JPH0520469Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案は、基板面上に、フオトレジスト液、
現像液等の薬液をその温度を一定に制御しながら
供給（デイスペンス）する薬液供給装置に関す
る。

〔従来の技術〕

一般に薬液供給装置は、薬液タンクに満たされ
たフオトレジスト液、現像液等の薬液を送液ポン
プにより先端ノズル部へ供給し、この先端ノズル
部からコータ或いはデイベロツパーのウエハホル
ダに支持されて回転するウエハ面上へ供給するよ
うになつている。ところが、従来のこの種の装置
においては、清浄な空気が常時天井から吹き降ろ
されているクリーンルームに設置されているため
薬液供給系が空気の下降流に直接さらされている
ために室内温度による薬液の温度の変動によつて
供給すべき薬液の粘度や活性度等が変動し、ウエ
ハ面上にコーテイングされた膜の膜厚や膜質等に
影響を及ぼしていた。このため、供給すべき薬液
の温度を一定に保つために、薬液タンクから先端
ノズル部に至る全装置部分を、薬液の循環、電子
冷熱等を利用した恒温装置内に納設して、薬液の
温度調節をするようにしたもの（特開昭54−
78981号公報）、薬液タンクから送液ポンプによつ
て吸い出した薬液を恒温槽に導いた後、これをノ
ズルアームにて支持された薬液供給管を通して先
端ノズルから供給するようにしたもの（特開昭61
−71632号公報）が開発されている。

〔考案が解決しようとする問題点〕

しかしながら、前者の装置にあつては、薬液供
給装置の全体を恒温装置内に納設するものであつ
て、装置全体が大型化し、ウエハを回転駆動する
ようになつたコータ或いはデイベロツパー等の装
置との組み合わせ使用に或いはコスト面において
難点がある。さらに、薬液供給装置の全体を恒温
装置内に納設する装置は、恒温装置のウエハ上方
に位置する部分が、ウエハ上面の空気の流れを乱
し、そのためにウエハ上にコーテイングされた膜
の膜厚や膜質の変動を生ずる難点もある。また後
者の装置においては、一応恒温槽において薬液の
温度調節は行なわれるが、この恒温槽から薬液供
給装置までの薬液供給系部分においては温度調節
が行なわれず、室内温度の影響を受けることか
ら、恒温槽を設けているにも拘らず供給する薬液
の温度が変動し、ウエハ面上のコーテイング膜厚
や膜質等が僅かながらも変動してしまう。さら
に、恒温槽にはその恒温槽に恒温水を供給するた
めの熱源や温度検出手段、制御手段等が必要とな
るが、ノズルアーム下部にそれらを設けるための
大きなスペースが必要となる等の欠点があつた。

この考案は、上記従来の問題点を解消し、基板
面上に供給する薬液の温度を簡単な構成でもつて
一体に保ち、かつ好ましい気流を阻害することな
く薬液の供給を行なうことによつて、形成される
薬液被膜の膜厚や膜質等の変動を生じることがな
く、均一で安定した処理を行なうことができる薬
液供給装置の提供を技術的課題としている。

〔問題点を解決するための手段〕

この考案は前記課題を達成するために薬液供給
装置を以下のように構成した。

すなわち、この考案に係る薬液供給装置は、薬
液を供給する先端ノズル部と、薬液タンク及び送
液ポンプを有する薬液供給系と、前記先端ノズル
部に流路接続し前記薬液供給系から配管を介して
送られてくる薬液を先端ノズル部へ供給する薬液
供給管とを備えてなる薬液供給装置において、フ
オトレジスト液、現像液等の薬液を供給する先端
ノズル部を回動可能に支持するノズルアームの一
部を空洞にして熱交換を行なう密閉容器を形成
し、ノズルアームの一部を密閉容器としたもので
あつて、前記先端ノズル部に連接された前記薬液
供給管の少なくともその一部を前記密閉容器内に
内包し、かつその密閉容器に恒温水流入口及び流
出口を配設するとともに、この密閉容器内に恒温
水流入口に一端が流路接続し、他端が恒温水流出
口から離れた位置に開口した恒温水導入内管が配
設されてなることを特徴とする薬液供給装置を要
旨としている。

