JPH05203417A - Method for setting check area on longitudinal and transversal parallel lands - Google Patents

Method for setting check area on longitudinal and transversal parallel lands

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JPH05203417A
JPH05203417A JP1379092A JP1379092A JPH05203417A JP H05203417 A JPH05203417 A JP H05203417A JP 1379092 A JP1379092 A JP 1379092A JP 1379092 A JP1379092 A JP 1379092A JP H05203417 A JPH05203417 A JP H05203417A
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lands
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Kenichi Ogata
顕一 尾形
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Abstract

PURPOSE:To obtain a means which is suitable for setting a check area group corresponding to a land group for QFP chips. CONSTITUTION:The axes of ordinates Y' and abscissas X' of the coordinate system of check areas CC are set in parallel with land rows C2 and C4 and C1 and C3 formed in parallel with each other in the longitudinal and transversal directions. Then the check areas CC are set at starting positions S3 and S4 on the outside of the land rows C1 and C3 which are arranged in parallel with the axis of abscissas X'. By scanning the check areas CC in the direction of the land rows, the pitch P between the lands 32 is found from the coordinates where the check areas CC overlap parts of the land rows. Based on the pitch P, the coordinates of the check area CC group corresponding to the individual lands 32 in the land rows C1 and C2 parallel to the axis of abscissas X' one to one are set. Then the coordinates of the check area CC group in the length direction of the lands are set from the coordinates of the check area CC group in the direction of land rows and dimensional data of chips 33 mounted on the land rows C1, C2, C3, and C4.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は縦横並列ランドのチェッ
クエリア設定方法に係り、特に、基板に形成されるラン
ドのうち、QFPチップ用のランドを、カメラの視野に
複数取込んで、半田付け状態を外観検査する際に、好適
に用いられる手段に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a check area setting method for vertical and horizontal parallel lands, and in particular, among lands formed on a substrate, a plurality of lands for QFP chips are taken into the field of view of a camera and soldered. The present invention relates to means that are preferably used when visually inspecting a condition.

【0002】[0002]

【従来の技術】IC,LSIなどのチップの電極と、基
板のランドとを半田により接着した後で、チップの電極
がランドに良好に接着されているか否かを検査するため
に、チップの電極とランドとの重合部分の近傍におい
て、半田の外観検査が行われている。
2. Description of the Related Art A chip electrode such as an IC or LSI is bonded to a land of a substrate by soldering, and then an electrode of the chip is used to inspect whether or not the chip electrode is well bonded to the land. A visual inspection of the solder is performed in the vicinity of the overlapping portion between the solder and the land.

【0003】従来このような外観検査は、作業者の目視
作業により行われていたが、近年カメラによる自動検査
が行なわれ始めている。このカメラによる自動検査を行
うにあたっては、カメラの視野内に、チェックエリアを
設定する必要がある。しかも、多数のランドに対し、一
対一に対応する多数のチェックエリアを設定し、これら
のチェックエリアの一つ一つを対応するランドの所定位
置に合わせておくことが必要になる。
Conventionally, such visual inspection has been performed by visual inspection by an operator, but in recent years, automatic inspection by a camera has begun. In order to carry out automatic inspection by this camera, it is necessary to set a check area within the field of view of the camera. Moreover, it is necessary to set a large number of check areas corresponding to a large number of lands on a one-to-one basis and align each of these check areas with a predetermined position of the corresponding land.

【0004】ここで上記自動検査を行なうべくチェック
エリアを設定するに際し、従来は、チップが実際に搭載
された基板のうちチップが良好に搭載されているもの
を、マスター基板に選び、作業者がこのマスター基板の
カメラ画像をモニタなどで目視しながら、チェックエリ
アを走査して、多数の上記重合部分の半田の一つ一つ
に、一つ一つのチェックエリアを合わせて、チェックエ
リアの座標を設定していた。
Here, when setting the check area for performing the above-mentioned automatic inspection, conventionally, the substrate on which the chip is actually mounted is selected as the master substrate from among the substrates on which the chip is actually mounted, and the operator selects it. While checking the camera image of this master board on a monitor, etc., scan the check area, align each check area with each of the solders of the multiple overlapping parts, and set the coordinates of the check area. Had set.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】ところが上記手段はき
わめて繁雑であって、きわめて多大の労力と時間を要す
るという問題点があった。殊にQFPチップ用のランド
は、狭ピッチを介して数百を超える個数形成されている
こともあり、上記のように目視によることは、不可能に
近い。さらには、基板に接着された半田の形状寸法や位
置は大きくばらついており、このためマスター基板を選
択して、これを基にチェックエリアを設定しても、この
チェックエリアが実際に検査対象物となる他の基板の半
田に必ずしも良好に合致するわけではなく、合致不良に
より半田の外観を誤判断するおそれがあった。
However, there is a problem that the above-mentioned means is extremely complicated and requires a great deal of labor and time. In particular, the number of lands for the QFP chip may be more than several hundreds formed with a narrow pitch, and it is almost impossible to visually inspect as described above. Furthermore, the shape and position of the solder bonded to the board vary widely, so even if you select a master board and set a check area based on this, this check area will actually It does not always match well with the solder of another substrate, and there is a risk that the appearance of the solder may be erroneously determined due to a mismatch.

【0006】ところで、基板のランドは、エッチングな
ど精密な手段により形成されており、その位置精度の信
頼性はきわめて高い。また、QFPチップ用のランド
は、QFPチップの形状から、4つのランド列が縦横に
平行に形成された、縦横並列ランドとなるものである。
By the way, the land of the substrate is formed by a precise means such as etching, and the reliability of its positional accuracy is extremely high. Further, the land for the QFP chip is a vertical and horizontal parallel land in which four land rows are formed in parallel vertically and horizontally due to the shape of the QFP chip.

