JPH05198720A - 半導体素子リードフレーム用はんだ鍍金装置 - Google Patents

半導体素子リードフレーム用はんだ鍍金装置

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JPH05198720A
JPH05198720A JP4030188A JP3018892A JPH05198720A JP H05198720 A JPH05198720 A JP H05198720A JP 4030188 A JP4030188 A JP 4030188A JP 3018892 A JP3018892 A JP 3018892A JP H05198720 A JPH05198720 A JP H05198720A
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lead frame
solder plating
cassette
treatment
water washing
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JP4030188A
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Akihisa Hongo
明久 本郷
Seiji Ishikawa
誠二 石川
Sakae Suzuki
栄 鈴木
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Ebara Corp
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Ebara Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】配置スペースが少なく且つ操作性に優れた半導
体素子リードフレーム用はんだ鍍金装置を提供すること
を目的とする。 【構成】 はんだ鍍金処理を施す各処理工程3−1〜3
−12の槽及び装置を順次配列すると共に、はんだ鍍金
処理前のリードフレームを収納したカセット及びはんだ
鍍金処理後のリードフレームを収納する空カセットを移
動する装置1,6,7を前記槽及び装置列の手前に並べ
てこれらを略コ字状に配置し、カセットからはんだ鍍金
処理前のリードフレームを1枚ずつ取り出し、該リード
フレームを各処理工程で各処理を施し、はんだ鍍金処理
が施されたリードフレームを空カセットに収納されるま
で、略コ字状の配置に沿ってリードフレームを移送する
装置8,2,4,9を設けた。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は半導体素子が実装された
半導体素子リードフレームにはんだ鍍金を施すための半
導体素子リードフレーム用はんだ鍍金装置に関するもの
である。
【0002】
【従来技術】従来この種の半導体素子リードフレーム用
はんだ鍍金装置は、図4に示すように、アンロード部5
1ではんだ鍍金処理前のリードフレームを収納したカセ
ット(図示せず)からはんだ鍍金処理前のリードフレー
ムを1枚ずつ取り出し、はんだ鍍金のための処理槽列5
2で各処理を施し、はんだ鍍金処理を施した後のリード
フレームをロード部53において、空カセットに収納す
るように構成されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記、従来構成のリー
ドフレームはんだ鍍金処理装置においては、アンロード
部51、処理槽列52及びロード部53を一列に直線状
に配列しているため、大きな配置スペースを必要とし、
オペレータがこのはんだ鍍金処理装置を使用してリード
フレームにはんだ鍍金を施すためには、カセットを装着
したり脱着する場合に一列に配列された処理装置の端か
ら端まで移動する必要がある等その操作性に問題がある
ばかりか、複数のオペレータが必要になるという問題が
あった。
【0004】本発明は上述の点に鑑みてなされたもの
で、配置スペースが少なく且つ操作性に優れた半導体素
子リードフレーム用はんだ鍍金装置を提供することを目
的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
本発明は、半導体素子リードフレームを収納したカセッ
トより1枚ずつ該リードフレームを取り出し、はんだ鍍
金処理を施す各処理工程の槽及び装置で各処理を施し、
はんだ鍍金の終了したリードフレームを空のカセットに
収納するように構成された半導体素子リードフレーム用
はんだ鍍金装置において、はんだ鍍金処理を施す各処理
工程の槽及び装置を順次配列すると共に、はんだ鍍金処
