JPH05184169A - Oscillatory wave motor driving circuit - Google Patents
Oscillatory wave motor driving circuitInfo
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- JPH05184169A JPH05184169A JP4001028A JP102892A JPH05184169A JP H05184169 A JPH05184169 A JP H05184169A JP 4001028 A JP4001028 A JP 4001028A JP 102892 A JP102892 A JP 102892A JP H05184169 A JPH05184169 A JP H05184169A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、振動体に生じさせた進
行性振動波により振動体と接している移動体を摩擦駆動
するいわゆる振動波モータのための駆動回路に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a drive circuit for a so-called vibration wave motor which frictionally drives a moving body which is in contact with a vibrating body by a progressive vibration wave generated in the vibrating body.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来の振動波モータ駆動回路の第一例を
図10に示す。101は振動波モータの駆動を制御する
ためのマイクロコンピュータ、102はマイクロコンピ
ュータ101から出力されたデジタル信号をアナログ信
号に換えるD/Aコンバータ、103はD/Aコンバー
タ102からの出力電圧によって発振周波数が制御され
る可変周波数発振器(VCO)、104は可変周波数発
振器(VCO)103からの出力信号を2分周するため
のD−フリップフロップ、105及び106は振動波モ
ータを駆動するための位相の異なる同一周波数の信号を
作るためのD−フリップフロップ、107は振動波モー
タの回転方向を変化させるためのEXCLUSIVE−
OR回路、108及び109は振動波モータの駆動と停
止を制御するためのAND回路、110は振動波モータ
を駆動するための高圧電源、111と112は振動波モ
ータを駆動するための電力増幅器、113と114は振
動波モータを駆動するためのマッチングコイル、115
は振動波モータの本体、である。2. Description of the Related Art A first example of a conventional oscillatory wave motor drive circuit is shown in FIG. Reference numeral 101 is a microcomputer for controlling the drive of the vibration wave motor, 102 is a D / A converter for converting a digital signal output from the microcomputer 101 into an analog signal, and 103 is an oscillation frequency according to an output voltage from the D / A converter 102. Is controlled by a variable frequency oscillator (VCO), 104 is a D-flip flop for dividing the output signal from the variable frequency oscillator (VCO) 103 by two, and 105 and 106 are phases for driving the vibration wave motor. D-flip-flop for producing signals of different same frequency, 107 is EXCLUSIVE- for changing the rotation direction of the vibration wave motor
OR circuits, 108 and 109 are AND circuits for controlling driving and stopping of the vibration wave motor, 110 is a high-voltage power supply for driving the vibration wave motor, 111 and 112 are power amplifiers for driving the vibration wave motor, 113 and 114 are matching coils for driving the vibration wave motor, and 115
Is the main body of the vibration wave motor.
【0003】次に上記の回路にしたがって動作を説明す
る。振動波モータの駆動周波数と回転数の関係は図11
に示すような特性をしており、通常は駆動周波数をf3
から低い方へスキャンさせてN1〜N2の間の所定の回
転数になったならば周波数のスキャンを停止する。ま
た、周波数をf0までスキャンさせると回転数は最高速
になるが、少しでも周波数がf0よりも小さくなると突
然回転数が落ちてしまう特性を持っている。この様な振
動波モータを回転させるためにマイクロコンピュータ1
01はまずPD0からPD7の出力ポートに00hを出
力する。このときのD/Aコンバータの出力は図12に
示すように最小になる。Next, the operation will be described according to the above circuit. The relationship between the drive frequency and the rotation speed of the vibration wave motor is shown in FIG.
It has the characteristics as shown in, and normally the drive frequency is f3.
To the lower side, and when the predetermined number of rotations between N1 and N2 is reached, the frequency scanning is stopped. Further, when the frequency is scanned up to f0, the rotation speed becomes maximum, but when the frequency becomes smaller than f0, the rotation speed suddenly drops. In order to rotate such a vibration wave motor, the microcomputer 1
01 first outputs 00h to the output ports of PD0 to PD7. The output of the D / A converter at this time becomes the minimum as shown in FIG.
【0004】このD/Aコンバータの出力は可変周波数
発振器(VCO)103に入力され、図13に示すよう
に駆動周波数f3の4倍の周波数を発振する。この発振
信号はD−フリップフロップ104,105,106か
らなる90度位相シフト回路に入力され、図14に示す
ような同一周波数f3で位相の90度異なる振動波モー
タ駆動信号を生成する。この2つの信号のうち90度位
相の遅れたD−フリップフロップ106の出力信号はE
XCLUSIVE−OR回路107に入力される。EX
CLUSIVE−OR回路107にはマイクロコンピュ
ータ101のDIR端子から回転方向信号が出力され、
DIR出力がLowの時にはEXCLUSIVE−OR
回路107は位相の90度遅れた信号を出力し、DIR
端子がHighの時には位相の90度進んだ信号を出力
して振動波モータの駆動方向をきり換える。The output of this D / A converter is input to a variable frequency oscillator (VCO) 103 and oscillates at a frequency four times the drive frequency f3 as shown in FIG. This oscillating signal is input to a 90-degree phase shift circuit composed of D-flip-flops 104, 105 and 106 to generate a vibration wave motor drive signal having the same frequency f3 and a phase difference of 90 degrees as shown in FIG. Of the two signals, the output signal of the D-flip-flop 106 delayed by 90 degrees in phase is E.
It is input to the XCLUSIVE-OR circuit 107. EX
A rotation direction signal is output from the DIR terminal of the microcomputer 101 to the CLUSIVE-OR circuit 107,
EXCLUSIVE-OR when DIR output is Low
The circuit 107 outputs a signal whose phase is delayed by 90 degrees,
When the terminal is High, a signal having a phase advanced by 90 degrees is output to switch the driving direction of the vibration wave motor.
【0005】ここまでで作られた振動波モータ駆動信号
は、AND回路108と109にそれぞれ入力され、マ
イクロコンピュータ101のON端子がHighの時に
振動波モータ駆動用の信号を出力する。この信号は高圧
電源110を電源とする電力増幅器に入力されて振動波
モータを駆動するのに必要な電力に増幅され、マッチン
グコイル113と114を介して振動波モータ115の
それぞれの圧電素子115aと115bに印加される。
ここで印加される周波数はf4であるので振動波モータ
は図11のように回転数0となり回転しない。The vibration wave motor drive signal generated up to this point is input to AND circuits 108 and 109, respectively, and when the ON terminal of the microcomputer 101 is High, a vibration wave motor drive signal is output. This signal is input to a power amplifier that uses the high-voltage power supply 110 as a power source, amplified to the power necessary to drive the vibration wave motor, and is supplied to the respective piezoelectric elements 115a of the vibration wave motor 115 via the matching coils 113 and 114. 115b is applied.
Since the frequency applied here is f4, the vibration wave motor does not rotate at the rotational speed of 0 as shown in FIG.
【0006】次に、マイクロコンピュータ101はPD
0〜PD7の出力を00hから01hに変化させる。こ
れによりD/Aコンバータ102の出力電圧は図12に
示すように僅かに上昇し、可変周波数発振器(VCO)
103の発振周波数は僅かに小さくなる。このため、振
動波モータに印加される駆動周波数も僅かに小さくな
り、図11に示すf3になるので振動波モータ115は
図11に示すようにN3の回転速度で回転を開始する。
マイクロコンピュータ101はPD0〜PD7の出力デ
ータを順番に大きくなるように変化させて可変周波数発
振器(VCO)の発振周波数を小さくなる方向に変化さ
せる。Next, the microcomputer 101 is PD
The output of 0 to PD7 is changed from 00h to 01h. As a result, the output voltage of the D / A converter 102 slightly rises as shown in FIG. 12, and the variable frequency oscillator (VCO)
The oscillation frequency of 103 becomes slightly smaller. For this reason, the drive frequency applied to the vibration wave motor is slightly reduced to f3 shown in FIG. 11, so that the vibration wave motor 115 starts rotating at the rotation speed of N3 as shown in FIG.
The microcomputer 101 sequentially changes the output data of PD0 to PD7 so as to increase, and changes the oscillation frequency of the variable frequency oscillator (VCO) in the decreasing direction.
【0007】これにより振動波モータ115に印加され
る駆動周波数はだんだん小さい方向にスキャンされるこ
とになり、図11に示すように振動波モータ115の回
転数は大きくなる。振動波モータ115の回転数が目標
回転数であるN1に到達すると、マイクロコンピュータ
101はPD0〜PD7に出力するデータのスキャンを
停止して一定のデータを出力する。このときの振動波モ
ータに印加される駆動周波数はf1となる。この後、マ
イクロコンピュータ101は振動波モータ115の回転
数を一定に保つため、不図示の回転数検出手段により振
動波モータ115の回転数を検出し、振動波モータ11
5の回転数が目標速度範囲であるN1〜N2の間に入る
ようにPD0〜PD7の出力データを変化させる事によ
りA/Dコンバータ102の出力電圧と可変周波数発振
器(VCO)の発振周波数を変化させる。これにより振
動波モータ115に印加される駆動周波数を制御して振
動波モータ115の回転数を目標速度の範囲に入るよう
に制御を行う。As a result, the driving frequency applied to the vibration wave motor 115 is gradually scanned in a smaller direction, and the rotation speed of the vibration wave motor 115 increases as shown in FIG. When the rotation speed of the vibration wave motor 115 reaches the target rotation speed N1, the microcomputer 101 stops scanning the data to be output to PD0 to PD7 and outputs certain data. The drive frequency applied to the vibration wave motor at this time is f1. After that, the microcomputer 101 keeps the rotation speed of the vibration wave motor 115 constant, so that the rotation speed detection means (not shown) detects the rotation speed of the vibration wave motor 115, and the vibration wave motor 11
The output voltage of the A / D converter 102 and the oscillating frequency of the variable frequency oscillator (VCO) are changed by changing the output data of PD0 to PD7 so that the rotation speed of No. 5 falls within the target speed range N1 to N2. Let Thus, the drive frequency applied to the vibration wave motor 115 is controlled to control the rotation speed of the vibration wave motor 115 to fall within the target speed range.
【0008】なお、水晶発振器等を用いて振動波モータ
駆動周波数よりも高い高周波信号を発振させて、これを
カウンタ回路などを用いて振動波モータ駆動周波数を作
り出し、カウンタのカウント数を変化させることにより
振動波モータの駆動周波数を変化させて振動波モータを
駆動する駆動回路が本出願人により提案されている。一
方、従来の振動波モータ駆動回路では、振動波モータで
物体を駆動すると共に何らかの信号音を発生する場合に
は図19に示す様にマイクロコンピュータ201、D/
Aコンバータ202、可変周波数発振器203、振動波
モータ駆動ロジック回路204、高圧電源205、増幅
回路206及び207、マッチングコイル208及び2
09を用いて、振動波モータ210を駆動すると共に、
マイクロコンピュータ201とブザー212を用いて、
信号音を発生するという手段を用いていた。A crystal oscillator or the like is used to oscillate a high frequency signal higher than the vibration wave motor drive frequency, and a counter circuit or the like is used to generate the vibration wave motor drive frequency to change the count number of the counter. The applicant has proposed a drive circuit that drives the vibration wave motor by changing the drive frequency of the vibration wave motor. On the other hand, in the conventional oscillatory wave motor drive circuit, when an object is driven by the oscillatory wave motor and some signal sound is generated, as shown in FIG.
A converter 202, variable frequency oscillator 203, vibration wave motor drive logic circuit 204, high voltage power supply 205, amplification circuits 206 and 207, matching coils 208 and 2
09 to drive the vibration wave motor 210,
Using the microcomputer 201 and buzzer 212,
It used the means of generating a signal tone.
【0009】[0009]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例ではD/Aコンバータや可変周波数発振器(VC
O)等のアナログ回路が必要である。このため、高精度
のD/Aコンバータや可変周波数発振器(VCO)の発
振周波数調整が必要であり、アナログ信号であるためノ
イズに弱く、また、周囲の温度変化の影響を受けてしま
う。また、これらの回路をICで構成するためにはBi
−CMOSプロセスやリニアCMOSプロセスといった
複雑なプロセスを用いてデジタル回路とアナログ回路を
構成しなければならないので回路が複雑かつ高価になっ
てしまう。However, in the above conventional example, the D / A converter and the variable frequency oscillator (VC) are used.
