JPH11289199A - Electronic parts recognizing device - Google Patents

Electronic parts recognizing device

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JPH11289199A
JPH11289199A JP10103594A JP10359498A JPH11289199A JP H11289199 A JPH11289199 A JP H11289199A JP 10103594 A JP10103594 A JP 10103594A JP 10359498 A JP10359498 A JP 10359498A JP H11289199 A JPH11289199 A JP H11289199A
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electronic component
recognition camera
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恒史 赤石
Yoshiaki Ikeda
善紀 池田
Toshiaki Wada
俊明 和田
Takashi Yoshii
貴志 吉井
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To make the sucked attitude of electronic parts accurately recognizable, by controlling a moving mechanism based on the positional data of a first storing means when the image of the parts is picked up at a first position, or based on the positional data of a second storing means when the image is picked up at a second position. SOLUTION: Each mounting head 12 is incorporated with a motor which rotates electronic parts S in a horizontal plane through a suction nozzle 25. When parts recognition is performed on electronic parts S (for example, Sa) by utilizing an LED group 61a for reflected illumination, the parts Sa are caused to reflect the light La from the LED group 61a for recognizing lead pins, etc., around the parts Sa. In this case, the electronic parts Sa sucked by means of the suction nozzle 25 for mounting the parts Sa on a substrate are lowered to the position of the focal plane (focal point) Fp of a parts recognizing camera 13 which is a prescribed image picking-up position to which the camera 13 is focused, and the parts Sa are recognized by picking up the image of the parts Sa with the camera 13 by utilizing the reflected light La from the reflective illumination 61.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば電子部品装
着装置などに用いられる電子部品認識装置に関するもの
である。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electronic component recognition device used for an electronic component mounting device, for example.

【0002】[0002]

【従来の技術】例えば電子部品装着装置における従来の
電子部品認識装置では、電子部品の装着に先立ち、基板
に装着するために装着(吸着)ノズルで吸着した電子部
品(認識対象部品)を、部品認識カメラの焦点が合う所
定の撮像位置(焦点位置)まで下降させ、反射照明から
の反射光または透過照明からの透過光によって、電子部
品の像を部品認識カメラで撮像して部品認識を行う。
2. Description of the Related Art For example, in a conventional electronic component recognition apparatus in an electronic component mounting apparatus, before mounting an electronic component, an electronic component (recognition target component) sucked by a mounting (suction) nozzle to be mounted on a substrate is replaced with a component. The recognition camera is lowered to a predetermined imaging position (focal position) at which the recognition camera is in focus, and an image of the electronic component is captured by the component recognition camera using reflected light from reflected illumination or transmitted light from transmitted illumination to perform component recognition.

【0003】この場合、電子部品認識装置では、画像認
識により、その認識対象部品の吸着姿勢(吸着位置や吸
着角度等)を、所定の位置データに基づく部品認識カメ
ラの座標系において、X・Y方向および角度θの値とし
て認識し、この電子部品認識装置を備えた電子部品装着
装置では、その認識結果に基づいてその吸着姿勢の補正
を行った後、その電子部品Sを基板に装着する。
In this case, the electronic component recognizing apparatus uses image recognition to determine the suction attitude (suction position, suction angle, etc.) of the recognition target component in an X / Y coordinate system of the component recognition camera based on predetermined position data. After recognizing the values as the direction and the angle θ, the electronic component mounting device including the electronic component recognition device corrects the suction attitude based on the recognition result, and then mounts the electronic component S on the board.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】上述のような従来の電
子部品認識装置では、部品認識カメラにおいて、認識対
象部品を焦点位置で撮像したときに最良の画像を得られ
るように、反射または透過の照明の配置を決定するが、
その認識対象部品の種類(部品種別)等によっては、そ
の照明からの光の角度では、部品認識に適した画像が得
られないものがある。
In the conventional electronic component recognition apparatus as described above, in a component recognition camera, reflection or transmission is performed so that the best image can be obtained when a recognition target component is captured at a focal position. Determine the lighting arrangement,
Depending on the type (part type) of the recognition target component, an image suitable for component recognition cannot be obtained at the angle of light from the illumination.

【0005】かといって、部品種別毎に専用の照明や焦
点位置の異なる部品認識カメラを設置するのでは、設備
コストが膨大となるばかりでなく、その物的スペースが
必要になって構造が複雑になると共に、それらの制御も
煩雑なものとなってしまう。
However, installing a dedicated illumination and a component recognition camera having a different focus position for each component type not only increases the equipment cost but also requires a physical space and requires a complicated structure. And the control becomes complicated.

【0006】本発明は、既存の機構を利用しつつ、認識
対象部品の種別等に応じて撮像位置を変更しても、その
部品の吸着姿勢などを正確に認識できる電子部品認識装
置を提供することを目的とする。
The present invention provides an electronic component recognizing apparatus capable of accurately recognizing the suction posture of a component to be recognized even if the imaging position is changed according to the type of the component to be recognized while utilizing an existing mechanism. The purpose is to:

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明の電子部品認識装
置は、電子部品を保持する装着ヘッドと、装着ヘッドに
保持した電子部品を下側から撮像する部品認識カメラ
と、撮像に際し電子部品を照明する照明器具と、装着ヘ
ッドを昇降させ、部品認識カメラの焦点深度内における
前記電子部品の撮像位置を可変させるヘッド昇降機構
と、装着ヘッドを水平面内においてXY方向に移動させ
るXY移動機構と、XY移動機構を制御し、電子部品の
部品中心を部品認識カメラの視野中心に臨ませる制御手
段と、前記撮像位置を前記焦点深度内の第1位置とした
ときの視野中心の位置データを記憶する第1記憶手段
と、前記撮像位置を前記焦点深度内の第2位置としたと
きの視野中心の位置データを記憶する第2記憶手段とを
備え、前記制御手段は、電子部品を前記第1位置で撮像
する場合には、前記第1記憶手段の位置データに基づい
て前記XY移動機構を制御し、前記第2位置で撮像する
場合には、前記第2記憶手段の位置データに基づいて前
記XY移動機構を制御することを特徴とする。
SUMMARY OF THE INVENTION An electronic component recognition apparatus according to the present invention includes a mounting head for holding an electronic component, a component recognition camera for imaging the electronic component held on the mounting head from below, and an electronic component for imaging. A lighting device for illuminating, a head elevating mechanism for elevating and lowering the mounting head, and varying the imaging position of the electronic component within the depth of focus of the component recognition camera, and an XY moving mechanism for moving the mounting head in the XY directions in a horizontal plane A control means for controlling the XY moving mechanism so that the center of the electronic component faces the center of the field of view of the component recognition camera, and stores the position data of the center of the field of view when the imaging position is the first position within the depth of focus. A first storage unit; and a second storage unit that stores position data of a center of the field of view when the imaging position is set to a second position within the depth of focus. When the child part is imaged at the first position, the XY moving mechanism is controlled based on the position data in the first storage means. The XY movement mechanism is controlled based on position data.

【0008】一般に、視野中心の位置が定まれば、その
データ(位置データ)に基づいて部品認識カメラの座標
系を定めることができるので、視野中心の適切な位置デ
ータを記憶しておき、その視野中心に合うように、認識
対象部品(を保持する装着ヘッド)の移動(位置)を制
御すれば、その位置データに基づく座標系において、適
切な撮像画像(のデータ)を得ることができ、その吸着
姿勢を認識できる。
Generally, once the position of the center of the field of view is determined, the coordinate system of the component recognition camera can be determined based on the data (position data). If the movement (position) of the recognition target component (the mounting head that holds the recognition target component) is controlled so as to match the center of the visual field, an appropriate captured image (data) can be obtained in a coordinate system based on the position data. The suction posture can be recognized.

【0009】しかし、部品種別等によりその認識対象部
品の撮像位置が異なる場合に、部品認識カメラの座標系
の基準とすべき位置データとして、一律に同じ位置デー
タを用いたのでは、その部品の吸着姿勢などを正確に認
識できない。この電子部品認識装置では、認識対象部品
の撮像位置に応じた位置データを用いるので、その部品
を移動させるXY移動機構を適切に制御でき、これによ
り、部品の吸着姿勢などを正確に認識できる。
However, if the imaging position of the part to be recognized is different depending on the part type or the like, if the same position data is used uniformly as the position data to be used as the reference of the coordinate system of the part recognition camera, the part cannot be used. It is not possible to accurately recognize the posture of suction. In this electronic component recognition device, since the position data corresponding to the imaging position of the recognition target component is used, the XY moving mechanism for moving the component can be appropriately controlled, and thereby the component's suction posture and the like can be accurately recognized.

【0010】また、第1位置も第2位置も、部品認識カ
メラの焦点深度内にあるので、認識可能な明確さで、電
子部品の画像を十分に認識でき、その部品認識カメラを
部品種別毎に設置する必要もない。そして、他の構成要
件、すなわち装着ヘッド、照明器具、ヘッド昇降機構、
XY移動機構なども、例えば電子部品装着装置などにお
ける既存の機構なので、それらを利用でき、これによ
り、機構(構造)等が複雑になることはない。
Since both the first position and the second position are within the depth of focus of the component recognition camera, the image of the electronic component can be sufficiently recognized with recognizable clarity. There is no need to install it. And other components, namely the mounting head, the lighting equipment, the head elevating mechanism,
Since the XY moving mechanism and the like are also existing mechanisms in, for example, an electronic component mounting apparatus, they can be used, so that the mechanism (structure) and the like do not become complicated.

【0011】さらに、従来においても必要としていた基
準の位置データを、撮像位置に応じたものとするだけな
ので、制御が煩雑になることもない。したがって、この
電子部品認識装置では、既存の機構を利用しつつ、認識
対象部品の種別等に応じて撮像位置を変更しても、その
部品の吸着姿勢などを正確に認識できる。なお、一方の
撮像位置、すなわち、第1位置または第2位置が、部品
認識カメラの焦点位置であれば、それについては、既存
の位置データを利用できるので、既存の装置からの流用
性がさらに向上する。
Further, since the reference position data which has been required in the past is merely made to correspond to the imaging position, the control does not become complicated. Therefore, the electronic component recognition device can accurately recognize the suction posture of the component even if the imaging position is changed according to the type of the component to be recognized, etc., while using the existing mechanism. If one of the imaging positions, that is, the first position or the second position is the focus position of the component recognition camera, the existing position data can be used, so that the applicability from the existing device is further improved. improves.

【0012】請求項1の電子部品認識装置において、前
記位置データには、XY方向の偏位データが含まれ、こ
の偏位データは、前記撮像位置を前記部品認識カメラの
焦点位置としたときの視野中心の位置データに含まれる
偏位データを、前記電子部品の昇降における軸線と前記
部品認識カメラの光軸との間の角度の相違に基づく偏差
で補正したものであることが好ましい。
In the electronic component recognition apparatus according to the first aspect, the position data includes XY-direction deviation data, and the deviation data is obtained when the imaging position is set as the focal position of the component recognition camera. It is preferable that the deviation data included in the position data of the center of the visual field is corrected by a deviation based on a difference in angle between the axis of the electronic component and the optical axis of the component recognition camera.

【0013】この電子部品認識装置では、位置データに
XY方向の偏位データを含むので、この位置データに基
づく部品認識カメラの座標系において、認識対象部品の
XY方向の位置偏差(偏位)を認識することができる。
また、この電子部品認識装置を適用した例えば電子部品
装着装置では、その認識結果に基づいて、吸着された認
識対象部品のXY方向のずれを検出して補正等をするこ
とができる。
In this electronic component recognizing device, the position data includes the deviation data in the X and Y directions. Therefore, in the coordinate system of the component recognition camera based on the position data, the position deviation (deviation) in the X and Y directions of the component to be recognized is determined. Can be recognized.
Also, for example, in an electronic component mounting device to which the electronic component recognition device is applied, based on the recognition result, it is possible to detect a shift in the XY direction of the picked-up recognition target component and perform correction or the like.

【0014】また、撮像位置を部品認識カメラの焦点位
置としたときの視野中心の位置データに含まれる偏位デ
ータ、すなわち、従来における基準の位置データに含ま
れる偏位データを、電子部品の昇降における軸線と部品
認識カメラの光軸との間の角度の相違に基づく偏差で補
正するだけで、第1位置や第2位置における位置データ
の偏位データを得ることができる。したがって、認識対
象部品の種別等に応じて撮像位置を変更しても、既存の
機構ばかりでなく、既存の位置データをも利用できるの
で、既存の装置からの流用性がさらに向上する。
The displacement data contained in the position data of the center of the field of view when the imaging position is set as the focal position of the component recognition camera, that is, the displacement data contained in the conventional reference position data, is used to move the electronic component up and down. The deviation data of the position data at the first position and the second position can be obtained only by correcting the deviation based on the difference between the angle between the axis at and the optical axis of the component recognition camera. Therefore, even if the imaging position is changed according to the type of the recognition target component or the like, not only the existing mechanism but also the existing position data can be used, so that the applicability from the existing device is further improved.

