JPH09294384A - Driving controller of vibration wave driving equipment - Google Patents

Driving controller of vibration wave driving equipment

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JPH09294384A
JPH09294384A JP8102560A JP10256096A JPH09294384A JP H09294384 A JPH09294384 A JP H09294384A JP 8102560 A JP8102560 A JP 8102560A JP 10256096 A JP10256096 A JP 10256096A JP H09294384 A JPH09294384 A JP H09294384A
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vibration wave
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pulse
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新治 山本
Kenichi Kataoka
健一 片岡
Tei Hayashi
禎 林
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To make it possible to start up a motor, etc., smoothly and to control a speed stably even when the resolution of a frequency of a driving circuit of a vibration wave driving equipment of the vibration wave motor, etc., cannot be increased so much. SOLUTION: This equipment has a controller 6 which drives a vibration wave motor 3 based on each of a plurality of driving pulses of a pulse generating means 1 that can change a pulse width and pulse intervals of each of those pulses according to the input pulse width information and frequency information and which determines the input information for the pulse generating means 1 based on the speed information of the motor 3 and then controls the driving of the motor 3. When the motor is started up, the controller 6 controls the frequency information out of the input information for the pulse generating means 1. After it finishes the control of the frequency information, it then controls the pulse width information.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は共振を利用して振動
を発生させ、その振動エネルギーを利用して駆動力を与
える振動波駆動装置の制御装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a control device for a vibration wave drive device that uses resonance to generate vibration and uses the vibration energy to provide a driving force.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、振動波モータ等の振動波駆動装置
の駆動回路は、VCO(電圧制御発振器)や位相シフタ
等のアナログ回路により構成していた。しかし、駆動回
路の小型化やローコスト化のためにはデジタル回路によ
って構成した方が有利である。デジタル回路により実現
された例として、例えば2相の振動波モータを駆動する
ための2相の駆動信号であるの駆動パルスの立ち上がり
タイミングと、立ち下がりタイミングを高周波数の基準
クロックにより発生させ、昇圧手段であるトランスの1
次側のスイッチング素子の切換タイミングをこの基準ク
ロックを用いて行っているのもその1例である。
2. Description of the Related Art Conventionally, a drive circuit of a vibration wave driving device such as a vibration wave motor has been constituted by an analog circuit such as a VCO (voltage controlled oscillator) or a phase shifter. However, in order to reduce the size and cost of the driving circuit, it is advantageous to configure the driving circuit with a digital circuit. As an example realized by a digital circuit, for example, a rising timing and a falling timing of a driving pulse, which is a two-phase driving signal for driving a two-phase vibration wave motor, are generated by a high-frequency reference clock to boost the voltage. 1 of the transformer which is a means
An example is that the switching timing of the switching element on the next side is performed using this reference clock.

【0003】上記のような構成で駆動信号を発生させる
場合、発振周波数の分解能がクロックの周波数で制限さ
れてしまい、振動波モータの速度を周波数のみで操作し
ようとした場合、スムーズな速度のコントロールができ
ないことが考えられる。そこで、周波数とトランスの1
次側のスイッチング素子のパルス幅の両方を操作して制
御することが必要となる。
When the drive signal is generated by the above-mentioned structure, the resolution of the oscillation frequency is limited by the frequency of the clock, and when the speed of the vibration wave motor is to be operated only by the frequency, smooth speed control is possible. It is possible that you cannot. So frequency and transformer 1
It is necessary to operate and control both the pulse widths of the switching elements on the secondary side.

【0004】周波数とパルス幅の両方を制御するため
に、特開昭64−85587号公報では周波数を高い方
から低い方へと掃引し(共振周波数をピークとする波形
において、共振周波数よりも高周波数領域を制御領域と
して使用しているので、この制御領域では周波数を低く
するに従って回転数が高くなる)、速度が所定速度とな
ったら周波数を固定し、駆動電圧またはパルス幅を操作
する事により速度を制御している。ここでの周波数を固
定するときの速度は駆動電圧を制御するときの速度と略
一致させている。
In order to control both the frequency and the pulse width, in JP-A-64-85587, the frequency is swept from the higher side to the lower side (in the waveform having the resonance frequency at the peak, the frequency is higher than the resonance frequency). Since the frequency range is used as the control range, the lower the frequency, the higher the number of revolutions in this control range.) When the speed reaches the specified speed, the frequency is fixed and the drive voltage or pulse width is adjusted. It controls the speed. The speed at which the frequency is fixed here is substantially the same as the speed at which the drive voltage is controlled.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例においては周波数を固定するときの速度が目標速度
と略一致しているので、周波数を固定した後に負荷や温
度などの環境が変化したときに、固定された周波数下に
おいては目標の速度で回転できなくなる場合が考えられ
る。
However, in the above-mentioned conventional example, since the speed at which the frequency is fixed is substantially equal to the target speed, when the environment such as load or temperature changes after fixing the frequency, , It may be impossible to rotate at the target speed under a fixed frequency.

【0006】また、上記問題を回避するためにパルス幅
を最大速度が出せる値よりも小さい値にして周波数を掃
引する方法も考えられるが、起動時にモータの出力が最
大とならない為に立ち上がり時間が遅くなる。
In order to avoid the above problem, a method of sweeping the frequency by setting the pulse width to a value smaller than the maximum speed can be considered, but since the motor output does not reach the maximum at start-up, the rising time is increased. Become slow.

【0007】本出願に係わる第1の発明の目的は、振動
波モータ等の振動波駆動装置の駆動回路の周波数の分解
能をあまり細かくできない場合でも起動にかかる時間を
短くし、かつ安定した速度制御を周波数と駆動パルス幅
で制御することができる駆動制御装置を提供することに
ある。
A first object of the present invention according to the present application is to shorten the start-up time and provide stable speed control even when the frequency resolution of the drive circuit of the vibration wave drive device such as the vibration wave motor cannot be made very fine. It is an object of the present invention to provide a drive control device capable of controlling the frequency with a drive pulse width.