O) and other analog circuits are required. Therefore, it is necessary to adjust the oscillation frequency of the D / A converter or the variable frequency oscillator (VCO) with high accuracy, and since it is an analog signal, it is weak against noise and is affected by the ambient temperature change. In order to configure these circuits with an IC, Bi
Since the digital circuit and the analog circuit must be configured by using a complicated process such as a CMOS process or a linear CMOS process, the circuit becomes complicated and expensive.
【0010】また、本出願人が提案した回路では、振動
波モータを駆動するための周波数を細かく変化させよう
とした場合に発振回路の発振周波数が非常に高くなるの
でカウンタ回路等のロジック回路を高速で動作しなけれ
ばならず、コストアップになってしまうという欠点があ
った。Further, in the circuit proposed by the present applicant, when the frequency for driving the vibration wave motor is finely changed, the oscillation frequency of the oscillation circuit becomes very high. Therefore, a logic circuit such as a counter circuit is used. It had to operate at high speed, which had the drawback of increasing costs.
【0011】一方、図19に示されている従来の振動波
モータ駆動回路は、振動波モータを動作させる回路の他
にブザーなどの発音手段が必要であり、部品点数の増加
やコストUPにつながってしまうという欠点があった。On the other hand, the conventional vibration wave motor drive circuit shown in FIG. 19 requires a sounding means such as a buzzer in addition to the circuit for operating the vibration wave motor, which leads to an increase in the number of parts and an increase in cost. There was a drawback that it would end up.
【0012】従って、本発明の目的は、上述の欠点を持
たない振動波モータ駆動回路を提供することである。Accordingly, it is an object of the present invention to provide an oscillatory wave motor drive circuit which does not have the above mentioned drawbacks.
【0013】[0013]
【課題を解決するための手段】本発明による振動波モー
タ駆動回路は、振動波モータの駆動周波数よりも高い周
波数の信号を水晶発振などの高精度で温度変化などに強
い発振源により基本となる発振を行いこれをカウンタな
どの文周器で分周し、分周する数を変化させることによ
り振動波モータ駆動用の駆動信号を作ると共に駆動信号
の周波数を一周期毎に二つの周波数を交互に変化させる
ことによりこの二つの周波数の中間の周波数で振動波モ
ータを駆動しているのと同様の効果を得ることができる
ように構成されている。従って、振動波モータを駆動す
る周波数変化量が粗くてもこの中間の周波数とおなじ効
果を得ることができるので原発振周波数を低くすること
ができる。また、これらの二つの周波数を選択する比を
前記のように1対1ではなく1対3や3対1という様に
変化させることにより二つの振動波モータ駆動周波数の
中間を複数の周波数に表現できるので更に原発振周波数
を低くすることができる。この様にカウンタとデータ比
較用のマグニチュードコンパレータのデジタル回路のみ
を用いて振動波モータ駆動信号を作り、振動波モータ駆
動周波数を振動波モータの応答速度に比べきわめてはや
い速度で変化させることによりノイズや温度などの環境
変化に強く、原発振周波数も低く、かつ、IC化した場
合にCMOSプロセスのみで構成することが出来る。The oscillatory wave motor drive circuit according to the present invention is basically based on an oscillation source that is highly accurate and highly resistant to temperature changes such as a crystal oscillation of a signal having a frequency higher than the drive frequency of the oscillatory wave motor. Oscillate and divide it with a divider such as a counter, and change the number of divisions to create a drive signal for driving the vibration wave motor and alternate the drive signal frequency between two frequencies. It is configured so that it is possible to obtain the same effect as that of driving the vibration wave motor at a frequency intermediate between these two frequencies by changing the frequency. Therefore, even if the amount of frequency change for driving the vibration wave motor is rough, the same effect as the intermediate frequency can be obtained, and the original oscillation frequency can be lowered. Also, by changing the ratio for selecting these two frequencies from 1 to 3 or 3 to 1 instead of 1 to 1 as described above, the middle of the two vibration wave motor driving frequencies is expressed as a plurality of frequencies. Therefore, the original oscillation frequency can be further lowered. In this way, the vibration wave motor drive signal is created using only the digital circuit of the counter and the magnitude comparator for data comparison, and noise is generated by changing the vibration wave motor drive frequency at a speed extremely faster than the response speed of the vibration wave motor. It is resistant to environmental changes such as temperature, has a low original oscillation frequency, and can be configured only by the CMOS process when integrated into an IC.
【0014】一方、本発明の振動波モータ駆動回路で
は、振動波モータ駆動用周波数信号を分周する回路を設
け、振動波モータに印加する信号を可聴周波数でかつ振
動波モータが回転しない周波数にすることで振動波モー
タから印加周波数の音を発生させることによりブザーな
どの発音体をなくして単純な分周回路を設けるだけで、
信号音を発生させることができる。On the other hand, in the vibration wave motor drive circuit of the present invention, a circuit for dividing the frequency signal for driving the vibration wave motor is provided so that the signal applied to the vibration wave motor has an audible frequency and a frequency at which the vibration wave motor does not rotate. By generating a sound of the applied frequency from the vibration wave motor by doing so, it is possible to eliminate a sounding body such as a buzzer and provide a simple frequency dividing circuit
A signal tone can be generated.
【0015】[0015]
【実施例】図1は本発明の第一実施例の構成を示したも
のである。同図に於て、1は固定の高周波信号を発生す
る信号発生器、2は1で発生した高周波信号を入力とす
るカウンタ回路、3及び4はインバータ回路、5及び6
は2入力のNAND回路で5と6によりRSフリップフ
ロップを構成する。7は2入力のAND回路、8は2入
力AND回路に接続された7bitカウンタ、9は振動
波モータの駆動を制御するためのマイクロコンピュー
タ、10はIP0からIP6に入力された7bitのデ
ータとINCに入力された1bitのデータを加算して
その値をOP0からOP6に7bit出力する加算回
路、11は2入力のAND回路、12は加算回路10と
7bitカウンタ8から入力されたデータを比較するマ
グニチュードコンパレータ、13はマグニチュードコン
パレータ12の出力とマイクロコンピュータ9のRST
端子の出力を入力とするOR回路、14と15と16と
17はD−フリップフロップ、18はEXCLUSIV
E−OR回路、19と20は2入力AND回路、21は
振動波モータを駆動するための高圧電源、22と23は
振動波モータを駆動するための電力増幅器、24と25
は振動波モータ駆動用のマッチングコイル、26は振動
波モータ、である。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 shows the configuration of a first embodiment of the present invention. In the figure, 1 is a signal generator that generates a fixed high frequency signal, 2 is a counter circuit that receives the high frequency signal generated in 1, and 3 and 4 are inverter circuits, 5 and 6
Is a 2-input NAND circuit, and an RS flip-flop is constituted by 5 and 6. 7 is a 2-input AND circuit, 8 is a 7-bit counter connected to the 2-input AND circuit, 9 is a microcomputer for controlling the drive of the vibration wave motor, and 10 is 7-bit data and INC input from IP0 to IP6. An addition circuit that adds 1-bit data input to and outputs a value of 7 bits from OP0 to OP6, 11 is a 2-input AND circuit, and 12 is a magnitude that compares the data input from the addition circuit 10 and the 7-bit counter 8. The comparator, 13 is the output of the magnitude comparator 12 and the RST of the microcomputer 9.
An OR circuit which receives the output of the terminal as an input, 14 and 15 and 16 and 17 are D-flip flops, and 18 is EXCLUSIV
E-OR circuits, 19 and 20 are 2-input AND circuits, 21 is a high-voltage power supply for driving the vibration wave motor, 22 and 23 are power amplifiers for driving the vibration wave motor, and 24 and 25.
Is a matching coil for driving a vibration wave motor, and 26 is a vibration wave motor.
【0016】上記構成に於て、本実施例の振動波モータ
駆動回路の動作について説明する。信号発生器1は回路
に電源が投入されると発振を開始する。ここでの発振周
波数は36MHzとし、この信号は図1の信号線31に
より8bitカウンタ回路及びAND回路7に入力され
る。ここで振動波モータ制御用のマイクロコンピュータ
9からRST端子にリセット信号としてHighの信号
が出力されると信号線32によりOR回路13を通して
8bitカウンタ回路2、RSフリップフロップ5及び
6と7bitカウンタ回路にリセット信号が送られ、8
bitカウンタ2及び7bitカウンタ8のカウント値
は0にリセットされ、また、RSフリップフロップを構
成するNAND回路5の出力はLowになる。このとき
の各信号の状態を示すのが図2のAの状態である。次
に、マイクロコンピュータ9からのリセット信号RST
がLowになり、信号発生器1からの信号がLowから
Highに立ち上がると8bitカウンタ回路2はカウ
ントを開始し、カウント値が255になるまでカウント
を続ける。このときには、RSフリップフロップ回路の
出力34がLowであるのでAND回路7の出力はLo
wであり、7bitカウンタ8にはクロックは入力され
ないので7bitカウンタのカウント値は0のままであ
る。このときの状態を示すのが図2のBの状態である。The operation of the vibration wave motor drive circuit of the present embodiment having the above structure will be described. The signal generator 1 starts oscillating when the circuit is powered on. The oscillation frequency here is 36 MHz, and this signal is input to the 8-bit counter circuit and AND circuit 7 through the signal line 31 in FIG. When a high signal is output from the microcomputer 9 for controlling the vibration wave motor to the RST terminal as a reset signal, the signal line 32 passes through the OR circuit 13 to the 8-bit counter circuit 2, the RS flip-flops 5 and 6 and the 7-bit counter circuit. Reset signal sent, 8
The count values of the bit counter 2 and the 7-bit counter 8 are reset to 0, and the output of the NAND circuit 5 forming the RS flip-flop becomes Low. The state of each signal at this time is shown by A in FIG. Next, the reset signal RST from the microcomputer 9
Becomes low and the signal from the signal generator 1 rises from low to high, the 8-bit counter circuit 2 starts counting and continues counting until the count value reaches 255. At this time, since the output 34 of the RS flip-flop circuit is Low, the output of the AND circuit 7 is Lo.
Since it is w, and the clock is not input to the 7-bit counter 8, the count value of the 7-bit counter remains 0. The state at this time is shown in FIG. 2B.
【0017】次に、8bitカウンタのカウント値が2
55のときに信号発生器1からの信号31がLowから
Highに変化したときについて説明する。8bitカ
ウンタに信号発生器1から入力する信号がLowからH
ighに変化すると8bitカウンタはオーバーフロー
を起こしキャリイ信号33を信号線に出力する。この信
号は正論理である。このキャリイ信号33がインバータ
回路3を通してRSフリップフロップ回路を構成するN
AND回路5に入力されるとRSフリップフロップを構
成するインバータ回路7の出力信号34はHighに変
化する。このため、AND回路7の出力は信号発生器1
からの出力信号31とRSフリップフロップを構成する
AND回路7の出力信号34とのANDになるため信号
発生器1の出力信号31と同じ信号が信号線35に出力
され、7bitカウンタ回路8に入力される。このとき
の状態を示すのが図2のCの状態である。7bitカウ
ンタ回路8はカウント用のクロック信号が入力されるの
でカウントを開始する。この7bitカウンタ回路8か
らは7bitパラレルでカウント値が出力され、マグニ
チュードコンパレータ12に入力される。このときの状
態を示すのが図2のDの状態である。Next, the count value of the 8-bit counter is 2
The case where the signal 31 from the signal generator 1 changes from Low to High at 55 will be described. The signal input from the signal generator 1 to the 8-bit counter changes from Low to H
When it changes to high, the 8-bit counter overflows and outputs the carry signal 33 to the signal line. This signal is positive logic. This carry signal 33 passes through the inverter circuit 3 to form an N flip-flop circuit.
When input to the AND circuit 5, the output signal 34 of the inverter circuit 7 forming the RS flip-flop changes to High. Therefore, the output of the AND circuit 7 is the signal generator 1
The output signal 31 from the signal generator is ANDed with the output signal 34 of the AND circuit 7 forming the RS flip-flop, and thus the same signal as the output signal 31 of the signal generator 1 is output to the signal line 35 and input to the 7-bit counter circuit 8. To be done. The state at this time is shown by C in FIG. The 7-bit counter circuit 8 starts counting because the clock signal for counting is input. A count value is output from the 7-bit counter circuit 8 in 7-bit parallel and is input to the magnitude comparator 12. The state at this time is shown by D in FIG.