【0015】請求項1または2の電子部品認識装置にお
いて、前記位置データには、撮像における倍率データが
含まれることが好ましい。
[0015] In the electronic component recognition apparatus according to claim 1 or 2, it is preferable that the position data include magnification data in imaging.

【0016】この電子部品装着装置では、位置データに
撮像における倍率データを含むので、部品種別等により
認識対象部品の撮像位置が異なる場合、すなわち部品認
識カメラと認識対象部品との距離が異なっても、その相
違による偏差を認識できる。このため、この電子部品認
識装置を適用した例えば電子部品装着装置では、その認
識結果に基づいて、認識対象部品の例えばリード間、ピ
ン間、ハンダボール間のピッチなどを正確に認識して補
正等をすることができる。
In this electronic component mounting apparatus, since the position data includes magnification data in imaging, the imaging position of the recognition target component differs depending on the component type or the like, that is, even if the distance between the component recognition camera and the recognition target component differs. , The difference due to the difference can be recognized. For this reason, for example, an electronic component mounting apparatus to which this electronic component recognition device is applied, based on the recognition result, accurately recognizes, for example, pitches between leads, between pins, between solder balls, and the like, and performs correction, etc. Can be.

【0017】また、請求項1ないし3のいずれかの電子
部品認識装置において、前記位置データには、水平面内
における回転角度データが含まれることが好ましい。
Preferably, in the electronic component recognition device according to any one of claims 1 to 3, the position data includes rotation angle data in a horizontal plane.

【0018】この電子部品装着装置では、位置データに
水平面内における回転角度データを含むので、この位置
データに基づく部品認識カメラの座標系において、認識
対象部品の吸着角度の偏差を認識することができる。ま
た、この電子部品認識装置を適用した例えば電子部品装
着装置では、その認識結果に基づいて、吸着された認識
対象部品の吸着角度のずれを検出して補正等をすること
ができる。
In this electronic component mounting apparatus, since the position data includes the rotation angle data in the horizontal plane, the deviation of the suction angle of the recognition target component can be recognized in the coordinate system of the component recognition camera based on the position data. . In addition, for example, in an electronic component mounting device to which the electronic component recognition device is applied, it is possible to detect and correct a shift in the suction angle of the suctioned recognition target component based on the recognition result.

【0019】[0019]

【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して、本発
明の一実施形態に係る電子部品認識装置を適用した電子
部品装着装置について説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, an electronic component mounting apparatus to which an electronic component recognition apparatus according to an embodiment of the present invention is applied will be described with reference to the accompanying drawings.

【0020】図1は電子部品装着装置の平面図であり、
この電子部品装着装置1は、いわゆる多機能チップマウ
ンタであり、チップコンデンサやチップ抵抗などの回路
素子部品Spや、QFP(Quad Flat Package )などの
多リードパッケージ部品(多リード部品)Slなどの
他、単数または複数のベアチップを搭載したPGA(Pi
n Grid Array)やBGA(Ball Grid Array )などのエ
リアアレイパッケージ部品(グリッド部品)Sgなど、
各種の電子部品S(Sp、Sl、Sg)を実装できるよ
うに構成されている。
FIG. 1 is a plan view of an electronic component mounting apparatus.
The electronic component mounting apparatus 1 is a so-called multifunctional chip mounter, and includes other components such as a circuit element component Sp such as a chip capacitor and a chip resistor and a multi-lead package component (multi-lead component) Sl such as a QFP (Quad Flat Package). , PGA with one or more bare chips (Pi
area array package parts (grid parts) Sg such as n Grid Array) and BGA (Ball Grid Array)
It is configured such that various electronic components S (Sp, Sl, Sg) can be mounted.

【0021】同図に示すように、電子部品装着装置1
は、機台2と、機台2の中央部に左右方向に延在するコ
ンベア部3と、機台2の前部(図示の下側)に配設した
第1部品供給部4aと、機台2の後部(図示の上側)に
配設した第2部品供給部4bと、機台2の前部に移動自
在に配設した第1XYステージ6aと、機台2の後部に
移動自在に配設した第2XYステージ6bとを備えてい
る。
As shown in FIG.
A machine unit 2, a conveyor unit 3 extending in the left-right direction at the center of the machine unit 2, a first component supply unit 4 a arranged at the front (lower side in the figure) of the machine unit 2, A second component supply unit 4b disposed at the rear (upper side in the drawing) of the table 2, a first XY stage 6a movably disposed at the front of the table 2, and a movably disposed at the rear of the table 2; And the second XY stage 6b provided.

【0022】第1XYステージ6aには、電子部品Sを
吸着および装置するための第1ヘッドユニット8aが、
同様に第2XYステージ6bには、第2ヘッドユニット
8bがそれぞれ搭載されている。各ヘッドユニット8
(8a、8b)には、支持部材10に取り付けるように
して、1台の基板認識カメラ11と2台の装着ヘッド1
2,12とが搭載されている。
On the first XY stage 6a, there is provided a first head unit 8a for sucking and mounting the electronic component S.
Similarly, the second head unit 8b is mounted on the second XY stage 6b. Each head unit 8
(8a, 8b) includes one substrate recognition camera 11 and two mounting heads 1 so as to be attached to the support member 10.
2 and 12 are mounted.

【0023】また、機台2上には、コンベア部3を挟ん
で、各一対2組の部品認識ユニット60と、2台のノズ
ルストッカ14とが、それぞれ配設されている。この場
合、前部に位置する一対の部品認識ユニット60および
ノズルストッカ14は第1ヘッドユニット8aに対応
し、後部に位置する一対の部品認識ユニット60および
ノズルストッカ14は第2ヘッドユニット8bに対応し
ている。また、前部のノズルストッカ14の近傍には、
後述するダミー部品40を収容する偏位認識ユニット1
5が配設されている。
Further, on the machine base 2, a pair of two sets of component recognition units 60 and two nozzle stockers 14 are respectively arranged with the conveyor section 3 interposed therebetween. In this case, the pair of component recognition units 60 and the nozzle stocker 14 located at the front correspond to the first head unit 8a, and the pair of component recognition units 60 and the nozzle stocker 14 located at the rear correspond to the second head unit 8b. doing. In the vicinity of the front nozzle stocker 14,
Deflection recognition unit 1 for accommodating a dummy component 40 described later
5 are provided.

【0024】この電子部品装着装置1では、表面実装部
品などの小さい電子部品Sは、第1部品供給部4aおよ
び第2部品供給部4bから供給され、多ピンIC部品な
ど大きい電子部品Sは、図示しないトレイ形式の部品供
給部から供給される。また、基板は、コンベア部3によ
り左方から供給されて機台2中央に不動にセットされ、
右方に排出される。なお、通常、第1XYステージ6a
と第2XYステージ6bとは交互運転となる。
In this electronic component mounting apparatus 1, a small electronic component S such as a surface mount component is supplied from a first component supply unit 4a and a second component supply unit 4b, and a large electronic component S such as a multi-pin IC component is It is supplied from a tray type component supply unit (not shown). The substrate is supplied from the left side by the conveyor unit 3 and is immovably set at the center of the machine base 2.
It is discharged to the right. Normally, the first XY stage 6a
And the second XY stage 6b are operated alternately.

【0025】例えば、第1XYステージ6aを用いる電
子部品Sの実装では、第1XYステージ6aにより、第
1ヘッドユニット8aを第1部品供給部(他の部品供給
部でも可)4aに臨ませ、ヘッド昇降機構26により装
着ヘッド12を下降させて所望の電子部品Sを吸着す
る。
For example, in mounting the electronic component S using the first XY stage 6a, the first XY stage 6a allows the first head unit 8a to face the first component supply unit (other component supply unit is possible) 4a, and The mounting head 12 is lowered by the elevating mechanism 26 to suck a desired electronic component S.

【0026】続いて装着ヘッド12を所定の位置まで上
昇させてから、電子部品Sを部品認識ユニット60の部
品認識カメラ13に臨ませ、同様にして装着ヘッド12
を降昇させて電子部品Sの吸着姿勢を認識し、更に第1
ヘッドユニット8aを基板の所定の位置まで移動させ、
同様に、基板認識カメラ11で基板位置と基板上の装着
位置を認識した後、電子部品Sを基板に装着する。
Subsequently, after the mounting head 12 is raised to a predetermined position, the electronic component S is made to face the component recognition camera 13 of the component recognition unit 60.
Is lifted up and the suction posture of the electronic component S is recognized.
Move the head unit 8a to a predetermined position on the substrate,
Similarly, after the board position and the mounting position on the board are recognized by the board recognition camera 11, the electronic component S is mounted on the board.

【0027】その際、部品認識カメラ13の認識結果に
基づいて、設計値(装着ヘッドのノズル位置)と吸着し
た電子部品Sの吸着姿勢(吸着位置や吸着角度等)との
間の偏差の補正が行われ、基板認識カメラ11の認識結
果に基づいて、設計値と基板位置および基板上の装着位
置との間の偏差の補正が行われる。
At this time, based on the recognition result of the component recognition camera 13, correction of a deviation between a design value (nozzle position of the mounting head) and a suction posture (suction position, suction angle, etc.) of the sucked electronic component S is corrected. Is performed, and the deviation between the design value, the board position, and the mounting position on the board is corrected based on the recognition result of the board recognition camera 11.

【0028】なお、この場合、画像認識により、その認
識対象部品の吸着姿勢を、部品認識カメラ13の座標系
におけるX・Y方向および角度θ(以下、角度θをZ方
向として表現する)の値として認識し、その認識結果に
基づいてその吸着姿勢の補正を行った後、その電子部品
Sを基板に装着する。
In this case, by image recognition, the suction posture of the recognition target component is represented by the values of the X and Y directions and the angle θ (hereinafter, the angle θ is expressed as the Z direction) in the coordinate system of the component recognition camera 13. After correcting the suction attitude based on the recognition result, the electronic component S is mounted on the board.

【0029】また、同様に、基板認識カメラ11による
位置の認識においても、基板認識カメラの座標系におけ
るX・Y・Z方向の値として認識し、その認識結果に基
づいて位置補正が行われる。
Similarly, in the position recognition by the board recognizing camera 11, the values are recognized as values in the X, Y and Z directions in the coordinate system of the board recognizing camera, and the position is corrected based on the recognition result.

【0030】コンベア部3は、中央のセットテーブル1
6と、左側の搬入搬送路17と、右側の搬出搬送路18
とを有している。基板は、搬入搬送路17からセットテ
ーブル16に供給され、セットテーブル16で電子部品
Sの装着を受けるべく不動にかつ所定の高さにセットさ
れる。そして、電子部品Sの装着が完了した基板は、セ
ットテーブル16から搬出搬送路18を介して排出され
る。
The conveyor unit 3 includes a set table 1 at the center.
6, a carry-in conveyance path 17 on the left and a carry-out conveyance path 18 on the right
And The substrate is supplied from the carry-in conveyance path 17 to the set table 16, and is immovably set at a predetermined height at the set table 16 so that the electronic component S is mounted. Then, the substrate on which the electronic components S have been mounted is discharged from the set table 16 via the unloading conveyance path 18.

【0031】この場合、搬入搬送路17には供給待機状
態の基板が有り、また搬出搬送路18には排出待機状態
の基板が有り(図示では省略)、これらの基板は順送り
で搬送される。なお、詳細は後述するが、セットテーブ
ル16における基板の突当端が装置全体の絶対基準座標
系の原点となる。
In this case, the carry-in transport path 17 has substrates in a supply standby state, and the carry-out transport path 18 has substrates in a discharge standby state (not shown), and these substrates are transported sequentially. As will be described in detail later, the abutting end of the substrate on the set table 16 is the origin of the absolute reference coordinate system of the entire apparatus.

【0032】第1部品供給部4aおよび第2部品供給部
4bは、いずれも多数のテープカセット19を横並びに
配設したものである。各テープカセット19には、キャ
リアテープ(図示では省略)に装填された状態で電子部
品Sが収容され、電子部品Sはテープカセット19の先
端から1つずつ供給される。
Each of the first component supply section 4a and the second component supply section 4b has a number of tape cassettes 19 arranged side by side. Each of the tape cassettes 19 contains the electronic components S loaded in a carrier tape (not shown), and the electronic components S are supplied one by one from the leading end of the tape cassette 19.