【0008】本出願に係わる第2の発明の目的は、振動
波モータ等の振動波駆動装置の駆動回路の周波数の分解
能をあまり細かくできない場合でも起動にかかる時間を
短くし、かつ安定した速度制御を周波数と駆動パルスの
位相差で制御することができる駆動制御装置を提供する
ことにある。
A second object of the present invention is to shorten the start-up time and provide stable speed control even when the frequency resolution of the drive circuit of a vibration wave driving device such as a vibration wave motor cannot be made very fine. It is an object of the present invention to provide a drive control device capable of controlling the frequency difference and the phase difference between the drive pulses.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本出願に係わる第1の発
明の目的を実現する構成は、生成される複数の駆動パル
スのパルス幅とその間隔を入力されるパルス幅情報及び
周波数情報に応じて任意に変更可能とするパルス発生手
段と、該パルス発生手段からの各駆動パルスに応じて振
動波駆動装置の駆動部への駆動信号を増幅する増幅手段
と、該振動波駆動装置の駆動状態を検出する駆動状態検
出手段と、該駆動状態検出手段からの検出情報に基づい
て該パルス発生手段への入力情報を決定し該振動波駆動
装置の駆動制御を行う制御手段とを有し、該制御手段
は、該振動波駆動装置の起動時に該パルス発生手段への
入力情報の内で周波数情報を操作し、該周波数情報の操
作が完了するとパルス幅情報の操作を行うことを特徴と
する振動波駆動装置の駆動制御装置にある。
The structure for realizing the object of the first invention according to the present application is such that the pulse widths of a plurality of drive pulses to be generated and their intervals are determined according to the input pulse width information and frequency information. And a pulse generator that can be arbitrarily changed, an amplifier that amplifies a drive signal to the drive unit of the oscillatory wave drive device according to each drive pulse from the pulse generator, and a drive state of the oscillatory wave drive device. A drive state detecting means for detecting the input signal to the pulse generating means based on the detection information from the drive state detecting means, and controlling the drive of the vibration wave drive device. The control means operates the frequency information in the input information to the pulse generation means at the time of starting the vibration wave driving device, and operates the pulse width information when the operation of the frequency information is completed. Wave drive In the drive control device.

【0010】この構成において、前記制御手段は、前記
駆動状態検出手段で検出した速度情報に基づいて前記パ
ルス発生手段への入力情報の操作を行うことを特徴とす
る。これらの構成において、前記制御手段は、前記駆動
状態検出手段で検出した速度情報が所定速度に達する
と、前記パルス発生手段に対する入力情報の内の周波数
情報の操作を終了させることを特徴とする。
In this structure, the control means operates the input information to the pulse generating means on the basis of the speed information detected by the drive state detecting means. In these configurations, the control means ends the operation of the frequency information in the input information to the pulse generation means when the speed information detected by the drive state detection means reaches a predetermined speed.

【0011】上記の第2、第3の構成において、前記制
御手段は、周波数情報の操作終了の閾値となる第1の速
度を、パルス幅情報の操作をする際の目標値となる第2
の速度よりも高速度としたことを特徴とする。
In the above second and third configurations, the control means uses the first speed, which is a threshold value for ending the operation of the frequency information, as the target value when operating the pulse width information.
It is characterized in that the speed is higher than the speed of.

【0012】上記の各構成において、制御手段は、周波
数情報の操作時でのパルス発生手段で生成されるパルス
幅を振動波駆動装置の出力が最大となるパルス幅に設定
したことを特徴とする。
In each of the above-mentioned configurations, the control means sets the pulse width generated by the pulse generating means at the time of operating the frequency information to the pulse width at which the output of the vibration wave driving device becomes maximum. .

【0013】本出願に係わる第2の発明の目的を実現す
る構成は、生成される複数の駆動パルスの位相差とその
間隔を入力される位相差情報及び周波数情報に応じて任
意に変更可能とするパルス発生手段と、該パルス発生手
段からの各駆動パルスに応じて振動波駆動装置の駆動部
への駆動信号を増幅する増幅手段と、該振動波駆動装置
の駆動状態を検出する駆動状態検出手段と、該駆動状態
検出手段からの検出情報に基づいて該パルス発生手段へ
の入力情報を決定し該振動波駆動装置の駆動制御を行う
制御手段とを有し、該制御手段は、該振動波駆動装置の
起動時に該パルス発生手段への入力情報の内で周波数情
報を操作し、該周波数情報の操作が完了すると位相差情
報の操作を行うことを特徴とする振動波駆動装置の駆動
制御装置にある。
With the configuration for achieving the object of the second invention related to the present application, it is possible to arbitrarily change the phase difference of a plurality of generated drive pulses and the intervals thereof according to the phase difference information and the frequency information input. Pulse generating means, amplifying means for amplifying a drive signal to the drive section of the vibration wave driving device according to each drive pulse from the pulse generating means, and drive state detection for detecting the drive state of the vibration wave driving device Means and control means for determining input information to the pulse generating means on the basis of detection information from the drive state detecting means and controlling the drive of the vibration wave drive device, the control means comprising: Drive control of an oscillatory wave drive device, characterized in that frequency information is manipulated in input information to the pulse generating means when the wave drive device is activated, and phase difference information is manipulated when the operation of the frequency information is completed. On the device.

【0014】この第2の発明の目的を実現する構成にお
いて、前記制御手段は、前記駆動状態検出手段で検出し
た速度情報に基づいて前記パルス発生手段への入力情報
の操作を行うことを特徴とする。
In the structure for realizing the object of the second invention, the control means operates the input information to the pulse generating means based on the speed information detected by the driving state detecting means. To do.

【0015】第2の発明の目的を実現する上記の第1、
第2の構成において、前記制御手段は、前記駆動状態検
出手段で検出した速度情報が所定速度に達すると、前記
パルス発生手段に対する入力情報の内の周波数情報の操
作を終了させることを特徴とする。
The above first, which realizes the object of the second invention,
In the second configuration, the control means ends the operation of the frequency information in the input information to the pulse generation means when the speed information detected by the drive state detection means reaches a predetermined speed. .

