CN114849990B - 一种光刻胶胶嘴装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种光刻胶胶嘴装置，包括：保温盒，所述保温盒包括保温盒壳体，所述保温盒壳体内具有保温腔；至少一个喷嘴，安装于所述保温盒；输送管，所述输送管连通所述喷嘴，并穿过所述保温腔；点胶组件，所述点胶组件设于所述保温盒的一侧；保湿盒，所述保湿盒包括第一保湿槽和第二保湿槽，所述喷嘴伸入所述第一保湿槽，所述点胶组件伸入所述第二保湿槽。本发明解决了检测光刻胶工艺性质的装置与喷嘴由同一主管路供胶，导致主管路容易污染的问题。

Description

一种光刻胶胶嘴装置

技术领域

本发明涉及半导体行业晶圆领域，尤其涉及一种光刻胶胶嘴装置。

背景技术

在光刻胶显影工艺中，光刻胶通过胶嘴涂布至基板后进行曝光显影，形成线路。光刻胶涂布时必须保证光刻胶厚度均匀，即采用合适的光刻胶通过匀胶机在一定温度和晃动幅度下进行匀胶，以实现均匀的厚度。其中，光刻胶本身的工艺性质、以及胶嘴的吸胶的性能都是影响光刻胶涂布效果的重要因素。

目前，根据胶嘴吸取光刻胶时的回吸高度判断胶嘴的性能是否满足要求，而检测光刻胶的性质时，对应的装置与上述胶嘴都由设备中供胶主管路提供光刻胶，导致主管路的胶液容易造成污染；并且，光刻胶的性质以及胶嘴的性能分开检测，不便于胶液的回收。

发明内容

因此，本发明提供一种光刻胶胶嘴装置，有效解决检测光刻胶工艺性质的装置与喷嘴由同一主管路供胶，导致主管路容易污染的问题。

本发明提供一种光刻胶胶嘴装置，包括：保温盒，所述保温盒包括保温盒壳体，所述保温盒壳体内具有保温腔；至少一个喷嘴，安装于所述保温盒；输送管，所述输送管连通所述喷嘴，并穿过所述保温腔；点胶组件，所述点胶组件设于所述保温盒的一侧；供胶装置，所述供胶装置连通所述点胶组件；保湿盒，所述保湿盒包括第一保湿槽和第二保湿槽，所述喷嘴伸入所述第一保湿槽，所述点胶组件伸入所述第二保湿槽。

与现有技术相比，采用该技术方案后所达到的技术效果：所述保温盒能够将所述输送管内的光刻胶保持在稳定的温度环境中，保证光刻胶供给稳定顺畅，从而提高所述喷嘴内胶液回吸高度的检测精度，提高准确性；所述点胶组件用于检测光刻胶的工艺性质，所述点胶装置通过所述供胶装置单独供胶，与所述输送管分离，因此不会污染所述输送管相连的主管路中的光刻胶；所述保湿盒用于对所述喷嘴和所述点胶组件进行保湿，避免其中的光刻胶凝固，同时，所述保湿盒还可以集中排出光刻胶或其他废液，便于光刻胶的回收。

进一步的，所述保湿盒还包括保湿腔体，保湿液入口和排废口；其中，所述第一保湿槽、所述第二保湿槽、所述保湿液入口和所述排废口连通所述保湿腔体。

采用该技术方案后所达到的技术效果：所述保湿液入口用于将保湿液通入所述保湿腔体，从而对所述喷嘴和所述点胶组件进行保湿，避免光刻胶凝固；保湿液和光刻胶随所述排废口一同排出，实现回收。

进一步的，所述保湿盒还包括多个清洗口，所述清洗口连通所述第一保湿槽一侧，和/或所述第二保湿槽一侧。

采用该技术方案后所达到的技术效果：所述清洗口用于通入清洗液，从而清洗所述喷嘴或所述点胶组件，例如清洗喷嘴外周或喷嘴内壁，从而避免残余光刻胶影响检测精度，也便于喷嘴的使用。

进一步的，所述光刻胶胶嘴装置还包括底座和第一调节机构，所述底座支撑于所述保湿盒底部，所述第一调节机构连接所述保湿盒的一侧；所述底座包括多个第一调节位，所述第一调节机构与任意一个所述第一调节位可拆卸连接。