【0007】そこで本発明は、上記のような点を勘案
し、基板のランドを基準として、半田の外観検査のため
のチェックエリアを、高速度で且つ正確に設定すること
ができ、しかも視野内に、QFPチップ用のランド群を
取込み、このQFPチップ用のランド群に、一対一に対
応するチェックエリア群を設定する際に好適な手段を提
供することを目的とする。
In view of the above points, the present invention makes it possible to accurately and accurately set a check area for visual inspection of solder at a high speed based on the land of the board. In addition, it is an object of the present invention to provide a suitable means for taking in a land group for a QFP chip and setting a check area group corresponding to the land group for the QFP chip on a one-to-one basis.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】このために本発明は、チ
ェックエリアの座標系の縦軸と横軸を縦横並列に形成さ
れたランド列と平行に設定するプロセスと、上記縦軸に
平行なランド列と、上記横軸に平行なランド列のそれぞ
れのランド列外側方のスタート位置にチェックエリアを
おくプロセスと、このチェックエリアを、それぞれのラ
ンド列方向に走査し、これらのランド列の一部にチェッ
クエリアが重合する際の座標からランド間のピッチを求
めるプロセスと、このピッチに基づいて、上記縦軸に平
行なランド列の個々のランドと、上記横軸に平行なラン
ド列の個々のランドに、一対一に対応するチェックエリ
ア群のランド列方向の座標を設定するプロセスと、上記
チェックエリア群のランド列方向の座標と、これらのラ
ンド列に実装されるチップの寸法データから、上記チェ
ックエリア群のランド長手方向の座標を設定するプロセ
スを構成する。
To this end, the present invention provides a process of setting the vertical axis and the horizontal axis of the coordinate system of the check area parallel to the land rows formed in parallel in the vertical and horizontal directions, and The process of placing a check area at the start position on the outer side of each land row of the land row and the land row parallel to the horizontal axis, and scanning this check area in the direction of each land row, The process of obtaining the pitch between lands from the coordinates when the check areas overlap with each other, and based on this pitch, each land in the land row parallel to the vertical axis and each land row parallel to the horizontal axis The process of setting the coordinates in the land column direction of the check area groups corresponding to the lands of 1 to 1 and the coordinates in the land column direction of the above check area groups and the implementation in these land columns From the chip size data constitute a process of setting the land longitudinal coordinates of the checking area group.

【0009】[0009]

【作用】上記構成によれば、位置精度の信頼性が高いラ
ンドを利用して、正確にチェックエリアが設定される。
According to the above structure, the check area is set accurately by using the land having high reliability in position accuracy.

【0010】また、ランド列方向に関するチェックエリ
アの走査を、ランド列全部に対して行なう必要がなく、
大部分省略することができるので、設定を迅速に行なう
ことができるし、ランド列を実測したデータに基づいて
チェックエリアのランド列方向の座標を設定するので、
この座標の精度を高く保持することができる。
Further, it is not necessary to scan the check area in the land row direction for all the land rows,
Since most of them can be omitted, the setting can be done quickly, and the coordinates in the land row direction of the check area are set based on the measured data of the land row.
The accuracy of this coordinate can be kept high.

【0011】しかも、ランド長手方向に関しては、チェ
ックエリアを走査することなく、上記のように求めたチ
ェックエリアのランド列方向の座標と、チップの寸法デ
ータから、チェックエリアの座標を設定するので、チェ
ックエリアの設定に要する時間・労力を大幅に削減する
ことができる。
In addition, in the longitudinal direction of the land, the coordinates of the check area are set from the coordinates of the land direction of the check area obtained as described above and the chip size data without scanning the check area. The time and labor required for setting the check area can be significantly reduced.

【0012】[0012]

【実施例】図面を参照しながら、実施例を説明する。図
1は基板1の平面図である。
Embodiments will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a plan view of the substrate 1.

【0013】A部は、抵抗、コンデンサなどの角チップ
やミニトランジスタなどのチップ13のリード14が半
田15付けされるランド12群である。またB部は、S
OPチップ23のリード24が半田25付けされるラン
ド22群である。このB部は、ランド列B1とランド列
B2が並列に形成されてなる。さらにC部は、QFPチ
ップ33のリード34が半田付けされるランド32群で
ある。このC部は、ランド列C1とランド列C3が横方
向(X方向)に並列に形成されると共に、ランド列C2
とランド列C4が縦方向(Y方向)に並列に形成されて
なる。
A portion A is a group of lands 12 to which leads 14 of a square chip such as a resistor and a capacitor or a chip 13 such as a mini transistor are soldered. Also, part B is S
The lead 24 of the OP chip 23 is a group of lands 22 to which solder 25 is attached. The section B is composed of a land row B1 and a land row B2 formed in parallel. Further, the C portion is a land 32 group to which the leads 34 of the QFP chip 33 are soldered. In the C portion, the land row C1 and the land row C3 are formed in parallel in the lateral direction (X direction), and the land row C2 is formed.
And the land row C4 are formed in parallel in the vertical direction (Y direction).

【0014】これらのランド12,22,32は、基板
1にエッチングにより精密に形成されるものであり、そ
の形状寸法及び位置関係の信頼性は極めて高い。なお、
図示するX軸、Y軸は、これらのランド12,22,3
2のランド座標系X−Yの横軸、縦軸である。
These lands 12, 22, 32 are precisely formed on the substrate 1 by etching, and the reliability of their shape dimensions and positional relationship is extremely high. In addition,
The X-axis and the Y-axis shown in the figure are the lands 12, 22, 3
2 are the horizontal axis and the vertical axis of the land coordinate system XY.

【0015】因みに、上記チップ13,23,33は、
このランド座標系X−Yを基準として、チップマウンタ
(図外)において位置修正された上で、リード14,2
4,34がランド12,22,32に載るように、実装
される。ここでチップの実装プロセスにおいては、マウ
ントデータとチップデータが既知のデータとして、予め
与えられている。このうちチップデータは、品種別のチ
ップの寸法データ、リード数などからなる。このチップ
マウンタが有する寸法データ(特に縦横のリード34先
端部間の距離l1 ,…,l6 など)を、後述するC部の
ランド32群についてチェックエリアCCを設定する際
に参照する。
Incidentally, the chips 13, 23 and 33 are
Positions are corrected in a chip mounter (not shown) with reference to the land coordinate system XY, and then the leads 14, 2 are
4, 34 are mounted on the lands 12, 22, 32. Here, in the chip mounting process, mount data and chip data are given in advance as known data. Of these, the chip data includes chip size data for each product type and the number of leads. The dimension data of this chip mounter (particularly the distances l1, ..., L6 between the vertical and horizontal leads 34 tip portions) are referred to when the check area CC is set for the group 32 of lands 32 described later.

