金属の粉末同士ないし粒子同士が
融着（融合）した形態を成している。つまり、前記構成
の非蒸発型ゲッタにおいては、雰囲気に暴される活性金
属の粉末面ないし粒子面（有効吸着面積）が低減してお
り、十分なガス吸着能力を保持・発揮し得ないのが実情
といえる。
【０００５】本発明は、上記事情に対処してなされたも
ので、非蒸発型ゲッタの主要部をなす活性金属粒子など
が飛散する恐れを解消するとともに、有効吸着面積も増
加され、常に十分なガス吸着能力を保持・発揮し得る非
蒸発型ゲッタの提供を目的とする。
ので、非蒸発型ゲッタの主要部をなす活性金属粒子など
が飛散する恐れを解消するとともに、有効吸着面積も増
加され、常に十分なガス吸着能力を保持・発揮し得る非
蒸発型ゲッタの提供を目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明に係る非蒸発型ゲ
ッタは、両主面間を貫通する多数の空隙部を有する支持
体と、前記支持体に圧接的に担持された活性金属の微粉
末から成る顆粒体層とを具備して成ることを特徴とす
る。
ッタは、両主面間を貫通する多数の空隙部を有する支持
体と、前記支持体に圧接的に担持された活性金属の微粉
末から成る顆粒体層とを具備して成ることを特徴とす
る。
【０００７】そして、この様な本発明においては、前記
支持体が非磁性金属メッシュであること、好ましくはそ
の非磁性金属メッシュの目開きが10〜1000μm であるこ
と、また、前記非蒸発型ゲッタの厚みが 0.1〜 0.4mm
で、かつ顆粒体層表面が 2〜20μm の凹凸状を成してい
ることが望ましい。
支持体が非磁性金属メッシュであること、好ましくはそ
の非磁性金属メッシュの目開きが10〜1000μm であるこ
と、また、前記非蒸発型ゲッタの厚みが 0.1〜 0.4mm
で、かつ顆粒体層表面が 2〜20μm の凹凸状を成してい
ることが望ましい。
【０００８】
【作用】本発明の非蒸発型ゲッタにおいては、ゲッター
作用を成す活性金属の微粒子が顆粒体として用いられ、
しかもこの顆粒体はたとえば非磁性金属メッシュを支持
体として圧接的（圧着的）に担持された構成を成してい
る。つまり、非磁性金属メッシュのような両主面間を貫
通する多数の空隙部を有する支持体を用い、このメッシ
ュ状支持体に顆粒体が圧接・担持さるため、強固な一体
性を呈するので飛散・脱離などの恐れがないとともに、
一方では活性金属の微粒子同士ないし顆粒体同士の融着
による有効吸着面積の低減や、支持体の熱伝導性によっ
て活性化温度の不均一化なども解消ないし回避し得る。
したがって、真空容器内に装着（内蔵）した場合も、た
とえば耐圧特性などを損なうことなく、常にすぐれた高
真空向上・保持の機能を発揮し得る。
作用を成す活性金属の微粒子が顆粒体として用いられ、
しかもこの顆粒体はたとえば非磁性金属メッシュを支持
体として圧接的（圧着的）に担持された構成を成してい
る。つまり、非磁性金属メッシュのような両主面間を貫
通する多数の空隙部を有する支持体を用い、このメッシ
ュ状支持体に顆粒体が圧接・担持さるため、強固な一体
性を呈するので飛散・脱離などの恐れがないとともに、
一方では活性金属の微粒子同士ないし顆粒体同士の融着
による有効吸着面積の低減や、支持体の熱伝導性によっ
て活性化温度の不均一化なども解消ないし回避し得る。
したがって、真空容器内に装着（内蔵）した場合も、た
とえば耐圧特性などを損なうことなく、常にすぐれた高
真空向上・保持の機能を発揮し得る。
【０００９】
【実施例】以下図１(a) および(b) を参照して本発明の
実施例を説明する。
実施例を説明する。
【００１０】図１(a) は、本発明に係る非蒸発型ゲッタ
の構成例を断面的に、また図１(b)は本発明に係る非蒸
発型ゲッタの構成例を平面的にそれぞれ示したもので、
３は両主面間を貫通する多数の空隙部を有する支持体、
たとえば非磁性金属メッシュである。また４は前記非磁
性金属メッシュ３の所要領域面に、圧接的（圧着的）に
担持された活性金属の微粒子からなる顆粒体層である。
の構成例を断面的に、また図１(b)は本発明に係る非蒸
発型ゲッタの構成例を平面的にそれぞれ示したもので、
３は両主面間を貫通する多数の空隙部を有する支持体、
たとえば非磁性金属メッシュである。また４は前記非磁
性金属メッシュ３の所要領域面に、圧接的（圧着的）に
担持された活性金属の微粒子からなる顆粒体層である。
【００１１】そして、上記構成の非蒸発型ゲッタは、た
とえば次のようにして容易に製造・構成し得る。先ず、
主面間を貫通する多数の空隙部を有する支持体として、
たとえば1000メッシュ程度のステンレス製網状シート３
を用意する。次いで、予め用意しておいたゲッター作用
を有する活性金属、たとえば粒径40μm 以下のZr2 Niの