采用该技术方案后所达到的技术效果：所述底座用于将所述光刻胶胶嘴装置安装至其他设备上；所述第一调节机构与所述第一调节位的灵活连接，可以改变所述保湿盒的水平位置，从而便于将所述第一保湿槽和所述喷嘴对齐，也便于将所述第二保湿槽和所述点胶组件对齐。

进一步的，所述点胶组件包括：点胶阀，所述点胶阀设于所述保湿盒的一侧；点胶针头，所述点胶针头连接所述点胶阀的端部，并伸入所述第二保湿槽；连接板，所述连接板可拆卸连接于所述点胶阀和所述保温盒之间。

采用该技术方案后所达到的技术效果：所述点胶阀用于将光刻胶从所述点胶针头中挤出；所述连接板用于调节所述点胶阀与所述保温盒连接后的相对位置关系，使所述第二保湿槽和所述点胶针头对齐。

进一步的，所述连接板的一端设有第二调节机构，所述保温盒设有多个第二调节位，所述第二调节机构与任意一个第二调节位可拆卸连接；和/或，所述连接板的另一端设有多个第三调节位，所述点胶阀设有第三调节机构，所述第三调节机构与任意一个第三调节位可拆卸连接；其中，多个所述第二调节位沿第一直线布设，多个所述第三调节位沿第二直线布设，所述第一直线和所述第二直线垂直。

采用该技术方案后所达到的技术效果：所述第二调节机构和所述第二调节位的灵活连接，便于调节所述连接板一端在所述保温盒上的位置，例如通过该方式调节所述连接板的水平位置；所述第三调节机构和所述第三调节位的灵活连接便于调节所述点胶阀在所述连接板的另一端上的位置，例如通过该方式调节所述点胶阀的高度，从而便于所述点胶组件装入所述第二保湿槽。

进一步的，所述光刻胶胶嘴装置还包括：支撑板，所述支撑板水平设置，所述支撑板的一端为传动连接端，所述传动连接端包括第一固定孔；所述支撑板的另一端为支撑端，所述支撑端用于支撑所述保温盒，所述支撑端包括第二固定孔。

采用该技术方案后所达到的技术效果：所述传动连接端用于连接驱动装置及其传动装置，从而控制所述支撑板和所述保温盒运动；其中，所述传动连接端的所述第一固定孔通过紧固件与驱动装置连接后，所述支撑板保持水平，所述保温盒的所述第二固定孔再通过紧固件与支撑端连接，使所述保温盒也能够保持水平。

进一步的，所述喷嘴包括：至少一个供胶喷嘴和/或至少一个晶圆清洗喷嘴。

采用该技术方案后所达到的技术效果：所述供胶喷嘴用于涂布光刻胶，所述晶圆清洗喷嘴用于清洗晶圆。

进一步的，所述保温盒还包括至少一个第一导向管和/或第二导向管，所述第一导向管位于所述保温腔内，所述第二导向管连接所述保温盒壳体的一侧，所述第二导向管连通所述保温腔；其中，所述输送管穿过所述第一导向管和/或所述第二导向管。

采用该技术方案后所达到的技术效果：所述第一导向管用于对所述输送管进行固定或导向，所述第二导向管用于容纳所述输送管的同时，输送保温的介质，使所述输送管在所述第二导向管内的部分也能够保温。

进一步的，所述保温盒还包括：密封板，所述密封板位于所述保温盒壳体一侧，用于密封所述保温腔，所述第二导向管安装于所述密封板；至少一个加强件，所述加强件嵌于所述保温盒壳体的至少一侧，所述密封板与所述加强件可拆卸连接。

采用该技术方案后所达到的技术效果：所述密封板用于避免所述保温腔内的保温介质漏出，同时用于连接所述第二导向管，使所述第二导向管能够稳定地输送保温介质；所述加强件用于将所述密封板固定于所述保湿盒壳体上，尤其，当所述保湿盒为塑料材质，所述加强件为金属材质时，所述密封板和所述加强件通过夹紧的方式固定，可以避免所述保湿盒损坏。

