JP2782306B2 - Ultrasonic motor driving method - Google Patents

Ultrasonic motor driving method

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JP2782306B2
JP2782306B2 JP4352138A JP35213892A JP2782306B2 JP 2782306 B2 JP2782306 B2 JP 2782306B2 JP 4352138 A JP4352138 A JP 4352138A JP 35213892 A JP35213892 A JP 35213892A JP 2782306 B2 JP2782306 B2 JP 2782306B2
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章 寺谷
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株式会社田村電機製作所
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、所定の周波数の電気信
号を圧電セラミックスに与えて振動させることによりこ
の圧電セラミックスと圧接する回転子を駆動する超音波
モータの駆動方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of driving an ultrasonic motor for driving a rotor which is in pressure contact with a piezoelectric ceramic by applying an electric signal of a predetermined frequency to the piezoelectric ceramic and vibrating the piezoelectric ceramic.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般にこの種の超音波モータは、電磁モ
ータに対し、静粛性や低速大トルク及びノイズが発生し
ない等の理由で、近年急速に実用化されつつある。この
ような超音波モータは、圧電素子である圧電セラミック
スに電気信号を与えて振動を発生させ、圧電セラミック
スと圧接する回転子を回転させるものである。圧電セラ
ミックスは、図11に示すように、これを孔あき円板状
に形成して振動させた場合、円板の径振動であり(R,
1)モードと呼称される振動及び円板の非軸対象対称振
動であり(1,1)モードと呼称される振動が時間差を
おいて発生する。
2. Description of the Related Art In general, this type of ultrasonic motor has been rapidly put into practical use in recent years because of its quietness, low-speed large torque and no generation of noise with respect to an electromagnetic motor. In such an ultrasonic motor, an electric signal is applied to a piezoelectric ceramic, which is a piezoelectric element, to generate vibration and rotate a rotor that is in pressure contact with the piezoelectric ceramic. As shown in FIG. 11, when the piezoelectric ceramics are formed into a perforated disk shape and vibrated as shown in FIG.
1) Vibration called mode and non-axial symmetric vibration of the disk, which is called (1, 1) mode, occurs with a time difference.

【0003】即ち、圧電セラミックス20上の電極21
Aに所定周波数の正弦波電圧信号を印加し、電極21B
には上記電圧信号の周波数と同一でかつ位相が90゜異
なる余弦波電圧信号を印加すると、円板状の圧電セラミ
ックス20は、図中、水平振動である(R,1)モード
および垂直振動である(1,1)モードの振動を発生
し、この結果、X,X’点では水平振動成分と垂直振動
成分とで合成される楕円運動が生じる。したがって、こ
れらのX,X’点に回転子を圧接しておけば、回転子が
駆動されて回転する。このような各振動モードのうち、
(R,1)モードの振動は回転子に対する圧力成分とし
て作用し、(1,1)モードの振動は回転子へのトルク
成分として作用する。
[0003] That is, the electrode 21 on the piezoelectric ceramic 20
A, a sine wave voltage signal of a predetermined frequency is applied to the electrode 21B.
When a cosine wave voltage signal having the same frequency as that of the above voltage signal and having a phase difference of 90 ° is applied, the disc-shaped piezoelectric ceramics 20 in the horizontal vibration (R, 1) mode and the vertical vibration in FIG. A certain (1,1) mode vibration is generated, and as a result, an elliptic motion is generated at the points X and X ', which is composed of a horizontal vibration component and a vertical vibration component. Therefore, if the rotor is pressed against these points X and X ', the rotor is driven to rotate. Of these vibration modes,
The (R, 1) mode vibration acts as a pressure component on the rotor, and the (1,1) mode vibration acts as a torque component on the rotor.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】このような超音波モー
タにおいては、各電極へ与える信号は正弦波や余弦波等
の電圧信号であり、このような正弦波信号等を発生させ
るための回路が複雑化する結果、装置を小型に構成でき
ない欠点があった。このため、各電極へ与える信号をパ
ルス状の信号にすることが考えられるが、この場合モー
タの駆動トルクが低下するという問題があった。したが
って、本発明は、超音波モータの各電極へ与える信号を
パルス状の信号とした場合に大きな駆動トルクを得るこ
とを目的とする。
In such an ultrasonic motor, a signal applied to each electrode is a voltage signal such as a sine wave or a cosine wave, and a circuit for generating such a sine wave signal is provided. As a result of the increase in complexity, there is a disadvantage that the device cannot be configured in a small size. For this reason, it is conceivable that the signal applied to each electrode is a pulse signal, but in this case, there is a problem that the driving torque of the motor is reduced. Therefore, an object of the present invention is to obtain a large driving torque when a signal applied to each electrode of an ultrasonic motor is a pulse signal.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】このような課題を解決す
るために本発明は、圧電素子上に2つの電極を形成する
と共に、形成された各電極にそれぞれ位相が90度異な
る同一駆動周波数の電気信号を与えて圧電素子を振動さ
せ、この圧電素子と圧接される回転子を駆動する超音波
モータにおいて、上記電気信号をパルス電圧信号とする
とともに、圧電素子の最大振動振幅の周波数が上記駆動
周波数と同一周波数となるように、上記パルス電圧信号
のデュティを50%以外の値として設定し各電極に与え
るようにした駆動方法である。
According to the present invention, two electrodes are formed on a piezoelectric element, and each of the formed electrodes has the same driving frequency having a different phase by 90 degrees. In the ultrasonic motor that drives the rotor pressed against the piezoelectric element by applying an electric signal to vibrate the piezoelectric element, the electric signal is used as a pulse voltage signal .
In addition, the frequency of the maximum vibration amplitude of the piezoelectric element is
As it will be the same frequency, a driving method to give to each electrode set in the duty of the pulse voltage signal to a value other than 50%.