【0018】いま、振動波モータ制御用のマイクロコン
ピュータ9のPD0〜PD7の出力値が46であるとす
ると、PD0の出力がLowであるのでAND回路11
の出力はLowとなり、加算回路10はマイクロコンピ
ュータ9のPD0〜7の出力値46のうち上位7bit
のPDQ〜PD7の値がIP0〜IP6に入力される。
このときIP0〜IP6に入力される値はマイクロコン
ピュータ9のPD0からPD7の出力値46の1/2の
値である23が入力され、また、INCの入力がLow
であるので加算回路10はIP0〜IP6に入力された
と同じ値の23を出力する。Now, assuming that the output value of PD0 to PD7 of the microcomputer 9 for controlling the vibration wave motor is 46, the output of PD0 is Low, so the AND circuit 11
Of the output value 46 of the PD0 to PD7 of the microcomputer 9 is 7 bits.
The values of PDQ to PD7 are input to IP0 to IP6.
At this time, the value input to IP0 to IP6 is 23, which is half the output value 46 of PD0 to PD7 of the microcomputer 9, and the input of INC is Low.
Therefore, the adder circuit 10 outputs 23, which is the same value as that input to IP0 to IP6.
【0019】このとき、7bitカウンタ8がカウント
値が23になると、マグニチュードコンパレータ12の
二つの入力(7bitカウンタ8からのものと加算回路
10からのもの)が等しくなるのでデータが一致したこ
とを示す信号が信号線36に出力される。この信号は正
論理で、データが一致すると信号のレベルがLowから
highに変化する。このときの状態を示すのが図2の
Eの状態である。信号線36がLowからHighに変
化すると、OR回路13を通して8bitカウンタ回路
2、7bitカウンタ回路8及びRSフリップフロップ
回路がリセットされ、8bitカウンタ2、7bitカ
ウンタ8及びRSフリップフロップ回路はマイクロコン
ピュータ9がリセット信号を出力した時と同じ初期状態
に戻るとともにD−フリップフロップ回路14のクロッ
ク端子に立上り信号が入力される。このときの状態を示
すのが図2のFの状態である。 この様に、これまでに
説明した回路は図2のBからFの状態を繰り返し、7b
itカウンタ回路8のカウント値がマイクロコンピュー
タ9がPD0〜PD6に出力するデータと一致するたび
にマグニチュードコンパレータ12の出力がLowから
Highに変化し、D−フリップフロップ14のクロッ
ク入力に立上りクロックを入力する。At this time, when the count value of the 7-bit counter 8 reaches 23, the two inputs of the magnitude comparator 12 (from the 7-bit counter 8 and from the adder circuit 10) become equal, indicating that the data match. The signal is output to the signal line 36. This signal has a positive logic, and the level of the signal changes from Low to high when the data match. The state at this time is shown by the state E in FIG. When the signal line 36 changes from Low to High, the 8-bit counter circuit 2, 7-bit counter circuit 8 and RS flip-flop circuit are reset through the OR circuit 13, and the 8-bit counter 2, 7-bit counter 8 and RS flip-flop circuit are controlled by the microcomputer 9. The same initial state as when the reset signal is output is restored, and the rising signal is input to the clock terminal of the D-flip-flop circuit 14. The state at this time is shown by F in FIG. In this way, the circuit described so far repeats the states from B to F in FIG.
Each time the count value of the it counter circuit 8 matches the data output from the microcomputer 9 to PD0 to PD6, the output of the magnitude comparator 12 changes from Low to High, and the rising clock is input to the clock input of the D-flip-flop 14. To do.
【0020】次に、D−フリップフロップ14,15,
16の動作について図3のタイミングチャートを用いて
説明する。D−フリップフロップ13はクロック信号端
子CLKに立上り信号が入力されるたびにQ(図3の1
4Q出力タイミング)及び/Q(図3の14/Q出力タ
イミング)の出力を反転する。このため、D−フリップ
フロップ15及び16のクロック入力端子CLKには交
互に立上りクロックが入力され、それぞれ立上りクロッ
クが入力されるたびに図3の15Q出力と16Q出力に
示すようにそれぞれの出力Q及び/Qを反転させる。こ
こで、15Q出力と16Q出力は同一周波数で位相差が
15Qに対して16Qが90度遅れた信号となる。この
とき、マイクロコンピュータ9のDIR端子の出力がL
owであればEXCLUSIVE−OR回路18の出力
はD−フリップフロップ16のQ出力と同じになり、マ
イクロコンピュータ9のDIR端子の出力がHighで
あればEXCLUSIVE−OR回路18の出力はD−
フリップフロップ16のQ出力の反転した信号(図3に
示すようなD−フリップフロップ15の信号と同一周波
数で位相の90度進んだ信号)を出力する。次に、この
二つの同一周波数で位相が±90度の信号はそれぞれA
ND回路19と20に入力される。マイクロコンピュー
タ9のON端子がHighを出力していればAND回路
19及び20は信号をそのまま伝え、ON端子がLow
の時にはAND回路19と20の出力はLowとなる。Next, the D-flip-flops 14, 15,
The operation of 16 will be described with reference to the timing chart of FIG. The D-flip-flop 13 receives Q (1 in FIG. 3) every time a rising signal is input to the clock signal terminal CLK.
4Q output timing) and / Q (14 / Q output timing in FIG. 3) outputs are inverted. Therefore, the rising clocks are alternately input to the clock input terminals CLK of the D-flip-flops 15 and 16, and each time the rising clocks are input, the respective output Qs are output as shown at 15Q output and 16Q output in FIG. And / Q are inverted. Here, the 15Q output and the 16Q output are signals with the same frequency and a phase difference of 15Q delayed by 90 degrees with respect to 15Q. At this time, the output of the DIR terminal of the microcomputer 9 is L
If it is ow, the output of the EXCLUSIVE-OR circuit 18 becomes the same as the Q output of the D-flip-flop 16, and if the output of the DIR terminal of the microcomputer 9 is High, the output of the EXCLUSIVE-OR circuit 18 becomes D-.
An inverted signal of the Q output of the flip-flop 16 (a signal having the same frequency as the signal of the D-flip-flop 15 as shown in FIG. 3 but advanced in phase by 90 degrees) is output. Next, these two signals with the same frequency and a phase of ± 90 degrees are
It is input to the ND circuits 19 and 20. If the ON terminal of the microcomputer 9 outputs High, the AND circuits 19 and 20 transmit the signal as they are, and the ON terminal is Low.
At the time of, the outputs of the AND circuits 19 and 20 are Low.
【0021】AND回路19と20から出力された同一
周波数で位相の異なる二つの信号は高圧電源21(約3
0V)を電源とする電力増幅器に入力され、振動波モー
タ26を駆動するのに必要な電力まで増幅される。ここ
で増幅された同一周波数で位相の異なる信号は振動波モ
ータ駆動用のマッチングコイル24と25を通して振動
波モータ駆動用圧電素子26aと26bに印加され、こ
の信号の周波数が振動波モータ26を駆動できる周波数
であれば振動波モータ26は回転する。Two signals output from the AND circuits 19 and 20 and having the same frequency but different phases are supplied to the high voltage power source 21 (about 3
It is input to a power amplifier having a power source of 0 V) and is amplified to the power required to drive the vibration wave motor 26. The amplified signals having the same frequency but different phases are applied to the piezoelectric elements 26a and 26b for driving the vibration wave motor through the matching coils 24 and 25 for driving the vibration wave motor, and the frequency of this signal drives the vibration wave motor 26. If the frequency is possible, the vibration wave motor 26 rotates.
【0022】振動波モータ26の駆動を制御するために
は図11に示すように振動波モータに印加する駆動周波
数を変化させることにより回転数を変化させなければな
らない。In order to control the drive of the vibration wave motor 26, the rotation frequency must be changed by changing the drive frequency applied to the vibration wave motor as shown in FIG.
【0023】次に、これまでの説明した回路での振動波
モータ26に印加する周波数の制御方法について説明す
る。信号発生器1の発振周波数を36MHzとすると信
号の周期は約27.778nSであるので、8bitカ
ウンタ2が255カウントしてオーバーフロー信号を信
号線33に出力するのに約7.08μSかかる。ここ
で、マイクロコンピュータ9のPD0〜PD7の出力値
が2であれば加算回路10の出力は1となり、マグニチ
ュードコンパレータ12は7bitカウンタのカウント
値が1になるとデータが一致したことを示す信号を信号
線36に出力するため、8bitカウンタ2がオーバー
フロー信号を信号線33に出力してから約27.778
nSでマグニチュードコンパレータ11はデータが一致
したことを示す信号を信号線36に出力する。Next, a method of controlling the frequency applied to the vibration wave motor 26 in the circuit described above will be described. When the oscillation frequency of the signal generator 1 is 36 MHz, the period of the signal is about 27.778 nS. Therefore, it takes about 7.08 μS for the 8-bit counter 2 to count 255 and output the overflow signal to the signal line 33. Here, if the output value of PD0 to PD7 of the microcomputer 9 is 2, the output of the adder circuit 10 becomes 1, and the magnitude comparator 12 outputs a signal indicating that the data match when the count value of the 7-bit counter becomes 1. Since it outputs to the line 36, the 8-bit counter 2 outputs an overflow signal to the signal line 33 and then outputs about 27.778.
At nS, the magnitude comparator 11 outputs to the signal line 36 a signal indicating that the data match.
【0024】従って8bitカウンタがリセット後にカ
ウントを開始してから7.1111μSで図2のEの状
態となり、7.1111μS周期でD−フリップフロッ
プ14のクロック端子CLKに信号が入力されて出力Q
及び/Qが反転する。この出力は7.1111μS毎に
反転するので周波数は約70.3125KHzとなり、
振動波モータ26に印加される駆動信号の周波数は、こ
の周波数の1/2である約35.156KHzとなる。Therefore, after the 8-bit counter has started counting after resetting, the state of E in FIG. 2 is reached at 7.1111 μS, and a signal is input to the clock terminal CLK of the D-flip-flop 14 at a cycle of 7.1111 μS to output Q.
And / Q are inverted. Since this output is inverted every 7.1111 μS, the frequency is about 70.3125 KHz,
The frequency of the drive signal applied to the vibration wave motor 26 is about 35.156 KHz, which is ½ of this frequency.
【0025】次に、マイクロコンピュータ9のPD0〜
PD7の出力値が4のときには8bitカウンタ2が2
55カウントしてから7bitカウンタ8が2カウント
する毎にD−フリップフロップ14のクロック端子CL
Kにクロック信号が入力され、この周期は7.1389
μSとなり、D−フリップフロップ14の出力信号の周
波数は約70.039KHzとなり、振動波モータ26
に印加される駆動信号の周波数は約35.019KHz
となる。Next, PD0 of the microcomputer 9
When the output value of PD7 is 4, the 8-bit counter 2 is 2
Every time the 7-bit counter 8 counts 2 after counting 55, the clock terminal CL of the D-flip-flop 14
The clock signal is input to K, and the cycle is 7.1389.
μS, the frequency of the output signal of the D-flip-flop 14 becomes about 70.039 KHz, and the vibration wave motor 26
The frequency of the drive signal applied to is about 35.019KHz
Becomes
【0026】次に、マイクロコンピュータ9のPD0〜
PD7の出力値が130のときには8bitカウンタ2
が255カウントしてから7bitカウンタ8が65カ
ウントする毎にD−フリップフロップ13のクロック端
子CLKにクロック信号が入力され、この周期は8.9
167μSとなり、D−フリップフロップ13の出力信
号の周波数は約56.075KHzとなり、振動波モー
タ26に印加される駆動信号の周波数は約28.037
KHzとなる。Next, PD0 of the microcomputer 9
When the output value of PD7 is 130, 8-bit counter 2
, The clock signal is input to the clock terminal CLK of the D-flip-flop 13 every time the 7-bit counter 8 counts 65, and the cycle is 8.9.
167 μS, the frequency of the output signal of the D-flip-flop 13 is about 56.075 KHz, and the frequency of the drive signal applied to the vibration wave motor 26 is about 28.037.
It becomes KHz.
【0027】この様に、マイクロコンピュータ9のPD
0〜PD6の出力値を変更することにより、D−フリッ
プフロップ14のクロック端子CLKに入力されるクロ
ックの周期を変更して振動波モータに印加する駆動周波
数を変化させることが出来る。In this way, the PD of the microcomputer 9
By changing the output values of 0 to PD6, the cycle of the clock input to the clock terminal CLK of the D-flip-flop 14 can be changed to change the drive frequency applied to the vibration wave motor.