微粒子を用いて形成した粒径 100μm 以下の顆粒体を、
前記ステンレス製網状シート３の所定領域面に薄く広げ
て配置する。その後、押圧面が10μm 程度の凹凸面に加
工されているプレス金型にかけ、プレス圧 50 kg／cm2
程度で圧着することにより、前記ステンレス製網状シー
ト３の所定領域面に、粒径 100μm 以下の顆粒体層４が
一体化した構成の非蒸発型ゲッタが得られる。
とえば次のようにして容易に製造・構成し得る。先ず、
主面間を貫通する多数の空隙部を有する支持体として、
たとえば1000メッシュ程度のステンレス製網状シート３
を用意する。次いで、予め用意しておいたゲッター作用
を有する活性金属、たとえば粒径40μm 以下のZr2 Niの
微粒子を用いて形成した粒径 100μm 以下の顆粒体を、
前記ステンレス製網状シート３の所定領域面に薄く広げ
て配置する。その後、押圧面が10μm 程度の凹凸面に加
工されているプレス金型にかけ、プレス圧 50 kg／cm2
程度で圧着することにより、前記ステンレス製網状シー
ト３の所定領域面に、粒径 100μm 以下の顆粒体層４が
一体化した構成の非蒸発型ゲッタが得られる。
【００１２】次に上記で構成した非蒸発型ゲッタは、そ
の機械的な強度について見ると、前記TiやZrなどの微粒
子から成る顆粒体が、前記ステンレス製網状シート３の
所定領域面にほぼ完全に密着した形態を採っており、た
とえば真空容器内に装着して、通常受けることがあり得
る衝撃・振動を与えても、顆粒体層４の破壊ないし脱離
に伴う微粒子などの飛散現象は認められなかった。
の機械的な強度について見ると、前記TiやZrなどの微粒
子から成る顆粒体が、前記ステンレス製網状シート３の
所定領域面にほぼ完全に密着した形態を採っており、た
とえば真空容器内に装着して、通常受けることがあり得
る衝撃・振動を与えても、顆粒体層４の破壊ないし脱離
に伴う微粒子などの飛散現象は認められなかった。
【００１３】また、ステンレス製網状シート３に圧着・
担持された活性金属の微粒子からなる顆粒体層４におい
ては、前記微粒子同士および顆粒体同士の融着に伴う表
面積の低減も少なく、有効吸着面積も単一粒子の表面積
の和にほぼ等し強い状態ですぐれたガス吸着能力を示す
ことも確認された。
担持された活性金属の微粒子からなる顆粒体層４におい
ては、前記微粒子同士および顆粒体同士の融着に伴う表
面積の低減も少なく、有効吸着面積も単一粒子の表面積
の和にほぼ等し強い状態ですぐれたガス吸着能力を示す
ことも確認された。
【００１４】さらに、上記構成の非蒸発型ゲッタを、ガ
ラス製の真空化可能な容器内に装着し、所要の高真空に
排気した後、外部から高周波加熱によって活性化したと
ころ、圧着・担持された活性金属の微粒子ないし顆粒体
の脱離・飛散なども認められず、また一様な活性化によ
り高真空化にすぐれた機能を保持・発揮した。つまり、
従来のリボン状もしくはペレット状の非蒸発型ゲッタ
が、前記高周波加熱などによる活性化において、加熱温
度が不均一であったり、必要な温度・時間が部分的に満
足されないことがあるのに対し、本発明に係る非蒸発型
ゲッタの場合は、支持体として機能する網状シート３な
どが、前記活性化のための高周波加熱などにおいて、ル
ープを形成して全体的に均一な温度上昇および活性化を
達成するので、高真空化にすぐれた機能を保持・発揮す
る。特に支持体３が非磁性金属製網状シートの場合は、
高周波が印加され易く均一な温度上昇，活性化に有効で
ある。
ラス製の真空化可能な容器内に装着し、所要の高真空に
排気した後、外部から高周波加熱によって活性化したと
ころ、圧着・担持された活性金属の微粒子ないし顆粒体
の脱離・飛散なども認められず、また一様な活性化によ
り高真空化にすぐれた機能を保持・発揮した。つまり、
従来のリボン状もしくはペレット状の非蒸発型ゲッタ
が、前記高周波加熱などによる活性化において、加熱温
度が不均一であったり、必要な温度・時間が部分的に満
足されないことがあるのに対し、本発明に係る非蒸発型
ゲッタの場合は、支持体として機能する網状シート３な
どが、前記活性化のための高周波加熱などにおいて、ル
ープを形成して全体的に均一な温度上昇および活性化を
達成するので、高真空化にすぐれた機能を保持・発揮す
る。特に支持体３が非磁性金属製網状シートの場合は、
高周波が印加され易く均一な温度上昇，活性化に有効で
ある。
【００１５】前記高真空化機能についてさらに具体的に
説明すると、ゲッタ作用をなす同種の活性金属量を一定
に選択・設定した本発明に係る非蒸発型ゲッタと従来の
リボン状（ペレット状）の非蒸発型ゲッタについて、ガ
ス吸着特性をそれぞれ測定・評価したところ次表に示す
ごとくであった。なお、ガス吸着特性評価は、 800℃で