【0016】なお以下に述べる全実施例において、ラン
ド座標系X−Yと、チェックエリア座標系X' −Y' を
回転方向のずれなく平行に設定することとする。
In all of the embodiments described below, the land coordinate system XY and the check area coordinate system X'-Y 'are set in parallel without any deviation in the rotational direction.

【0017】(実施例1)図2は、上記A部のランド1
2群をカメラ(図外)の視野Vに取込んだ画像を示す。
CAはチェックエリアである。ランド12群の位置関係
の信頼性は極めて高いので、チェックエリア座標系X'
−Y' における各チェックエリアCA間の距離(図2の
X1,X2,Y1)は、ランド12形成についての設計
上のデータをそのまま用いて定める。
(Embodiment 1) FIG. 2 shows the land 1 of the section A above.
The image which captured the 2nd group in the visual field V of a camera (not shown) is shown.
CA is a check area. Since the reliability of the positional relationship of the lands 12 is extremely high, the check area coordinate system X '
The distance (X1, X2, Y1 in FIG. 2) between the check areas CA in −Y ′ is determined by using the design data for forming the land 12 as it is.

【0018】A部についてチェックエリアCAを設定す
る方法を説明する。まず上記のように、視野V内に、複
数個のランド12を取込む。次に、これらのランド12
の全部が、チェックエリアCAの全部に一対一に重合し
たか否か判断する。なお、1つのチェックエリアCAが
ランド重合したか否かは、チェックエリアCAを移動さ
せるにつれて、ランド12からの反射光によりチェック
エリアCAが次第に明るくなりこの明るさが一定になっ
たこと(より具体的には、チェックエリアCAの画素
(図外)のうち光に反応したものの数が増加後収束した
こと)を確認(以下重合確認という)すればよい。なお
後述するB部、C部に関する実施例についてもこの重合
確認の手段を用いる。
A method of setting the check area CA for the part A will be described. First, as described above, a plurality of lands 12 are incorporated in the visual field V. Next, these land 12
It is determined whether or not all of the check marks overlap one-on-one with the entire check area CA. Whether or not one check area CA has overlapped with the land is determined by the fact that the check area CA gradually becomes brighter due to the reflected light from the land 12 as the check area CA is moved (this is more specific). Specifically, it is sufficient to confirm that the number of pixels (not shown) in the check area CA (not shown) that have reacted to light has increased and then converged (hereinafter referred to as polymerization confirmation). This means for confirming polymerization is also used in the examples relating to parts B and C described later.

【0019】さて上記において、全チェックエリアCA
がランド12に重合していれば設定を終了する。そうで
ないときは、図3のように、上記複数個のチェックエリ
アCAのうち任意の1つのチェックエリアCAを選択す
る。そしてこの選択されたチェックエリアCAを、その
もとの位置HPから視野V内で、チェックエリア座標系
X' −Y' 上において走査する。この走査を行って重合
確認できたら、チェックエリア座標系X' −Y' におい
てもとの位置HPから重合確認できた位置CPへのシフ
ト量(ΔX' ,ΔY' )を記憶する。
Now, in the above, all check areas CA
If is overlapped with the land 12, the setting is completed. If not, as shown in FIG. 3, any one check area CA is selected from the plurality of check areas CA. Then, the selected check area CA is scanned within the field of view V from its original position HP on the check area coordinate system X′-Y ′. When this scanning is performed and the overlapping confirmation can be performed, the shift amount (ΔX ′, ΔY ′) from the original position HP to the position CP where the overlapping confirmation can be performed is stored in the check area coordinate system X′-Y ′.

【0020】次に、他のチェックエリアCAをチェック
エリア座標系X' −Y' おいて、このシフト量(ΔX'
,ΔY' )だけシフトする。その結果、全チェックエ
リアCAにつき重合確認できた場合には、設定を終了す
る。そうでなければ、上記選択されたチェックエリアC
Aが、本来重合すべきでないランド12(例えば図2に
おいて、左上のチェックエリアCAが、その右横のラン
ド12に重合した場合など)に重合してしまったことに
なる。しかし、複数個のランド12のうちいずれかに重
合したことは確かであり、ランド12間の位置関係は上
述のように既知であるので、容易に修正して全チェック
エリアCAについて重合確認できる。なお本実施例で
は、チェックエリアCAの全部について重合確認する場
合を説明したが、図2に示す場合では、例えば左上と右
下のチェックエリアCAについて重合確認すれば必要十
分であり、他のチェックエリアCAについての処理を省
略しても差し支えない。すなわち本手段は、全チェック
エリアCAについて重合確認する場合に限定されるもの
ではなく、必要十分なチェックエリアCAについてのみ
重合確認する場合も含まれる。
Next, another shift area CA is set in the check area coordinate system X'-Y ', and this shift amount (ΔX'
, ΔY ′). As a result, when it is possible to confirm the overlap in all the check areas CA, the setting is completed. Otherwise, check area C selected above
It means that A has been superposed on the land 12 that should not be superposed (for example, in the case where the upper left check area CA is superposed on the right lateral land 12 in FIG. 2). However, it is certain that the land 12 is superposed on one of the plurality of lands 12, and the positional relationship between the lands 12 is known as described above. Therefore, the superposition can be easily corrected to confirm the superposition in all the check areas CA. In the present embodiment, the case where the entire check area CA is checked for superposition is explained, but in the case shown in FIG. 2, it is necessary and sufficient to check the superposition of the upper left and lower right check areas CA, for example. The process for the area CA may be omitted. That is, the present means is not limited to the case of performing the polymerization confirmation for all the check areas CA, and includes the case of performing the polymerization confirmation for only the necessary and sufficient check areas CA.