【0028】ここまではマイクロコンピュータ9のPD
0出力が0(Low)の場合について説明してきたが、
次に、マイクロコンピュータ9のPD0出力が1(Hi
gh)の場合について図4を用いて説明する。いま、マ
イクロコンピュータ9のPDP〜PD7の出力値が47
であり、D−フリップフロップ17の/Q出力が0(L
ow)であるとき(図4のAの状態)には、マイクロコ
ンピュータ9のPD0出力の状態に関わらずAND回路
11の出力は0(Low)となるので、加算回路10に
はマイクロコンピュータ9のPD0〜PD7の出力値の
1/2の値である23がIP0〜IP6に入力されると
ともにINCに0(Low)が入力されるので、OP〜
O6の出力値は23となり、このときの動作は、前に図
2を用いて説明したマイクロコンピュータ9のPD0〜
PD7の出力値が46のときと同様の動作となり、信号
線36に1(High)の信号を出力して図4のAの状
態から図4のBの状態へと移行する。Up to this point, the PD of the microcomputer 9
Although the case where the 0 output is 0 (Low) has been described,
Next, the PD0 output of the microcomputer 9 is 1 (Hi
The case of gh) will be described with reference to FIG. Now, the output values of PDP to PD7 of the microcomputer 9 are 47
And the / Q output of the D-flip-flop 17 is 0 (L
ow) (state of A in FIG. 4), the output of the AND circuit 11 becomes 0 (Low) regardless of the state of the PD0 output of the microcomputer 9, so that the addition circuit 10 includes the microcomputer 9 Since 23, which is a half of the output value of PD0 to PD7, is input to IP0 to IP6 and 0 (Low) is input to INC, OP to
The output value of O6 is 23, and the operation at this time is PD0 to PD0 of the microcomputer 9 described previously with reference to FIG.
The operation is the same as when the output value of the PD 7 is 46, the signal of 1 (High) is output to the signal line 36, and the state of A of FIG. 4 shifts to the state of B of FIG.
【0029】図4のBの状態でもD−フリップフロップ
17の/Q出力は0(Low)であるので、前回と同じ
様に7bitカウンタの値が23になると、図4のBの
状態から図4のCの状態へと変化し、これを図4のEの
状態へと変化するまで同じ事を繰り返す。図4のEのと
きにはD−フリップフロップ17の/Qの出力が1(H
igh)になり、かつ、マイクロコンピュータ9のPD
0の出力が1(High)であるのでAND回路11の
出力は1(High)となり、加算回路10のIP0〜
IP6入力にはマイクロコンピュータ9の出力値47の
1/2である23が入力されると共に、INCには1
(High)が入力されているので、加算回路10のO
P0〜OP6の出力値は24となる。Since the / Q output of the D-flip-flop 17 is 0 (Low) even in the state of B of FIG. 4, when the value of the 7-bit counter becomes 23 as in the previous case, the state of the state of B of FIG. 4 is changed to the state of C, and the same thing is repeated until it is changed to the state of E of FIG. At the time of E in FIG. 4, the output of / Q of the D-flip-flop 17 is 1 (H
PD) of the microcomputer 9
Since the output of 0 is 1 (High), the output of the AND circuit 11 is 1 (High), and the IP0 of the adder circuit 10
23, which is 1/2 of the output value 47 of the microcomputer 9, is input to the IP6 input, and 1 is input to INC.
Since (High) is input, O of the addition circuit 10
The output value of P0 to OP6 is 24.
【0030】このときの動作を示すのが、図5のEとF
の状態である。この状態では7bitカウンタ8の出力
が24になると信号線36に立上り信号を出力する。こ
のため、D−フリップフロップ14のQ出力及び/Q出
力が反転するまでの時間はD−フリップフロップ17の
/Q出力が0(Low)の時よりも発振回路1の発振の
1周期分だけ長い周期で反転することになる。この1ク
ロック分長い反転周期の状態は図4のEから図4のHの
状態の間の4周期継続し、図4のAの状態へと変化す
る。このため、D−フリップフロップ17のQ出力及び
/Q出力の周期は、1周期ごとに発振回路1の発振の1
周期分だけ長くなったり短くなったりを繰り返すことに
なる。D−フリップフロップ17の出力は振動波モータ
26を駆動する信号の周波数と同じであるので振動波モ
ータ26は1周期ごとに周波数の変化する信号で駆動さ
れることになる。振動波モータ26はこの駆動周波数に
比べて応答速度が充分に遅いため、振動波モータ26を
1周期ごとに周期の変動する二つの周波数の中間の周波
数で駆動しているのと同じ状態で駆動することが出来
る。The operation at this time is shown by E and F in FIG.
It is the state of. In this state, when the output of the 7-bit counter 8 becomes 24, a rising signal is output to the signal line 36. Therefore, the time until the Q output and / Q output of the D-flip-flop 14 are inverted is only one cycle of oscillation of the oscillation circuit 1 than when the / Q output of the D-flip-flop 17 is 0 (Low). It will be reversed in a long cycle. The state of the inversion period which is longer by one clock continues for four cycles from the state of E of FIG. 4 to the state of H of FIG. 4 and changes to the state of A of FIG. Therefore, the cycle of the Q output and / Q output of the D-flip-flop 17 is one cycle of the oscillation of the oscillation circuit 1 for each cycle.
It becomes longer and shorter by the period. Since the output of the D-flip-flop 17 is the same as the frequency of the signal that drives the vibration wave motor 26, the vibration wave motor 26 is driven by a signal whose frequency changes every cycle. Since the response speed of the vibration wave motor 26 is sufficiently slower than this drive frequency, the vibration wave motor 26 is driven in the same state as when the vibration wave motor 26 is driven at an intermediate frequency between two frequencies in which the cycle changes every cycle. You can do it.
【0031】次に、これまでに説明した回路での振動波
モータ26に印加する周波数の制御方法について説明す
る。前に説明したように信号発生器1の発振周波数は3
6MHzであるから信号の周期は約27.778nSで
あり、マイクロコンピュータ9のPD0〜PD7の出力
値が3であればD−フリップフロップの/Q出力が0
(Low)のときにはマグニチュードコンパレータ12
が信号線36に立上り信号を出す周期は7.1389μ
Sで、振動波モータ26を駆動する為のD−フリップフ
ロップ15のQ及び/Q出力の周波数は35.019K
Hzとなり、D−フリップフロップ17の/Q出力が1
(High)のときにはマグニチュードコンパレータ1
2が信号線36に立上り信号を出す周期は7.1667
μS周期で、振動波モータ26を駆動する周波数は3
4.884KHzとなる。Next, a method of controlling the frequency applied to the vibration wave motor 26 in the circuit described so far will be described. As described above, the oscillation frequency of the signal generator 1 is 3
Since it is 6 MHz, the period of the signal is about 27.778 nS, and if the output value of PD0 to PD7 of the microcomputer 9 is 3, the / Q output of the D-flip-flop is 0.
When it is (Low), the magnitude comparator 12
The period in which the rising signal is output to the signal line 36 is 7.1389 μ
In S, the frequency of the Q and / Q outputs of the D-flip-flop 15 for driving the vibration wave motor 26 is 35.019K.
Hz, and / Q output of D-flip-flop 17 becomes 1
When it is (High), the magnitude comparator 1
2 outputs a rising signal to the signal line 36 at a cycle of 7.1667
In the frequency of μS, the frequency for driving the vibration wave motor 26 is 3
It becomes 4.884 KHz.
【0032】このため、振動波モータ26には35.0
19KHzと34.884KHzの駆動信号が交互に与
えられるため、実質的に振動波モータ26にはこの二つ
の周波数のほぼ中間の周波数である約34.952KH
zの駆動信号が与えられたのと同じ事になる。また、マ
イクロコンピュータ9のPD0〜PD7の出力が131
の時には振動波モータ26の駆動周波数は前述の場合と
同様に28.037KHzと27.950KHzを一周
期ごとに繰り返す駆動周波数が与えられ、実質的には振
動波モータ26を27.994KHzで駆動しているこ
とになる。Therefore, the vibration wave motor 26 has 35.0
Since the drive signals of 19 KHz and 34.884 KHz are alternately applied, the vibration wave motor 26 is substantially at an intermediate frequency between these two frequencies, that is, about 34.952 KH.
This is the same as when the z drive signal is given. The output of PD0 to PD7 of the microcomputer 9 is 131
In the case of, the drive frequency of the vibration wave motor 26 is given a drive frequency which repeats 28.037 KHz and 27.950 KHz in each cycle as in the case described above, and substantially drives the vibration wave motor 26 at 27.994 KHz. It will be.
【0033】この様にして振動波モータ駆動制御用のマ
イクロコンピュータ9の出力端子PD0〜PD7の出力
値を変化させることにより振動波モータ駆動周波数を変
化させることができるので、振動波モータ駆動制御用の
マイクロコンピュータ9は不図示の振動波モータの回転
速度検出手段を用いて振動波モータ25の駆動速度を検
出し、PD0〜PD7の出力値を変化させることにより
振動波モータの速度を制御することが出来る。In this way, the vibration wave motor drive frequency can be changed by changing the output values of the output terminals PD0 to PD7 of the vibration wave motor drive control microcomputer 9, so that the vibration wave motor drive control can be performed. The microcomputer 9 detects the driving speed of the vibration wave motor 25 by using the rotation speed detecting means of the vibration wave motor (not shown), and controls the speed of the vibration wave motor by changing the output values of PD0 to PD7. Can be done.
【0034】他の実施例 図6は本発明の第二実施例の構成を示したものである。
同図に於て、51は固定の高周波信号発生器、52は5
1で発生した高周波信号を入力とするカウンタ回路、5
3と54はインバータ回路。55と56は2入力のNA
ND回路で、55と56によりRSフリップフロップを
構成する。57は2入力のAND回路、58は2入力A
ND回路57に接続された6bitカウンタ、59は振
動波モータの駆動を制御するためのマイクロコンピュー
タ、60はIP0〜IP5に入力された6bitデータ
とINCの入力された1bitのデータを加算してその
値をOP0〜OP5に6bitで出力する加算回路、6
1はAP0とAP1に入力されたデータに従ってDP0
及びDP1のデータを選択しINCOUTに出力するデ
ータ選択回路、62は加算回路60と6bitカウンタ
58から入力されたデータを比較して一致したならばH
ighの信号を出力するマグニチュードコンパレータ、
63はマグニチュードコンパレータ62の出力とマイク
ロコンピュータ59のRST端子の出力を入力とするO
R回路、64と65と67と68はD−フリップフロッ
プ、69はEXCLUSIVE−OR回路、70と71
は2入力AND回路、72は振動波モータを駆動するた
めの高圧電源、73と74は振動波モータを駆動するた
めの電力増幅器、75と76は振動波モータ駆動用のマ
ッチングコイル、77は振動波モータ、である。Another Embodiment FIG. 6 shows the configuration of the second embodiment of the present invention.
In the figure, 51 is a fixed high frequency signal generator and 52 is 5
Counter circuit that receives high-frequency signal generated in 1 as input 5
3 and 54 are inverter circuits. 55 and 56 are 2-input NA
In the ND circuit, 55 and 56 form an RS flip-flop. 57 is a 2-input AND circuit, and 58 is a 2-input A
A 6-bit counter connected to the ND circuit 57, 59 is a microcomputer for controlling the drive of the vibration wave motor, and 60 is the addition of 6-bit data input to IP0 to IP5 and 1-bit data input to INC. An adder circuit that outputs a value to OP0 to OP5 in 6 bits, 6
1 is DP0 according to the data input to AP0 and AP1
, And a data selection circuit for selecting the data of DP1 and outputting it to INCOUT, 62 compares the data input from the addition circuit 60 and the data input from the 6-bit counter 58, and if they match, H
a magnitude comparator that outputs a high signal,
Reference numeral 63 is an O which receives the output of the magnitude comparator 62 and the output of the RST terminal of the microcomputer 59.
R circuit, 64, 65, 67 and 68 D-flip flops, 69 EXCLUSIVE-OR circuits, 70 and 71
Is a two-input AND circuit, 72 is a high voltage power supply for driving the vibration wave motor, 73 and 74 are power amplifiers for driving the vibration wave motor, 75 and 76 are matching coils for driving the vibration wave motor, and 77 is a vibration. A wave motor.