理前のリードフレームを収納したカセット及びはんだ鍍
金処理後のリードフレームを収納する空カセットを移動
する装置を前記槽及び装置列の手前に並べてこれらを略
コ字状に配置し、カセットからはんだ鍍金処理前のリー
ドフレームを1枚ずつ取り出し、該リードフレームを各
処理工程で各処理を施し、はんだ鍍金処理が施されたリ
ードフレームを空カセットに収納するまで、略コ字状の
配置に沿ってリードフレームを移送する装置を設けたこ
とを特徴とする。
【0006】
【作用】上記のようにはんだ鍍金処理前のリードフレー
ムを収納したカセット及びはんだ鍍金処理後のリードフ
レームを収納する空カセットを処理槽列の手前に並べ、
はんだ鍍金処理前のリードフレームを1枚ずつ取り出
し、略コ字状経路に沿ってリードフレームを移送しなが
らはんだ鍍金処理を施すので、装置の設置スペースが小
さく、且つ1人のオペレータで操作できる等操作性能及
び生産性が大幅に向上する。
【0007】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。図1は本発明の半導体素子リードフレーム用は
んだ鍍金装置の平面を示す図である。図示するように、
アルカリ脱脂3−1、水洗3−2,3−3、エッチング
3−4、シャワー3−5、水洗3−6、酸中和3−7、
はんだ鍍金3−8、純水洗3−9、純湯洗3−10、ブ
ロー3−11及び乾燥3−12の処理工程に使用される
槽や装置が配列されてなる処理ライン3が配列されてい
る。
【0008】前記処理ライン3の手前には、はんだ剥離
5−1,水洗5−2,水洗5−3、ブロー5−4の処理
に使用される槽や装置が配列された処理ライン5が配列
されている。
【0009】また、前記処理ライン5の手前に図3に示
すようなはんだ鍍金処理前のリードフレーム32を収納
したカセット31−1及びリードフレームを全て投入
し、空となったカセット31−2を載置して移送するカ
セット移送装置1、そしてはんだ鍍金処理後のリードフ
レームを収納する空のカセット及び処理済リードフレー
ムを収納したカセットを載置して移送するカセット移送
装置6,7が配置されている。
【0010】また、処理ライン5とカセット移動装置の
間の両端には後述するようにはんだ鍍金処理前のリード
フレームを収納したカセットをカセット移送装置1から
処理ライン5の所定位置及び該処理ライン5の所定位置
から空のカセットをカセット移送装置1まで移動させる
カセット位置決め機構8と、はんだ鍍金処理後のリード
フレームを収納する空のカセットをカセット移送6から
処理ライン5の所定位置及び該処理ライン5の所定位置
からはんだ鍍金処理後のリードフレームを収納したカセ
ットをカセット移送装置6まで移動させるカセット位置
決め機構9が配置されている。また、処理ライン3と処
理ライン5の間の両端には互いのラインを連結するトラ
バース14及びトラバース15が配置されている。ま
た、2ははんだ鍍金処理前のリードフレームをカセット
から取り出すフレームローダであり、4ははんだ鍍金処
理前のリードフレームをカセットに収納するフレームア
ンローダである。
【0011】上記のように配置構成されたはんだ鍍金装
置において、カセット移送装置1上のはんだ鍍金処理前
のリードフレームを収納したカセットはカセット位置決
め機構8により、処理ライン5の所定位置に移動され、
ここでフレームローダ2により1枚ずつ取り出される。
そして後述するリードフレーム掴み治具により、その上
端部を挟持して、処理ライン3のアルカリ脱脂3−1、
水洗3−2、3−3、エッチング3−4、シャワー3−
5、水洗3−6、酸中和3−7、はんだ鍍金3−8、純
水洗3−9、純湯洗3−10、ブロー3−11及び乾燥
3−12と順次移送し各処理工程で処理を施した後、は
んだ鍍金処理されたリードフレームをカセット位置決め
機構9により待機する空のカセットに収納する。また、
リードフレームがフレームローダ2により1枚ずつ取り
出され、空になったカセットはカセット位置決め機構8
でカセット移送装置1に移送される。
【0012】図2はカセット移送装置1、カセット位置
決め機構8及びフレームローダ2等の概略構成例を示す
図である。図示するように、カセット移送装置1、カセ
ット位置決め機構8、フレームローダ2、フレーム回転
機構10及びフレーム掴み治具11が配置されている。
カセット移送装置1は矢印A方向に移動でき所定の位置
に停止している。該カセット移送装置1上のはんだ鍍金
処理前のリードフレーム13が収容されたカセット31
−1を位置決め機構8の腕部8−1で掴み所定位置に移
動する(矢印B方向)。ここでフレームローダ2の一対
の爪部材2−1,2−1でリードフレーム13の幅方向