【0021】このように本実施例では、複数個のチェッ
クエリアCAのうち、少なくとも1つのチェックエリア
CAについて走査してシフト量を求めれば良く、複数個
のチェックエリアCAについていちいち走査する必要が
ないので、チェックエリア設定に要する労力・時間を大
幅に削減することができ、高速度で設定を完了できる。
しかも、信頼性の高いランド12のデータをもとに、チ
ェックエリアCA間の距離を設定しているので、上記の
ように走査の大部分を省略しても、設定されたチェック
エリアCAがランド12に良好に重合しないというおそ
れは少ない。
As described above, in this embodiment, at least one check area CA among the plurality of check areas CA may be scanned to obtain the shift amount, and it is not necessary to scan the plurality of check areas CA one by one. Therefore, the labor and time required for setting the check area can be significantly reduced, and the setting can be completed at high speed.
Moreover, since the distance between the check areas CA is set based on the data of the land 12 having high reliability, even if most of the scanning is omitted as described above, the set check area CA will be the land. It is unlikely that the polymer does not polymerize well into 12.

【0022】(実施例2)図4は、図1のB部のランド
22群をカメラの視野Vに取込んだ画像を示す。このB
部は、SOPチップ23のランド群であり、このランド
22群はSOPチップ23のリード24群のそれぞれを
載せうるように、並列に配置される。また、カメラの視
野V側のチェックエリア座標系X' −Y' のX' 軸を、
このランド22の列方向と平行にしておく。CBはチェ
ックエリアである。
(Embodiment 2) FIG. 4 shows an image in which the group of lands 22 of the portion B in FIG. 1 is taken into the visual field V of the camera. This B
The group is a land group of the SOP chip 23, and the land 22 groups are arranged in parallel so that each of the leads 24 group of the SOP chip 23 can be mounted. In addition, the X'axis of the check area coordinate system X'-Y 'on the visual field V side of the camera is
The land 22 is set parallel to the column direction. CB is a check area.

【0023】このランド22群のチェックエリア座標系
のX' 軸方向(ランド列方向)に関して、チェックエリ
アCBを設定する方法を説明する。まず、列状に形成さ
れたランド22の個数mのうち、適当な個数n(本実施
例ではn=4とする)を設定する。
A method of setting the check area CB in the X'axis direction (land row direction) of the check area coordinate system of the land 22 group will be described. First, of the number m of lands 22 formed in a row, an appropriate number n (n = 4 in this embodiment) is set.

【0024】次に、チェックエリアCBをランド22の
列外側方(図4左側)のスタート位置S1(X' ,Y'
)=(X' 0,Y' C)におく。そして、チェックエ
リアCBをランド22の列に向け、ランド22の列方向
と平行に(X' 軸方向に)走査する。そして、1番目の
ランド22とチェックエリアCBについて上記重合確認
できたら、このときの座標(X' ,Y' )=(X' 1,
Y' C)を記憶する。以下2番目以降も同様の処理を繰
り返し、上記のように設定したn番目のランド22とチ
ェックエリアCBについて重合確認したところでチェッ
クエリアCBの走査を終了する。
Next, in the check area CB, the start position S1 (X ', Y') outside the row of the lands 22 (on the left side in FIG. 4).
) = (X ′ 0, Y ′ C). Then, the check area CB is directed to the row of the lands 22 and scanning is performed in parallel with the row 22 of the lands 22 (in the X ′ axis direction). Then, when the above-mentioned overlap confirmation can be confirmed for the first land 22 and the check area CB, the coordinates (X ′, Y ′) at this time = (X ′ 1,
Y'C) is memorized. After that, the same processing is repeated for the second and subsequent lands, and when the n-th land 22 and the check area CB set as described above are confirmed to overlap, the scanning of the check area CB is ended.

【0025】そして、1番目の座標(X' 1,Y' C)
からn番目の座標(X' 4,Y' C)までのシフト量S
X(SX=(X' 4−X' 1))からランド22間のピ
ッチP=SX÷(n−1)を求める。
The first coordinate (X '1, Y'C)
Shift amount S from the nth coordinate to (X '4, Y'C)
The pitch P = SX ÷ (n−1) between the lands 22 is obtained from X (SX = (X ′ 4 −X ′ 1)).

【0026】そしてこのピッチPをもとに、チェックエ
リアCBの座標系X' −Y' における設定座標(ランド
列方向)を、(X' ,Y' )=(X' 1,Y' C),
(X'1+P,Y' C),…,(X' 1+P(m−
1),Y' C)と定める。
Based on this pitch P, the set coordinates (land row direction) in the coordinate system X'-Y 'of the check area CB is (X', Y ') = (X'1, Y'C). ,
(X'1 + P, Y'C), ..., (X'1 + P (m-
1), Y'C).

【0027】又、まず上記と同様に、チェックエリアC
Bをランド22の列外側方(図4左側)のスタート位置
S1(X' ,Y' )=(X' 0,Y' C)において、1
番目のランド22の座標(X' ,Y' )=(X' 1,
Y' C)を記憶し、同列の反対側の列外側方(図4右
側)のスタート位置S2(X' ,Y' )=(X' X,
Y'C)(但し、X' X>X' M)において、m番目の
ランド22の座標(X' ,Y' )=(X' M,Y' C)
を記憶し、ピッチP=(X' M−X' 0)÷(m−1)
からピッチPを求めて、チェックエリアCBの座標系
X' −Y' における設定座標を定めてもよい。
First, as in the above, the check area C
B is 1 at the start position S1 (X ', Y') = (X '0, Y'C) on the outer side of the land 22 (on the left side in FIG. 4).
Coordinates (X ', Y') of the th land 22 = (X '1,
Y ′ C) is stored, and the start position S2 (X ′, Y ′) = (X ′ X,
Y′C) (where X ′ X> X ′ M), the coordinates (X ′, Y ′) of the m-th land 22 = (X ′ M, Y ′ C)
And the pitch P = (X ′ M−X ′ 0) ÷ (m−1)
The pitch P may be obtained from the above to determine the set coordinates in the coordinate system X′-Y ′ of the check area CB.