【0035】上記構成に於て、本実施例の振動波モータ
駆動回路の動作について説明する。第一の実施例で説明
したと同様に、回路に電源が投入されると信号発生器5
1は発振を開始する。ここでの発振周波数は第一の実施
例の発振周波数の1/2の18MHzとする。マイクロ
コンピュータ59からRST端子にリセット信号として
Highの信号が出力されると7bitカウンタ52と
NAND回路55及び56により構成されたRSフリッ
プフロップ及び6bitカウンタ回路58はリセットさ
れ、それぞれのカウンタのカウント値は0となる。次
に、マイクロコンピュータ59のRST端子がLowに
なるとリセットは解除され、第一の実施例で示したと同
様に7bitカウンタ52はカウントを開始して7bi
tカウンタ52はカウント値が127になるまでカウン
トし、さらに1カウントするとオーバーフローを起こし
キャリイ信号を信号線83に出力する。これによりNA
ND回路55と56により構成されたRSフリップフロ
ップが反転し、6bitカウンタ58にクロックが供給
され、6bitカウンタはカウントを開始してカウント
値を6bitパラレルで出力し、この出力値はマグニチ
ュードコンパレータ62に入力される。The operation of the vibration wave motor drive circuit of the present embodiment having the above structure will be described. Similar to the first embodiment, the signal generator 5 is activated when the circuit is powered on.
1 starts oscillation. The oscillation frequency here is 18 MHz, which is half the oscillation frequency of the first embodiment. When a High signal is output from the microcomputer 59 to the RST terminal as a reset signal, the RS flip-flop composed of the 7-bit counter 52 and the NAND circuits 55 and 56 and the 6-bit counter circuit 58 are reset, and the count value of each counter is It becomes 0. Next, when the RST terminal of the microcomputer 59 becomes Low, the reset is released, and the 7-bit counter 52 starts counting and 7-bi as in the first embodiment.
The t-counter 52 counts until the count value reaches 127, and when it further counts by 1, it overflows and outputs a carry signal to the signal line 83. NA
The RS flip-flop formed by the ND circuits 55 and 56 is inverted, the clock is supplied to the 6-bit counter 58, the 6-bit counter starts counting and outputs the count value in 6-bit parallel, and this output value is output to the magnitude comparator 62. Is entered.
【0036】次に、データ選択回路61の動作について
説明する。データ選択回路61の内部構成を図7に、タ
イミングチャートを図8に示す。データ選択回路61は
インバータ、AND回路、OR回路で構成されており、
入力AP0,AP1が共に0(Low)の場合(十進表
記で0の場合)にはDP0,DP1の入力に関係なく出
力INCOUTは0(Low)になる。次に、AP0が
1でAP1が0の場合(十進表記で1の場合)にはDP
0,DP1共に1(High)のときにのみ出力INC
OUTが1(High)になり、他の場合には0とな
る。次に、AP0が0でAP1が1の場合(十進表記で
2の場合)にはDP1の入力がそのまま出力INCOU
Tに出力される。次に、AP0,AP1共に1(Hig
h)の場合(十進表記で3の場合)には、DP0,DP
1の何れかが1(High)のときに出力INCOUT
が1(High)となる。Next, the operation of the data selection circuit 61 will be described. The internal configuration of the data selection circuit 61 is shown in FIG. 7, and the timing chart is shown in FIG. The data selection circuit 61 is composed of an inverter, an AND circuit, and an OR circuit,
When the inputs AP0 and AP1 are both 0 (Low) (0 in decimal notation), the output INCOUT is 0 (Low) regardless of the inputs of DP0 and DP1. Next, if AP0 is 1 and AP1 is 0 (decimal 1), DP
Output INC only when both 0 and DP1 are 1 (High)
OUT becomes 1 (High), and becomes 0 in other cases. Next, when AP0 is 0 and AP1 is 1 (2 in decimal notation), the input of DP1 is output as it is INCOU
It is output to T. Next, both AP0 and AP1 are 1 (High
In the case of h) (3 in decimal notation), DP0, DP
Output INCOUT when any of 1 is 1 (High)
Becomes 1 (High).
【0037】いま、振動波モータ制御用マイクロコンピ
ュータ59のPD0〜PD7の出力端子の出力値が48
であるとすると、データ選択回路61のAP0,AP1
の入力はそれぞれ0(Low)であるのでINCOUT
出力は常に0(Low)になる。このため加算回路60
のINC入力端子は0(Low)であり、IP0〜IP
5の入力にはマイクロコンピュータ59のPD0〜PD
7出力の1/4の値である12が入力されるので加算回
路60のOP0〜OP5の出力端子の出力値は12とな
ってマグニチュードコンパレータ62に入力されるので
6bitカウンタ58のカウント値が12になると第一
の実施例で説明したと同様に信号線86に立上り信号を
出力してD−フリップフロップ64の出力を反転させる
とともに7bitカウンタ52、NAND回路55と5
6により構成されたRSフリップフロップと6bitカ
ウンタ58とをリセットする。Now, the output value of the output terminals of PD0 to PD7 of the vibration wave motor control microcomputer 59 is 48.
, AP0, AP1 of the data selection circuit 61
Since the input of each is 0 (Low), INCOUT
The output is always 0 (Low). Therefore, the adder circuit 60
INC input terminal is 0 (Low), and IP0 to IP
5 inputs PD0 to PD of the microcomputer 59
Since 12 which is a 1/4 value of 7 outputs is input, the output values of the output terminals of OP0 to OP5 of the adder circuit 60 become 12 and are input to the magnitude comparator 62, so that the count value of the 6-bit counter 58 is 12. Then, in the same manner as described in the first embodiment, the rising signal is output to the signal line 86 to invert the output of the D-flip-flop 64, and the 7-bit counter 52 and the NAND circuits 55 and 5 are connected.
The RS flip-flop composed of 6 and the 6-bit counter 58 are reset.
【0038】この動作を繰り返すことにより振動波モー
タ駆動周波数の2倍の周波数をD−フリップフロップ6
4から出力し、D−フリップフロップ65と66により
90度位相のずれた振動波モータ駆動信号を作り、振動
波モータ制御用マイクロコンピュータ59のDIR端子
の状態に従いEXCLUSIVE−OR回路69により
振動波モータの駆動方向を決定し、振動波モータ制御用
マイクロコンピュータ59のON端子が1(High)
であればAND回路70と71により、振動波モータ駆
動用の高圧電源72を電源とする振動波モータ駆動信号
は電力増幅回路73と74で振動波モータを駆動できる
電力まで増幅され、マッチングコイル75と76を通し
て振動波モータ77の電極77aと77bに印加され、
振動波モータ77は回転する。By repeating this operation, the D-flip-flop 6 has a frequency twice as high as the vibration wave motor driving frequency.
4 and outputs a vibration wave motor drive signal which is 90 degrees out of phase by the D-flip-flops 65 and 66. The EXCLUSIVE-OR circuit 69 generates the vibration wave motor according to the state of the DIR terminal of the vibration wave motor control microcomputer 59. Drive direction is determined, the ON terminal of the vibration wave motor control microcomputer 59 is 1 (High)
If so, the AND circuit 70 and 71 amplifies the vibration wave motor drive signal from the high-voltage power supply 72 for driving the vibration wave motor to power enough to drive the vibration wave motor by the power amplification circuits 73 and 74, and the matching coil 75 And 76 are applied to the electrodes 77a and 77b of the vibration wave motor 77,
The vibration wave motor 77 rotates.
【0039】次に、振動波モータ制御用マイクロコンピ
ュータ9のPD0〜PD7の出力値が49であるときに
はデータ選択回路61のAP0入力は1(High)と
なり、AP1入力は0(Low)となるので、DP0,
DP1ともに1(High)の時のみINCOUT出力
は1(High)となる。いま、D−フリップフロップ
67と68の出力端子Qがそれぞれ0(Low)である
とすればデータ選択回路61のDP0,DP1ともに0
であるため出力INCOUTは0となり、加算回路60
にはINCに0、IP0〜IP5入力にはマイクロコン
ピュータ59のPD0〜PD7出力の1/4の値である
12が入力されるので、加算回路60のOP0〜OP5
の出力端子の出力値は12となりマグニチュードコンパ
レータ62に入力されるので6bitカウンタ58のカ
ウント値が12になると信号線86に立上り信号を出力
し、D−フリップフロップ64の出力を反転させる。こ
れを3周期繰り返すとD−フリップフロップ67と68
の出力端子Qがそれぞれ1(High)となってデータ
選択回路61のINCOUT出力が1(High)とな
り、加算回路60のOP0〜OP5の出力は13とな
り、6bitカウンタ58のカウント値が13になると
信号線86に立上り信号を出力してD−フリップフロッ
プ64の出力を反転させるので振動波モータ駆動信号の
周期は発振回路51の発振信号の1周期分だけ長くなり
周波数は低くなる。D−フリップフロップ64の反転を
4回繰り返すとD−フリップフロップ67と68の出力
端子Qがそれぞれ0になる。ここまでの動作を1サイク
ルとすると、このうち3/4だけ振動波モータの駆動周
波数は高く、1/4だけ振動波モータ駆動周波数が低く
なり実質的に振動波モータ77はこの二つの周波数のあ
いだで3/4程低い周波数よりの周波数で駆動したのと
同様の動作をする。Next, when the output value of PD0 to PD7 of the vibration wave motor control microcomputer 9 is 49, the AP0 input of the data selection circuit 61 becomes 1 (High) and the AP1 input becomes 0 (Low). , DP0,
The INCOUT output becomes 1 (High) only when both DP1 are 1 (High). If the output terminals Q of the D-flip-flops 67 and 68 are 0 (Low), both DP0 and DP1 of the data selection circuit 61 are 0.
Therefore, the output INCOUT becomes 0, and the adder circuit 60
Is input to INC, and IP0 to IP5 inputs are input with 12 which is a quarter of PD0 to PD7 output of the microcomputer 59. Therefore, OP0 to OP5 of the adder circuit 60 are input.
Since the output value of the output terminal is 12 and is input to the magnitude comparator 62, when the count value of the 6-bit counter 58 becomes 12, a rising signal is output to the signal line 86 and the output of the D-flip-flop 64 is inverted. When this is repeated for 3 cycles, D-flip-flops 67 and 68
When the output terminals Q of the respective switches become 1 (High), the INCOUT output of the data selection circuit 61 becomes 1 (High), the outputs of OP0 to OP5 of the addition circuit 60 become 13, and the count value of the 6-bit counter 58 becomes 13. Since the rising signal is output to the signal line 86 and the output of the D-flip-flop 64 is inverted, the period of the vibration wave motor drive signal is lengthened by one period of the oscillation signal of the oscillation circuit 51 and the frequency is lowered. When the inversion of the D-flip-flop 64 is repeated four times, the output terminals Q of the D-flip-flops 67 and 68 become 0 respectively. Assuming that the operation up to this point is one cycle, the driving frequency of the vibration wave motor is high by 3/4 of this, and the driving frequency of the vibration wave motor is lowered by 1/4, and the vibration wave motor 77 is substantially one of these two frequencies. In the meantime, the same operation as driving at a frequency lower than 3/4 is performed.
【0040】次に、振動波モータ制御用マイクロコンピ
ュータ9のPD0〜PD7の出力値が50であるときに
はデータ選択回路61のAP0入力は0(Low)とな
り、AP1入力は1(High)となるのでDP1が1
(High)の時のみINCOUT出力は1(Hig
h)となる。いま、D−フリップフロップ68の出力端
子Qが0(Low)であるとすればデータ選択回路61
のDP1は0であるため出力INCOUTは0となり、
加算回路60にはINCに0、IP0〜IP5入力には
マイクロコンピュータ60のPD0〜PD7出力の1/
4の値である12が入力される。このため、加算回路6
0のOP0〜OP5の出力端子の出力値は12となり、
マグニチュードコンパレータ62に入力されるので6b
itカウンタ58のカウント値が12となると信号線8
6に立上り信号を出力してD−フリップフロップ64の
出力を反転させる。これを2周期繰り返すとD−フリッ
プフロップ68の出力端子Qが1(High)となるの
でデータ選択回路61のINCOUT出力が1(Hig
h)となる。従って加算回路60のOP0〜OP5の出
力は13となり、6bitカウンタ58のカウント値が
13になると信号線86に立上り信号を出力しD−フリ
ップフロップ64の出力を反転させる。Next, when the output value of PD0 to PD7 of the vibration wave motor control microcomputer 9 is 50, the AP0 input of the data selection circuit 61 becomes 0 (Low) and the AP1 input becomes 1 (High). DP1 is 1
Only when (High), INCOUT output is 1 (High
h). Now, assuming that the output terminal Q of the D-flip-flop 68 is 0 (Low), the data selection circuit 61
DP1 is 0, the output INCOUT becomes 0,
0 is added to INC in the adder circuit 60, and 1/0 of PD0 to PD7 output of the microcomputer 60 is input to IP0 to IP5.