【0033】通常の運転において、第1ヘッドユニット
8aが装着動作している場合には、第2部品供給部4b
でテープカセット19の交換作業が行われ、第2ヘッド
ユニット8bが装着動作している場合には、第1部品供
給部4aでテープカセット19の交換作業が行われる。
In the normal operation, when the first head unit 8a is in the mounting operation, the second component supply unit 4b
When the second head unit 8b is in the mounting operation, the tape cassette 19 is replaced by the first component supply unit 4a.

【0034】第1XYステージ6aおよび第2XYステ
ージ6bは、機台2の左右両端部に配設した一対のY軸
ガイドレール21に案内されて、前後方向(Y軸方向)
に移動するY動ビーム22を、それぞれ有している。
The first XY stage 6a and the second XY stage 6b are guided by a pair of Y-axis guide rails 21 disposed on both right and left ends of the machine base 2, and are moved in the front-rear direction (Y-axis direction).
, Respectively.

【0035】第1XYステージ6aのY動ビーム22
は、左部の図外のボールねじおよびこれを回転させるY
軸モータ(Yモータ:図2参照)により、Y軸方向(前
後方向)に進退する。同様に、第2XYステージ6bの
Y動ビーム22は、右部の図外のボールねじおよびこれ
を回転させるY軸モータ(Yモータ)により、Y軸方向
に進退する。
The Y motion beam 22 of the first XY stage 6a
Is a ball screw (not shown) on the left and Y for rotating the ball screw.
It is advanced and retracted in the Y-axis direction (front-back direction) by an axis motor (Y motor: see FIG. 2). Similarly, the Y motion beam 22 of the second XY stage 6b advances and retreats in the Y axis direction by a ball screw (not shown) on the right and a Y axis motor (Y motor) for rotating the same.

【0036】一方、両Y動ビーム22、22は全く同一
のものであり、それぞれX軸ガイドレール23を有し、
上記の駆動系と同様に、図外のボールねじおよびX軸モ
ータ(Yモータ:図2参照)の構成で、上記の各ヘッド
ユニット8a、8bをX軸方向(左右方向)に進退させ
る。このように、各ヘッドユニット8a、8bは、X軸
方向およびY軸方向、すなわち水平面内において移動自
在となっている。
On the other hand, both Y motion beams 22, 22 are exactly the same, each having an X-axis guide rail 23,
Similarly to the above-described drive system, the head units 8a and 8b are advanced and retracted in the X-axis direction (left-right direction) with the configuration of a ball screw and an X-axis motor (Y motor: see FIG. 2) not shown. Thus, each of the head units 8a and 8b is movable in the X-axis direction and the Y-axis direction, that is, in the horizontal plane.

【0037】各ヘッドユニット8(8a、8b)は、Y
動ビーム22によりX軸方向に移動する支持部材10
と、支持部材10に取り付けられたヘッド昇降機構26
と、ヘッド昇降機構26により必要に応じて昇降する2
個の装着ヘッド12と、両装着ヘッド12、12間に配
置した1個の基板認識カメラ11とを備えている。基板
認識カメラ11は、各基板の基準マークを認識するもの
であり、基準マークが電子部品Sの装着位置の基準とな
る。
Each head unit 8 (8a, 8b)
Support member 10 moved in the X-axis direction by moving beam 22
And a head elevating mechanism 26 attached to the support member 10
To be moved up and down as necessary by the head elevating mechanism 26 2
The mounting head 12 includes one mounting head 12 and one board recognition camera 11 disposed between the mounting heads 12 and 12. The board recognition camera 11 recognizes a reference mark on each board, and the reference mark serves as a reference for the mounting position of the electronic component S.

【0038】次に、図2を参照して、この電子部品装着
装置1の制御ユニット100について説明する。なお、
この説明では第1XYステージ6a側についてのみ、ま
た、部品認識ユニット60やヘッドユニット8について
は1台についてのみ、説明する。
Next, the control unit 100 of the electronic component mounting apparatus 1 will be described with reference to FIG. In addition,
In this description, only the first XY stage 6a side and only one component recognition unit 60 and one head unit 8 will be described.

【0039】同図に示すように、制御ユニット100に
は、XYステージ6を介してヘッドユニット8をXY方
向に移動させるXモータ101およびYモータ102
と、装着ヘッド12に搭載したZモータ(回転)103
とが接続されている。Xモータ101、Yモータ102
およびZモータ103は、それぞれXモータドライバ1
04、Yモータドライバ105およびZモータドライバ
106を介して、これらを統括制御するCPU107に
接続されている。
As shown in FIG. 1, the control unit 100 includes an X motor 101 and a Y motor 102 for moving the head unit 8 in the XY directions via the XY stage 6.
And a Z motor (rotation) 103 mounted on the mounting head 12
And are connected. X motor 101, Y motor 102
X motor driver 1 and Z motor 103
04, via a Y motor driver 105 and a Z motor driver 106, are connected to a CPU 107 which controls them collectively.

【0040】同様に、ヘッドユニット8はヘッドユニッ
トドライバ108を介して、また、基板認識カメラ11
および部品認識カメラ13は、それぞれ基板画像処理部
111および部品画像処理部109を介して、CPU1
07に接続されている。また、同様に、後述の部品認識
照明61および偏位認識照明34は、それぞれ部品認識
照明ドライバ110および偏位認識照明ドライバ112
を介して、CPU107に接続されている。
Similarly, the head unit 8 is connected to the board recognition camera 11 via the head unit driver 108.
And the component recognition camera 13 via the board image processing unit 111 and the component image processing unit 109, respectively.
07. Similarly, a component recognition illumination driver 61 and a deflection recognition illumination driver 112, which will be described later, are a component recognition illumination driver 110 and a deflection recognition illumination driver 112, respectively.
Is connected to the CPU 107 via the.

【0041】また、CPU107にはメモリ120が接
続されており、メモリ120は、後述の焦点位置で認識
される電子部品Sのための第1データ領域121や、焦
点位置以外で認識される電子部品Sのための第2データ
領域122を有している。
Further, a memory 120 is connected to the CPU 107. The memory 120 includes a first data area 121 for an electronic component S recognized at a focal position, which will be described later, and an electronic component recognized at a position other than the focal position. It has a second data area 122 for S.

【0042】これらには、各認識対象部品を認識し、か
つ、それらの認識結果を補正するための後述の位置デー
タ、すなわち、それぞれ、第1偏位(オフセット)デー
タ121dおよび第1倍率(ズーム)データ121z、
並びに、第2オフセットデータ122dおよび第2ズー
ムデータ122zが記憶されている。
These include position data, which will be described later, for recognizing each recognition target component and correcting the recognition result, that is, the first displacement (offset) data 121d and the first magnification (zoom), respectively. ) Data 121z,
Further, the second offset data 122d and the second zoom data 122z are stored.

【0043】また、メモリ120には、これらの他、基
板認識カメラ11の座標系の偏位を補正するためのオフ
セットデータや、上記の各モータ104、105、10
6や各認識カメラ11,13を制御するための設計値デ
ータなどが記憶されている。
The memory 120 also stores offset data for correcting the deviation of the coordinate system of the board recognition camera 11 and the above-mentioned motors 104, 105,
6 and design value data for controlling the recognition cameras 11 and 13 are stored.

【0044】各オフセットデータは、後述する偏位の算
出作業により更新され、CPU107は設計値データを
各オフセットデータで補正して、各モータ104、10
5、106や各認識カメラ11、13を制御する。な
お、各認識カメラ(CCDカメラ)11、13による撮
像対象物の認識は、撮像結果を各画像処理部111、1
09で二値化等の処理を行った後、これをCPU107
で演算処理することで、行われる。
Each offset data is updated by a displacement calculation operation described later, and the CPU 107 corrects the design value data with each offset data, and corrects each motor 104, 10.
5 and 106 and the recognition cameras 11 and 13 are controlled. Recognition of the object to be imaged by each of the recognition cameras (CCD cameras) 11 and 13 is performed by using the image processing results of the image processing units 111 and
After performing processing such as binarization in step 09,
This is performed by performing arithmetic processing in.

【0045】部品認識ユニット60は、部品認識カメラ
13と部品認識照明61とを備えている。部品認識照明
61は、図3ないし図5に示すように、回路素子部品S
pや多リード部品Sl用の反射照明となるLED群61
aおよび透過照明となるLED群61b、並びに、グリ
ッド部品Sg用の照明となるLED群61gなどの、多
数のLEDを有するLEDアレイなどにより内周面が構
成されていて、認識対象となる電子部品Sの種類により
各LEDを選択点灯する。
The component recognition unit 60 includes the component recognition camera 13 and the component recognition illumination 61. The component recognition illumination 61 is, as shown in FIGS.
LED group 61 serving as reflective illumination for p and multi-lead components Sl
a and an LED array having a large number of LEDs, such as an LED group 61b serving as a transmission illumination and an LED group 61g serving as an illumination for a grid component Sg, and an inner peripheral surface of which is an electronic component to be recognized. Each LED is selectively lit according to the type of S.

【0046】一方、各装着ヘッド12は、ヘッド昇降機
構26により所定の範囲を昇降するようにヘッドユニッ
ト8に搭載され(図2参照)、ヘッド透過照明12a、
拡散板12b、拡散板12cを有する他、その下端部に
は、図外の真空吸引装置に接続された吸着ノズル25が
着脱自在に取り付けられている。なお、各装着ヘッド1
2には、吸着ノズル25を介して電子部品Sを水平面内
で回転させるモータ(図示省略)が組み込まれている。
On the other hand, each mounting head 12 is mounted on the head unit 8 so as to be moved up and down a predetermined range by a head elevating mechanism 26 (see FIG. 2).
In addition to the diffusion plate 12b and the diffusion plate 12c, a suction nozzle 25 connected to a vacuum suction device (not shown) is detachably attached to the lower end thereof. Each mounting head 1
2, a motor (not shown) for rotating the electronic component S in a horizontal plane via the suction nozzle 25 is incorporated.

【0047】例えば、図3に示すように、反射照明のL
ED群61aを利用した部品認識では、回路素子部品S
pや多リード部品Slなどの電子部品S(例えば図示の
Sa)を認識対象の電子部品(認識対象部品)として、
周囲のリードピンPlなどを認識するために、反射光L
aを電子部品Saに反射させる。
For example, as shown in FIG.
In the component recognition using the ED group 61a, the circuit element component S
An electronic component S (for example, Sa in the drawing) such as p or a multi-lead component Sl is regarded as an electronic component to be recognized (a recognition target component).
The reflected light L is used to recognize the surrounding lead pins P1 and the like.
a is reflected by the electronic component Sa.

【0048】この場合、基板に装着するために吸着ノズ
ル25で吸着した電子部品(認識対象部品)Saを、部
品認識カメラ13の焦点が合う所定の撮像位置、すなわ
ち焦点面位置(焦点位置)Fpまで下降させ、反射照明
61lからの反射光Laによって、電子部品Saの像を
部品認識カメラ13で撮像して部品認識を行う。
In this case, the electronic component (component to be recognized) Sa sucked by the suction nozzle 25 to be mounted on the substrate is moved to a predetermined imaging position where the component recognition camera 13 is focused, that is, a focal plane position (focal position) Fp And the component recognition camera 13 captures an image of the electronic component Sa using the reflected light La from the reflected illumination 611 to perform component recognition.

【0049】また、例えば、図4に示すように、ヘッド
透過照明12aを利用した部品認識では、前述の図3と
同様の電子部品S(例えば図示のSb)を認識対象部品
として、その部品の陰影(シルエット)などを認識する
ために、電子部品Sbを焦点位置Fpまで下降させ、透
過光Lbによって、電子部品Sbの像を部品認識カメラ
13で撮像して部品認識を行う。
For example, as shown in FIG. 4, in component recognition using the head transmitted illumination 12a, an electronic component S (for example, Sb shown in FIG. 3) similar to FIG. In order to recognize a shadow (silhouette) or the like, the electronic component Sb is lowered to the focal position Fp, and an image of the electronic component Sb is captured by the component recognition camera 13 using the transmitted light Lb to perform component recognition.

【0050】また、透過照明のLED群61bを利用し
た部品認識では、透過光Lcを拡散板12cに反射させ
ることによって、同様に、電子部品Scの部品認識を行
う。
In the component recognition using the LED group 61b of the transmitted illumination, the transmitted light Lc is reflected by the diffusion plate 12c to similarly recognize the electronic component Sc.