综上所述，本申请上述各个实施例可以具有如下一个或多个优点或有益效果：i)所述保温盒通过所述第二导向管输送保温介质，使得所述保湿盒中的所述输送管的环境温度更稳定，所述输送管内的光刻胶输送顺畅，因此提高所述喷嘴内胶液回吸高度的检测精度，提高所述喷嘴性能检测的准确性；ii)所述点胶组件用于检测光刻胶的工艺性质，所述点胶装置通过所述供胶装置单独供胶，与所述输送管分离，因此不会污染所述输送管相连的主管路中的光刻胶；iii)所述保湿盒用于对所述喷嘴和所述点胶组件进行保湿，避免其中的光刻胶凝固，所述喷嘴和所述点胶组件均插入所述保湿盒中，便于光刻胶的回收；iv)所述第一调节机构便于将所述第一保湿槽和所述喷嘴对齐，也便于将所述第二保湿槽和所述点胶组件对齐；v)所述第二调节机构和所述第三调节机构用于将所述点胶组件固定至所述保温盒，并对准所述点胶头和所述第二保湿槽。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例提供的一种光刻胶胶嘴装置的结构示意图。

图2为图1中保湿盒和底座的连接示意图。

图3为图1中保湿盒的结构示意图。

图4为图3中A-A方向的剖视图。

图5为图3中B-B方向的剖视图。

图6为图1中保温盒的爆炸图。

图7为图1中点胶组件的爆炸图。

图8为图1中支撑板的结构示意图。

图9为图1中保温盒另一视角的结构示意图。

图10为图9中C-C方向的剖视图。

主要元件符号说明：

100为光刻胶胶嘴装置；110为保温盒；111为保温盒壳体；112为保温腔；113为第二调节位；114为第一导向管；115为第二导向管；116为密封板；116a为凸起件；117为加强件；118为限位板；120为点胶组件；121为点胶阀；122为点胶针头；123为连接板；124为第二调节机构；125为第三调节位；126为第三调节机构；130为供胶装置；140为保湿盒；141为第一保湿槽；142为第二保湿槽；143为保湿腔体；144为保湿液入口；145为排废口；146为清洗口；150为底座；151为第一调节位；160为第一调节机构；170为支撑板；171为传动连接端；172为支撑端；181为供胶喷嘴；182为晶圆清洗喷嘴。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

参见图1-图6，本发明实施例提供一种光刻胶胶嘴装置100，包括：保温盒110，保温盒110包括保温盒壳体111，保温盒壳体111内具有保温腔112；至少一个喷嘴，安装于保温盒110；输送管，输送管连通喷嘴，并穿过保温腔112；点胶组件120，点胶组件120设于保温盒110的一侧；供胶装置130，供胶装置130连通点胶组件120；保湿盒140，保湿盒140包括第一保湿槽141和第二保湿槽142，喷嘴伸入第一保湿槽141，点胶组件120伸入第二保湿槽142。

在本实施例中，保温腔112用于容纳保温介质，输送管处于保温介质内，输送管内的光刻胶能够保持在稳定的温度环境中，保证光刻胶供给稳定顺畅，从而提高喷嘴内胶液回吸高度的检测精度，提高喷嘴性能检测的准确性；点胶组件120用于检测光刻胶的工艺性质，点胶装置通过供胶装置130单独供胶，与输送管分离，因此不会污染输送管相连的主管路中的光刻胶；保湿盒140用于对喷嘴和点胶组件120进行保湿，避免其中的光刻胶凝固，同时，保湿盒140还可以集中排出光刻胶或其他废液，便于光刻胶的回收。

优选的，保温盒110位于保湿盒140上方，第一保湿槽141开设于保湿盒140顶部，喷嘴安装至保温盒110底部，便于喷嘴伸入保湿盒140进行保湿。

优选的，第二保湿槽142开设于保湿盒140顶部，并位于第一保湿槽141一侧，便于点胶组件120伸入保湿盒140中进行保湿。

在一个具体的实施例中，保湿盒140例如还包括保湿腔体143，保湿液入口144和排废口145；其中，第一保湿槽141、第二保湿槽142、保湿液入口144和排废口145连通保湿腔体143。保湿液入口144用于将保湿液通入保湿腔体143，使保湿液浸没喷嘴和点胶组件120的底端，避免光刻胶凝固；保湿液和光刻胶随排废口145一同排出，实现回收，保湿液和光刻胶经分离过滤提纯等工序后，再通入保湿液入口144进行循环。