【0016】第2の発明の目的を実現する上記の第2、
3の構成において、前記制御手段は、周波数情報の操作
終了の閾値となる第1の速度を、位相差情報の操作をす
る際の目標値となる第2の速度よりも高速度としたこと
を特徴とする。
The above second aspect for achieving the object of the second invention,
In the configuration of 3, the control means sets the first speed, which is the threshold value for ending the operation of the frequency information, to be higher than the second speed, which is the target value when operating the phase difference information. Characterize.

【0017】第2の発明の目的を実現する上記の各構成
において、制御手段は、周波数情報の操作時でのパルス
発生手段で生成される駆動パルスの位相差を振動波駆動
装置の出力が最大となる位相差に設定したことを特徴と
する。
In each of the above-mentioned configurations for achieving the object of the second invention, the control means controls the phase difference of the drive pulse generated by the pulse generation means at the time of operating the frequency information so that the output of the vibration wave drive device is maximum. It is characterized in that the phase difference is set to

【0018】[0018]

【発明の実施の形態】BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION

(第1の実施の形態)図2は本発明による振動波駆動装
置の駆動制御装置の第1の実施の形態の制御回路を示す
ブロック図である。
(First Embodiment) FIG. 2 is a block diagram showing a control circuit of a first embodiment of a drive controller for an oscillatory wave drive apparatus according to the present invention.

【0019】図2において、1はパルス発生器であり、
入力される周波数データ、パルス幅データ、位相差デー
タに応じたA,B2相の駆動用パルスを出力する。図3
はパルス発生器1の内部構成を示した回路図で、10は
クロック発生部であり、この回路の基準となるタイミン
グを発生している。7はダウンカウンタでありLOAD
端子の入力がハイレベルになるとDATA端子に入力さ
れる複数ビットのデータがカウンタにロードされる。ダ
ウンカウントのデータが0になると、CO端子からハイ
レベルが出力される。図4は図3の回路における各信号
の状態を表したタイミングチャートである。ダウンカウ
ンタ7では、CO端子がダウンカウンタ7のLOAD端
子に接続されているので、ダウンカウンタ7の出力は図
4のaのように、周波数データを1周期としてカウント
値が0になった時に1クロック分の時間ハイレベルとな
る。
In FIG. 2, 1 is a pulse generator,
It outputs A and B two-phase drive pulses corresponding to the input frequency data, pulse width data, and phase difference data. FIG.
Is a circuit diagram showing the internal configuration of the pulse generator 1. Reference numeral 10 is a clock generator, which generates a timing which is a reference of this circuit. 7 is a down counter and is LOAD
When the input of the terminal becomes high level, a plurality of bits of data input to the DATA terminal are loaded into the counter. When the down count data becomes 0, a high level is output from the CO terminal. FIG. 4 is a timing chart showing the state of each signal in the circuit of FIG. In the down counter 7, since the CO terminal is connected to the LOAD terminal of the down counter 7, the output of the down counter 7 is 1 when the count value becomes 0 with the frequency data as one cycle as shown in a of FIG. It becomes high level for the time corresponding to the clock.

【0020】ダウンカウンタ8も動作としてはダウンカ
ウンタ7と同様な働きをする。ダウンカウンタ8のLO
AD入力は、ダウンカウンタ7のCO出力が接続されて
いるので、駆動パルスの1周期ごとにパルス幅データが
ロードされ、パルス幅データ分経過したら、図4のbの
ようにダウンカウンタ8のCO出力がハイレベルとな
る。
The down counter 8 operates similarly to the down counter 7. LO of down counter 8
Since the CO output of the down counter 7 is connected to the AD input, the pulse width data is loaded for each cycle of the driving pulse, and when the pulse width data has elapsed, the CO output of the down counter 8 is changed as shown in b of FIG. The output goes high.

【0021】9はRSフリップフロップであり、SET
入力がハイになると出力Qがハイとなり、RESET入
力がハイになると出力Qがローとなる。RSフリップフ
ロップ9のSET入力にはダウンカウンタ7のCO出力
が、RESET入力にはダウンカウンタ8のCO出力が
接続されているので、出力Qは周波数データを1周期と
し、パルス幅データ分だけハイレベルとなるようなパル
スが出力される。これがA相出力となる。
Reference numeral 9 is an RS flip-flop, and SET
When the input goes high, the output Q goes high, and when the RESET input goes high, the output Q goes low. Since the CO output of the down counter 7 is connected to the SET input of the RS flip-flop 9 and the CO output of the down counter 8 is connected to the RESET input, the output Q has frequency data as one cycle and is high only for the pulse width data. A pulse that produces a level is output. This is the A-phase output.

【0022】11は位相差を決定するためのダウンカウ
ンタである。ダウンカウンタ11のLOAD入力にはダ
ウンカウンタ7のCO出力が接続されているので、ダウ
ンカウンタ7よりも位相差データ分遅れてCO出力がハ
イレベルとなる。振動波モータに印加する2相(A相、
B相)の理想的な時間的位相差は90゜であるので、位
相差データは周波数データの4分の1の値となるように
する。この場合、ダウンカウンタ11のCO出力は図4
のdのようになる。以下A相と同様にして、ダウンカウ
ンタ12のCO出力は図4のeのようになり、RSフリ
ップフロップ13のQ出力は図4のfのようになる。
Reference numeral 11 is a down counter for determining the phase difference. Since the CO output of the down counter 7 is connected to the LOAD input of the down counter 11, the CO output becomes high level later than the down counter 7 by the phase difference data. Two phases (A phase, applied to the vibration wave motor,
Since the ideal temporal phase difference of (B phase) is 90 °, the phase difference data should be set to a value that is ¼ of the frequency data. In this case, the CO output of the down counter 11 is as shown in FIG.
It becomes like d. Hereinafter, similarly to the A phase, the CO output of the down counter 12 becomes as shown in FIG. 4E, and the Q output of the RS flip-flop 13 becomes as shown in FIG.

【0023】結果として、パルス発生器1の出力は周波
数データを1周期とし、パルス幅データ分のパルス幅を
持ち位相差が90゜の2相のパルスが出力される。
As a result, the output of the pulse generator 1 has two cycles of frequency data, a pulse width of the pulse width data, and a two-phase pulse with a phase difference of 90 °.