【0051】これらの場合、前述の第1オフセットデー
タ121dに基づく部品認識カメラ13の座標系におい
て、画像認識により、その電子部品(認識対象部品)S
の吸着姿勢(吸着位置や吸着角度等)を、X・Y・Z方
向の値として認識し、その認識結果に基づいてその吸着
姿勢の補正を行った後、その電子部品Sを基板に装着す
る。
In these cases, in the coordinate system of the component recognition camera 13 based on the first offset data 121d, the electronic component (recognition target component) S is recognized by image recognition.
The suction posture (suction position, suction angle, etc.) of the device is recognized as a value in the X, Y, and Z directions, the suction posture is corrected based on the recognition result, and the electronic component S is mounted on the board. .

【0052】すなわち、一般に、視野中心の位置が定ま
れば、そのデータ(位置データ)に基づいて部品認識カ
メラの座標系を定めることができるので、上記の場合、
視野中心の適切な位置データを第1オフセットデータ1
21dとして記憶しておき、部品認識カメラ13の視野
中心に合うように、装着ヘッド12の移動(位置)を制
御することにより、第1オフセットデータ121dに基
づく座標系において、適切な撮像画像のデータを得るこ
とができ、その吸着姿勢を認識できる。
That is, generally, when the position of the center of the visual field is determined, the coordinate system of the component recognition camera can be determined based on the data (position data).
Appropriate position data of the center of the field of view is first offset data 1
By controlling the movement (position) of the mounting head 12 so as to match the center of the field of view of the component recognition camera 13, the data of the captured image is appropriately stored in the coordinate system based on the first offset data 121 d. Can be obtained, and the suction posture can be recognized.

【0053】ところで、PGAやBGAなどのグリッド
部品Sgでは、その部品Sgの下面(エリア)に、(P
GAの)ピンや(BGAの)ハンダボール(以下「ハン
ダボール等」)Hbが網(グリッド)状に配設されてい
る(図6参照)ので、透過光による部品認識では、その
種別を認識することができない。また、多リード品Sl
等のようにその周辺の形態、すなわちリードPlの形態
(図7参照)によってその種別を認識することもできな
い。
By the way, in a grid component Sg such as PGA or BGA, (P) is placed on the lower surface (area) of the component Sg.
Since the pins (GA) and the solder balls (BGA) (hereinafter referred to as “solder balls”) Hb are arranged in a net (grid) shape (see FIG. 6), the types are recognized in the component recognition using transmitted light. Can not do it. In addition, multi-lead products Sl
And the like, the type cannot be recognized by its peripheral form, that is, the form of the lead Pl (see FIG. 7).

【0054】また、グリッド部品Sgは、その種類によ
り、ハンダボール等Hbのピッチが異なる他、メタリッ
ク系のパッケージにおいては、反射光に対してハンダボ
ール等Hbのコントラストが取りにくく、さらに、ハン
ダボール等Hbが欠けていても、その背景のパッケージ
による反射(背面反射)によりそれを認識できない、な
どの問題があり、上述した多リード部品Sl等とは異な
る角度の光を電子部品S(Sg)に照射する必要があ
る。
The pitch of the solder balls Hb differs depending on the kind of the grid component Sg. In a metallic package, the contrast of the solder balls Hb to the reflected light is hard to be obtained. Even if Hb is missing, there is a problem that it cannot be recognized due to the reflection (back reflection) by the package in the background, and the electronic component S (Sg) emits light having an angle different from that of the multi-lead component Sl described above. Need to be irradiated.

【0055】そこで、この電子部品装着装置1では、認
識対象部品がグリッド部品Sgのときには、図5に示す
ように、他のLED群61a、61bより上方に配設し
たLED群61gをグリッド部品Sg用の照明として利
用し、背面反射の影響がより少ない照明光(反射光)L
g1によって、部品認識を行う。
Therefore, in the electronic component mounting apparatus 1, when the component to be recognized is the grid component Sg, as shown in FIG. 5, the LED group 61g disposed above the other LED groups 61a and 61b is connected to the grid component Sg. Light (reflected light) L that is less affected by back reflection
Component recognition is performed by g1.

【0056】また、認識対象の電子部品Sが特にBGA
などの場合、その種類によっては、相対的にさらに上方
の照明光の方が良いものもあり、この場合、同図に示す
ように、部品認識カメラ13の焦点深度Fd内の下端位
置まで、その電子部品Sgを下降させ、照明光Lg2に
よって、部品認識を行う。
The electronic component S to be recognized is particularly a BGA
In some cases, depending on the type, the illumination light relatively higher is better, and in this case, as shown in the figure, the illumination light reaches the lower end position within the depth of focus Fd of the component recognition camera 13. The electronic component Sg is lowered, and component recognition is performed using the illumination light Lg2.

【0057】しかし、上記の場合、すなわち部品種別等
によりその認識対象の電子部品Sの撮像位置が異なる場
合に、部品認識カメラ13の座標系の基準とすべき位置
データとして、撮像位置が焦点位置Fpの場合と同じ位
置データを用いたのでは、その部品の吸着姿勢(吸着位
置や吸着角度等)などを正確に認識できない。
However, in the above case, that is, when the imaging position of the electronic component S to be recognized is different depending on the component type or the like, as the position data to be used as the reference of the coordinate system of the component recognition camera 13, the imaging position is the focal position. If the same position data as in the case of Fp is used, it is not possible to accurately recognize the suction posture (suction position, suction angle, etc.) of the component.

【0058】例えば、上述のグリッド部品Sgなどで
は、ハンダボール等Hbのピッチのみが異なる別種の部
品が存在するので、各ピッチなどを正確に認識する必要
がある。上記の場合、部品認識カメラ13と認識対象部
品S(撮像位置)との距離が異なるため、各ハンダボー
ル等Hb間のピッチを正確に認識して補正するために
は、その撮像倍率をその補正に反映させる必要がある。
For example, in the above-described grid component Sg and the like, since there are other types of components such as solder balls that differ only in the pitch of Hb, it is necessary to accurately recognize each pitch and the like. In the above case, since the distance between the component recognition camera 13 and the recognition target component S (imaging position) is different, in order to accurately recognize and correct the pitch between the solder balls Hb and the like, the imaging magnification must be corrected. Need to be reflected in

【0059】また、ヘッド昇降機構26により装着ヘッ
ド12を昇降させるときの、その昇降における軸線と部
品認識カメラ13の光軸との間に、角度のズレが生じ得
るので、その角度の相違に基づく偏差も補正に反映させ
る必要がある。
When the mounting head 12 is raised and lowered by the head raising and lowering mechanism 26, an angle deviation may occur between the axis of the mounting and lowering and the optical axis of the component recognition camera 13. The deviation must be reflected in the correction.

【0060】このため、電子部品装着装置1では、図2
で前述のように、メモリ120の第1データ領域121
内に、撮像位置を焦点位置Fpとしたときの位置データ
として、第1オフセットデータ121dの他、そのとき
の撮像倍率を示す第1ズームデータ121zを記憶して
いる。
For this reason, in the electronic component mounting apparatus 1, FIG.
As described above, the first data area 121 of the memory 120
Inside, as the position data when the imaging position is set to the focal position Fp, first zoom data 121z indicating the imaging magnification at that time is stored in addition to the first offset data 121d.

【0061】また、同じくメモリ120の第2データ領
域122内には、図5で上述したグリッド部品Sg(特
にBGA)用の撮像位置の位置データ、すなわち撮像位
置を上述の焦点深度Fd内の下端位置としたときの位置
データとして、第2オフセットデータ122dおよびそ
のときの撮像倍率を示す第2ズームデータ121zを記
憶している。
Similarly, in the second data area 122 of the memory 120, the position data of the imaging position for the grid component Sg (particularly, BGA) described above with reference to FIG. The second offset data 122d and the second zoom data 121z indicating the imaging magnification at that time are stored as the position data when the position is set.

【0062】なお、これらの位置データは、所定の基準
となる仕様に基づいて作製されて常備された後述のダミ
ー部品40(DSg:図6参照、DSl:図7参照)を
用いて、各撮像位置において撮像した画像から予め算出
して、上記のメモリ120内に格納されたものである。
すなわち、実際に部品認識カメラ13により撮像した結
果を、これらの位置データに基づいて適切に補正でき
る。
The position data is obtained by using a dummy part 40 (DSg: see FIG. 6; DS1: see FIG. 7), which will be described later, which is prepared and provided on the basis of a predetermined standard specification. This is calculated in advance from an image captured at the position and stored in the memory 120.
That is, the result of actual imaging by the component recognition camera 13 can be appropriately corrected based on these position data.

【0063】したがって、この電子部品装着装置1で
は、認識対象の電子部品Sの撮像位置に応じた位置デー
タを用いるので、その部品Sを移動させるXYステージ
6、ヘッドユニット8、ヘッド昇降機構26などを適切
に制御でき、これにより、部品の吸着姿勢などを正確に
認識して、その(吸着姿勢の)偏差を補正できる。
Therefore, in the electronic component mounting apparatus 1, since the position data corresponding to the imaging position of the electronic component S to be recognized is used, the XY stage 6, the head unit 8, the head elevating mechanism 26 for moving the component S, etc. Can be appropriately controlled, thereby accurately recognizing the suction attitude of the component and correcting the deviation (of the suction attitude).

【0064】なお、上述の例では、多リード部品Sl用
の撮像位置を部品認識カメラ13の焦点位置としたが、
焦点深度Fd内であれば、他の位置、例えば焦点深度F
d内の上端位置などに定めても良い。
In the above-described example, the imaging position for the multi-lead component Sl is set as the focal position of the component recognition camera 13.
If it is within the depth of focus Fd, another position, for example, the depth of focus F
It may be set at the upper end position in d.

【0065】すなわち、例えば多リード部品Slの撮像
位置を焦点深度Fd内の第1位置、グリッド部品Sgの
撮像位置を焦点深度Fd内の第2位置とした場合、この
第1位置も第2位置も、部品認識カメラ13の焦点深度
Fd内にあるので、認識可能な明確さで、電子部品Sの
画像を十分に認識でき、その部品認識カメラ13を部品
種別毎に設置する必要もない。
That is, for example, when the imaging position of the multi-lead component Sl is the first position within the depth of focus Fd and the imaging position of the grid component Sg is the second position within the depth of focus Fd, the first position is also the second position. Also, since it is within the focal depth Fd of the component recognition camera 13, the image of the electronic component S can be sufficiently recognized with recognizable clarity, and it is not necessary to install the component recognition camera 13 for each component type.

【0066】また、上述のように、複数の撮像位置を設
定しても、装置の構成として既存のものとかけ離れた機
構等を要するわけではないので、すなわち上述の装着ヘ
ッド12や部品認識カメラ13はもちろんのこと、XY
ステージ6、ヘッドユニット8、ヘッド昇降機構26、
吸着ノズル25などの電子部品Sを移動させるための機
構も既存のものを利用できるので、機構(構造)等が複
雑になることはない。
Further, as described above, even if a plurality of image pickup positions are set, a mechanism or the like which is far apart from the existing one is not required as the configuration of the apparatus, that is, the mounting head 12 and the component recognition camera 13 described above. Of course, XY
Stage 6, head unit 8, head elevating mechanism 26,
An existing mechanism for moving the electronic component S such as the suction nozzle 25 can be used, so that the mechanism (structure) and the like do not become complicated.

【0067】さらに、従来においても必要としていた基
準の位置データを、撮像位置に応じたものとするだけな
ので、制御が煩雑になることもない。したがって、この
電子部品認識装置1では、既存の機構を利用しつつ、認
識対象部品Sの種別等に応じて撮像位置を変更しても、
その部品Sの吸着姿勢などを正確に認識できる。
Further, since the reference position data which has been required in the past is merely made to correspond to the imaging position, the control does not become complicated. Therefore, in the electronic component recognition device 1, even if the imaging position is changed according to the type of the recognition target component S while using the existing mechanism,
The suction posture of the component S can be accurately recognized.

【0068】なお、一方の撮像位置、すなわち、第1位
置または第2位置(上述の例では第1位置)が、部品認
識カメラ13の焦点位置Fpの場合、それについては、
既存の位置データ(第1オフセットデータ121d、第
1ズームデータ121z)を利用できるので、既存の装
置からの流用性がさらに向上する。
When one of the imaging positions, that is, the first position or the second position (the first position in the above example) is the focal position Fp of the component recognition camera 13,
Since the existing position data (the first offset data 121d and the first zoom data 121z) can be used, the applicability from the existing device is further improved.