12, which is the value of 4, is input. Therefore, the adder circuit 6
The output value of the output terminal of OP0 to OP5 of 0 is 12,
6b because it is input to the magnitude comparator 62
When the count value of the it counter 58 reaches 12, the signal line 8
A rising signal is output to 6 to invert the output of the D-flip-flop 64. When this is repeated for two cycles, the output terminal Q of the D-flip-flop 68 becomes 1 (High), so the INCOUT output of the data selection circuit 61 becomes 1 (High).
h). Therefore, the outputs of OP0 to OP5 of the adding circuit 60 become 13, and when the count value of the 6-bit counter 58 becomes 13, a rising signal is output to the signal line 86 and the output of the D-flip-flop 64 is inverted.
【0041】このようにして振動波モータ駆動信号の周
期は発振回路51の発振信号の2周期分だけ長くなり周
波数は低くなる。D−フリップフロップ64の反転を4
回繰り返すとD−フリップフロップ68の出力端子Qが
0になる。ここまでの動作を1サイクルとすると、この
うち1/2だけ振動波モータの駆動周波数は高く、1/
2だけ振動波モータ駆動周波数が低くなり、実質的に振
動波モータ77はこの二つの周波数のあいだの中間の周
波数で駆動したのと同様の動作をする。In this way, the cycle of the vibration wave motor drive signal is lengthened by two cycles of the oscillation signal of the oscillation circuit 51 and the frequency is lowered. Invert the D-flip-flop 64 to 4
When repeated, the output terminal Q of the D-flip-flop 68 becomes 0. Assuming that the operation up to this point is one cycle, the driving frequency of the vibration wave motor is high by 1/2, and
The vibration wave motor drive frequency is lowered by 2, and the vibration wave motor 77 operates substantially as if it were driven at an intermediate frequency between these two frequencies.
【0042】次に、振動波モータ制御用マイクロコンピ
ュータ9のPD0〜PD7の出力値が51であるときに
はデータ選択回路61のAP0,AP1入力は1(Hi
gh)となり、DP0,DP1のどちらかが1(Hig
h)の時にINCOUT出力は1(High)となる。
いま、D−フリップフロップ67と68の出力端子Qが
それぞれ0(Low)であるとすればデータ選択回路6
1のDP0,DP1ともに0であるため出力INCOU
Tは0となり、加算回路60にはINCに0、IP0〜
IP5入力にはマイクロコンピュータ59のPD0〜P
D7出力の1/4の値である12が入力される。Next, when the output value of PD0 to PD7 of the vibration wave motor control microcomputer 9 is 51, the AP0 and AP1 inputs of the data selection circuit 61 are 1 (Hi.
gh), and either DP0 or DP1 is 1 (High
In the case of h), the INCOUT output becomes 1 (High).
Now, assuming that the output terminals Q of the D-flip-flops 67 and 68 are 0 (Low), the data selection circuit 6
Since both DP0 and DP1 of 1 are 0, the output INCOU
T becomes 0, and 0 is added to INC and IP0 to IP0 in the adder circuit 60.
PD0 to P of the microcomputer 59 for IP5 input
12 which is a value of 1/4 of the D7 output is input.
【0043】従って加算回路60のOP0〜OP5の出
力端子の出力値は12となり、マグニチュードコンパレ
ータ62に入力されるので6bitカウンタ58のカウ
ント値が12になると信号線86に立上り信号を出力し
D−フリップフロップ64の出力を反転させる。これを
1周期繰り返すとD−フリップフロップ67と68の出
力端子Qのどちらかが1(High)となるのでデータ
選択回路61のINCOUT出力が1(High)とな
り、加算回路60のOP0〜OP5の出力は13とな
る。このため、6bitカウンタ58のカウント値が1
3になると信号線86に立上り信号を出力しD−フリッ
プフロップ64の出力を反転させるので、振動波モータ
駆動信号の周期は発振回路51の発振信号の1周期分だ
け長くなり周波数は低くなる。D−フリップフロップ6
4の反転を4回繰り返すとD−フリップフロップ67と
68の出力端子Qがそれぞれ0になる。ここまでの動作
を1サイクルとすると、このうち1/4だけ振動波モー
タの駆動周波数は高く、3/4だけ振動波モータ駆動周
波数が低くなり、実質的に振動波モータ77はこの二つ
の周波数のあいだで1/4程低い周波数よりの周波数で
駆動したのと同様の動作をする。Therefore, the output value of the output terminals of OP0 to OP5 of the adder circuit 60 becomes 12, and it is inputted to the magnitude comparator 62. Therefore, when the count value of the 6-bit counter 58 becomes 12, a rising signal is output to the signal line 86 and D- The output of the flip-flop 64 is inverted. When this is repeated for one cycle, either one of the output terminals Q of the D-flip-flops 67 and 68 becomes 1 (High), the INCOUT output of the data selection circuit 61 becomes 1 (High), and the addition circuit 60 outputs OP0 to OP5. The output is 13. Therefore, the count value of the 6-bit counter 58 is 1
When it becomes 3, the rising signal is output to the signal line 86 and the output of the D-flip-flop 64 is inverted, so that the cycle of the vibration wave motor drive signal is lengthened by one cycle of the oscillation signal of the oscillation circuit 51 and the frequency is lowered. D-flip-flop 6
When the inversion of 4 is repeated four times, the output terminals Q of the D-flip-flops 67 and 68 become 0 respectively. If the operation up to this point is one cycle, the driving frequency of the vibration wave motor is high by 1/4 of this, and the driving frequency of the vibration wave motor is lowered by 3/4, and the vibration wave motor 77 is substantially the same as these two frequencies. In the meantime, the same operation as driving at a frequency lower than about 1/4 is performed.
【0044】ここまでは振動波モータ制御用マイクロコ
ンピュータ9のPD0〜PD7出力が48〜51の時に
ついて説明したが、他の値が出力されているときについ
ても、実質的な振動波モータ駆動用周波数は出力値にし
たがって変化する。従って、図9に示すようにPD0〜
PD7の出力値が小さいと振動波モータ駆動周波数は高
くなり、出力値が大きければ振動波モータ駆動周波数は
低くなるので、PD0〜PD7の出力値を変化させるこ
とにより振動波モータの速度制御をすることができる。Up to this point, the description has been given for the case where the PD0 to PD7 outputs of the vibration wave motor control microcomputer 9 are 48 to 51. However, even when another value is output, the vibration wave motor drive is substantially driven. The frequency changes according to the output value. Therefore, as shown in FIG.
When the output value of PD7 is small, the vibration wave motor drive frequency becomes high, and when the output value is large, the vibration wave motor drive frequency becomes low. Therefore, the speed control of the vibration wave motor is performed by changing the output values of PD0 to PD7. be able to.
【0045】図15は本発明の第三実施例の構成を示し
た概略図である。同図に於て、301は振動波モータを
制御するためのマイクロコンピュータ、302はマイク
ロコンピュータ301に接続されてマイクロコンピュー
タからの8bitのデジタル信号を256段階のアナロ
グ電圧信号に変換する8bitD/Aコンバータ、30
3は8bitD/Aコンバータ302に接続され8bi
tD/Aコンバータからの入力電圧によって発振周波数
の変化する可変周波数発振器VCO(以下、VCOと略
す)、304はVCO303に接続されてVCO303
からの発振周波数を1/4に分周する4分周器、305
はマイクロコンピュータ301に接続されマイクロコン
ピュータからの出力信号を反転させるためのインバー
タ、306はVCO303とインバータ304に接続さ
れインバータ304の出力がHighの時にVCO30
3からの信号を反転して出力するNAND回路、307
は4分周器304及びマイクロコンピュータ301に接
続されマイクロコンピュータからの信号がHighの時
に4分周器304からの信号を反転して出力するNAN
D回路、308はNAND回路306に接続されNAN
D回路306又は307のどちらかでもLowの時にH
ighの信号を出力する負論理のORを構成するNAN
D回路、である。FIG. 15 is a schematic diagram showing the configuration of the third embodiment of the present invention. In the figure, 301 is a microcomputer for controlling the vibration wave motor, 302 is an 8-bit D / A converter which is connected to the microcomputer 301 and converts an 8-bit digital signal from the microcomputer into a 256-stage analog voltage signal. , 30
3 is connected to the 8-bit D / A converter 302 and is 8 bi
A variable frequency oscillator VCO (hereinafter abbreviated as VCO) whose oscillation frequency changes according to an input voltage from the tD / A converter, 304 is connected to the VCO 303 to connect to the VCO 303.
Frequency divider for dividing the oscillating frequency from
Is an inverter connected to the microcomputer 301 for inverting an output signal from the microcomputer, 306 is connected to the VCO 303 and the inverter 304, and the VCO 30 is connected when the output of the inverter 304 is High.
A NAND circuit 307 for inverting and outputting the signal from 3;
Is a NAN that is connected to the frequency divider 304 and the microcomputer 301 and inverts the signal from the frequency divider 304 and outputs it when the signal from the microcomputer is High.
D circuit, 308 is connected to NAND circuit 306 and is NAN
H when either D circuit 306 or 307 is Low
NAN forming a negative logic OR that outputs a high signal
D circuit.
【0046】インバータ305とNAND回路306〜
308とはマイクロコンピュータ301からの信号がL
owかHighかにより、VCO303からの信号か4
分周器304からの信号を選択して出力する信号選択回
路を構成している。309はNAND回路308及びマ
イクロコンピュータ301に接続されNAND回路30
8からの信号をマイクロコンピュータ301からの信号
に従って振動波モータを駆動するための信号に変換する
ための振動波モータ駆動ロジック回路、310は振動波
モータを駆動するために必要な高圧(約30V)の電圧
を発生する電圧源、311及び312は振動波モータ駆
動ロジック回路309及び電圧源310に接続され振動
波モータ駆動ロジック回路からの信号を振動波モータを
駆動するのに必要なまで増幅する増幅回路、313及び
314は増幅回路311及び312にそれぞれ接続され
増幅回路311及び312からの信号を振動波モータを
駆動するのに必要な形にするためのマッチングコイル、
315はマッチングコイル313及び314に接続され
マッチングコイル313及び314からの信号によって
進行性振動波を形成し、進行性振動波によって移動体を
駆動する振動波モータ、315aは駆動に必要な進行性
振動波を作るための圧電体に接続された電極A、315
bは駆動に必要な進行性振動波を作るための圧電体に接
続された電極B、315cは振動波モータ上に発生した
進行性振動波の状態を検出するためのセンサ用圧電体に
接続されたセンサ用電極、315dはGNDに接続され
たGND用電極、316は振動波モータ315のセンサ
用電極315cに接続されセンサ用電極からのアナログ
信号を2値のデジタル信号に変換するためのコンパレー
タ、である。Inverter 305 and NAND circuit 306-
A signal from the microcomputer 301 is L
Signal from VCO 303 depending on whether it is ow or High 4
A signal selection circuit that selects and outputs the signal from the frequency divider 304 is configured. A NAND circuit 30 is connected to the NAND circuit 308 and the microcomputer 301.
A vibration wave motor drive logic circuit for converting the signal from 8 into a signal for driving the vibration wave motor in accordance with the signal from the microcomputer 301, and 310 is a high voltage (about 30 V) necessary for driving the vibration wave motor. The voltage sources 311 and 312 for generating the voltage are connected to the vibration wave motor drive logic circuit 309 and the voltage source 310, and amplify the signals from the vibration wave motor drive logic circuit to the necessary level to drive the vibration wave motor. Circuits 313 and 314 are connected to the amplifier circuits 311 and 312, respectively, and matching coils for forming the signals from the amplifier circuits 311 and 312 into a form necessary for driving the vibration wave motor,
A vibration wave motor 315 is connected to the matching coils 313 and 314 to form a progressive vibration wave by signals from the matching coils 313 and 314. Electrodes A, 315 connected to a piezoelectric to create waves
Reference numeral b denotes an electrode B connected to a piezoelectric body for producing a progressive vibration wave necessary for driving, and 315c is connected to a sensor piezoelectric body for detecting the state of the progressive vibration wave generated on the vibration wave motor. The sensor electrode 315d is connected to the GND electrode GND, the reference electrode 316 is connected to the sensor electrode 315c of the vibration wave motor 315, and is used to convert an analog signal from the sensor electrode into a binary digital signal. Is.
【0047】図16は図15の4分周器304の内部を
示す図である。317及び318はD−フリップフロッ
プで、それぞれの反転出力/Qがそれぞれのデータ入力
端子Dに接続されている。また、クロック端子には分周
前の信号が入力され、1つのD−フリップフロップで2
分周されるよう構成されている。FIG. 16 is a diagram showing the inside of the divide-by-4 frequency divider 304 of FIG. Reference numerals 317 and 318 denote D-flip-flops, and their inverted outputs / Q are connected to their respective data input terminals D. In addition, the signal before frequency division is input to the clock terminal, and one D-flip-flop outputs two signals.