【0006】[0006]

【作用】例えば圧電セラミックス等の圧電素子を振動さ
せる場合は、圧電素子上の各電極に印加されるパルス信
号のデュティを50%以外のデュティに設定する。この
結果、圧電素子の最も振幅値の大きい振動周波数は上記
駆動周波数と一致するため、超音波モータの駆動効率が
向上する。
When vibrating a piezoelectric element such as a piezoelectric ceramic, the duty of a pulse signal applied to each electrode on the piezoelectric element is set to a duty other than 50%. As a result, the vibration frequency of the piezoelectric element having the largest amplitude value coincides with the above-mentioned drive frequency, so that the drive efficiency of the ultrasonic motor is improved.

【0007】[0007]

【実施例】以下、本発明について図面を参照して説明す
る。図1は本発明に係る超音波モータ駆動方法を適用し
た装置の一実施例を示すブロック図であり、この装置
は、図11に示すような、圧電セラミックス20の振動
により回転子を回転させる超音波モータに対しパルス信
号を与えて駆動させるものである。図1において、1は
CPU、2は抵抗およびコンデンサからなる発振器、3
はインバータ、4はバイナリカウンタ、5,8,9はデ
ータセレクタ、6,7はシフトレジスタ、10,11は
アンド回路、12はドライバ、Mは超音波モータであ
る。ここでaは超音波モータMの駆動周波数の2倍の周
波数のパルス信号であり、bは超音波モータMへ与える
駆動パルス信号の位相差が90度になるように制御する
位相差制御信号、cは上記駆動パルス信号のデュティを
制御する信号、φはクロック信号である。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram showing one embodiment of an apparatus to which an ultrasonic motor driving method according to the present invention is applied. This apparatus is an ultrasonic motor for rotating a rotor by the vibration of a piezoelectric ceramic 20 as shown in FIG. A pulse signal is given to the sonic motor to drive it. In FIG. 1, 1 is a CPU, 2 is an oscillator including a resistor and a capacitor, 3
Is an inverter, 4 is a binary counter, 5, 8 and 9 are data selectors, 6 and 7 are shift registers, 10 and 11 are AND circuits, 12 is a driver, and M is an ultrasonic motor. Here, a is a pulse signal having a frequency twice as high as the driving frequency of the ultrasonic motor M, b is a phase difference control signal for controlling the phase difference of the driving pulse signal given to the ultrasonic motor M to 90 degrees, c is a signal for controlling the duty of the drive pulse signal, and φ is a clock signal.