【0069】また、電子部品装着装置1では、前述のよ
うに、第1位置における位置データおよび第2位置にお
ける位置データに、それぞれ第1オフセットデータ12
1dおよび第2オフセットデータ122d、すなわちX
Y方向の偏位データを含むので、これらの位置データ
(偏位データ)に基づく部品認識カメラ13の座標系に
おいて、認識対象部品SのXY方向の位置偏差(偏位)
を認識することができ、その認識結果に基づいて、吸着
された認識対象部品SのXY方向のずれを検出して補正
等をすることができる。
In the electronic component mounting apparatus 1, as described above, the first offset data 12 is added to the position data at the first position and the position data at the second position.
1d and the second offset data 122d, ie, X
Since the displacement data in the Y direction is included, in the coordinate system of the component recognition camera 13 based on these position data (deviation data), the position deviation (deviation) in the XY direction of the recognition target component S in the coordinate system.
Can be recognized, and based on the recognition result, the displacement of the sucked recognition target component S in the XY directions can be detected and corrected.

【0070】以下、より具体的に、位置データやそれに
よる各種偏差の補正方法について、説明する。
Hereinafter, the method of correcting the position data and various deviations based on the position data will be described more specifically.

【0071】まず、ヘッド昇降機構26により装着ヘッ
ド12を昇降させるときの、その昇降における軸線と部
品認識カメラ13の光軸との間の角度のズレによる偏差
は、例えば前述の図5において、部品認識カメラ13に
よって、装着ヘッド12に装着した吸着ノズル25を下
側から撮像することにより、焦点位置Fpにおける吸着
ノズル25の像と、別の撮像位置(例えば図5で前述の
焦点深度Fdの下端位置)における像とを比較すること
により、得ることができる。
First, when the mounting head 12 is raised and lowered by the head raising and lowering mechanism 26, the deviation due to the deviation of the angle between the axis line and the optical axis of the component recognition camera 13 in the vertical movement is, for example, as shown in FIG. The image of the suction nozzle 25 mounted on the mounting head 12 is imaged from below by the recognition camera 13 so that the image of the suction nozzle 25 at the focal position Fp and another imaging position (for example, the lower end of the focal depth Fd described above in FIG. 5). By comparing with the image at position (1).

【0072】このため、上記の第1オフセットデータ1
21dが定まれば、第2オフセットデータ122dは、
第1オフセットデータ121dを、上記の吸着ノズル2
5の撮像により得た偏差(データ)によって補正するこ
とにより、簡単に得ることができる。
Therefore, the first offset data 1
When 21d is determined, the second offset data 122d becomes
The first offset data 121d is transferred to the suction nozzle 2
5 can be easily obtained by correcting with the deviation (data) obtained by imaging.

【0073】また、前述と同様に、多リード部品Slの
撮像位置を焦点深度Fd内の第1位置、グリッド部品S
gの撮像位置を焦点深度Fd内の第2位置とした場合で
あっても、撮像位置を部品認識カメラ13の焦点位置F
pとしたときの視野中心の位置データに含まれるオフセ
ットデータ、すなわち、従来における基準の位置データ
に含まれるオフセットデータを、上記の吸着ノズル25
の撮像により得た偏差(電子部品Sの昇降における軸線
と部品認識カメラの光軸との間の角度の相違に基づく偏
差)で補正するだけで、第1位置や第2位置における位
置データの偏位データを得ることができる。
Also, as described above, the imaging position of the multi-lead component Sl is changed to the first position within the depth of focus Fd, the grid component S
g, the imaging position is the second position within the depth of focus Fd, the imaging position is the focal position F of the component recognition camera 13.
The offset data included in the position data of the center of the field of view when p is set, that is, the offset data included in the conventional reference position data,
Of the position data at the first position and the second position only by correcting with the deviation obtained by the imaging of (i.e., the deviation based on the difference in the angle between the axis of the electronic component S and the optical axis of the component recognition camera). Position data can be obtained.

【0074】したがって、この場合、認識対象部品Sの
種別等に応じて撮像位置を変更しても、既存の機構ばか
りでなく、既存の位置データをも利用できるので、既存
の装置からの流用性がさらに向上する。なお、これらの
場合の基準となるオフセットデータの求め方については
後述する。
Therefore, in this case, even if the imaging position is changed according to the type of the recognition target component S, not only the existing mechanism but also the existing position data can be used, so that the existing device can be used. Is further improved. The method of obtaining the offset data serving as a reference in these cases will be described later.

【0075】また、焦点位置Fpにおけるオフセットデ
ータでなくても、同じく焦点深度Fp内の撮像位置のオ
フセットデータの1つを求めることができれば、それを
基準として上記の方法(吸着ノズル25の撮像)によ
り、他の(第1や第2の)オフセットデータを求めるこ
とができる。そこで、以下では、これらを代表して単に
オフセットデータという。
Even if the offset data is not the offset data at the focal position Fp, if one of the offset data at the imaging position within the depth of focus Fp can be obtained, the above-mentioned method (imaging of the suction nozzle 25) is used as a reference. Thus, other (first and second) offset data can be obtained. Therefore, hereinafter, these will be simply referred to as offset data.

【0076】次に、電子部品装着装置1では、前述のよ
うに、第1位置における位置データおよび第2位置にお
ける位置データに、それぞれ第1ズームデータ121z
および第2ズームデータ122z、すなわち撮像におけ
る倍率データを含むが、これらは、下記のダミー部品4
0(DSg、DSl)を用いて、各撮像位置において撮
像した画像から算出できる。
Next, in the electronic component mounting apparatus 1, as described above, the position data at the first position and the position data at the second position respectively include the first zoom data 121z.
And the second zoom data 122z, that is, magnification data in imaging, which are
Using 0 (DSg, DSl), it can be calculated from the images captured at each imaging position.

【0077】ダミー部品40は、所定の基準仕様に基づ
いて作製されている。まず、グリッド部品Sg対応のダ
ミー部品40(DSg)は、図6に示すように、方形の
ベース41(41g)と、ベース41(41g)の裏面
に描いた被撮像パターン42(42g)とで構成されて
いる。
The dummy component 40 is manufactured based on a predetermined standard specification. First, as shown in FIG. 6, a dummy component 40 (DSg) corresponding to the grid component Sg is composed of a square base 41 (41g) and an imaging pattern 42 (42g) drawn on the back surface of the base 41 (41g). It is configured.

【0078】また、多リード部品Sl対応のダミー部品
40(DSl)は、図7に示すように、隅部を面取りし
た方形のベース41(41l)と、ベース41(41
l)の裏面に描いた被撮像パターン42(42l)とで
構成されている。
As shown in FIG. 7, the dummy component 40 (DSl) corresponding to the multi-lead component Sl has a square base 41 (41l) with chamfered corners, and a base 41 (41l).
1) and the imaging target pattern 42 (421) drawn on the back surface.

【0079】ベース41(41g,41l)は、剛性を
考慮して1〜2mm厚程度のガラスで構成され、被撮像
パターン42(42g、42l)は、このベース41に
酸化クロムを蒸着して構成されている。
The base 41 (41g, 41l) is made of glass having a thickness of about 1 to 2 mm in consideration of rigidity, and the image-receiving pattern 42 (42g, 42l) is formed by depositing chromium oxide on the base 41. Have been.

【0080】被撮像パターン42gは、グリッド状に配
設されたハンダボール等Hbに対応して、小さな丸(ボ
ール)状のパターン要素46を、所定のピッチでグリッ
ド状に等間隔で配設した構成となっている。
In the pattern to be imaged 42g, small round (ball) pattern elements 46 are arranged at regular intervals in a grid at a predetermined pitch corresponding to solder balls Hb arranged in a grid. It has a configuration.

【0081】一方、被撮像パターン42lは、中心を同
一とする大パターン部43と、大パターン部43の中抜
き部分に描いた小パターン部44とで構成されている。
大小両パターン部43、44は、リード部品に似せた図
柄となっており、外周部にリードに相当する方形の多数
のパターン要素45を等間隔に並べ、全体として方形の
輪郭を有している。
On the other hand, the pattern to be imaged 421 is composed of a large pattern portion 43 having the same center and a small pattern portion 44 drawn in a hollow portion of the large pattern portion 43.
The large and small pattern portions 43 and 44 have a pattern resembling a lead component. A large number of rectangular pattern elements 45 corresponding to leads are arranged at equal intervals on the outer peripheral portion, and have a rectangular outline as a whole. .

【0082】そして、電子部品装着装置1では、予めこ
れらのダミー部品40(DSg、DSl)を用いて、各
撮像位置においてその像を撮像することによって、その
撮像した画像から、前述の第1ズームデータ121zお
よび第2ズームデータ122zを算出している。
The electronic component mounting apparatus 1 uses the dummy components 40 (DSg, DSl) in advance to capture the image at each image capturing position, and converts the captured image to the first zoom. Data 121z and second zoom data 122z are calculated.

【0083】すなわち、各ダミー部品40(DSg、D
Sl)のパターン要素46、45は所定の等間隔(ピッ
チ)で配設されているので、そのピッチと撮像画像上の
ピッチとの比から、その撮像倍率、すなわち、各ズーム
データ121z、122zを求めることができる。
That is, each dummy component 40 (DSg, Dg
Since the pattern elements 46 and 45 of S1) are arranged at predetermined regular intervals (pitch), the imaging magnification, that is, each of the zoom data 121z and 122z is calculated from the ratio of the pitch to the pitch on the captured image. You can ask.

【0084】なお、多リード部品DSl対応のダミー部
品DSlは、その大きさ(リード数)により2通りの電
子部品Sに対応できるように構成されている。すなわ
ち、例えば、多ピンICなどの電子部品Sを扱う場合に
は、その解像度を高めるべく部品認識カメラ13の撮像
倍率を大きくし、部品認識カメラ13の視野に被撮像パ
ターン42(42l)が適切に納まるように小パターン
部44を撮像対象とし、また逆の場合には、大パターン
部43を撮像対象とする。これにより、各認識カメラ1
1、13の解像度に合わせたパターン認識が可能にな
る。
Incidentally, the dummy component DS1 corresponding to the multi-lead component DS1 is configured to be able to support two types of electronic components S depending on its size (number of leads). That is, for example, when handling an electronic component S such as a multi-pin IC, the imaging magnification of the component recognition camera 13 is increased to increase the resolution, and the pattern to be imaged 42 (421) is appropriate in the field of view of the component recognition camera 13. The small pattern portion 44 is set as an imaging target so as to fit in, and in the opposite case, the large pattern portion 43 is set as an imaging target. Thereby, each recognition camera 1
Pattern recognition in accordance with the resolutions of 1 and 13 becomes possible.

【0085】また、各パターン部43,44を方形のパ
ターン要素45を並べて構成することにより、各パター
ン要素45を用いて、単一のパターン部43、44に対
し複数の認識が可能になる。このため、複数の認識結果
を平均化することにより、より正確なパターン認識が可
能になる。
Further, by arranging the pattern portions 43 and 44 by arranging the rectangular pattern elements 45, a plurality of recognitions can be performed on the single pattern portions 43 and 44 using the pattern elements 45. Therefore, by averaging a plurality of recognition results, more accurate pattern recognition becomes possible.

【0086】これらの各ダミー部品40(DSg、DS
l)は、その被撮像パターン42(42g、42l)が
下側になるようにして、下記の偏差認識ユニット15の
ダミーストッカ31にストックされると共に、この姿勢
で吸着され且つ撮像される。
Each of these dummy parts 40 (DSg, DSg
1) is stored in the dummy stocker 31 of the deviation recognition unit 15 described below so that the pattern to be imaged 42 (42g, 42l) is on the lower side, and is sucked and imaged in this posture.

【0087】なお、これらの各ダミー部品40(DS
g、DSl)は、パターン要素の形態が異なるだけであ
り、また、それを用いて算出される各ズームデータ12
1z、122zも、以下の取扱いにおいては同様なの
で、オフセットデータと同様に、以下では、これらを代
表して、それぞれ単にダミー部品40、ズームデータと
いう。
Note that each of these dummy components 40 (DS
g, DSl) differ only in the form of the pattern element, and each zoom data 12 calculated using the same
Since 1z and 122z are the same in the following handling, similarly to the offset data, hereinafter, they are simply referred to as dummy parts 40 and zoom data, respectively, as representatives thereof.

【0088】上述のように、電子部品装着装置1では、
位置データに撮像におけるズーム(倍率)データを含む
ので、部品種別等により認識対象部品Sの撮像位置が異
なる場合、すなわち部品認識カメラ13と認識対象部品
Sとの距離が異なっても、その相違による偏差を認識で
き、その認識結果に基づいて、認識対象部品Sの例えば
リード間、ピン間、ハンダボール間のピッチなどを正確
に認識して補正等をすることができる。
As described above, in the electronic component mounting apparatus 1,
Since the position data includes zoom (magnification) data in imaging, if the imaging position of the recognition target component S is different depending on the component type or the like, that is, even if the distance between the component recognition camera 13 and the recognition target component S is different, the difference depends on the difference. The deviation can be recognized, and based on the recognition result, for example, the pitch between leads, between pins, between solder balls, and the like of the recognition target component S can be accurately recognized and corrected.