【0024】図2に戻り、2は昇圧手段であり、トラン
スやLC共振回路などが用いられる。図5はトランスを
用いた昇圧回路の1例を示したものである。
Returning to FIG. 2, reference numeral 2 is a boosting means, which uses a transformer, an LC resonance circuit, or the like. FIG. 5 shows an example of a booster circuit using a transformer.

【0025】3は振動波モータで、例えば振動子と該振
動子に加圧接触する回転子を有し、該振動子は振動体と
該振動体の側面に圧電素子(積層圧電素子)が接合され
た構造、あるいは振動体間に圧電素子(積層圧電素子)
が挟持固定された構造に形成されている。駆動信号は、
振動子の圧電素子(積層圧電素子)の2相の電極に対し
系(振動子または振動体の振動系)の共振周波数付近の
周波数で時間的に90゜の位相差をもった交流信号を印
加することによって、振動体に進行波を発生させ、これ
に接触された回転子(ロータ)を回転させるような構成
になっている。4はエンコーダであり、振動波モータ3
の出力軸にとりつけられ、光学もしくは磁気を利用して
回転角度に対するパルスが出力されるようになってい
る。5は速度検出器でありエンコーダ4から出力される
パルスの周波数を計測し出力する。6はマイクロコンピ
ュータであり速度検出器5から得られるデータに基づき
パルス発生器1に対する各種データを決定している。
A vibration wave motor 3 has, for example, a vibrator and a rotor that makes pressure contact with the vibrator, and the vibrator has a vibrating body and a piezoelectric element (multilayer piezoelectric element) bonded to a side surface of the vibrating body. Element or laminated piezoelectric element between the vibrating bodies
Are sandwiched and fixed. The drive signal is
Applying an AC signal with a phase difference of 90 ° with respect to the resonance frequency of the system (vibrator or vibrating body) to the two-phase electrodes of the piezoelectric element (multilayer piezoelectric element) of the vibrator. By doing so, a traveling wave is generated in the vibrating body, and the rotor (rotor) in contact with the traveling wave is rotated. 4 is an encoder, which is a vibration wave motor 3
It is attached to the output shaft of and uses optical or magnetism to output a pulse for a rotation angle. A speed detector 5 measures and outputs the frequency of the pulse output from the encoder 4. A microcomputer 6 determines various data for the pulse generator 1 based on the data obtained from the speed detector 5.

【0026】マイクロコンピュータ6の制御動作を図1
のフローチャートに示す。
The control operation of the microcomputer 6 is shown in FIG.
It is shown in the flowchart.

【0027】外部信号またはマイクロコンピュータ内部
で振動波モータを起動する命令が下されるとSTEP1
の駆動開始となる。
When a command to start the vibration wave motor is given by an external signal or inside the microcomputer, STEP1
Is started.

【0028】STEP2では、あらかじめ決められた初
期周波数がパルス発生器1に出力される。ここで初期周
波数とは振動波モータ3の個体差や温度、負荷などの変
化があっても常に振動波モータ3の共振周波数よりも高
い周波数となる値を選択する。これは振動波モータの周
波数−速度特性が共振周波数を境として逆の勾配を持つ
特性となり、かつ共振周波数よりも低い周波数の方が勾
配が極端に急になるために制御が安定に行えないという
理由によるもので、共振周波数よりも周波数が高い領域
においては、駆動周波数が低くなるに従って駆動速度が
速くなり、逆に駆動周波数が高くなるに従って駆動速度
が遅くなる。
In STEP 2, a predetermined initial frequency is output to the pulse generator 1. Here, a value that is always higher than the resonance frequency of the vibration wave motor 3 is selected as the initial frequency even if there is an individual difference of the vibration wave motor 3 or a change in temperature, load, or the like. This is because the frequency-speed characteristic of the vibration wave motor has a reverse slope with the resonance frequency as a boundary, and the slope is extremely steep at the frequency lower than the resonance frequency, so stable control cannot be performed. For the reason, in the region where the frequency is higher than the resonance frequency, the driving speed becomes faster as the driving frequency becomes lower, and conversely, the driving speed becomes slower as the driving frequency becomes higher.

【0029】STEP3では、振動波モータ3または昇
圧手段2が破壊されない範囲で最大のパルス幅をパルス
発生器1にパルス幅データとして設定する。これは起動
時に振動波モータ3が最大のトルクが出せるパルス幅と
することにより起動時間を短くするためである。
In STEP 3, the maximum pulse width is set in the pulse generator 1 as pulse width data within a range in which the vibration wave motor 3 or the boosting means 2 is not destroyed. This is for shortening the starting time by setting the pulse width so that the vibration wave motor 3 can output the maximum torque at the time of starting.

【0030】ただしパルス幅を必要以上に大きくすると
スイッチング素子などの昇圧手段2の回路素子や振動波
モータを破壊してしまう恐れがあるので、その点は考慮
して設定しなければならない。
However, if the pulse width is made unnecessarily large, the circuit elements of the boosting means 2 such as switching elements and the vibration wave motor may be destroyed, so that point must be taken into consideration when setting.

【0031】なお、フローチャート上には明記していな
いが、パルス発生器1に出力する位相差データはパルス
発生器1から出力される2相のパルスが90゜の位相差
となるように、すなわち周波数データの4分の1が常に
出力されるようにする。
Although not specified in the flow chart, the phase difference data output to the pulse generator 1 is such that the two-phase pulse output from the pulse generator 1 has a phase difference of 90 °, that is, One quarter of the frequency data is always output.

【0032】STEP4では、速度検出器5からのデー
タ(v)を入力している。
In STEP 4, the data (v) from the speed detector 5 is input.

【0033】STEP5では、入力した速度(v)があ
らかじめ設定した値(v1)よりも大きいかどうかを判
断している。もし大きくなければSTEP6へ進む。こ
こでv1は最終的に目標とする速度(v2)よりも大き
な値とする。
At STEP 5, it is determined whether the input speed (v) is larger than a preset value (v1). If not, proceed to STEP 6. Here, v1 is set to a value larger than the final target speed (v2).