It is configured to be divided.
【0048】図17は図15の振動波モータ駆動ロジッ
ク回路309の構成を示す図である。320は入力信号
を2分周するためのD−フリップフロップ、321はD
−フリップフロップ320で2分周された信号とは90
度位相の異なる同一周波数の信号を作るためのD−フリ
ップフロップ、322はインバータ、323〜325は
NAND回路、である。インバータ322とNAND回
路323〜325とにより信号選択回路を構成してお
り、D−フリップフロップ321の出力が正転出力か反
転出力かに応じて動作もしくは非動作するようになって
いる。326及び327はAND回路で、D−フリップ
フロップ320とNAND回路325にそれぞれ接続さ
れONの信号がHighの時にD−フリップフロップ3
20の出力とNAND回路325の出力をそれぞれAO
UT,BOUTに出力する。FIG. 17 is a diagram showing the configuration of the vibration wave motor drive logic circuit 309 of FIG. 320 is a D-flip-flop for dividing the input signal by two, and 321 is D
-The signal divided by 2 in the flip-flop 320 is 90.
D-flip-flops 322 for forming signals of the same frequency with different phases are inverters 323 to 325 are NAND circuits. The inverter 322 and the NAND circuits 323 to 325 form a signal selection circuit, and operate or do not operate depending on whether the output of the D-flip-flop 321 is a normal output or an inverted output. AND circuits 326 and 327 are respectively connected to the D-flip flop 320 and the NAND circuit 325, and when the ON signal is High, the D-flip flop 3
20 and the output of the NAND circuit 325 are AO respectively.
Output to UT and BOUT.
【0049】次に上記構成において本実施例の動作を説
明する。振動波モータを駆動するためには、一般に図1
8に示す振動波モータ駆動周波数帯の様な、可聴周波数
帯より高い周波数の超音波を用いている。これは振動波
モータを駆動する際に振動波モータの特徴の1つである
駆動音がしないという特性を最大限に引き出すためであ
る。マイクロコンピュータは振動波モータを駆動するた
めに、PD0〜PD7に駆動周波数の8bitデータを
出力する。このデータはD/Aコンバータ302に入力
されてアナログの電圧に変換され、このアナログ電圧は
可変周波数発振器303に入力される。可変周波数発振
器303は入力電圧によって発振周波数の変化する発振
器で、アナログ入力電圧が高ければ発振周波数が高くな
り、アナログ入力電圧が低くければ発振周波数が低くな
る。Next, the operation of this embodiment having the above-mentioned structure will be described. In order to drive an oscillatory wave motor, generally, as shown in FIG.
An ultrasonic wave having a frequency higher than the audible frequency band, such as the vibration wave motor drive frequency band shown in FIG. 8, is used. This is for maximizing the characteristic of not driving noise, which is one of the characteristics of the vibration wave motor when the vibration wave motor is driven. The microcomputer outputs 8-bit data of the driving frequency to PD0 to PD7 in order to drive the vibration wave motor. This data is input to the D / A converter 302 and converted into an analog voltage, and this analog voltage is input to the variable frequency oscillator 303. The variable frequency oscillator 303 is an oscillator whose oscillation frequency changes according to the input voltage. The oscillation frequency increases when the analog input voltage is high, and the oscillation frequency decreases when the analog input voltage is low.
【0050】振動波モータは図18に示す様に特定の駆
動周波数帯の中で周波数が高い程回転数が低く、周波数
を低く変化させると回転数が上昇する、という特性をも
っているので、マイクロコンピュータ301は高い周波
数から低い周波数に変化する様にデータを出力する。ま
た、振動波モータを駆動する際に、マイクロコンピュー
タのPC0の出力はLowとなっている。このため、可
変周波数発振器303で作られた振動波モータ駆動用周
波数信号はインバータ305とNAND回路306〜3
08とで構成されるデータセレクタ回路を通して振動波
モータ駆動用ロジック回路309に入力される。振動波
モータ駆動ロジック回路309にはデータセレクタから
の発振信号とマイクロコンピュータのPC1からの振動
波モータ駆動方向信号とPC2からの振動波モータ駆動
ON/OFF信号が入力され、振動波モータ駆動ON/
OFF信号がHighで振動波モータ駆動方向信号がH
ighの状態になっている場合には、可変周波数発振器
303の発振周波数の1/4の周波数の信号をAOUT
から出力し、この出力と同一周波数で位相の90度進ん
だ信号をBOUTから出力し、振動波モータを正転方向
に駆動する信号を作る。また、振動波モータ駆動ON/
OFF信号がHighで振動波モータ駆動方向信号がL
owの時には、AOUTから発振周波数の1/4の周波
数の信号を出力するとともにBOUTからはAOUTの
出力と同一周波数で位相の90度遅れた信号を出力し、
振動波モータを逆転方向に駆動する信号を作り出す。こ
こで作られた90度位相差のある二つの信号は増幅回路
311及び312により振動波モータを駆動するのに必
要な電圧まで増幅され、マッチングコイル313及び3
14を通して振動波モータ315に印加され、振動波モ
ータ上に進行性振動波を形成し振動波モータを回転させ
る。As shown in FIG. 18, the vibration wave motor has the characteristic that the higher the frequency in the specific drive frequency band, the lower the rotational speed, and the lower the frequency, the higher the rotational speed. 301 outputs data so that it changes from a high frequency to a low frequency. When the vibration wave motor is driven, the output of PC0 of the microcomputer is Low. Therefore, the vibration wave motor driving frequency signal generated by the variable frequency oscillator 303 is generated by the inverter 305 and the NAND circuits 306-3.
It is input to the vibration wave motor driving logic circuit 309 through a data selector circuit composed of 08 and. The oscillation signal from the data selector, the oscillation wave motor drive direction signal from PC1 of the microcomputer, and the oscillation wave motor drive ON / OFF signal from PC2 are input to the oscillation wave motor drive logic circuit 309, and the oscillation wave motor drive ON / OFF signal is input.
OFF signal is High and vibration wave motor drive direction signal is H
When it is in the high state, a signal having a frequency 1/4 of the oscillation frequency of the variable frequency oscillator 303 is output to AOUT.
A signal which is output from BOUT and which has the same frequency as this output and which has a phase advanced by 90 degrees is output from BOUT to generate a signal for driving the vibration wave motor in the forward direction. Also, vibration wave motor drive ON /
OFF signal is High and vibration wave motor drive direction signal is L
When it is ow, AOUT outputs a signal having a frequency of 1/4 of the oscillation frequency, and BOUT outputs a signal having the same frequency as the output of AOUT but delayed by 90 degrees in phase,
Generates a signal that drives the oscillatory wave motor in the reverse direction. The two signals having a 90-degree phase difference generated here are amplified by the amplifier circuits 311 and 312 to a voltage required to drive the vibration wave motor, and the matching coils 313 and 3 are generated.
It is applied to the vibration wave motor 315 through 14 to form a progressive vibration wave on the vibration wave motor to rotate the vibration wave motor.
【0051】次に、振動波モータ315を用いて信号音
を発生させる場合について説明する。振動波モータを駆
動する時と同様にマイクロコンピュータ301はPD0
〜PD7から信号音の8bitデータを出力する。この
8bitデータは、D/Aコンバータ302に入力され
アナログ電圧に変換されて出力される。このアナログ信
号は可変周波数発振器303に入力され、振動波モータ
駆動時と同一周波数帯域の周波数を発振する。ここで発
生した信号は4分周回路304に入力され、周波数を1
/4にした信号を作る。信号音を発生させる時にはマイ
クロコンピュータ301のPC0の出力がHighとな
っており、インバータ305とNAND回路306〜3
08とで構成された信号セレクト回路は4分周回路30
4からの信号を選択し、振動波モータ駆動用ロジック回
路309に入力する。この信号の周波数は振動波モータ
を駆動する時の周波数の1/4になっている。この信号
は振動波モータ駆動ロジック回路309に入力される。
振動波モータ駆動ロジック回路309には、マイクロコ
ンピュータ301の振動波モータON/OFF信号出力
PC1と振動波モータ回転方向信号出力PC2が接続さ
れている。振動波モータON/OFF信号出力PC1が
Highの時には振動波モータ駆動ロジック回路309
のAOUT,BOUTには信号セレクト回路から入力さ
れた信号の周波数の1/4の周波数でAOUT,BOU
T間の位相が90度異なる信号が出力される。Next, a case where a signal sound is generated using the vibration wave motor 315 will be described. As in the case of driving the vibration wave motor, the microcomputer 301 is PD0
~ PD7 outputs 8-bit data of signal sound. The 8-bit data is input to the D / A converter 302, converted into an analog voltage, and output. This analog signal is input to the variable frequency oscillator 303 and oscillates a frequency in the same frequency band as when the vibration wave motor is driven. The signal generated here is input to the divide-by-four circuit 304, and the frequency is set to 1
Make a / 4 signal. When the signal sound is generated, the output of PC0 of the microcomputer 301 is High, and the inverter 305 and the NAND circuits 306 to 3 are used.
The signal select circuit composed of 08 and
The signal from No. 4 is selected and input to the vibration wave motor driving logic circuit 309. The frequency of this signal is 1/4 of the frequency when driving the vibration wave motor. This signal is input to the vibration wave motor drive logic circuit 309.
The vibration wave motor drive logic circuit 309 is connected to a vibration wave motor ON / OFF signal output PC1 and a vibration wave motor rotation direction signal output PC2 of the microcomputer 301. Vibration wave motor ON / OFF signal output When the PC1 is High, the vibration wave motor drive logic circuit 309
In AOUT and BOUT, AOUT and BOU have a frequency ¼ of the frequency of the signal input from the signal select circuit.
Signals whose phases between T are different by 90 degrees are output.
【0052】この信号の周波数は、振動波モータを駆動
する際の周波数の1/4の周波数であり、図18に示す
様に振動波モータ駆動周波数を30KHz付近で駆動す
る様に周波数を設定しておけば7.5KHz付近とな
る。この信号は増幅回路311及び312により増幅さ
れ、マッチングコイル313及び314を介して振動波
モータ315に印加される。The frequency of this signal is a quarter of the frequency when driving the vibration wave motor, and as shown in FIG. 18, the frequency is set so that the vibration wave motor drive frequency is driven in the vicinity of 30 KHz. If set in advance, it will be around 7.5 KHz. This signal is amplified by the amplifier circuits 311 and 312 and applied to the vibration wave motor 315 via the matching coils 313 and 314.
【0053】振動波モータ315は可聴周波数が印加さ
れると、振動波モータが印加された周波数で振動し可聴
音を発生する。この時の周波数は図18に示す様に振動
波モータは回転しない。このため、マイクロコンピュー
タ1の振動波モータON/OFF信号を制御することで
振動波モータを駆動せず信号音を発生する。When an audible frequency is applied to the vibration wave motor 315, the vibration wave motor 315 vibrates at the applied frequency to generate an audible sound. The frequency at this time does not rotate the vibration wave motor as shown in FIG. Therefore, by controlling the vibration wave motor ON / OFF signal of the microcomputer 1, a signal sound is generated without driving the vibration wave motor.
【0054】[0054]
【発明の効果】以上説明したように振動波モータの駆動
周波数よりも高い周波数の信号を水晶発振などの高精度
で温度変化などに強い発振源により基本となる発振を行
いこれをカウンタなどの分周器で分周し、分周する数を
変化させることにより振動波モータ駆動用の駆動信号を
作ると共に駆動信号を周波数を一周期毎に二つの周波数
を交互に変化させることによりこの二つの周波数の中間
の周波数で振動波モータを駆動しているのと同様の効果
を得ることができるので、振動波モータを駆動する周波
数変化量が粗くてもこの中間の周波数とおなじ効果を得
ることができるので原発振周波数を低くすることができ
る。As described above, a signal having a frequency higher than the driving frequency of the vibration wave motor is oscillated as a basic by a highly accurate oscillation source such as a crystal oscillation that is strong against temperature changes, and this is divided by a counter or the like. The frequency is divided by a frequency divider, and the number of frequency divisions is changed to create a drive signal for driving the vibration wave motor, and the frequency of the drive signal is changed by alternating two frequencies for each cycle. Since it is possible to obtain the same effect as when the vibration wave motor is driven at the intermediate frequency, even if the frequency change amount for driving the vibration wave motor is rough, the same effect as this intermediate frequency can be obtained. Therefore, the original oscillation frequency can be lowered.