【0089】また、前述のように、この電子部品装着装
置1では、位置データに水平面内における回転角度デー
タ(前述の角度「θ」すなわちZ方向として扱うデー
タ)を含むので、この位置データに基づく部品認識カメ
ラ13の座標系において、認識対象部品Sの吸着角度θ
の偏差(Z方向偏差)を認識することができ、その認識
結果に基づいて、吸着された認識対象部品Sの吸着角度
θのずれを検出して補正等をすることができる。
Further, as described above, in the electronic component mounting apparatus 1, since the position data includes the rotation angle data in the horizontal plane (the above-described angle “θ”, that is, data handled as the Z direction), the position data is used. In the coordinate system of the component recognition camera 13, the suction angle θ of the recognition target component S
(Z-direction deviation) can be recognized, and based on the recognition result, a deviation of the suction angle θ of the suctioned recognition target component S can be detected and corrected.

【0090】なお、この回転角度データ(Z方向のオフ
セットデータ)も、以下の取扱いにおいては前述のXY
方向のオフセットデータと同様なので、以下では、単に
オフセットデータの1要素として扱う。
Note that this rotation angle data (offset data in the Z direction) is also used in the following XY
Since it is the same as the offset data in the direction, it is simply treated as one element of the offset data below.

【0091】次に、各種のオフセットデータの求め方と
それによる偏位補正の方法について説明する。
Next, a description will be given of a method of obtaining various types of offset data and a method of correcting deviation using the data.

【0092】図1および図2に示すように、偏位認識ユ
ニット15は、ダミー部品40をストックするダミース
トッカ31と、ダミー部品40を撮像するためのバック
ライトプレート32とで構成されている。ダミーストッ
カ31の表面には、ダミー部品40が嵌り込む浅い溝が
形成され、浅い溝にダミー部品40が載置されている。
As shown in FIGS. 1 and 2, the displacement recognition unit 15 includes a dummy stocker 31 for stocking a dummy component 40 and a backlight plate 32 for capturing an image of the dummy component 40. A shallow groove into which the dummy component 40 fits is formed on the surface of the dummy stocker 31, and the dummy component 40 is placed in the shallow groove.

【0093】バックライトプレート32は、光を拡散透
過可能な載置台33と、載置台33の下側に配設したL
EDアレイなどから成る偏位認識照明34とで構成され
ている。詳細は後述するが、ダミー部品40を基板認識
カメラ11で撮像する場合には、載置台33上に載置し
たダミー部品40を偏位認識照明34で照明し、これを
上側から撮像する。
The backlight plate 32 includes a mounting table 33 capable of diffusing and transmitting light, and an L disposed below the mounting table 33.
And a deflection recognition illumination 34 composed of an ED array or the like. As will be described later in detail, when the dummy component 40 is imaged by the board recognition camera 11, the dummy component 40 mounted on the mounting table 33 is illuminated by the deflection recognition illumination 34, and is imaged from above.

【0094】この偏位認識ユニット15は、基板を位置
認識する基板認識カメラ11の座標系と、電子部品Sを
位置認識する部品認識カメラ13の座標系との相互間の
偏差を補正するためのものであり、この補正は、装着ヘ
ッド12で移送したダミー部品40を、それぞれ基板認
識カメラ11および部品認識カメラ13で撮像し、これ
を認識することにより行われる。
The deviation recognition unit 15 is for correcting a deviation between the coordinate system of the board recognition camera 11 for recognizing the position of the board and the coordinate system of the component recognition camera 13 for recognizing the position of the electronic component S. This correction is performed by imaging the dummy component 40 transferred by the mounting head 12 with the board recognition camera 11 and the component recognition camera 13, respectively, and recognizing the image.

【0095】また、この補正に先立ち、ダミー基板50
をセットテーブル16に導入し、ダミー基板50の所定
の部位を基板認識カメラ11で認識して、機台2の絶対
基準座標系に対する基板認識カメラ11の座標系の偏差
を補正するようにしている。
Prior to this correction, the dummy substrate 50
Is introduced into the set table 16, a predetermined portion of the dummy substrate 50 is recognized by the substrate recognition camera 11, and the deviation of the coordinate system of the substrate recognition camera 11 from the absolute reference coordinate system of the machine base 2 is corrected. .

【0096】ダミー基板50は、図8に示すように方形
に形成され、基板として平均的な大きさを有している。
ダミー基板50の表面には、その中央に上記の小パター
ン部44と同様な認識パターン51が描かれ、また長手
方向に離れて一対の認識マーク52が描かれている。
The dummy substrate 50 is formed in a rectangular shape as shown in FIG. 8, and has an average size as a substrate.
On the surface of the dummy substrate 50, a recognition pattern 51 similar to the small pattern portion 44 is drawn at the center thereof, and a pair of recognition marks 52 are drawn apart in the longitudinal direction.

【0097】一方、セットテーブル16に導入したダミ
ー基板50の搬送方向の先端は、セットテーブル16の
ストッパ(図示省略)に突き当てられ、機台2の絶対基
準座標系上でセットされている。
On the other hand, the leading end of the dummy substrate 50 introduced into the set table 16 in the transport direction abuts against a stopper (not shown) of the set table 16 and is set on the absolute reference coordinate system of the machine base 2.

【0098】したがって、基板認識カメラ11で上記の
認識パターン51を認識することにより、絶対基準座標
系に対する基板認識カメラ11の座標系の補正が可能に
なり、また左右方向に離間した一対の認識マーク52を
それぞれ認識することにより、各XYステージ6の移動
角度ずれに基づく基板認識カメラ11の座標系の補正が
可能になる。
Therefore, by recognizing the recognition pattern 51 with the board recognition camera 11, the coordinate system of the board recognition camera 11 can be corrected with respect to the absolute reference coordinate system, and a pair of recognition marks separated in the left-right direction can be obtained. By recognizing 52, the coordinate system of the board recognition camera 11 can be corrected based on the displacement angle of each XY stage 6.

【0099】次に、基板認識カメラ11および部品認識
カメラ13の位置偏差(偏位)補正方法について、説明
する。この偏位補正方法では、まず、図8で前述のダミ
ー基板50を用いて、絶対基準座標系に対する基板認識
カメラ11の座標系の偏位の補正が行われると共に、絶
対基準座標系に対するY動ビーム22の移動座標系の角
度偏差の補正が行われる。その後、図6および図7で前
述のダミー部品40を用いて、基板認識カメラ11の座
標系に対する部品認識カメラ13の座標系の偏位の補正
が行われる。
Next, a method of correcting a positional deviation (deviation) between the board recognition camera 11 and the component recognition camera 13 will be described. In this deviation correction method, first, the deviation of the coordinate system of the board recognition camera 11 with respect to the absolute reference coordinate system is corrected using the dummy substrate 50 described above with reference to FIG. The angle deviation of the moving coordinate system of the beam 22 is corrected. Thereafter, the deviation of the coordinate system of the component recognition camera 13 with respect to the coordinate system of the board recognition camera 11 is corrected using the dummy component 40 described above with reference to FIGS.

【0100】絶対基準座標系に対する基板認識カメラ1
1の座標系の補正において、XYステージ6の移動に基
づく偏位(角度ずれ)を考慮しない状態では、基板認識
カメラ11で撮像したダミー基板50の認識パターン5
1をCPU107で認識すれば、この認識結果と設計値
とのずれ量(オフセットデータ)を持って、簡単に補正
が可能になる。したがって、ここでは、絶対基準座標系
に対するXYステージ6の移動角度ずれ、すなわち絶対
基準座標系に対するY動ビーム22の移動座標系に基づ
くもののみ説明する。
Board recognition camera 1 for absolute reference coordinate system
In the correction of the coordinate system 1, when the deviation (angle shift) based on the movement of the XY stage 6 is not considered, the recognition pattern 5 of the dummy substrate 50 imaged by the substrate recognition camera 11 is used.
If 1 is recognized by the CPU 107, the correction can be easily performed with the deviation amount (offset data) between the recognition result and the design value. Therefore, here, only the movement angle deviation of the XY stage 6 with respect to the absolute reference coordinate system, that is, the one based on the movement coordinate system of the Y motion beam 22 with respect to the absolute reference coordinate system will be described.

【0101】図9は、移動角度ずれのあるXYステージ
6と、セットテーブル16にセットされたダミー基板5
0とを示すイメージ図であり、ダミー基板50は、絶対
基準座標系(基板位置決め座標系)上で正確に位置決め
されている。
FIG. 9 shows an XY stage 6 having a displacement of the moving angle and a dummy substrate 5 set on a set table 16.
FIG. 11 is an image diagram showing 0, where the dummy substrate 50 is accurately positioned on an absolute reference coordinate system (substrate positioning coordinate system).

【0102】この場合、基板位置決めXY座標(PL-XY:
原点P0 )からみたY動ビーム22の駆動XY座標(BeamA
-XY)の設計寸法に対する位置ずれおよび角度ずれを調
整するためのオフセットデータを求め、このオフセット
データに基づいて、PL-XY 座標系を基準として補正を行
う。
In this case, the substrate positioning XY coordinates (PL-XY:
The driving XY coordinates (BeamA) of the Y motion beam 22 viewed from the origin P0
The offset data for adjusting the positional deviation and the angular deviation with respect to the design dimensions of -XY) is obtained, and correction is performed based on the offset data with reference to the PL-XY coordinate system.

【0103】なお、Y動ビーム(すなわちヘッドユニッ
ト8)22に搭載された基板認識カメラ11の走査座標
センターが、Y動ビーム(すなわちヘッドユニット8)
22の駆動XY座標の原点と一致する。
The scanning coordinate center of the board recognition camera 11 mounted on the Y motion beam (that is, the head unit 8) 22 is set to the Y motion beam (that is, the head unit 8).
It coincides with the origin of the 22 drive XY coordinates.

【0104】具体的には、ダミー基板50を基板位置決
めXY座標上に位置決めし、図10の動作フローで(基板
認識カメラ11の座標系(走査座標センター)の)オフ
セットデータを求める。
More specifically, the dummy substrate 50 is positioned on the substrate positioning XY coordinates, and offset data (of the coordinate system (scanning coordinate center) of the substrate recognition camera 11) is obtained by the operation flow of FIG.

【0105】同図に示すように、まず、Y動ビーム(Y
ビーム)22に搭載された基板認識カメラ11を、その
センター位置(視野中心)が一方(右側)の認識マーク
52位置に合致するように、設計値に従って移動させる
(S1)。
As shown in the figure, first, a Y motion beam (Y
The board recognition camera 11 mounted on the beam 22 is moved in accordance with the design value so that the center position (the center of the field of view) matches the position of the recognition mark 52 on one side (right side) (S1).

【0106】ここで、基板認識カメラ11により認識マ
ーク52を撮像して、その認識を行う(S2)。そし
て、この認識結果(基板認識カメラ11の走査座標での
カメラセンターからみたマークセンター位置座標)をメ
モリ120に 「dx1,dy1」として、一時保存する(S
3)。
Here, the recognition mark 52 is imaged by the board recognition camera 11 and its recognition is performed (S2). Then, the recognition result (the mark center position coordinates as viewed from the camera center at the scanning coordinates of the board recognition camera 11) is temporarily stored in the memory 120 as "dx1, dy1" (S
3).

【0107】次に、基板認識カメラ11を、そのセンタ
ー位置(視野中心)が他方(左側)の認識マーク52位
置に合致するように、設計値に従って移動させる(S
4)。ここで、基板認識カメラ11により認識マーク5
2の認識を行う(S5)と共に、この認識結果(基板認
識カメラ11の走査座標でのカメラセンターからみたマ
ークセンター位置座標)をメモリ120に 「dx2,dy2」
として、一時保存する(S6)。
Next, the board recognition camera 11 is moved in accordance with the design value so that the center position (the center of the visual field) matches the position of the recognition mark 52 on the other side (left side) (S
4). Here, the recognition mark 5 is obtained by the board recognition camera 11.
2 is recognized (S5), and the recognition result (the mark center position coordinates from the camera center at the scanning coordinates of the board recognition camera 11) is stored in the memory 120 as "dx2, dy2".
Is temporarily stored (S6).