【0034】STEP6では、入力した速度(v)と設
定した値(v1)との差に基づいて駆動周波数を下げて
いる。ここで、パルス発生器1の周波数データは駆動信
号の周期の値であるので、周波数を下げると言うことは
周波数データを増やすことを意味する。周波数データを
変更するための処理は、v1−vに対してある定数をか
けた値を足してもよいし、v1−vの値に対して設定さ
れたテーブルを用いて足してもよいし、またはv1−v
の値によらず一定値を加えてもよい。STEP6を実行
した後は再びSTEP4へ進む。上記STEP4からS
TEP6の動作はマイクロコンピュータで発生されるタ
イマー割り込み等を使用して一定時間間隔で行われる。
In STEP 6, the drive frequency is lowered based on the difference between the input speed (v) and the set value (v1). Here, since the frequency data of the pulse generator 1 is the value of the period of the drive signal, lowering the frequency means increasing the frequency data. The processing for changing the frequency data may be performed by adding a value obtained by multiplying v1-v by a constant, or by using a table set for the value of v1-v, Or v1-v
A constant value may be added regardless of the value of. After executing STEP6, the process proceeds to STEP4 again. The above STEP4 to S
The operation of the TEP 6 is performed at regular time intervals using a timer interrupt generated by a microcomputer.

【0035】STEP5での判断が真の場合はSTEP
7へ進む。この段階で周波数は固定され、後に変更され
ない。
If the determination in STEP 5 is true, STEP
Proceed to 7. The frequency is fixed at this stage and is not changed later.

【0036】STEP7ではSTEP4と同様に速度デ
ータ(v)を入力している。
In STEP 7, speed data (v) is input as in STEP 4.

【0037】STEP8では入力した速度(v)と目標
速度(v2)との差に基づいてパルス幅を制御する。こ
のパルス幅の制御のための処理は、v2−vと定数のか
け算によって制御してもよいし、テーブルを用いてもよ
い。前述したように目標速度(v2)は周波数を固定す
る基準とした速度(v1)よりも小さい値としている。
In STEP 8, the pulse width is controlled based on the difference between the input speed (v) and the target speed (v2). The processing for controlling the pulse width may be controlled by multiplying v2-v by a constant, or may be performed using a table. As described above, the target speed (v2) is set to a value smaller than the speed (v1) used as the reference for fixing the frequency.

【0038】STEP9では振動波モータ3に対して外
部およびマイクロコンピュータから停止命令が出された
かどうかを判断している。停止命令が出ていなければ再
びSTEP7に進み速度制御を継続し、停止命令が出て
いれば振動波モータの駆動をやめる。
At STEP 9, it is judged whether or not a stop command is issued to the vibration wave motor 3 from the outside or a microcomputer. If the stop command is not issued, the process proceeds to STEP 7 again to continue the speed control, and if the stop command is issued, the drive of the vibration wave motor is stopped.

【0039】本発明の第1の実施の形態により振動波モ
ータ3の制御を行った場合の速度プロフィールを図6に
示す。本発明の第1の実施の形態では、起動時のパルス
幅を振動波モータから最大の出力が得られる値とし、か
つ周波数を目標速度よりも高い速度で固定するようにし
たために、定常時にパルス幅の操作でで速度を制御する
ときに、パルス幅が最大にならない、すなわちパルス幅
に余裕を持たせて制御している。このことによりデジタ
ル回路等で出力パルスを生成するときのように周波数の
分解能が粗い場合でも定常時に周波数を変更する必要が
ないために、速度変動が大きくなるのを防ぐことができ
る。つまり、短い起動時間と定常時の速度の安定性を両
立させることができる。
FIG. 6 shows a velocity profile when the vibration wave motor 3 is controlled according to the first embodiment of the present invention. In the first embodiment of the present invention, the pulse width at startup is set to a value at which the maximum output is obtained from the vibration wave motor, and the frequency is fixed at a speed higher than the target speed. When the speed is controlled by manipulating the width, the pulse width is not maximized, that is, the pulse width is controlled with a margin. As a result, even when the frequency resolution is rough, such as when an output pulse is generated by a digital circuit or the like, it is not necessary to change the frequency in a steady state, so that it is possible to prevent a large speed fluctuation. That is, it is possible to achieve both a short start-up time and steady-state speed stability.

【0040】本実施の形態では、振動波モータの駆動方
向を1方向のみについて記載しているが、逆方向に駆動
する場合は振動波モータ3のA相とB相に入力する駆動
パルスをスイッチ等により入れ替えればよい。
In the present embodiment, the driving direction of the vibration wave motor is described only for one direction, but when driving in the opposite direction, the drive pulse input to the A phase and the B phase of the vibration wave motor 3 is switched. It may be replaced depending on the situation.

【0041】なお、本実施の形態では周波数およびパル
ス幅の制御をマイクロコンピュータのソフトウエアによ
り行っているが、マイクロコンピュータの代わりにロジ
ック回路やDSP等を用いても同様な効果が得られるの
はいうまでもない。
Although the frequency and the pulse width are controlled by the software of the microcomputer in this embodiment, the same effect can be obtained by using a logic circuit or a DSP instead of the microcomputer. Needless to say.

【0042】(第2の実施の形態)次に、本発明の第2
の実施の形態について説明する。
(Second Embodiment) Next, a second embodiment of the present invention will be described.
An embodiment will be described.

【0043】第2の実施の形態にお蹴る振動波駆動装置
の制御装置の回路構成は図に示す第1の実施の形態と全
く同様のものであるので、説明を省略する。第1の実施
の形態と第2の実施の形態の相違点はマイクロコンピュ
ータ6での処理にある。第1の実施の形態では定常駆動
時の速度制御をパルス幅を操作することによって行った
が、第2の実施の形態では定常駆動時の速度制御を駆動
信号の位相差を操作することにより行う。以下に図7の
フローチャートを用いて本発明の第2の実施の形態にお
ける振動波駆動装置の制御装置の動作を詳細に説明す
る。
The circuit configuration of the control device of the vibration wave driving device according to the second embodiment is exactly the same as that of the first embodiment shown in the figure, and therefore its explanation is omitted. The difference between the first embodiment and the second embodiment lies in the processing in the microcomputer 6. In the first embodiment, speed control during steady drive is performed by operating the pulse width, but in the second embodiment speed control during steady drive is performed by operating the phase difference of the drive signals. . The operation of the control device for the vibration wave driving device according to the second embodiment of the present invention will be described in detail below with reference to the flowchart of FIG. 7.