10分間活性化後、室温（25℃）でコンダクタンス： 250
cc/secにて H2 ガスを導入し、吸着速度： 100cc/secま
でのガス吸着量で表示し、また非蒸発型ゲッタの比表面
積は、ガス吸着量から逆算した値である。（以下余白） 表 比表面積（mm2 ） ガス吸着量(Torr,cc) 従来例（ペレット型） 108 200 実施例 1280 2300 上記表から分かるように、ゲッタ作用をなす活性金属の
量を一定に選択・設定し、構成した本発明に係る非蒸発
型ゲッタの場合は、従来のリボン状（ペレット状）の非
蒸発型ゲッタに比べ約10倍の比表面積を有し、また約10
倍のガス吸着能力を備えている。
説明すると、ゲッタ作用をなす同種の活性金属量を一定
に選択・設定した本発明に係る非蒸発型ゲッタと従来の
リボン状（ペレット状）の非蒸発型ゲッタについて、ガ
ス吸着特性をそれぞれ測定・評価したところ次表に示す
ごとくであった。なお、ガス吸着特性評価は、 800℃で
10分間活性化後、室温（25℃）でコンダクタンス： 250
cc/secにて H2 ガスを導入し、吸着速度： 100cc/secま
でのガス吸着量で表示し、また非蒸発型ゲッタの比表面
積は、ガス吸着量から逆算した値である。（以下余白） 表 比表面積（mm2 ） ガス吸着量(Torr,cc) 従来例（ペレット型） 108 200 実施例 1280 2300 上記表から分かるように、ゲッタ作用をなす活性金属の
量を一定に選択・設定し、構成した本発明に係る非蒸発
型ゲッタの場合は、従来のリボン状（ペレット状）の非
蒸発型ゲッタに比べ約10倍の比表面積を有し、また約10
倍のガス吸着能力を備えている。
【００１６】上記実施例では、支持体としてステンレス
製網状シートを用いたが、たとえば用途，取り付け箇所
により、Niなどなど非磁性金属製網状シートでなくても
よく、またメッシュ状に限らずたとえばステンレス製薄
板に格子状もしくはランダムに他数個の貫通孔を穿設し
たものでもよい。そして、これらの支持体の厚さや大き
さ（ゲッタ領域形成部）などは用途によって決められる
が、たとえば薄型表示管用の場合は厚さ 0.2〜0.3mm が
よい。また、ゲッタ作用をなす活性金属としては、Zr,T
i,Ta, Thもしくはこれらの金属元素を含む合金など、一
般に知られている活性金属ならいずれをも使用し得る。
製網状シートを用いたが、たとえば用途，取り付け箇所
により、Niなどなど非磁性金属製網状シートでなくても
よく、またメッシュ状に限らずたとえばステンレス製薄
板に格子状もしくはランダムに他数個の貫通孔を穿設し
たものでもよい。そして、これらの支持体の厚さや大き
さ（ゲッタ領域形成部）などは用途によって決められる
が、たとえば薄型表示管用の場合は厚さ 0.2〜0.3mm が
よい。また、ゲッタ作用をなす活性金属としては、Zr,T
i,Ta, Thもしくはこれらの金属元素を含む合金など、一
般に知られている活性金属ならいずれをも使用し得る。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る非蒸
発型ゲッタは、薄型化や小形化などが可能であるばかり
でなく、衝撃・振動などを受けてもゲッタ材の飛散や脱
離する恐れも解消され、装着した真空容器内でたとえば
電気的なリークを起こす恐れなどトラブル発生の問題も
大幅に回避し得る。しかも、ゲッタ作用領域の比表面積
も、大幅に大きくなっているため、すぐれたガス吸着能
力を常に保持・発揮する。
発型ゲッタは、薄型化や小形化などが可能であるばかり
でなく、衝撃・振動などを受けてもゲッタ材の飛散や脱
離する恐れも解消され、装着した真空容器内でたとえば
電気的なリークを起こす恐れなどトラブル発生の問題も
大幅に回避し得る。しかも、ゲッタ作用領域の比表面積
も、大幅に大きくなっているため、すぐれたガス吸着能
力を常に保持・発揮する。
【図１】本発明に係る非蒸発型ゲッタの構成例を示すも
ので（ａ）は断面図、（ｂ）は平面図。
ので（ａ）は断面図、（ｂ）は平面図。
【図２】従来のリボン型非蒸発型ゲッタを装着した態様
を示す要部断面図。
を示す要部断面図。
【図３】従来のペレット型非蒸発型ゲッタを装着した態
様を示す要部断面図。
様を示す要部断面図。
１ａ…リボン型非蒸発型ゲッタ １ｂ…ペレット型非蒸
発型ゲッタ ２…保持構体 ３…両主面間を貫通す
る多数の空隙部を有する支持体 ４…活性金属の微粉
末から成る顆粒体層
発型ゲッタ ２…保持構体 ３…両主面間を貫通す
る多数の空隙部を有する支持体 ４…活性金属の微粉
末から成る顆粒体層
Claims (4)
- 【請求項１】 両主面間を貫通する多数の空隙部を有す
る支持体と、前記支持体に圧接的に担持された活性金属
の微粉末から成る顆粒体層とを具備して成ることを特徴