【0028】このように、ランド22列の一部のみにつ
いて、チェックエリアCBの重合確認により実測し、全
チェックエリアCBの座標(ランド列方向)を設定する
ようにしたので、迅速にチェックエリアCBの設定を行
うことができる。なお、上述のようにランド22列の位
置、形状の精度は非常に高いので、ランド22列の一部
のみを実測し、他のランド22の実測を省略しても格別
チェックエリアCBの座標の精度は低下しない。
As described above, only a part of the 22 rows of lands is actually measured by checking the overlap of the check areas CB, and the coordinates (land row direction) of all the check areas CB are set. Can be set. As described above, the accuracy of the position and shape of the land 22 row is very high. Therefore, even if only a part of the land 22 row is actually measured and the other land 22 is omitted, the coordinates of the special check area CB The accuracy does not decrease.

【0029】(実施例3)図5は、上記B部のランド2
2群の長手方向(チェックエリア座標系のY' 軸方向)
のチェックエリアCBの設定方法の説明図である。
(Embodiment 3) FIG. 5 shows the land 2 of the B section.
Longitudinal direction of 2 groups (Y'axis direction of check area coordinate system)
5 is an explanatory diagram of a setting method of a check area CB of FIG.

【0030】まず、SOPチップ23の形状データに基
づき、ランド22の上列B1と下列B2のそれぞれに、
重合すべきチェックエリアCB,CB' 間のY' 軸方向
の間隔tを定める。すなわちこの間隔tを、チップ23
の両側からそれぞれ反対方向に延出するリード24,2
4の先端部間の距離と略同一に設定する。そして、Y'
軸方向(ランド長手方向)にこの間隔tだけ隔てて、2
つのチェックエリアCB' ,CBをとり、これらのチェ
ックエリアCB' ,CBをそれぞれがランド22の図5
上列B1と下列B2とに重合確認できるまで走査する。
これにより、チップ23の形状データに基づき、ランド
22の長手方向に間隔tを隔てた2個のチェックエリア
CB,CB' のうち、一方のチェックエリアCB' を上
列B1のランド22に重合させるとともに、他方のチェ
ックエリアCBを下列B2のランド22に重合させる。
First, based on the shape data of the SOP chip 23, the upper row B1 and the lower row B2 of the land 22 are
The interval t in the Y'axis direction between the check areas CB and CB 'to be superposed is determined. That is, this interval t
Leads 24 and 2 extending in opposite directions from both sides of the
It is set to be approximately the same as the distance between the tip portions of No. 4. And Y '
2 in the axial direction (longitudinal direction of the land) with this interval t
Two check areas CB ′ and CB are taken, and these check areas CB ′ and CB are respectively shown in FIG.
Scan until the upper row B1 and the lower row B2 can be confirmed as overlapping.
As a result, based on the shape data of the chip 23, one of the two check areas CB and CB ′ having a distance t in the longitudinal direction of the land 22 is overlapped with the land 22 in the upper row B1. At the same time, the other check area CB is overlapped with the land 22 in the lower row B2.

【0031】ここで、前記重合確認ができた際、チェッ
クエリアCB' ,CBがそれぞれ上記間隔tを隔ててラ
ンド22の上列B1、下列B2に重合していることは確
かである。しかし、チェックエリアCB' ,CBがラン
ド22の上列B1、下列B2において、SOPチップ2
3のリード24の先端部ないし半田25に対する符合位
置にあるとは限らない。そこで次に、この符合位置にチ
ェックエリアCB' ,CBを合わせる方法、すなわち、
チェックエリアCB,CB' のY' 軸方向(ランド長手
方向)の座標を設定する方法について説明する。
Here, when it is possible to confirm the above-mentioned overlap, it is certain that the check areas CB 'and CB are overlapped on the upper row B1 and the lower row B2 of the lands 22 at the intervals t, respectively. However, the check areas CB 'and CB are located in the upper row B1 and the lower row B2 of the land 22 and the SOP chip 2
3 is not always in the matching position with respect to the tip of the lead 24 or the solder 25. Therefore, next, a method of aligning the check areas CB 'and CB with this matching position, that is,
A method of setting the coordinates of the check areas CB and CB 'in the Y'axis direction (land longitudinal direction) will be described.

【0032】まず、チェックエリア座標系X' −Y' に
おいて、上列B1のランド22の下端縁22aと下列B
2のランド22の上端縁22bとの間の便宜位置にX'
軸と平行な基準線lを設ける。なお、チェックエリアC
B,CB' がこの基準線lに接する際、チェックエリア
CB,CB' はランド22から全く外れているようにし
てある。
First, in the check area coordinate system X'-Y ', the lower edge 22a of the land 22 in the upper row B1 and the lower row B are shown.
X'at a convenient position between the upper edge 22b of the second land 22 and
A reference line 1 parallel to the axis is provided. In addition, check area C
When B and CB 'are in contact with the reference line 1, the check areas CB and CB' are completely off the land 22.

【0033】ここで、チェックエリアCB,CB' は、
上記間隔tを隔ててそれぞれ下列B2,上列B1のラン
ド22の適当な位置に重合しているが、そのときの座標
(X' ,Y' )=(X' 1,Y' S)を記憶しておく。
次に、下列B2のランド22に重合しているチェックエ
リアCBを、ランド22の長手方向上方に移動させて、
まず一旦ランド22から完全に外し、上記基準線lに合
わせ、次にチェックエリアCBを下方に移動させて、下
列B2のランド22の上端縁22bにチェックエリアC
Bの上端縁CB1を合わせる。そのときの座標(X' ,
Y' )=(X'1,Y' E)を記憶する。
Here, the check areas CB and CB 'are
Although they are overlapped with each other at appropriate positions on the lands 22 in the lower row B2 and the upper row B1 at the intervals t, the coordinates (X ′, Y ′) = (X ′ 1, Y ′ S) at that time are stored. I'll do it.
Next, the check area CB overlapping the land 22 in the lower row B2 is moved upward in the longitudinal direction of the land 22,
First, it is completely removed from the land 22 and aligned with the reference line l, and then the check area CB is moved downward so that the check area C is attached to the upper edge 22b of the land 22 in the lower row B2.
Match the upper edge CB1 of B. The coordinates at that time (X ',
Y ') = (X'1, Y'E) is stored.