在一个具体的实施例中，保湿盒140还包括多个清洗口146，清洗口146连通第一保湿槽141一侧，和/或第二保湿槽142一侧。其中，检测喷嘴回吸性能之前，需要清洗喷嘴，避免残余光刻胶或其他杂质影响检测精度。

优选的，清洗口146例如为水平连通保湿盒140侧面以及第一保湿槽141侧面的管道。清洗口146连通保湿盒140侧面的一端的设有接口槽，便于安装清洗液管路的接口，便于通入清洗液，从而清洗喷嘴；清洗口146连通第一保湿槽141侧面的一端的直径小于其连通保湿盒140侧面的一端，使得清洗液进入第一保湿槽141后的压强更大，提高清洗效果。

需要说明的是，清洗口146通入的清洗液可用于清洗喷嘴外周，也可以用于清洗喷嘴内壁，从而提高精度，也便于喷嘴的使用。

在一个具体的实施例中，光刻胶胶嘴装置100例如还包括：底座150和第一调节机构160，底座150支撑于保湿盒140底部，第一调节机构160连接保湿盒140的一侧；底座150包括多个第一调节位151，第一调节机构160与任意一个第一调节位151可拆卸连接。其中，底座150用于将光刻胶胶嘴装置100安装至其他设备上；第一调节机构160与第一调节位151的灵活连接，可以改变保湿盒140的水平位置，从而便于将第一保湿槽141和喷嘴对齐，也便于将第二保湿槽142和点胶组件120对齐。

优选的，第一调节机构160例如设有条形孔，第一调节位151例如为设于底座150的孔，因此第一调节机构160可通过螺钉等紧固件连接任意一个第一调节位151，实现保湿盒140的固定。其中，第一调节机构160可以设置多组，即多个相互平行的条形孔，例如两个或三个此处不做限定；相应的，每个第一调节机构160对应的两个、三个或四个处于同一直线的第一调节位151，从而提高保湿盒140和底座150的连接强度。

优选的，所述条形孔可以连通第一调节机构160的侧面，以便于观察所述条形孔和第一调节位151是否对齐。

优选的，第一调节机构160与保湿盒140例如为一体式结构，从而节省装配步骤，并且保证第一调节机构160和保湿盒140的相对位置关系不变，提高保湿盒140在底座150上的定位精度。

当然，第一调节机构160还可以是水平朝向的丝杆、气缸等传动件，以便于提高保湿盒140在底座150上滑动和定位的精度，此处不做限定。

在一个具体的实施例中，底座150支撑于保湿盒140的一侧，即保湿盒140底部的一侧悬空，排废口145从保湿盒140底部悬空的位置向下伸出，与排废口145对应的接液装置或接液管路可以设于保湿盒140底部，从而减少接液装置或接液管路的空间占用。

当然，底座150也可以支撑保湿盒140的整个底面，并在对应排废口145的位置开孔，便于排废口145穿过底座150，与接液装置或接液管路连接。

在一个具体的实施例中，结合图7，点胶组件120例如包括：点胶阀121，点胶阀121设于保湿盒140的一侧；点胶针头122，点胶针头122连接点胶阀121的端部，并伸入第二保湿槽142；连接板123，连接板123可拆卸连接于点胶阀121和保温盒110之间。其中，点胶阀121用于将光刻胶从点胶针头122中挤出；连接板123用于调节点胶阀121与保温盒110连接后的相对位置关系，使第二保湿槽142和点胶针头122对齐。

优选的，供胶装置130例如为针筒结构，从而单独为点胶阀121提供光刻胶。

优选的，点胶阀121通过连接电磁阀岛，通过电磁阀岛控制出胶量和出胶速度。

在一个具体的实施例中，连接板123的一端设有第二调节机构124，保温盒110设有多个第二调节位113，第二调节机构124与任意一个第二调节位113可拆卸连接；和/或，连接板123的另一端设有多个第三调节位125，点胶阀121设有第三调节机构126，第三调节机构126与任意一个第三调节位125可拆卸连接。举例来说，连接板123包括垂直连接的盖板和侧板；盖板盖设于保温盒110的顶部，多个第二调节位113设于保湿盒140顶部，并与第二调节机构124对应；侧板沿平行保湿盒140侧面的方向向下延伸，并夹设于保温盒110与点胶阀121之间，第三调节机构126位于点胶阀121侧面，并与任意一个第三调节位125对应，使得保湿盒140能够对连接板123和点胶阀121起到支撑作用，在连接板123连接点胶阀121和保温盒110的基础上，进一步提高了点胶阀121的稳定性。