の両辺を掴み、1枚ずつ取り出す。該1枚ずつ取り出さ
れたリードフレーム13は矢印D方向に移動されフレー
ム回転機構10のベット10−1に載置される。フレー
ム回転機構10はリードフレーム13をフレーム掴み治
具11が掴むことができるように、矢印Cに示すように
回転させ垂直状態にすると共に、所定位置に該リードフ
レーム13を垂直保持した状態で矢印E方向に移動させ
る。
【0013】ここでフレーム掴み治具11の爪部材11
−1,11−1でリードフレーム13の上部を掴み、矢
印F方向に移動させ上記のように、アルカリ脱脂3−
1、水洗3−2、3−3、エッチング3−4、シャワー
3−5、水洗3−6、酸中和3−7、はんだ鍍金3−
8、純水洗3−9、純湯洗3−10、ブロー3−11及
び乾燥3−12と順次移送し各工程の処理を施す。はん
だ鍍金処理されたリードフレーム13はフレームローダ
2と略同じ構造のフレームアンローダでカセット位置決
め機構9上に待機する空のカセットに収納する。はんだ
鍍金処理されたリードフレームで満たされたカセットは
カセット位置決め機構9により、カセット移送装置6上
に載置される。
【0014】なお、カセット位置決め機構8の側部に
は、カセット31に収容されたリードフレーム13を1
枚ずつ取り出す際、リードフレーム13を序々に押し上
げる(矢印Gに示す方向)リフタ12が設けられてい
る。また、処理ライン5は処理ライン3のはんだ鍍金3
−8の処理工程で、フレーム掴み治具11の爪部材11
−1,11−1の先端部表面に付着したはんだ鍍金を剥
離するための処理ラインである。
【0015】なお、図2に示す装置はリードフレームを
カセットから1枚ずつ取り出し、垂直に挟持し各処理工
程を移送させる装置の一構成例を示す図であり、この装
置はこれに限定されるものではない。
【0016】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば下記
のような優れた効果が得られる。 (1)はんだ鍍金処理前のリードフレームを収納したカ
セット及びはんだ鍍金処理後のリードフレームを収納す
る空カセットを移送する装置をはんだ鍍金処理を施す各
処理工程の槽及び装置の手前に並べてこれらを略コ字状
に配置するので、オペレータがカセットを装置に装着
し、或るいは脱着するために位置する部分が1個所で且
つ殆どその場所を動かさずに済むから、操作性及び生産
性の向上が図れる。
【0017】(2)また、コ字状に配置するので、従来
の直線状に配置したのと比較し設置スペースも少なくて
済む。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の半導体素子リードフレーム用はんだ鍍
金装置の平面を示す図である。
【図2】カセット移送装置、トラバース及びフレームア
ンローダ等の概略構成を示す図である。
【図3】リードフレームを収納したカセットの構造を示
す斜視図である。
【図4】従来の半導体素子リードフレーム用はんだ鍍金
装置の平面を示す図である。
【符号の説明】
1 カセット移送装置 2 フレームローダ 3 処理ライン 4 フレームアンローダ 5 処理ライン 6,7 カセット移送装置 8,9 カセット位置決め機構 10 フレーム回転機構 11 フレーム掴み治具 12 リフタ 13 リードフレーム 14 トラバース 15 トラバース

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 半導体素子リードフレームを収納したカ
    セットより1枚ずつ該リードフレームを取り出し、はん
    だ鍍金処理を施す各処理工程の槽及び装置で各処理を施
    し、はんだ鍍金の終了したリードフレームを空のカセッ
    トに収納するように構成された半導体素子リードフレー
    ム用はんだ鍍金装置において、 前記はんだ鍍金処理を施す各処理工程の槽及び装置を順
    次配列すると共に、はんだ鍍金処理前のリードフレーム
    を収納したカセット及びはんだ鍍金処理後のリードフレ
    ームを収納する空カセットを移動する装置を前記槽及び
    装置列の手前に並べてこれらを略コ字状に配置し、 前記カセットからはんだ鍍金処理前のリードフレームを
    1枚ずつ取り出し、該リードフレームを前記各処理工程
    で各処理を施し、はんだ鍍金処理が施されたリードフレ
    ームを空カセットに収納されるまで、前記略コ字状の配
    置に沿ってリードフレームを移送する装置を設けたこと
    を特徴とする半導体素子リードフレーム用はんだ鍍金装
    置。
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