【0044】外部信号またはマイクロコンピュータ内部
で振動波モータを起動する命令が下されるとSTEP1
0の駆動開始となる。
When an instruction to start the vibration wave motor is given by an external signal or inside the microcomputer, STEP1
Driving of 0 is started.

【0045】STEP11ではあらかじめ決められた初
期周波数がパルス発生器1に出力される。ここで初期周
波数とは第1の実施の形態と同様に振動波モータ3の個
体差や温度、負荷などの変化があっても常に振動波モー
タ3の共振周波数よりも高い周波数となる値を選択す
る。
In STEP 11, a predetermined initial frequency is output to the pulse generator 1. Here, as with the first embodiment, the initial frequency is selected to be a value that is always higher than the resonance frequency of the vibration wave motor 3 even if there are individual differences of the vibration wave motor 3 and changes in temperature, load, and the like. To do.

【0046】STEP12では起動時間を短くするため
に振動波モータ3が最大のトルクが出せる位相差である
90゜をパルス発生器1に対して設定する。具体的には
パルス幅データを周波数データの4分の1に設定する。
なお、フローチャート上には明記していないが、パルス
発生器1に出力するパルス幅データは振動波モータが破
壊しない範囲で最大のパルス幅を設定するようにする。
In STEP 12, in order to shorten the start-up time, 90 °, which is the phase difference that allows the vibration wave motor 3 to produce the maximum torque, is set for the pulse generator 1. Specifically, the pulse width data is set to 1/4 of the frequency data.
Although not specified in the flowchart, the pulse width data output to the pulse generator 1 is set to the maximum pulse width within the range where the vibration wave motor is not destroyed.

【0047】STEP13では速度検出器5からのデー
タ(v)を入力している。
In STEP 13, the data (v) from the speed detector 5 is input.

【0048】STEP14では、入力した速度(v)が
あらかじめ設定した値(v1)よりも大きいかどうかを
判断している。もし大きくなければSTEP15へ進
む。ここでv1は最終的に目標とする速度(v2)より
も大きな値とする。
At STEP 14, it is judged whether the input speed (v) is larger than a preset value (v1). If not, proceed to STEP 15. Here, v1 is set to a value larger than the final target speed (v2).

【0049】STEP15では、入力した速度(v)と
設定した値(v1)との差に基づいて駆動周波数を下げ
ている。パルス発生器1の周波数データは駆動信号の周
期の値であるので、周波数を下げると言うことは周波数
データを増やすことを意味する。周波数データを変更す
るための処理は、第1の実施の形態と同様に、v1−v
に対してある定数をかけた値を足してもよいし、v1−
vの値に対して設定されたテーブルを用いて足してもよ
いし、またはv1−vの値によらず一定値を加えてもよ
い。STEP15を実行した後は再びSTEP13へ進
み変更された周波数に応じて位相差が90゜になるよう
にする。上記STEP12から15の動作はマイクロコ
ンピュータで発生されるタイマー割り込み等を使用して
一定時間間隔で行われる。
In STEP 15, the drive frequency is lowered based on the difference between the input speed (v) and the set value (v1). Since the frequency data of the pulse generator 1 is the value of the cycle of the drive signal, lowering the frequency means increasing the frequency data. The process for changing the frequency data is the same as in the first embodiment, v1-v
May be added with a constant, or v1-
You may add using the table set with respect to the value of v, or may add a fixed value regardless of the value of v1-v. After executing STEP15, the process proceeds to STEP13 again so that the phase difference becomes 90 ° according to the changed frequency. The operations in STEPS 12 to 15 are performed at regular time intervals using a timer interrupt generated by a microcomputer.

【0050】STEP14での判断が真の場合はSTE
P16へ進む。この段階で周波数は固定され、後に変更
されない。
If the determination in STEP 14 is true, STE
Go to P16. The frequency is fixed at this stage and is not changed later.

【0051】STEP16ではSTEP13と同様に速
度データ(v)を入力している。
In STEP 16, the speed data (v) is input as in STEP 13.

【0052】STEP17では、入力した速度(v)と
目標速度(v2)との差に基づいて位相差を制御する。
この位相差制御のための処理は、v2−vと定数のかけ
算によって制御してもよいし、テーブルを用いてもよ
い。前述したように目標速度(v2)は周波数を固定す
る基準とした速度(v1)よりも小さい値としている。
位相差と速度の関係は90゜で速度のピークを持つよう
な特性となるが、90゜より大きい方も小さい方も勾配
の大きさは変わらないので、90゜をリミットとしてど
ちら側を用いてもよい。
In STEP 17, the phase difference is controlled based on the difference between the input speed (v) and the target speed (v2).
The process for controlling the phase difference may be controlled by multiplying v2-v by a constant, or a table may be used. As described above, the target speed (v2) is set to a value smaller than the speed (v1) used as the reference for fixing the frequency.
The relationship between the phase difference and the speed has a characteristic that the speed has a peak at 90 °, but the size of the slope does not change whether it is larger or smaller than 90 °, so which side is used with 90 ° as the limit. Good.

【0053】STEP18では、振動波モータ3に対し
て外部およびマイクロコンピュータから停止命令が出さ
れたかどうかを判断している。停止命令が出ていなけれ
ば再びSTEP16に進み速度制御を継続し、停止命令
が出ていれば振動波モータの駆動をやめる。
At STEP 18, it is judged whether or not a stop command is issued to the vibration wave motor 3 from the outside or a microcomputer. If the stop command is not issued, the process proceeds to STEP 16 again to continue the speed control, and if the stop command is issued, the drive of the vibration wave motor is stopped.

【0054】本発明の第2の実施の形態により振動波モ
ータ3の制御を行った場合も第1の実施の形態と同様に
図6に示すような速度プロフィールとなる。
When the vibration wave motor 3 is controlled according to the second embodiment of the present invention, the velocity profile shown in FIG. 6 is obtained as in the first embodiment.