とする非蒸発型ゲッタ。 - 【請求項２】 請求項１記載の非蒸発型ゲッタにおい
て、支持体が非磁性金属メッシュであることを特徴とす
る非蒸発型ゲッタ。 - 【請求項３】 請求項２記載の非蒸発型ゲッタにおい
て、支持体を成す非磁性金属メッシュの目開きが10〜10
00μm であることを特徴とする非蒸発型ゲッタ。 - 【請求項４】 請求項１，２もしくは３記載の非蒸発型
ゲッタにおいて、前記非蒸発型ゲッタの厚みが 0.1〜
0.4mmで、かつ顆粒体層表面が 2〜20μm の凹凸状を成
していることを特徴とする非蒸発型ゲッタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP00984092A JP3202295B2 (ja) | 1992-01-23 | 1992-01-23 | 薄型表示管用非蒸発型ゲッタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP00984092A JP3202295B2 (ja) | 1992-01-23 | 1992-01-23 | 薄型表示管用非蒸発型ゲッタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05205662A true JPH05205662A (ja) | 1993-08-13 |
| JP3202295B2 JP3202295B2 (ja) | 2001-08-27 |
Family
ID=11731326
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP00984092A Expired - Fee Related JP3202295B2 (ja) | 1992-01-23 | 1992-01-23 | 薄型表示管用非蒸発型ゲッタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3202295B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1286377A1 (en) * | 2001-08-23 | 2003-02-26 | Canon Kabushiki Kaisha | Non-evaporating getter, fabrication method of the same, and display unit |
| JP2006294481A (ja) * | 2005-04-13 | 2006-10-26 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置 |
| CN111599661A (zh) * | 2020-06-02 | 2020-08-28 | 中国科学院空天信息创新研究院 | 用于空间行波管的吸气剂固定结构 |
-
1992
- 1992-01-23 JP JP00984092A patent/JP3202295B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1286377A1 (en) * | 2001-08-23 | 2003-02-26 | Canon Kabushiki Kaisha | Non-evaporating getter, fabrication method of the same, and display unit |
| US6784613B2 (en) | 2001-08-23 | 2004-08-31 | Canon Kabushiki Kaisha | Non-evaporating getter, fabrication method of the same, and display unit |
| JP2006294481A (ja) * | 2005-04-13 | 2006-10-26 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置 |
| CN111599661A (zh) * | 2020-06-02 | 2020-08-28 | 中国科学院空天信息创新研究院 | 用于空间行波管的吸气剂固定结构 |
| CN111599661B (zh) * | 2020-06-02 | 2023-05-26 | 中国科学院空天信息创新研究院 | 用于空间行波管的吸气剂固定结构 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3202295B2 (ja) | 2001-08-27 |
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