【0034】同様に上列B1のランド22に重合してい
るチェックエリアCB' についても、まずランド22に
適当に重合している座標(X' ,Y' )=(X' 4,
Y' S' )を記憶し、次にチェックエリアCB' を基準
線lに接するまで下方に移動させ、次にこのチェックエ
リアCB' の下端縁CB' 2が上列のランド22の下端
縁22aに接するまで上方に移動させる。そのときの座
標(X' ,Y' )=(X' 4,Y' E' )を記憶する。
Similarly, regarding the check area CB 'overlapping the land 22 in the upper row B1, first, the coordinates (X', Y ') appropriately overlapping the land 22 = (X' 4,
Y'S '), then the check area CB' is moved downward until it contacts the reference line l, and the lower edge CB '2 of this check area CB' is then the lower edge 22a of the land 22 in the upper row. Move upward until it touches. The coordinates (X ′, Y ′) = (X ′ 4, Y ′ E ′) at that time are stored.

【0035】そして、シフト量SYを、次式から求め
る。 SY={(Y' E−Y' S)+(Y' E' −Y' S' )}÷2 次に、チェックエリアCB,CB' のそれぞれをこのシ
フト量SYだけチェックエリア座標系X' −Y' におい
て、Y' 軸方向に移動させる。すると、チェックエリア
CB,CB' はSOPチップ23のリード23の先端
部、半田25に符合する位置にあることになる。なお、
上記において、基準線lを設け、この線lに接するまで
チェックエリアCB,CB' を移動させたが、本手段は
これに限定されるものではなく、一旦ランド22からチ
ェックエリアCB,CB' を外しておけばよく、チェッ
クエリアCB,CB' が外れる位置は、便宜変更しても
差支えない。
Then, the shift amount SY is obtained from the following equation. SY = {(Y'E-Y'S) + (Y'E'-Y'S ')} / 2 Next, each of the check areas CB and CB' is moved by the shift amount SY in the check area coordinate system X '. At -Y ', move in the Y'axis direction. Then, the check areas CB and CB ′ are located at the tips of the leads 23 of the SOP chip 23 and the positions matching the solder 25. In addition,
In the above description, the reference line 1 is provided and the check areas CB and CB 'are moved until they come into contact with the line 1. However, the present means is not limited to this, and the check areas CB and CB' are once moved from the land 22. It may be removed, and the positions where the check areas CB and CB 'are removed may be changed for convenience.

【0036】つまり、2個のチェックエリアCB,C
B' のぞれぞれを、ランド22の長手方向一方向に移動
して、一旦ランド22から外すと共に、上記一方向と逆
方向に移動して、ランド22の端縁22a、22bの位
置とチップ23の形状データから、ランド22の長手方
向に関するチェックエリアCB,CB' の座標を設定す
る。
That is, the two check areas CB and C
Each of B ′ is moved in one direction in the longitudinal direction of the land 22 to be temporarily removed from the land 22, and is also moved in the opposite direction to the above-mentioned one direction so that the positions of the edges 22a and 22b of the land 22 are changed. From the shape data of the chip 23, the coordinates of the check areas CB and CB 'in the longitudinal direction of the land 22 are set.

【0037】第3実施例によれば、ランド22の長手方
向に関し、ランド22を基準として、迅速・容易にチェ
ックエリアCB,CB' を設定することができる。また
SOPチップ23の形状データも加味するので、同種の
ランド22群にリード25の長さが異なるSOPチップ
23を実装する場合には、上記間隔tを変更することに
より、柔軟、正確に対応できる。
According to the third embodiment, with respect to the longitudinal direction of the land 22, the check areas CB and CB 'can be set quickly and easily with reference to the land 22. Further, since the shape data of the SOP chip 23 is also taken into consideration, when mounting the SOP chips 23 having different lengths of the leads 25 on the same type of land 22 group, it is possible to flexibly and accurately respond by changing the interval t. ..

【0038】なお、上記第3実施例では、チェックエリ
アCB,CB' のY' 軸方向(ランド長手方向)の座標
を設定するに際し、チェックエリアCB,CB’を一旦
ランド22から外す方法を説明した。しかし、本手段は
これに限定されるものではなく、チェックエリアCB,
CB’をランド22から外さずに、ランド22の端縁2
2a,22bの位置を求める場合も含まれる。この場合
には、図5下方(ランドの列B2側)の一部拡大図に破
線矢印Sで示すように、チェックエリアCBを移動させ
る。具体的には、まずチェックエリアCBが(X',Y'
)=(X' 1,Y' S)の位置において、ランド22を
とらえる画素数をカウントしておき、次にチェックエリ
アCBをY' 軸と平行に移動させ(同矢印S)、移動前
の画素数がわずかに減少した際,チェックエリアCBの
移動を止め、その位置のY' 座標Y' Eを求めれば良
い。もちろん、図5上方のランド列B1についても、同
様にY' 座標Y' Eを求めることができる。以下の処理
は上述のとおりである。
In the third embodiment, a method of temporarily removing the check areas CB and CB 'from the land 22 when setting the coordinates of the check areas CB and CB' in the Y'axis direction (land longitudinal direction) will be described. did. However, this means is not limited to this, and the check area CB,
The edge 2 of the land 22 without removing the CB 'from the land 22
This also includes the case of obtaining the positions of 2a and 22b. In this case, the check area CB is moved as shown by a broken line arrow S in the partially enlarged view of the lower part of FIG. 5 (on the side of the row B2). Specifically, first, the check area CB is (X ', Y'
) = (X ′ 1, Y ′ S), the number of pixels that capture the land 22 is counted, and then the check area CB is moved in parallel with the Y ′ axis (the arrow S), before moving. When the number of pixels is slightly decreased, the movement of the check area CB is stopped and the Y ′ coordinate Y ′ E of the position may be obtained. Of course, the Y ′ coordinate Y ′ E can be similarly obtained for the land row B1 in the upper part of FIG. The following processing is as described above.