【0055】本発明の第2の実施の形態では、起動時に
おける2相の駆動信号の位相差を振動波モータから最大
の出力が得られる値とし、かつ起動時の駆動周波数を目
標速度よりも高い速度で固定するようにしたため、定常
時に位相差の操作で速度を制御するときに、位相差が9
0゜にならない、すなわち位相差に余裕を持たせて制御
している。このことにより、デジタル回路等で出力パル
スを生成するときのように、周波数の分解能が粗い場合
でも定常時に周波数を変更する必要がないために、速度
変動が大きくなるのを防ぐことができる。つまり、短い
起動時間と定常時の速度の安定性を両立させることがで
きる。
In the second embodiment of the present invention, the phase difference between the two-phase drive signals at the time of starting is set to a value at which the maximum output can be obtained from the vibration wave motor, and the drive frequency at the time of starting is higher than the target speed. Since the speed is fixed at a high speed, the phase difference is 9
It does not become 0 °, that is, the phase difference is controlled with a margin. As a result, it is possible to prevent an increase in speed fluctuation because it is not necessary to change the frequency in a steady state even when the frequency resolution is rough, as in the case where an output pulse is generated by a digital circuit or the like. That is, it is possible to achieve both a short start-up time and steady-state speed stability.

【0056】本実施の形態では、振動波モータの駆動方
向を1方向のみについて記載しているが、逆方向に駆動
する場合は振動波モータ3のA相とB相に入力する駆動
パルスをスイッチ等により入れ替えればよい。
In the present embodiment, the driving direction of the vibration wave motor is described only in one direction, but when driving in the opposite direction, the drive pulse input to the A phase and the B phase of the vibration wave motor 3 is switched. It may be replaced depending on the situation.

【0057】なお、本実施の形態では周波数および位相
差の制御をマイクロコンピュータのソフトウエアにより
行っているが、マイクロコンピュータの代わりにロジッ
ク回路やDSP等を用いても同様な効果が得られるのは
いうまでもない。
Although the frequency and the phase difference are controlled by the software of the microcomputer in the present embodiment, the same effect can be obtained by using a logic circuit or a DSP instead of the microcomputer. Needless to say.

【0058】[0058]

【発明の効果】請求項1、2、3、4、5に係わる発明
によれば、振動波モータ等の振動波駆動装置の起動時に
周波数を操作し目標速度よりも高いある値となったら周
波数を固定し、それより後はパルス幅の操作により目標
速度に制御することにより、周波数の分解能が粗いパル
ス発生手段であっても短い起動時間と定常時の速度の安
定性を両立させることができる。
According to the inventions according to claims 1, 2, 3, 4, and 5, the frequency is manipulated at the time of starting the vibration wave driving device such as the vibration wave motor, and when the frequency becomes a value higher than the target speed, Is fixed, and after that, by controlling the target speed by manipulating the pulse width, it is possible to achieve both short startup time and steady-state speed stability even with pulse generation means having a coarse frequency resolution. .

【0059】請求項6、7、8、9、10に係わる発明
によれば、振動波モータ等の振動駆動波装置の起動時に
周波数を操作し目標速度よりも高いある値となったら周
波数を固定し、それより後は位相差の操作により目標速
度に制御することにより、周波数の分解能が粗いパルス
発生手段であっても短い起動時間と定常時の速度の安定
性を両立させることができる。
According to the sixth, seventh, eighth, ninth and tenth aspects of the invention, the frequency is manipulated when the vibration drive wave device such as the vibration wave motor is started, and the frequency is fixed when it reaches a certain value higher than the target speed. However, after that, by controlling the target speed by operating the phase difference, it is possible to achieve both a short starting time and steady-state speed stability even with a pulse generating means having a coarse frequency resolution.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の第1の実施の形態に係る制御動作を示
したフローチャート。
FIG. 1 is a flowchart showing a control operation according to a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の第1、第2の実施の形態に係る制御回
路構成を示したブロック図。
FIG. 2 is a block diagram showing a control circuit configuration according to first and second embodiments of the present invention.

【図3】本発明の第1、第2の実施の形態に係るパルス
発生器の回路図。
FIG. 3 is a circuit diagram of a pulse generator according to the first and second embodiments of the present invention.

【図4】本発明の第1、第2の実施の形態に係るパルス
発生器内の各信号を表すタイムチャート。
FIG. 4 is a time chart showing each signal in the pulse generator according to the first and second embodiments of the invention.

【図5】本発明の第1、第2の実施の形態に係る昇圧部
の回路図。
FIG. 5 is a circuit diagram of a booster unit according to the first and second embodiments of the present invention.

【図6】本発明の第1、第2の実施の形態による速度と
時間の関係を示すグラフ。
FIG. 6 is a graph showing the relationship between speed and time according to the first and second embodiments of the present invention.

【図7】本発明の第2の実施の形態に係る制御動作を示
したフローチャート。
FIG. 7 is a flowchart showing a control operation according to the second embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 パルス発生器 2 昇圧手段 3 振動波モータ 4 エンコーダ 5 速度検出器 6 マイクロコンピュータ 7、8、11、12 ダウンカウンタ 10 クロック 9、13 RSフリップフロップ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 pulse generator 2 boosting means 3 vibration wave motor 4 encoder 5 speed detector 6 microcomputer 7, 8, 11, 12 down counter 10 clock 9, 13 RS flip-flop