【0108】ここで、以下の計算式により基板認識カメ
ラ11の座標系のオフセットデータ(オフセット量)を
求める(S7)。 YビームのX(横)、Y(縦)オフセットを下記計
算式で求める。 dx1'= dx1 * COS(-(CAMA3 角度オフセット:基板認識カメラ) -dy1 * SIN(-(CAMA3 角度オフセット:基板認識カメラ) dy1'= dy1 * COS(-(CAMA3 角度オフセット:基板認識カメラ) +dy1 * SIN(-(CAMA3 角度オフセット:基板認識カメラ) 認識マークの1点目と2点目とのX方向ピッチをP
として(Y方向はゼロ)、Yビームの角度オフセットを
以下の計算式により求める。 dz= tan-1 { P * (dy1'-dy2')/P * ( P + (dx1'-dx
2'))} このようにして求めた「」および「」のオフセット
量をオフセットデータとしてメモリ120に記憶してお
き、このオフセットデータに基づいて設計値が補正され
る。
Here, offset data (offset amount) of the coordinate system of the board recognition camera 11 is obtained by the following formula (S7). The X (horizontal) and Y (vertical) offsets of the Y beam are obtained by the following formula. dx1 '= dx1 * COS (-(CAMA3 angle offset: board recognition camera) -dy1 * SIN (-(CAMA3 angle offset: board recognition camera) dy1' = dy1 * COS (-(CAMA3 angle offset: board recognition camera) + dy1 * SIN (-(CAMA3 angle offset: board recognition camera) P is the pitch in the X direction between the first and second recognition marks.
(Zero in the Y direction), and the angular offset of the Y beam is obtained by the following formula. dz = tan -1 {P * (dy1'-dy2 ') / P * (P + (dx1'-dx
2 ′))} The offset amounts of “” and “” thus determined are stored in the memory 120 as offset data, and the design value is corrected based on the offset data.

【0109】次に、基板認識カメラ11の座標系に対す
る部品認識カメラ13の座標系の補正について説明す
る。
Next, correction of the coordinate system of the component recognition camera 13 with respect to the coordinate system of the board recognition camera 11 will be described.

【0110】この場合には、ダミー部品40をダミース
トッカ31から吸着した後、Yビーム22を上記のビー
ムオフセット[X(横)、Y(縦)、角度]を考慮し
て、PL-XY 座標系でみた部品認識カメラ13の設計位置
に移動させて認識を行う。そして、この認識結果を[Pr
ec_1x, Prec_1y, Prec_1z]とする。
In this case, after the dummy component 40 is sucked from the dummy stocker 31, the Y beam 22 is adjusted to the PL-XY coordinates in consideration of the beam offset [X (horizontal), Y (vertical), angle]. The recognition is performed by moving the component recognition camera 13 to the design position as viewed from the system. Then, this recognition result is referred to as [Pr
ec_1x, Prec_1y, Prec_1z].

【0111】次に、ダミー部品40の吸着姿勢をそのま
まの状態に保ち、Yビーム22をバックライトプレート
32の設計位置(オフセットなし)に移動(ビームオフ
セット考慮)させ、ダミー部品40をバックライトプレ
ート32に載置(装着)する。
Next, while maintaining the suction posture of the dummy component 40 as it is, the Y beam 22 is moved to the design position (without offset) of the backlight plate 32 (considering the beam offset), and the dummy component 40 is moved to the backlight plate. 32 is mounted (mounted).

【0112】次に、Yビーム22により基板認識カメラ
11をバックライトプレート32の設計位置に移動(ビ
ームオフセット考慮)させ、ダミー部品40を認識す
る。そして、この認識結果を[Prec_2x, Prec_2y, Pr
ec_2z]とする。すなわち、これにより、部品認識カメ
ラ13の座標系と、基板認識カメラ11の座標系との間
の編位が求められる。
Next, the board recognition camera 11 is moved to the design position of the backlight plate 32 by the Y beam 22 (in consideration of the beam offset), and the dummy component 40 is recognized. Then, this recognition result is referred to as [Prec_2x, Prec_2y, Pr
ec_2z]. That is, thereby, the stitch between the coordinate system of the component recognition camera 13 and the coordinate system of the board recognition camera 11 is obtained.

【0113】具体的には、図11の動作フローに従って
部品認識カメラ13の座標系のオフセットデータを求め
る。なお、図11の動作フローの説明に用いるデータは
次の通りである(これらは全て基板位置決めXY座標系上
の値)。 ・ Bmoff_x : ビームオフセットX、Bmoff_y : ビー
ムオフセットY、Bmoff_z : ビームオフセット角度 ・ STK_X : ダミーストッカ設計位置X、 STK_Y : ダ
ミーストッカ設計位置Y ・ CAM_X : 部品認識カメラ設計位置X、 CAM_Y : 部
品認識カメラ設計位置Y ・ BLT_X : バックライトプレート設計位置X、 BLT_
Y : バックライトプレート設計位置Y ・ BM_X : ビーム原点設計位置X、 BM_Y : ビーム
原点設計位置Y ・ HD_X : ビームピボット点A0からのヘッド設計位置
X、 HD_Y : ビームピボット点A0からのヘッド設計位
置Y
Specifically, offset data of the coordinate system of the component recognition camera 13 is obtained according to the operation flow of FIG. The data used to describe the operation flow of FIG. 11 is as follows (all of these are values on the substrate positioning XY coordinate system). Bmoff_x: Beam offset X, Bmoff_y: Beam offset Y, Bmoff_z: Beam offset angle STK_X: Dummy stocker design position X, STK_Y: Dummy stocker design position Y Position Y · BLT_X: Backlight plate design position X, BLT_
Y: Backlight plate design position Y • BM_X: Beam origin design position X, BM_Y: Beam origin design position Y • HD_X: Head design position X from beam pivot point A0, HD_Y: Head design position Y from beam pivot point A0

【0114】図11を参照して説明すると、まず、Yビ
ーム22により装着ヘッド12をダミーストッカ31の
位置まで移動させ(S11)、ダミー部品40をダミー
ストッカ31から吸着する(S12)。この場合のYビ
ーム22の移動目的値(X、Y)は次のようになる。 X = (STK_X - (BM_X + HD_X + Bmoff_x)) * COS(Bmoff_z) -(STK_Y - (BM_Y + HD_Y + Bmoff_y)) * SIN(Bmoff_z) Y = (STK_Y - (BM_Y + HD_Y + Bmoff_y)) * COS(Bmoff_z) -(STK_X - (BM_X + HD_X + Bmoff_x)) * SIN(Bmoff_z)
Referring to FIG. 11, first, the mounting head 12 is moved to the position of the dummy stocker 31 by the Y beam 22 (S11), and the dummy component 40 is sucked from the dummy stocker 31 (S12). The movement target value (X, Y) of the Y beam 22 in this case is as follows. X = (STK_X-(BM_X + HD_X + Bmoff_x)) * COS (Bmoff_z)-(STK_Y-(BM_Y + HD_Y + Bmoff_y)) * SIN (Bmoff_z) Y = (STK_Y-(BM_Y + HD_Y + Bmoff_y)) * COS (Bmoff_z)-(STK_X-(BM_X + HD_X + Bmoff_x)) * SIN (Bmoff_z)

【0115】次に、ダミー部品40をダミーストッカ3
1の位置から部品認識カメラ13の位置に移動させ(S
13)、これを部品認識カメラ13で認識する(S1
4)。なお、ここでは、例えば図5等で前述の焦点位置
Fpを撮像位置とする。
Next, the dummy component 40 is connected to the dummy stocker 3
1 to the position of the component recognition camera 13 (S
13), which is recognized by the component recognition camera 13 (S1).
4). Here, for example, the above-described focal position Fp in FIG.

【0116】この場合のYビーム22の移動目的値
(X、Y)は次のようになる。 X = (CAM_X - (BM_X + HD_X + Bmoff_x)) * COS(Bmoff_z) -(CAM_Y - (BM_Y + HD_Y + Bmoff_y)) * SIN(Bmoff_z) Y = (CAM_Y - (BM_Y + HD_Y + Bmoff_y)) * COS(Bmoff_z) -(CAM_X - (BM_X + HD_X + Bmoff_x)) * SIN(Bmoff_z)
The movement target value (X, Y) of the Y beam 22 in this case is as follows. X = (CAM_X-(BM_X + HD_X + Bmoff_x)) * COS (Bmoff_z)-(CAM_Y-(BM_Y + HD_Y + Bmoff_y)) * SIN (Bmoff_z) Y = (CAM_Y-(BM_Y + HD_Y + Bmoff_y)) * COS (Bmoff_z)-(CAM_X-(BM_X + HD_X + Bmoff_x)) * SIN (Bmoff_z)

【0117】そして、この認識結果(部品認識カメラ1
3の走査座標でのカメラセンターからみた部品センター
位置座標)を[Prec_1x, Prec_1y, Prec_1z]とし
て、一時保存する(S15)。
The recognition result (the component recognition camera 1)
The part center position coordinates viewed from the camera center at the scanning coordinates of No. 3) are temporarily stored as [Prec_1x, Prec_1y, Prec_1z] (S15).

【0118】次に、ダミー部品40を吸着した装着ヘッ
ド12をバックライトプレート32の位置に移動させ
(S16)、ダミー部品40をバックライトプレート3
2に載置する(S17)。この場合のYビーム22の移
動目的値(X、Y)は次のようになる。 X = (BLT_X - (BM_X + HD_X + Bmoff_x)) * COS(Bmoff_z) -(BLT_Y - (BM_Y + HD_Y + Bmoff_y)) * SIN(Bmoff_z) Y = (BLT_Y - (BM_Y + HD_Y + Bmoff_y)) * COS(Bmoff_z) -(BLT_X - (BM_X + HD_X + Bmoff_x)) * SIN(Bmoff_z)
Next, the mounting head 12 sucking the dummy component 40 is moved to the position of the backlight plate 32 (S16), and the dummy component 40 is moved to the backlight plate 3 (S16).
2 (S17). The movement target value (X, Y) of the Y beam 22 in this case is as follows. X = (BLT_X-(BM_X + HD_X + Bmoff_x)) * COS (Bmoff_z)-(BLT_Y-(BM_Y + HD_Y + Bmoff_y)) * SIN (Bmoff_z) Y = (BLT_Y-(BM_Y + HD_Y + Bmoff_y)) * COS (Bmoff_z)-(BLT_X-(BM_X + HD_X + Bmoff_x)) * SIN (Bmoff_z)

【0119】次に、基板認識カメラ11をバックライト
プレート32の位置に移動させ(S18)、基板認識カ
メラ11でダミー部品40を認識する(S19)。その
際、偏位認識照明34を点灯しダミー部品40を照明す
る。この場合のYビーム22の移動目的値(X、Y)は
次のようになる。 X = (BLT_X - (BM_X + Bmoff_x)) * COS(Bmoff_z) -(BLT_Y - (BM_Y + Bmoff_y)) * SIN(Bmoff_z) Y = (BLT_Y - (BM_Y + Bmoff_y)) * COS(Bmoff_z) -(BLT_X - (BM_X + Bmoff_x)) * SIN(Bmoff_z) そして、この認識結果(基板認識カメラ11の走査座標
でのカメラセンターからみた部品センター位置座標)を
[Prec_2x, Prec_2y, Prec_2z]として、一時保存す
る(S20)。
Next, the board recognition camera 11 is moved to the position of the backlight plate 32 (S18), and the dummy component 40 is recognized by the board recognition camera 11 (S19). At this time, the deflection recognition illumination 34 is turned on to illuminate the dummy component 40. The movement target value (X, Y) of the Y beam 22 in this case is as follows. X = (BLT_X-(BM_X + Bmoff_x)) * COS (Bmoff_z)-(BLT_Y-(BM_Y + Bmoff_y)) * SIN (Bmoff_z) Y = (BLT_Y-(BM_Y + Bmoff_y)) * COS (Bmoff_z)-(BLT_X -(BM_X + Bmoff_x)) * SIN (Bmoff_z) Then, the recognition result (the component center position coordinates as viewed from the camera center in the scanning coordinates of the board recognition camera 11) is temporarily stored as [Prec_2x, Prec_2y, Prec_2z] ( S20).