优选的，多个第二调节位113沿第一直线布设，多个第三调节位125沿第二直线布设，第一直线和第二直线垂直。举例来说，第二调节机构124例如为条形孔，沿垂直侧板的方向布设；第二调节位113例如为开设于保温盒110上的多个螺纹孔，通过螺钉实现第二调节机构124和第二调节位113的灵活连接，便于调节连接板123在保温盒110上的水平位置，即控制供胶阀靠近或远离保温盒110；第三调节机构126例如为螺纹孔，第三调节位125例如为通孔，多个第三调节位125沿侧板向下延伸，通过螺钉实现第三调节机构126和第三调节位125的灵活连接，便于调节点胶阀121的纵向位置，即控制点胶针头122靠近或远离第二保湿槽142。在连接板123的调节下，点胶组件120能够更加准确地装入第二保湿槽142。

在一个具体的实施例中，结合图8，光刻胶胶嘴装置100例如还包括：支撑板170，支撑板170水平设置，支撑板170的一端为传动连接端171，传动连接端171包括第一固定孔；支撑板170的另一端为支撑端172，支撑端172用于支撑保温盒110，支撑端172包括第二固定孔。传动连接端171用于连接驱动装置及其传动装置，从而控制支撑板170和保温盒110运动；其中，传动连接端171的第一固定孔通过紧固件与驱动装置连接后，支撑板170保持水平，保温盒110的第二固定孔再通过紧固件与支撑端172连接，使保温盒110也能够保持水平。

优选的，保温盒110例如还包括：限位板118，限位板118抵接于支撑板170的支撑端172，便于支撑板170和保温盒110固定前，支撑端172和第二固定孔的对准，提高了安装效率。

在一个具体的实施例中，喷嘴例如包括：至少一个供胶喷嘴181和/或至少一个晶圆清洗喷嘴182，此处不做限定。其中，供胶喷嘴181用于涂布光刻胶，晶圆清洗喷嘴182用于清洗晶圆。

在一个具体的实施例中，结合图9-图10，保温盒110还包括至少一个第一导向管114和/或第二导向管115，第一导向管114位于保温腔112内，第二导向管115连接保温盒壳体111的一侧，第二导向管115连通保温腔112；其中，输送管穿过第一导向管114和/或第二导向管115。

优选的，第一导向管114在保温腔112内弯折，并且第一导向管114的内径与输送管的外径匹配，每个第一导向管114对应一个输送管，以实现输送管固定或导向。

优选的，第二导向管115位于保温盒110外侧，并且第二导向管115的内径大于输送管，使得第二导向管115能够容纳多个输送管，并输送保温介质，使输送管在保温腔112或第二导向管115内的时都能够实现保温，因此提高了光刻胶的稳定性。

在一个具体的实施例中，保温盒110例如还包括：密封板116，密封板116位于保温盒壳体111一侧，用于密封保温腔112，从而避免保温腔112内的保温介质漏出。

优选的，保温腔112朝向密封板116一侧的开口小于密封板116，并且，保温盒110还包括密封槽，密封槽开设于保温盒壳体111，并围绕开口，用于安装密封圈；密封板116同时覆盖开口和密封槽，再通过紧固件连接保温盒壳体111，从而进一步提高保温腔112的密封性，避免保温介质渗出。

优选的，第二导向管115安装于密封板116，从而稳定地输送保温介质。举例来说，密封板116设有凸起件116a，凸起件116a向远离保温腔112的方向凸出，凸起件116a上开设导向管安装孔，用于固定第二导向管115。其中，凸起件116a增加了密封板116的厚度，使得导向管安装孔的强度更高。