Claims (10)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 生成される複数の駆動パルスのパルス幅
とその間隔を入力されるパルス幅情報及び周波数情報に
応じて任意に変更可能とするパルス発生手段と、該パル
ス発生手段からの各駆動パルスに応じて振動波駆動装置
の駆動部への駆動信号を増幅する増幅手段と、該振動波
駆動装置の駆動状態を検出する駆動状態検出手段と、該
駆動状態検出手段からの検出情報に基づいて該パルス発
生手段への入力情報を決定し該振動波駆動装置の駆動制
御を行う制御手段とを有し、該制御手段は、該振動波駆
動装置の起動時に該パルス発生手段への入力情報の内で
周波数情報を操作し、該周波数情報の操作が完了すると
パルス幅情報の操作を行うことを特徴とする振動波駆動
装置の駆動制御装置。
1. A pulse generator that can arbitrarily change the pulse widths of a plurality of generated drive pulses and their intervals according to the input pulse width information and frequency information, and each drive from the pulse generator. An amplifying unit that amplifies a drive signal to the driving unit of the vibration wave driving device according to the pulse, a driving state detecting unit that detects a driving state of the vibration wave driving unit, and a detection information from the driving state detecting unit. Control means for determining the input information to the pulse generating means and controlling the drive of the vibration wave driving device, the control means having input information to the pulse generating means when the vibration wave driving device is activated. A drive control device for a vibration wave driving device, characterized in that frequency information is operated in the above, and when the operation of the frequency information is completed, the operation of pulse width information is performed.
【請求項2】 請求項1において、前記制御手段は、前
記駆動状態検出手段で検出した速度情報に基づいて前記
パルス発生手段への入力情報の操作を行うことを特徴と
する振動波駆動装置の駆動制御装置。
2. The vibration wave drive apparatus according to claim 1, wherein the control means operates the input information to the pulse generating means based on the speed information detected by the drive state detecting means. Drive controller.
【請求項3】 請求項1又は2において、前記制御手段
は、前記駆動状態検出手段で検出した速度情報が所定速
度に達すると、前記パルス発生手段に対する入力情報の
内の周波数情報の操作を終了させることを特徴とする振
動波駆動装置。
3. The control means according to claim 1, wherein when the speed information detected by the drive state detecting means reaches a predetermined speed, the control means ends the operation of the frequency information in the input information to the pulse generating means. An oscillating wave drive device characterized in that.
【請求項4】 請求項2又は3において、前記制御手段
は、周波数情報の操作終了の閾値となる第1の速度を、
パルス幅情報の操作をする際の目標値となる第2の速度
よりも高速度としたことを特徴とする振動波駆動装置の
駆動制御装置。
4. The control means according to claim 2 or 3, wherein the first speed, which is a threshold value for ending the operation of the frequency information,
A drive control device for a vibration wave drive device, wherein the drive speed is set higher than a second speed which is a target value when operating the pulse width information.
【請求項5】 請求項1、2、3又は4において、制御
手段は、周波数情報の操作時でのパルス発生手段で生成
されるパルス幅を振動波駆動装置の出力が最大となるパ
ルス幅に設定したことを特徴とする振動波駆動装置の駆
動制御装置。
5. The control means according to claim 1, 2, 3 or 4, wherein the pulse width generated by the pulse generating means at the time of operating the frequency information is the pulse width at which the output of the vibration wave driving device becomes maximum. A drive control device for a vibration wave drive device, characterized by being set.
【請求項6】 生成される複数の駆動パルスの位相差と
その間隔を入力される位相差情報及び周波数情報に応じ
て任意に変更可能とするパルス発生手段と、該パルス発
生手段からの各駆動パルスに応じて振動波駆動装置の駆
動部への駆動信号を増幅する増幅手段と、該振動波駆動
装置の駆動状態を検出する駆動状態検出手段と、該駆動
状態検出手段からの検出情報に基づいて該パルス発生手
段への入力情報を決定し該振動波駆動装置の駆動制御を
行う制御手段とを有し、該制御手段は、該振動波駆動装
置の起動時に該パルス発生手段への入力情報の内で周波
数情報を操作し、該周波数情報の操作が完了すると位相
差情報の操作を行うことを特徴とする振動波駆動装置の
駆動制御装置。
6. A pulse generating means capable of arbitrarily changing a phase difference of a plurality of drive pulses to be generated and an interval thereof according to inputted phase difference information and frequency information, and each drive from the pulse generating means. An amplifying unit that amplifies a drive signal to the driving unit of the vibration wave driving device according to the pulse, a driving state detecting unit that detects a driving state of the vibration wave driving unit, and a detection information from the driving state detecting unit. Control means for determining the input information to the pulse generating means and controlling the drive of the vibration wave driving device, the control means having input information to the pulse generating means when the vibration wave driving device is activated. A drive control device for a vibration wave driving device, characterized in that frequency information is operated in the above, and phase difference information is operated when the operation of the frequency information is completed.
【請求項7】 請求項6において、前記制御手段は、前
記駆動状態検出手段で検出した速度情報に基づいて前記
パルス発生手段への入力情報の操作を行うことを特徴と
する振動波駆動装置の駆動制御装置。
7. The vibration wave drive apparatus according to claim 6, wherein the control means operates the input information to the pulse generating means based on the speed information detected by the drive state detecting means. Drive controller.
【請求項8】 請求項6又は7において、前記制御手段
は、前記駆動状態検出手段で検出した速度情報が所定速
度に達すると、前記パルス発生手段に対する入力情報の
内の周波数情報の操作を終了させることを特徴とする振
動波駆動装置。
8. The control means according to claim 6, wherein when the speed information detected by the drive state detecting means reaches a predetermined speed, the control means ends the operation of the frequency information in the input information to the pulse generating means. An oscillating wave drive device characterized in that.
【請求項9】 請求項7又は8において、前記制御手段
は、周波数情報の操作終了の閾値となる第1の速度を、
位相差情報の操作をする際の目標値となる第2の速度よ
りも高速度としたことを特徴とする振動波駆動装置の駆
動制御装置。
9. The control means according to claim 7 or 8, wherein the first speed, which is a threshold value for ending the operation of the frequency information,
A drive control device for a vibration wave drive device, wherein the drive speed is set higher than a second speed which is a target value when operating the phase difference information.
【請求項10】 請求項6、7、8又は9において、制
御手段は、周波数情報の操作時でのパルス発生手段で生
成される駆動パルスの位相差を振動波駆動装置の出力が
最大となる位相差に設定したことを特徴とする振動波駆
動装置の駆動制御装置。
10. The control means according to claim 6, 7, 8 or 9, wherein the phase difference of the drive pulse generated by the pulse generating means when the frequency information is operated is such that the output of the vibration wave drive device becomes maximum. A drive control device for a vibration wave drive device, wherein the phase difference is set.
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