【0039】(実施例4)図6は、図1のC部のランド
32群を、カメラの視野V1,V2,V3,V4に取込
んだ画像を示す。このC部は、QFPチップ33のラン
ド32群であり、このランド32群は、QFPチップ3
3のリード34群のそれぞれを載せうるように、並列対
向状のランド列C1,C2,C3,C4を、縦横に直交
するように設けた配置となる。また、チェックエリア座
標X' −Y' のX' 軸(横軸)、Y' 軸(縦軸)が、こ
れらのランド列C1,C2,C3,C4と平行となるよ
うに設定する。
(Embodiment 4) FIG. 6 shows an image in which the group of lands 32 of the portion C in FIG. 1 is taken into the visual fields V1, V2, V3 and V4 of the camera. The C section is a group of lands 32 of the QFP chip 33, and the group of lands 32 is the QFP chip 3
The land rows C1, C2, C3, and C4 arranged in parallel and facing each other are arranged so as to be orthogonal to each other vertically and horizontally so that each of the three leads 34 can be mounted. Further, the X'axis (horizontal axis) and the Y'axis (vertical axis) of the check area coordinates X'-Y 'are set to be parallel to these land rows C1, C2, C3, C4.

【0040】そして、X' 軸に平行なランド列C1と、
Y' 軸に平行なランド列C4のそれぞれについて、上記
第2実施例と同様に、ランド列方向のチェックエリアC
Cの設定を行う。これによりランド32の実測値を含
め、図6に示すX' 座標列(X' 1,X' 2,…,X'
5)とY' 座標列(Y' 1,Y' 2,…,Y' 5)を求
めることができる。なお、S3,S4はスタート位置で
ある。つまり、縦軸Y'に平行なランド列C4と、横軸
X' に平行なランド列C1のそれぞれのランド列外側方
のスタート位置S3,S4にチェックエリアCCをお
き、ランド列C4,C1の方向に走査する。
Then, a land row C1 parallel to the X'axis,
For each of the land rows C4 parallel to the Y'axis, as in the second embodiment, the check area C in the land row direction is provided.
Set C. As a result, including the measured values of the land 32, the X ′ coordinate sequence (X ′ 1, X ′ 2, ..., X ′) shown in FIG.
5) and the Y ′ coordinate sequence (Y ′ 1, Y ′ 2, ..., Y ′ 5) can be obtained. Note that S3 and S4 are start positions. That is, the check areas CC are set at the start positions S3, S4 on the outer sides of the land rows C4 parallel to the vertical axis Y'and the land row C1 parallel to the horizontal axis X '. Scan in the direction.

【0041】次に図6のランド列の長手方向に関するチ
ェックエリアCCの座標を設定する。すなわちQFPチ
ップ33の寸法データから、図1に示す距離l1 ,l2
,l3 ,l4 ,l5 を求める。
Next, the coordinates of the check area CC in the longitudinal direction of the land row in FIG. 6 are set. That is, from the dimension data of the QFP chip 33, the distances l1 and l2 shown in FIG.
, L3, l4, l5 are obtained.

【0042】視野V1のチェックエリアCCのY' 座標
は、Y' 1から負方向にl2 だけ離れたY' 0となり、
視野V2のチェックエリアCCのX' 座標は、X' 1か
ら負方向にl1 だけ離れたX' 0となる。また、視野V
4のチェックエリアCCのX' 座標は、X' 5から正方
向にl3 だけ離れたX' 6となり、視野V3のチェック
エリアCCのY' 座標は、Y' 5から正方向にl5 だけ
離れたY' 6となる。これにより、QFPチップ33の
ランド32群の全部について、チェックエリアCCの座
標をランド32の実測をした上で設定できたことにな
る。
The Y'coordinate of the check area CC of the visual field V1 is Y'0 which is separated from Y'1 by l2 in the negative direction,
The X'coordinate of the check area CC of the visual field V2 is X'0 which is separated from X'1 by l1 in the negative direction. Also, the field of view V
The X'coordinate of the check area CC of No. 4 is X'6 which is separated from the X'5 by 13 in the positive direction, and the Y'coordinate of the check area CC of the visual field V3 is separated from the Y'5 by 15 in the positive direction. Y'6. This means that the coordinates of the check area CC could be set after actually measuring the lands 32 for all of the lands 32 of the QFP chip 33.

【0043】つまり、ランド列C1,C4のそれぞれの
一部に、チェックエリアCCが重合する際の座標から、
ランド32間のピッチPを求め、このピッチPに基づい
て、縦軸Y' に平行なランド列C4と、横軸X' に平行
なランド列C1に対応するチェックエリアCC群のラン
ド列方向の座標を設定している。そして、このチェック
エリアCC群のランド列方向の座標と、チップ33の寸
法データから、このチェックエリアCC群の長手方向の
座標を設定している。
That is, from the coordinates when the check area CC overlaps with a part of each of the land rows C1 and C4,
The pitch P between the lands 32 is obtained, and based on this pitch P, the land row direction of the check area CC group corresponding to the land row C4 parallel to the vertical axis Y'and the land row C1 parallel to the horizontal axis X '. The coordinates are set. Then, the coordinates in the longitudinal direction of the check area CC group are set from the coordinates in the land row direction of the check area CC group and the dimension data of the chip 33.

【0044】本実施例では、ランド32列を横断する方
向(列方向)にチェックエリアCCを走査して、ランド
32の実測値を求めると共に、QFPチップ33の寸法
データを参照して、チェックエリアCCの設定を行っ
た。したがって、一般に非常に多数のランド32からな
るC部について、目視によることなく、迅速容易にチェ
ックエリアの設定を行うことができる。
In the present embodiment, the check area CC is scanned in a direction (column direction) that traverses the 32 rows of lands to obtain the actually measured values of the lands 32, and the dimension data of the QFP chip 33 is referred to to check the areas. CC was set. Therefore, in general, the check area can be set quickly and easily without visually observing the C portion including a large number of lands 32.