〔作用〕

上記のように構成された薬液供給装置は、恒温
水が流通する密閉容器内に内包された薬液供給管
内を薬液が流通する際に恒温水と熱交換がなされ
て薬液の温度が一定に維持されるようになる。こ
の場合、恒温水流入口へ送給された恒温水は、恒
温水導入内管内を通り、恒温水流出口から離れた
位置で恒温水導入内管から密閉容器へ流出する。
従つて、密閉容器の内部において、恒温水は、恒
温水流出口より離れた位置から恒温水流出口まで
流動した後に密閉容器外へ流出することになり、
密閉容器の内部全域にわたつて恒温水が流動する
ことになるので、密閉容器内へ恒温水を流入させ
る恒温水流入口と、薬液供給管内を流れる薬液と
の間で熱交換がなされた後の恒温水を密閉容器外
へ流出させる恒温水流出口との両方を、先端ノズ
ル部より離れた位置に配設したとしても、恒温水
と密閉容器内の薬液供給管を通つて流れる薬液と
の間の熱交換が効率良く行なわれることになる。
そして、密閉容器内の薬液供給管を通つて流れる
間に一定温度になつた薬液は、密閉容器に近接し
て流路接続されている先端ノズル部から供給され
るようになり、室温による温度変化を受けなくな
る。

〔実施例〕

以下この考案に係る薬液供給装置の実施例を図
面を参照しながら説明する。

第１図はこの考案に係る装置の第１の実施例を
示す模式図であつて、一端部を、送液ポンプ１０
及び薬液タンク１２からなる薬液供給系１４にフ
レキシブル管を介して配管される薬液流入口１６
とし、他端部が薬液の供給停止時において先端ノ
ズル部内に残留した薬液に負圧を作用させてその
薬液を薬液供給管内へ引き戻すサツクバツク１８
を介して先端ノズル部２０に配管した螺旋形の薬
液供給管２２と、この薬液供給管２２が納設され
た密閉容器２４とから構成されている。そして、
密閉容器２４には、前記薬液流入口１６の他に恒
温水流入口２６と恒温水流出口２８及び温度セン
サ３０が取付けられている。前記恒温水流入口２
６は、恒温水供給源（図示せず）にフレキシブル
管で配管され、かつ密閉容器２４内において先端
が密閉容器２４内であつて恒温水流出口２８から
離れた位置で開放される恒温水導入内管３２と流
路接続されている。

上記のように構成した薬液供給装置は、先端ノ
ズル部２０の供給部の下が、コータ或いはデイベ
ロツパーの回転駆動モータＭにより駆動されるウ
エハチヤツク３４に支持されたウエハ３６の中心
位置となるように配設されて使用されるのであつ
て、薬液供給系１４から供給される薬液は、密閉
容器２４に設けた薬液流入口１６から密閉容器２
４内の螺旋状の薬液供給管２２を通つて先端ノズ
ル部２０からウエハ面上に供給されるようにな
る。そして恒温水流入口２６から恒温水導入内管
３２を通して密閉容器２４に恒温水が流入し、か
つ恒温水流出口２８から流出する恒温水流路内に
納置された螺旋状の薬液供給管２２を薬液が流通
する際に熱交換が行なわれて、薬液は一定の温度
にされるのである。尚、第１図において３８は、
詳細を省略したが、密閉容器２４で一部が構成さ
れたノズルアームにより、先端ノズル部２０に回
動と上下動を付与する機構部である。

第２図はこの考案に係る装置の第２の実施例を
示す模式図であつて、密閉容器２４に内設した薬
液供給管２２の、先端ノズル部２０との接続部分
近傍位置に熱良導体よりなるフイン４０を設け、
先端ノズル部２０も熱良導体よりなり、このノズ
ル外周を断熱材５５にて覆い、かつ恒温水導入内
管３２の開口部４２を、前記フイン４０に恒温水
が当る位置とした構成を第１図の実施例装置に付
加したものである。尚、第１図の実施例と共通す
る部分は同一符号を付し、説明は省略する。

このように薬液供給管２２の、先端ノズル部２
０との接続部分近傍位置に設けたフイン４０に恒
温水を衝突させる構成を付加することにより、熱
交換作用がより効果的に行なわれ、一層薬液の温
度が一定に保たれるようになり、薬液の温度を一
定に維持することができるようになる。

第３図はこの考案の第３の実施例であつて、第
２図に示した実施例と同様に、薬液供給管２２の
一部に熱良導体よりなるフイン４０を設けてこれ
に恒温水導入内管３２の開口部４２を対向させる
とともに、第４図に断面を示すように、熱良導体
よりなる先端ノズル部２０に薬液が流れる薬液用
通路４４と恒温水が往復する恒温水用往路４６及
び恒温水用復路４８を形成し、恒温水用復路４６
には恒温水導入管３２を分岐させた分岐口５０か
ら恒温水が流入し、これが恒温水用復路４８を通
して密閉容器２４内の戻り口５２に戻されるよう
になつており、薬液用通路４４の先端の供給部５
４近くの恒温水用往路４６に温度センサー３０を
設け、ここでの恒温水温度を制御するように構成
されている。また先端ノズル部２０全体を断熱材
５５にて覆いノズルと室内空気との熱移動を行な
わないようにしている。このように構成すること
によつて、先端ノズル部２０の薬液用通路４４の
供給部５４近くまで恒温水が流通することによ
り、供給部５４から供給される薬液の温度が一定
にコントロールされることから、薬液が室内温度
の変化によつて影響を受けることなく薬液の粘度
が一定に保たれる。なお、第１図および第２図に
示した実施例と共通する部分は同一符号で示しそ
の説明は省略する。

