JP4148270B2 - 液晶パネル用スペーサの散布装置 - Google Patents
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以上説明したように本発明によれば以下の効果を奏する。
11 供給室
12 散布室
13 搬送機構
15 駆動制御装置
16 供給制御装置
21 スペーサ容器
22 供給部
23 搬送部
24 搬送チューブ
25,50,60 散布ノズル
29 受け口
30 基板
31 導電性支持板
40 送出室
41 導気管
41a 先端部
43 接続管
51 支持部材
52 可撓性チューブ
52a 先端部
61 放出チューブ
Claims (3)
- 粒状のスペーサを基板上に散布するための液晶パネル用スペーサの散布装置において、
前記スペーサを制御された供給量にて供給するための供給手段と、
供給された前記スペーサを流体圧により搬送するように構成された搬送手段と、
該搬送手段によって搬送されてきた前記スペーサを前記基板上に散布するための散布ノズルとを備え、
前記供給手段は前記スペーサを落下させる排出口を有し、
前記搬送手段は、前記排出口と離間して配設され前記スペーサを受ける受け口と、該受け口から前記スペーサが引き込まれる送出室を有し、
前記送出室は、該送出室の外部よりも負圧とされている
ことを特徴とする液晶パネル用スペーサの散布装置。 - 粒状のスペーサを基板上に散布するための液晶パネル用スペーサの散布装置において、
前記スペーサを制御された供給量にて供給するための供給手段と、
供給された前記スペーサを流体圧により搬送するように構成された搬送手段と、
該搬送手段によって搬送されてきた前記スペーサを前記基板上に散布するための散布ノズルとを備え、
前記供給手段は前記スペーサを落下させる排出口を有し、
前記搬送手段は、前記排出口と連通して配設され前記スペーサを受ける受け口と、該受け口から前記スペーサが引き込まれる送出室を有し、
前記排出口と前記受け口の間には流体を導入するための給気口が配設され、
前記送出室は、該送出室の外部よりも負圧とされている
ことを特徴とする液晶パネル用スペーサの散布装置。 - 請求項1または2において、
前記送出室の内部には、流体を放出してエジェクタ効果により前記送出室内を該送出室の外部よりも負圧とする導気管が配設されており、
該導気管の流体を放出する先端部は、前記受け口と前記送出室の合流点よりも前記流体の下流側に配置されていることを特徴とする液晶パネル用スペーサの散布装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP16715697A Division JP3799751B2 (ja) | 1997-06-24 | 1997-06-24 | 液晶パネル用スペーサの散布方法及び装置 |
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JP2006154862A JP2006154862A (ja) | 2006-06-15 |
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RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20070405 |
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A977 | Report on retrieval |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110704 Year of fee payment: 3 |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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