优选的，保温盒110例如还包括：至少一个加强件117，加强件117嵌于保温盒壳体111的至少一侧，密封板116与加强件117可拆卸连接。举例来说，保温盒壳体111的顶部和底部靠近密封板116的位置设有加强件安装槽，加强件安装槽的方向与密封板116平行。其中，加强件117、密封板116以及保温盒壳体111位于加强件117和密封板116之间的部分，设有贯通的固定孔，因此可以通过紧固件同时连接加强件117、密封板116和保温盒壳体111，提高密封板116与保温盒壳体111的连接强度。当保湿盒140为塑料材质，加强件117为金属材质时，该固定方式可以进一步避免保湿盒140损坏。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (10)

1.一种光刻胶胶嘴装置，其特征在于，包括：

保温盒，所述保温盒包括保温盒壳体，所述保温盒壳体内具有保温腔；

至少一个喷嘴，安装于所述保温盒，通过所述喷嘴吸取光刻胶时的回吸高度以检测所述喷嘴的性能；

输送管，所述输送管连通所述喷嘴，并穿过所述保温腔；

点胶组件，所述点胶组件设于所述保温盒的一侧，所述点胶组件检测光刻胶的性质；

供胶装置，所述供胶装置连通所述点胶组件，所述输送管与所述供胶装置分离；

保湿盒，所述保湿盒包括第一保湿槽和第二保湿槽，所述喷嘴伸入所述第一保湿槽，所述点胶组件伸入所述第二保湿槽。

2.根据权利要求1所述的光刻胶胶嘴装置，其特征在于，所述保湿盒还包括保湿腔体，保湿液入口和排废口；

其中，所述第一保湿槽、所述第二保湿槽、所述保湿液入口和所述排废口连通所述保湿腔体。

3.根据权利要求1所述的光刻胶胶嘴装置，其特征在于，所述保湿盒还包括多个清洗口，所述清洗口连通所述第一保湿槽一侧，和/或所述第二保湿槽一侧。

4.根据权利要求1所述的光刻胶胶嘴装置，其特征在于，所述光刻胶胶嘴装置还包括底座和第一调节机构，所述底座支撑于所述保湿盒底部，所述第一调节机构连接所述保湿盒的一侧；

所述底座包括多个第一调节位，所述第一调节机构与任意一个所述第一调节位可拆卸连接。

5.根据权利要求1-4任一项所述的光刻胶胶嘴装置，其特征在于，所述点胶组件包括：

点胶阀，所述点胶阀设于所述保湿盒的一侧；

点胶针头，所述点胶针头连接所述点胶阀的端部，并伸入所述第二保湿槽；

连接板，所述连接板可拆卸连接于所述点胶阀和所述保温盒之间。

6.根据权利要求5所述的光刻胶胶嘴装置，其特征在于，所述连接板的一端设有第二调节机构，所述保温盒设有多个第二调节位，所述第二调节机构与任意一个第二调节位可拆卸连接；和/或，所述连接板的另一端设有多个第三调节位，所述点胶阀设有第三调节机构，所述第三调节机构与任意一个第三调节位可拆卸连接；

其中，多个所述第二调节位沿第一直线布设，多个所述第三调节位沿第二直线布设，所述第一直线和所述第二直线垂直。

7.根据权利要求1-4任一项所述的光刻胶胶嘴装置，其特征在于，所述光刻胶胶嘴装置还包括：

支撑板，所述支撑板水平设置，所述支撑板的一端为传动连接端，所述传动连接端包括第一固定孔；所述支撑板的另一端为支撑端，所述支撑端用于支撑所述保温盒，所述支撑端包括第二固定孔。

8.根据权利要求1-4任一项所述的光刻胶胶嘴装置，其特征在于，所述喷嘴包括：至少一个供胶喷嘴和至少一个晶圆清洗喷嘴。

9.根据权利要求1-4任一项所述的光刻胶胶嘴装置，其特征在于，所述保温盒还包括至少一个第一导向管和/或第二导向管，所述第一导向管位于所述保温腔内，所述第二导向管连接所述保温盒壳体的一侧，所述第二导向管连通所述保温腔；

其中，所述输送管穿过所述第一导向管和/或所述第二导向管。

10.根据权利要求9所述的光刻胶胶嘴装置，其特征在于，所述保温盒还包括：

密封板，所述密封板位于所述保温盒壳体一侧，用于密封所述保温腔，所述第二导向管安装于所述密封板；

至少一个加强件，所述加强件嵌于所述保温盒壳体的至少一侧，所述密封板与所述加强件可拆卸连接。

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