尚、第４図示は先端ノズル部２０の断面図であ
る。尚、先端ノズル部２０はこの図のように限定
されるものではなく、空気流抵抗を減らす形状、
例えば楕円形状の外形をしていてもよい。

［考案の効果］ 以上のように構成されかつ作用するこの考案に
係る薬液供給装置によれば、ノズルアームの一部
を構成する密閉容器内に恒温水を流通させ、この
恒温水流通空間内に、薬液が流通する薬液供給管
を納設して温度調設を行なう簡単な構成によつ
て、薬液が供給される先端ノズル部近傍まで薬液
の温度調節が行なわれ、一定温度の薬液が基板の
上面に供給される。しかも、密閉容器内に、恒温
水流出口から離れた位置に先端が開口した恒温水
導入内管を配設したことにより、先端ノズル部よ
り離れた位置に恒温水流入口・恒温水流出口を配
設したとしても、効率の良い熱交換が行なわれる
ため、密閉容器自体が小型ですみ、かつ密閉容器
の先端ノズル部付近には、恒温水を作り出すため
の熱源や制御装置は勿論のこと、恒温水を密閉容
器内へ送給したり密閉容器から排出させるための
配管を配置しなくてよいので、基板上面への好ま
しい気流を阻害することがない。従つて、基板上
に供給される薬液により形成された薬液被膜の膜
厚や膜質等の変動を生じることがなく、均一で安
定した処理を行なうことが可能になつた。

また、先端ノズル部を支持するノズルアームの
一部が、薬液の温度調節を行なう密閉容器となつ
ているため、装置が小型化し、ウエハを回転駆動
させるコータやデイベロツパー等の装置との組み
合わせ使用が容易となり、またコスト面でも有利
であり、さらに、ノズルアーム下部に恒温槽を設
けたりする必要も無いため、スペース面でも有利
となる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案に係る薬液供給装置の第１の
実施例を示す模式図、第２図はこの考案の第２の
実施例を示す模式図、第３図はこの考案の第３の
実施例を示す模式図、第４図は第３図の−断
面図である。 １４……薬液供給系、１６……薬液流入口、２
０……先端ノズル部、２２……薬液供給管、２４
……密閉容器、２６……恒温水流入口、２８……
恒温水流出口、３０……温度センサー、３２……
恒温水導入内管、４０……フイン、５５……断熱
材。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ 基板回転処理装置に保持された基板３６の上
   面へ薬液を供給する先端ノズル部２０と、この
   先端ノズル部を回転可能に支持するノズルアー
   ムと、薬液タンク１２及び送液ポンプ１０を有
   する薬液供給系１４と、前記先端ノズル部に流
   路接続し前記薬液供給系から送られてくる薬液
   を先端ノズル部へ供給する薬液供給管２２とを
   備えてなる薬液供給装置において、前記ノズル
   アームの一部を空洞にして密閉容器２４を形成
   し、その密閉容器２４内に、前記先端ノズル部
   ２０に連接された前記薬液供給管２２の少なく
   ともその一部を内包し、かつその密閉容器に恒
   温水流入口２６及び恒温水流出口２８を配設す
   るとともに、密閉容器２４内に、恒温水流入口
   ２６に一端が流路接続し、他端が恒温水流出口
   ２８から離れた位置に開口した恒温水導入内管
   ３２が配設されてなることを特徴とする薬液供
   給装置。 ２ 薬液供給管２２の、先端ノズル部２０との接
   続部分近傍位置にフイン４０を付設し、このフ
   インと対向する位置に恒温水導入内管３２を開
   口させた実用新案登録請求の範囲第１項記載の
   薬液供給装置。 ３ 先端ノズル部２０に、その内部を通り先端ノ
   ズル部の供給口の近くで反転して同じく先端ノ
   ズル部内部を通つて密閉容器２４内に開口する
   恒温水用通路４６，４８を配設するとともに、
   恒温水導入内管３２を分岐させ、その分岐口５
   ０を前記恒温水用通路４６の流入口に連通させ
   た実用新案登録請求の範囲第１項又は第２項記
   載の薬液供給装置。