【0045】[0045]

【発明の効果】以上説明したように、本発明は、チェッ
クエリアの座標系の縦軸と横軸をこれらのランド列と平
行に設定するプロセスと、上記縦軸に平行なランド列
と、上記横軸に平行なランド列のそれぞれのランド列外
側方のスタート位置にチェックエリアをおくプロセス
と、このチェックエリアを、それぞれのランド列方向に
走査し、これらのランド列の一部にチェックエリアが重
合する際の座標からランド間のピッチを求めるプロセス
と、このピッチに基づいて、上記縦軸に平行なランド列
の個々のランドと、上記横軸に平行なランド列の個々の
ランドに、一対一に対応するチェックエリア群のランド
列方向の座標を設定するプロセスと、上記チェックエリ
ア群のランド列方向の座標と、これらのランド列に実装
されるチップの寸法データから、上記チェックエリア群
のランド長手方向の座標を設定するプロセスを構成し
た。このように、位置精度が高いランドを実測したデー
タをもとに、チェックエリアのランド列方向の座標を設
定し、この座標にチップの寸法データを加味して、チェ
ックエリアの長手方向の座標を設定するので、チェック
エリアの設定座標の精度を高く保持することができる。
また、チェックエリアの走査を、ランド列方向の一部に
対して行なえば足りるので、ランド列方向の大部分につ
いての走査と、ランド長手方向についての走査を、省略
することができ、その結果非常に多数のランドに対する
チェックエリアの設定を、短時間で完了することができ
る。
As described above, according to the present invention, the process of setting the vertical axis and the horizontal axis of the coordinate system of the check area in parallel with these land rows, the land rows parallel to the vertical axis, and the above The process of setting a check area at the start position outside each land row of the land rows parallel to the horizontal axis, and scanning this check area in the direction of each land row, and a check area is formed in part of these land rows. A process of determining the pitch between lands from the coordinates at the time of stacking, and based on this pitch, a pair of lands is formed on each land in the land row parallel to the vertical axis and each land in the land row parallel to the horizontal axis. The process of setting the land area direction coordinates of the check area group corresponding to one, the land area direction coordinates of the above check area group, and the dimensional data of the chips mounted on these land areas. From data, to constitute a process of setting the land longitudinal coordinates of the checking area group. In this way, the coordinates of the land area in the check area are set based on the data obtained by actually measuring the land with high positional accuracy, and the coordinates of the longitudinal direction of the check area are calculated by adding the chip dimension data to these coordinates. Since the setting is made, the accuracy of the set coordinates of the check area can be kept high.
Further, since it is sufficient to scan the check area for a part of the land row direction, it is possible to omit most of the land row direction scan and the land longitudinal direction scan. Moreover, the setting of check areas for a large number of lands can be completed in a short time.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の基板の平面図FIG. 1 is a plan view of a substrate of the present invention.

【図2】同チェックエリアCAの説明図FIG. 2 is an explanatory diagram of the check area CA.

【図3】同拡大図[Figure 3] Enlarged view

【図4】同チェックエリアCBの説明図FIG. 4 is an explanatory diagram of the check area CB.

【図5】同チェックエリアCBの説明図FIG. 5 is an explanatory diagram of the check area CB.

【図6】同チェックエリアCCの説明図FIG. 6 is an explanatory diagram of the check area CC.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

V 視野 1 基板 32 ランド 33 チップ C1 ランド列 C2 ランド列 C3 ランド列 C4 ランド列 CC チェックエリア X' チェックエリア座標系の横軸 Y' チェックエリア座標系の縦軸 S3 スタート位置 S4 スタート位置 P ピッチ V Field of View 1 Board 32 Land 33 Chip C1 Land Row C2 Land Row C3 Land Row C4 Land Row CC Check Area X'Horizontal Axis of Check Area Coordinate System Y'Vertical Axis of Check Area Coordinate System S3 Start Position S4 Start Position P Pitch

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】基板に縦横並列に形成された複数のランド
列を、カメラの視野に取込んで、これらのランド列の個
々のランドに一対一に対応するチェックエリアを設定す
るに際し、チェックエリアの座標系の縦軸と横軸をこれ
らのランド列と平行に設定するプロセスと、上記縦軸に
平行なランド列と、上記横軸に平行なランド列のそれぞ
れのランド列外側方のスタート位置にチェックエリアを
おくプロセスと、このチェックエリアを、それぞれのラ
ンド列方向に走査し、これらのランド列の一部にチェッ
クエリアが重合する際の座標からランド間のピッチを求
めるプロセスと、このピッチに基づいて、上記縦軸に平
行なランド列の個々のランドと、上記横軸に平行なラン
ド列の個々のランドに、一対一に対応するチェックエリ
ア群のランド列方向の座標を設定するプロセスと、上記
チェックエリア群のランド列方向の座標と、これらのラ
ンド列に実装されるチップの寸法データから、上記チェ
ックエリア群のランド長手方向の座標を設定するプロセ
スからなることを特徴とする縦横並列ランドのチェック
エリア設定方法。
1. A check area is provided when a plurality of land rows formed in parallel in the vertical and horizontal directions on a substrate are taken into the field of view of a camera and a check area corresponding to each land of these land rows is set one-to-one. The process of setting the vertical axis and the horizontal axis of the coordinate system in parallel with these land rows, the land rows parallel to the vertical axis, and the start positions on the outer side of each of the land rows parallel to the horizontal axis. The process of setting the check area at, the process of scanning this check area in the direction of each land row, and determining the pitch between lands from the coordinates when the check area overlaps a part of these land rows, and this pitch Based on the above, each land in the land row parallel to the vertical axis and each land in the land row parallel to the horizontal axis have a one-to-one correspondence with the land row direction of the check area group. Of the check area group and the process of setting the coordinate of the check area group in the longitudinal direction of the land from the dimension data of the chips mounted on these land rows. A check area setting method for vertical and horizontal parallel lands, which is characterized in that
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