【0055】また、これらの二つの周波数を選択する比
を前記のように1対1ではなく1対3や3対1という様
に変化させることにより二つの振動波モータ駆動周波数
の中間を複数の周波数に表現できるので更に原発振周波
数を低くすることができる。この様にカウンタとデータ
比較用のマグニチュードコンパレータのデジタル回路の
みを用いて振動波モータ駆動信号を作り、振動波モータ
駆動周波数を振動波モータの応答速度に比べきわめては
やい速度で変化させることによりノイズや温度などの環
境変化に強く、原発振周波数も低く、かつ、IC化した
場合にCMOSプロセスのみで構成することが出来る。
また、本発明の駆動回路では、振動波モータ駆動周波
数を可聴周波数に分周する回路を設け、振動波モータに
印加することで簡単に振動波モータから信号音を出すこ
とができる。また、分周回路は、振動波モータ駆動ロジ
ックなどと共にIC化すれば、ほとんどコストUPにつ
ながらないので、従来の様にブザーなど別の信号音発生
手段が必要なくなり、部品点数の減少にもつながる。Further, by changing the ratio for selecting these two frequencies from 1 to 3 or 3 to 1 instead of 1 to 1 as described above, a plurality of intermediate frequencies of the two vibration wave motor drive frequencies can be obtained. Since it can be expressed in frequency, the original oscillation frequency can be further lowered. In this way, the vibration wave motor drive signal is created using only the digital circuit of the counter and the magnitude comparator for data comparison, and noise is generated by changing the vibration wave motor drive frequency at a speed extremely faster than the response speed of the vibration wave motor. It is resistant to environmental changes such as temperature, has a low original oscillation frequency, and can be configured only by the CMOS process when integrated into an IC.
Further, in the drive circuit of the present invention, a signal frequency can be easily output from the vibration wave motor by providing a circuit that divides the vibration wave motor drive frequency to an audible frequency and applying it to the vibration wave motor. Further, if the frequency dividing circuit is integrated into an IC together with the oscillatory wave motor driving logic, the cost is hardly increased, so that another signal sound generating means such as a buzzer is not required unlike the conventional case, and the number of parts is reduced.
【図1】本発明を実施した振動波モータ駆動回路の構成
図。FIG. 1 is a configuration diagram of a vibration wave motor drive circuit embodying the present invention.
【図2】本発明を実施した振動波モータ駆動回路のうち
マイクロコンピュータ9のPD0出力が0の時の信号発
生器からマグニチュードコンパレータまでのタイミング
を示す図。FIG. 2 is a diagram showing the timing from the signal generator to the magnitude comparator when the PD0 output of the microcomputer 9 is 0 in the vibration wave motor drive circuit embodying the present invention.
【図3】本発明を実施した振動波モータ駆動回路のうち
マグニチュードコンパレータの出力から振動波モータ駆
動用信号を生成するまでのタイミングを示す図。FIG. 3 is a diagram showing the timing from the output of a magnitude comparator to the generation of a vibration wave motor drive signal in the vibration wave motor drive circuit embodying the present invention.
【図4】本発明を実施した振動波モータ駆動回路のうち
マイクロコンピュータ9のPD0出力が1のときのタイ
ミングを示す図。FIG. 4 is a diagram showing the timing when the PD0 output of the microcomputer 9 in the vibration wave motor drive circuit embodying the present invention is 1.
【図5】本発明を実施した振動波モータ駆動回路のうち
マイクロコンピュータ9のPD0出力が1のときの信号
発生器からマグニチュードコンパレータまでのタイミン
グを示す図。FIG. 5 is a diagram showing the timing from the signal generator to the magnitude comparator when the PD0 output of the microcomputer 9 is 1 in the vibration wave motor drive circuit according to the present invention.
【図6】本発明を実施した第2の振動波モータ駆動回路
の構成図。FIG. 6 is a configuration diagram of a second vibration wave motor drive circuit embodying the present invention.
【図7】本発明を実施した第2の振動波モータ駆動回路
の内データセレクト回路の構成図。FIG. 7 is a configuration diagram of an internal data select circuit of a second vibration wave motor drive circuit embodying the present invention.
【図8】本発明を実施した第2の振動波モータ駆動回路
のタイミングを示す図。FIG. 8 is a diagram showing a timing of a second vibration wave motor drive circuit embodying the present invention.
【図9】本発明を実施した第2の振動波モータ駆動回路
のマイクロコンピュータ9のPD0〜PD7の出力値と
振動波モータ駆動周波数の関係を示す図。FIG. 9 is a diagram showing the relationship between the output values of PD0 to PD7 of the microcomputer 9 of the second vibration wave motor drive circuit embodying the present invention and the vibration wave motor drive frequency.
【図10】従来の振動波モータ駆動回路の構成図。FIG. 10 is a configuration diagram of a conventional vibration wave motor drive circuit.
【図11】振動波モータに印加する駆動信号の周波数と
振動波モータの回転数を示す図。FIG. 11 is a diagram showing the frequency of the drive signal applied to the vibration wave motor and the rotation speed of the vibration wave motor.
【図12】従来の振動波モータ駆動回路のD/Aコンバ
ータの入力と出力を示す図。FIG. 12 is a diagram showing inputs and outputs of a D / A converter of a conventional vibration wave motor drive circuit.
【図13】従来の振動波モータ駆動回路の可変周波数発
振器(VCO)の入力と出力を示す図。FIG. 13 is a diagram showing an input and an output of a variable frequency oscillator (VCO) of a conventional vibration wave motor drive circuit.
【図14】従来の振動波モータ駆動回路のタイミングを
示す図。FIG. 14 is a diagram showing a timing of a conventional vibration wave motor drive circuit.
【図15】本発明を実施した振動波モータ駆動回路の構
成図。FIG. 15 is a configuration diagram of a vibration wave motor drive circuit embodying the present invention.
【図16】図15に示した4分周回路の詳細図。16 is a detailed view of the divide-by-four circuit shown in FIG.
【図17】図15に示した振動波モータロジック回路を
示した図。17 is a diagram showing the vibration wave motor logic circuit shown in FIG.
【図18】振動波モータの印加周波数と回転数を示す
図。FIG. 18 is a diagram showing an applied frequency and a rotation speed of a vibration wave motor.
【図19】従来の振動波モータ駆動回路を示した図。FIG. 19 is a diagram showing a conventional oscillatory wave motor drive circuit.
1…信号発生器 2…8bitカ
ウンタ 5,6…RSフリップフロップを構成するAND回路 8…bitカウンタ 9…マイクロコ
ンピュータ 10…加算回路 12…マグニチ
ュードコンパレータ 14,15,16,17…D−フリップフロップ 21…高圧電源 22,23…電
力増幅器 26…振動波モータ 51…信号発生
器 52…7bitカウンタ 55,56…RSフリップフロップを構成するAND回
路 58…6bitカウンタ 59…マイクロ
コンピュータ 60…加算回路 61…データ選
択回路 62…マグニチュードコンパレータ 64,65,66,67,68…D−フリップフロップ 72…高圧電源 73,74…電
力増幅器 77…振動波モータ 101…マイク
ロコンピュータ 102…D/Aコンバータ 103…可変周波数発振器(VCO) 104,105,106…D−フリップフロップ 110…高圧電源 111,112
…電力増幅器 115…振動波モータ 301…マイク
ロコンピュータ 302…D/Aコンバータ 303…可変周
波数発振器 304…4分周回路 309…振動波
モータ駆動ロジック 315…振動波モータDESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Signal generator 2 ... 8-bit counter 5,6 ... AND circuit which comprises RS flip-flop 8 ... Bit counter 9 ... Microcomputer 10 ... Addition circuit 12 ... Magnitude comparator 14, 15, 16, 17 ... D-flip-flop 21 High-voltage power supply 22, 23 ... Power amplifier 26 ... Oscillation wave motor 51 ... Signal generator 52 ... 7-bit counter 55, 56 ... AND circuit forming RS flip-flop 58 ... 6-bit counter 59 ... Microcomputer 60 ... Addition circuit 61 ... Data Selection circuit 62 ... Magnitude comparator 64, 65, 66, 67, 68 ... D-flip-flop 72 ... High-voltage power supply 73, 74 ... Power amplifier 77 ... Vibration wave motor 101 ... Microcomputer 102 ... D / A converter 103 ... Variable frequency oscillation Unit (VCO) 104, 105, 106 ... D-flip-flop 110 ... High-voltage power supply 111, 112
Power amplifier 115 Vibration wave motor 301 Microcomputer 302 D / A converter 303 Variable frequency oscillator 304 Frequency division circuit 309 Vibration wave motor drive logic 315 Vibration wave motor
Claims (2)
振動波モータの駆動回路に於て、振動波モータを駆動す
る周波数よりも高い固定の周波数発振手段と、該発振手
段により発生した信号をカウントするカウント手段と、
入力されたデータと該カウント手段からのカウント値を
比較してカウント値が入力されたデータと等しいか大き
くなったことを示す信号を出力する手段と、該出力信号
により振動波モータを駆動する周波数信号を作成する第
一の手段と、振動波モータの応答速度よりも早く該周波
数信号を変化させる事によってカウント値nとカウント
値n+1で得られる周波数のあいだの周波数で振動波モ
ータを駆動する第2の手段と、該発振手段により発振し
た信号をカウントするカウンタのカウント値と比較する
ための入力データを変化させるとともに該第一の手段か
第2の手段を選択することにより振動波モータの駆動周
波数を変化させる手段と、を有していることを特徴とす
る振動波モータ駆動回路。1. In a drive circuit of a vibration wave motor for moving an object using a progressive vibration wave, a fixed frequency oscillation means higher than a frequency for driving the vibration wave motor, and a signal generated by the oscillation means. Counting means for counting
Means for comparing the input data with the count value from the counting means and outputting a signal indicating that the count value is equal to or greater than the input data, and a frequency for driving the vibration wave motor by the output signal A first means for generating a signal, and a first means for driving the vibration wave motor at a frequency between the count value n and the frequency obtained by the count value n + 1 by changing the frequency signal faster than the response speed of the vibration wave motor. Driving the vibration wave motor by changing the input data for comparing the count value of the counter for counting the signal oscillated by the oscillating means with the second means and selecting the first means or the second means. An oscillatory wave motor drive circuit comprising: means for changing the frequency.
る振動波モータのための駆動回路に於て、振動波モータ
駆動用の超音波周波数信号発生手段と、可聴周波数信号
発生手段と、前記の二つの周波数信号のうちの一つを選
択する周波数信号選択手段と、超音波信号を選択した時
には該物体を移動させ可聴周波数を選択した時には信号
音を振動波モータから発生させる信号音発生手段と、を
有していることを特徴とする振動波モータ駆動回路。2. A drive circuit for a vibration wave motor for moving an object using a progressive vibration wave, wherein an ultrasonic frequency signal generating means for driving the vibration wave motor, an audible frequency signal generating means, Frequency signal selecting means for selecting one of the two frequency signals, and generation of a signal sound for generating a signal sound from a vibration wave motor when the ultrasonic signal is selected and the object is moved and when an audible frequency is selected. And a vibration wave motor drive circuit.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4001028A JPH05184169A (en) | 1992-01-07 | 1992-01-07 | Oscillatory wave motor driving circuit |
US07/975,513 US5359268A (en) | 1991-11-12 | 1992-11-12 | Control apparatus for vibration driven motor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4001028A JPH05184169A (en) | 1992-01-07 | 1992-01-07 | Oscillatory wave motor driving circuit |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05184169A true JPH05184169A (en) | 1993-07-23 |
Family
ID=11490109
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4001028A Pending JPH05184169A (en) | 1991-11-12 | 1992-01-07 | Oscillatory wave motor driving circuit |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH05184169A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8264123B2 (en) | 2009-01-16 | 2012-09-11 | Sony Corporation | Piezoelectric vibration device system and electronics apparatus |
US8471436B2 (en) | 2009-04-01 | 2013-06-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Piezoelectric element drive circuit and foreign substance removing apparatus |
-
1992
- 1992-01-07 JP JP4001028A patent/JPH05184169A/en active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8264123B2 (en) | 2009-01-16 | 2012-09-11 | Sony Corporation | Piezoelectric vibration device system and electronics apparatus |
US8471436B2 (en) | 2009-04-01 | 2013-06-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Piezoelectric element drive circuit and foreign substance removing apparatus |
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