【0120】次に、以下の計算式により部品認識カメラ
13の座標系のオフセットデータ(オフセット量)を求
める(S21)。 部品認識カメラのX(横)、Y(縦)、角度を下記
計算式で求める。Θ' = Prec_2z - Prec_1z + CAMA3
Z(角度) :基板認識カメラのオフセットとすると Rcnv_1x = Prec_1x * COS(-Θ' ) - Prec_1y * SIN(-Θ' ) Rcnv_1y = Prec_1y * COS(-Θ' ) + Prec_1x * SIN(-Θ' ) Rcnv_2x = Prec_2x * COS(-CAMA3 Z) - Prec_2y * SIN(-CAMA3 Z) Rcnv_2y = Prec_2y * COS(-CAMA3 Z) + Prec_2x * SIN(-CAMA3 Z) 求める部品認識カメラのオフセットX(横)、Y
(縦)、角度は、 Cmoff_x = Rcnv_2x - Rcnv_1x Cmoff_y = Rcnv_2y - Rcnv_1y Cmoff_z = Θ' = Prec_2z - Prec_1z + CAMA3 Z(角
度)
Next, the offset data (offset amount) of the coordinate system of the component recognition camera 13 is obtained by the following formula (S21). The X (horizontal), Y (vertical), and angle of the component recognition camera are obtained by the following formulas. Θ '= Prec_2z-Prec_1z + CAMA3
Z (angle): When the offset of the board recognition camera is set, Rcnv_1x = Prec_1x * COS (-Θ ')-Prec_1y * SIN (-Θ') Rcnv_1y = Prec_1y * COS (-Θ ') + Prec_1x * SIN (-)') Rcnv_2x = Prec_2x * COS (-CAMA3Z)-Prec_2y * SIN (-CAMA3Z) Rcnv_2_y = Prec_2y * COS (-CAMA3Z) + Prec_2x * SIN (-CAMA3Z) Offset X (horizontal), Y of the component recognition camera to be obtained
(Vertical), the angle is Cmoff_x = Rcnv_2x-Rcnv_1x Cmoff_y = Rcnv_2y-Rcnv_1y Cmoff_z = Θ '= Prec_2z-Prec_1z + CAMA3Z (angle)

【0121】このようにして求めた、部品認識カメラ1
3の座標系のオフセット量をオフセットデータ(例えば
第1オフセットデータ121d)としてメモリ120
(の例えば第1データ領域121)に記憶しておき、
(さらに、それに基づいて前述の方法で、例えば第2オ
フセットデータ122dを求めて、第2データ領域12
2に記憶しておき、)この(これらの)オフセットデー
タに基づいて設計値が補正される。
The component recognition camera 1 obtained as described above
The offset amount of the coordinate system 3 is used as offset data (for example, first offset data 121d) in the memory 120.
(For example, in the first data area 121),
(Furthermore, based on this, for example, the second offset data 122d is obtained by the above-described method, and the second data area 12d is obtained.
2), and the design value is corrected based on the (these) offset data.

【0122】オフセットデータを算出すると(S2
1)、次に、装着ヘッド12をバックライトプレート3
2の位置に移動させ(S22)、装着ヘッド12により
ダミー部品40を吸着する(S23)。続いて、装着ヘ
ッド12をバックライトプレート32からダミーストッ
カ31の位置に移動させ(S24)、ダミー部品40を
ダミーストッカ31に収容する(S25)。このように
して、ダミー部品40が元の位置に戻され、一連の補正
作業が終了する。
When the offset data is calculated (S2
1) Then, the mounting head 12 is moved to the backlight plate 3
2 (S22), and the dummy head 40 is sucked by the mounting head 12 (S23). Subsequently, the mounting head 12 is moved from the backlight plate 32 to the position of the dummy stocker 31 (S24), and the dummy component 40 is stored in the dummy stocker 31 (S25). In this way, the dummy component 40 is returned to the original position, and a series of correction work ends.

【0123】以上のように、本実施形態によれば、ダミ
ー基板50を用いて、絶対基準座標系に対する基板認識
カメラ11の座標系の偏位およびXYステージ6の角度
偏位(基板認識カメラ11のカメラ中心の軌跡)の補正
が行われ、その後ダミー部品40を用いて、基板認識カ
メラ11の座標系に対する部品認識カメラ13の座標系
の偏位の補正が行われるため、基板認識カメラ11の座
標系と部品認識カメラ13との間の偏位、およびこれら
認識カメラ11,13の座標系と絶対基準座標系との間
の偏位を、極めて正確に補正することができる。
As described above, according to the present embodiment, the deviation of the coordinate system of the board recognition camera 11 with respect to the absolute reference coordinate system and the angular deviation of the XY stage 6 (the board recognition camera 11 Is corrected, and then the deviation of the coordinate system of the component recognition camera 13 with respect to the coordinate system of the board recognition camera 11 is corrected using the dummy component 40. The deviation between the coordinate system and the component recognition camera 13 and the deviation between the coordinate system of the recognition cameras 11 and 13 and the absolute reference coordinate system can be corrected very accurately.

【0124】特に、基板認識カメラ11の座標系と部品
認識カメラ13との間の偏位は、ダミー部品40をそれ
ぞれの認識カメラ11,13で認識することで検出可能
となるため、簡単かつ迅速に補正することができる。ま
た、専用のダミー部品40を用い、且つこれを照明して
撮像するようにしているので、ダミー部品40の認識も
正確に行われ、全体として補正を精度良く行うことがで
きる。したがって、電子部品Sを基板に高精度で且つ安
定して実装することができる。
In particular, the deviation between the coordinate system of the board recognizing camera 11 and the component recognizing camera 13 can be detected by recognizing the dummy component 40 by the respective recognizing cameras 11 and 13, so that it is simple and quick. Can be corrected. In addition, since the dedicated dummy component 40 is used and illuminated to capture an image, the dummy component 40 can be accurately recognized, and the correction can be accurately performed as a whole. Therefore, the electronic component S can be mounted on the board with high accuracy and stability.

【0125】[0125]

【発明の効果】上述のように、本発明の電子部品認識装
置によれば、既存の機構を利用しつつ、認識対象部品の
種別等に応じて撮像位置を変更しても、その部品の吸着
姿勢などを正確に認識できる、などの効果がある。
As described above, according to the electronic component recognizing apparatus of the present invention, even if the imaging position is changed according to the type of the component to be recognized while using the existing mechanism, the component is not attracted. The effect is that the posture can be accurately recognized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施形態に係る電子部品装着装置の
平面図である。
FIG. 1 is a plan view of an electronic component mounting apparatus according to an embodiment of the present invention.

【図2】電子部品装着装置の制御系を示すブロック図で
ある。
FIG. 2 is a block diagram illustrating a control system of the electronic component mounting apparatus.

【図3】電子部品の部品認識の一例を示す断面模式図で
ある。
FIG. 3 is a schematic cross-sectional view illustrating an example of component recognition of an electronic component.

【図4】別の一例を示す、図3と同様の図である。FIG. 4 is a view similar to FIG. 3, showing another example.

【図5】さらに別の一例として異なる撮像位置の一例を
示す、図3と同様の図である。
FIG. 5 is a view similar to FIG. 3, showing an example of a different imaging position as yet another example.

【図6】位置データを求めるために用いるダミー部品の
一例を示す平面図である。
FIG. 6 is a plan view showing an example of a dummy component used for obtaining position data.

【図7】別の一例を示す、図6と同様の図である。FIG. 7 is a view similar to FIG. 6, showing another example.

【図8】実施形態の偏位補正に用いるダミー基板の平面
図である。
FIG. 8 is a plan view of a dummy substrate used for deviation correction according to the embodiment.

【図9】移動角度ずれのあるXYステージと、セットテ
ーブルにセットされたダミー基板とを示すイメージ図で
ある。
FIG. 9 is an image diagram showing an XY stage having a displacement of a moving angle and a dummy substrate set on a set table.

【図10】XYステージの移動角度ずれに基づく、基板
認識カメラの座標系の偏位を求める動作フローである。
FIG. 10 is an operation flow for obtaining a deviation of the coordinate system of the board recognition camera based on the displacement angle of the XY stage.

【図11】絶対基準座標系とXYステージの移動角度ず
れとを考慮した状態で、基板認識カメラの座標系および
部品認識カメラの座標系の偏位を求める動作フローであ
る。
FIG. 11 is an operation flow for obtaining deviations of the coordinate system of the board recognizing camera and the coordinate system of the component recognizing camera in consideration of the absolute reference coordinate system and the displacement angle of the XY stage.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 電子部品装着装置 6a 第1XYステージ 6b 第2XYステージ 8a 第1ヘッドユニット 8b 第2ヘッドユニット 11 基板認識カメラ 12 装着ヘッド 13 部品認識カメラ 25 吸着ノズル 26 ヘッド昇降機構 32 バックライトプレート 34 偏位認識照明 40 ダミー部品 45 パターン要素 46 パターン要素 50 ダミー基板 61 部品認識照明 100 制御ユニット 120 メモリ 121 第1データ領域 122 第2データ領域 S 電子部品 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Electronic component mounting apparatus 6a 1st XY stage 6b 2nd XY stage 8a 1st head unit 8b 2nd head unit 11 Substrate recognition camera 12 Mounting head 13 Component recognition camera 25 Suction nozzle 26 Head raising / lowering mechanism 32 Backlight plate 34 Deflection recognition illumination Reference Signs List 40 dummy component 45 pattern element 46 pattern element 50 dummy substrate 61 component recognition illumination 100 control unit 120 memory 121 first data area 122 second data area S electronic component

フロントページの続き (72)発明者 吉井 貴志 大阪府守口市京阪本通2丁目5番5号 三 洋電機株式会社内Continuation of front page (72) Inventor Takashi Yoshii 2-5-5 Keihanhondori, Moriguchi-shi, Osaka Sanyo Electric Co., Ltd.

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 電子部品を保持する装着ヘッドと、 装着ヘッドに保持した電子部品を下側から撮像する部品
認識カメラと、 撮像に際し電子部品を照明する照明器具と、 装着ヘッドを昇降させ、部品認識カメラの焦点深度内に
おける前記電子部品の撮像位置を可変させるヘッド昇降
機構と、 装着ヘッドを水平面内においてXY方向に移動させるX
Y移動機構と、 XY移動機構を制御し、電子部品の部品中心を部品認識
カメラの視野中心に臨ませる制御手段と、 前記撮像位置を前記焦点深度内の第1位置としたときの
視野中心の位置データを記憶する第1記憶手段と、 前記撮像位置を前記焦点深度内の第2位置としたときの
視野中心の位置データを記憶する第2記憶手段とを備
え、 前記制御手段は、電子部品を前記第1位置で撮像する場
合には、前記第1記憶手段の位置データに基づいて前記
XY移動機構を制御し、前記第2位置で撮像する場合に
は、前記第2記憶手段の位置データに基づいて前記XY
移動機構を制御することを特徴とする電子部品認識装
置。
1. A mounting head for holding an electronic component, a component recognition camera for imaging the electronic component held on the mounting head from below, a lighting device for illuminating the electronic component for imaging, and a component for raising and lowering the mounting head. A head elevating mechanism for changing an imaging position of the electronic component within a depth of focus of a recognition camera, and an X for moving a mounting head in XY directions in a horizontal plane
Control means for controlling the Y movement mechanism and the XY movement mechanism so that the center of the electronic component faces the center of the field of view of the component recognition camera; and the center of the field of view when the imaging position is the first position within the depth of focus. A first storage unit for storing position data; and a second storage unit for storing position data of a center of the field of view when the imaging position is a second position within the depth of focus. When imaging at the first position, the XY movement mechanism is controlled based on the position data of the first storage means, and when imaging at the second position, the position data of the second storage means is controlled. XY based on
An electronic component recognition device for controlling a moving mechanism.
【請求項2】 前記位置データには、XY方向の偏位デ
ータが含まれ、この偏位データは、前記撮像位置を前記
部品認識カメラの焦点位置としたときの視野中心の位置
データに含まれる偏位データを、前記電子部品の昇降に
おける軸線と前記部品認識カメラの光軸との間の角度の
相違に基づく偏差で補正したものであることを特徴とす
る、請求項1に記載の電子部品認識装置。
2. The position data includes deviation data in the X and Y directions, and the deviation data is included in position data of the center of the field of view when the imaging position is the focal position of the component recognition camera. 2. The electronic component according to claim 1, wherein the deviation data is corrected by a deviation based on a difference in an angle between an axis of the electronic component when moving up and down and an optical axis of the component recognition camera. 3. Recognition device.
【請求項3】 前記位置データには、撮像における倍率
データが含まれることを特徴とする、請求項1または2
に記載の電子部品認識装置。
3. The apparatus according to claim 1, wherein the position data includes magnification data in imaging.
An electronic component recognition device according to claim 1.
【請求項4】 前記位置データには、水平面内における
回転角度データが含まれることを特徴とする、請求項1
ないし3のいずれかに記載の電子部品認識装置。
4. The apparatus according to claim 1, wherein the position data includes rotation angle data in a horizontal plane.
4. The electronic component recognition device according to any one of claims 1 to 3.
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