【0008】また、図2はこの超音波モータ駆動装置の
各部のタイミングを示すタイミングチャートである。こ
のタイミングチャートにしたがい、上記駆動装置の動作
を説明する。発振器2からは常時、オン時間とオフ時間
とが等しいデュティ50%の所定周波数のパルス信号a
[図2(a)]が送出されてバイナリカウンタ4の一方
の端子に与えられ、かつバイナリカウンタ4の他方の端
子にはインバータ3を介して上記信号aの反転信号d
[図2(b)]が与えられる。バイナリカウンタ4では
これら2つのパルス信号を入力すると、これらの信号を
2分周した信号e,fをデータセレクタ4へ送出する
[図2(c),図2(d)]。この結果、データセレク
タ5では、CPU1からの位相差制御信号bが「H」レ
ベルならば、図2(e),図2(f)に示すそれぞれ9
0゜の位相差を有するパルス信号g,hを2つの出力端
子から出力すると共に、位相差制御信号bが「L」レベ
ルならば、図2(g),図2(h)に示すような信号
g,h、つまり信号gに対し信号hが90゜位相が進む
ように出力する。
FIG. 2 is a timing chart showing the timing of each part of the ultrasonic motor driving device. The operation of the driving device will be described with reference to this timing chart. A pulse signal a having a predetermined frequency of 50% duty and equal to the ON time and the OFF time is always output from the oscillator 2.
[FIG. 2 (a)] is sent out and given to one terminal of the binary counter 4 and the other terminal of the binary counter 4 is supplied via the inverter 3 to the inverted signal d of the signal a.
[FIG. 2 (b)] is given. When these two pulse signals are input to the binary counter 4, the signals e and f obtained by dividing these signals by two are transmitted to the data selector 4 [FIGS. 2 (c) and 2 (d)]. As a result, in the data selector 5, if the phase difference control signal b from the CPU 1 is at the “H” level, each of the data selectors 5 shown in FIGS.
Pulse signals g and h having a phase difference of 0 ° are output from the two output terminals, and if the phase difference control signal b is at “L” level, as shown in FIGS. 2 (g) and 2 (h). The signals g and h, that is, the signal h is output such that the phase of the signal h advances by 90 ° with respect to the signal g.

【0009】このデータセレクタ5の一方の端子から送
出されるパルス信号gは、アンド回路10の一方の入力
端子にそのまま出力されると共に、シフトレジスタ6の
入力端子へ出力される。シフトレジスタ6では、入力し
たパルス信号gをCPU1からのクロック信号φにより
シフトしてデータセレクタ8へ送出し、データセレクタ
8ではシフトされたパルス信号の1つをCPU1からの
デュティ制御信号cにより選択してアンド回路10の他
方の入力端子に信号iとして出力する。即ち、今、位相
差制御信号bのレベルが「H」であり、したがって図2
(e)に示すような信号gがシフトレジスタ6に入力さ
れたとすると、アンド回路10の他方の入力端子には、
上記信号gから時間δだけシフトされた図2(i)に示
すようなパルス信号iが送出される。一方、アンド回路
10の一方の入力端子には、上記したように、図2
(e)に示す信号gがそのまま入力される。この結果、
アンド回路10の出力端子からは、図2(j)に示すよ
うな、駆動パルス信号aとはデュティの異なる信号jが
ドライバ12を介して超音波モータM内の圧電セラミッ
クス20上に形成された一方の電極へ送出されるように
なっている。
The pulse signal g sent from one terminal of the data selector 5 is output to one input terminal of the AND circuit 10 as it is and to the input terminal of the shift register 6. The shift register 6 shifts the input pulse signal g by the clock signal φ from the CPU 1 and sends it to the data selector 8, and the data selector 8 selects one of the shifted pulse signals by the duty control signal c from the CPU 1. Then, a signal i is output to the other input terminal of the AND circuit 10. That is, now, the level of the phase difference control signal b is “H”,
Assuming that a signal g as shown in (e) is input to the shift register 6, the other input terminal of the AND circuit 10 has:
A pulse signal i as shown in FIG. 2 (i) shifted from the signal g by the time δ is transmitted. On the other hand, as described above, one input terminal of the AND circuit 10 is connected to FIG.
The signal g shown in (e) is input as it is. As a result,
From the output terminal of the AND circuit 10, a signal j having a duty different from the drive pulse signal a is formed on the piezoelectric ceramics 20 in the ultrasonic motor M via the driver 12 as shown in FIG. It is sent to one of the electrodes.

【0010】一方、超音波モータMの圧電セラミックス
の他方の電極へ送出される信号も、シフトレジスタ7,
データセレクタ9及びアンド回路11により、上記信号
jと同様のデュティを有するパルス信号であるが、この
パルス信号は位相差を制御するデータセレクタ5によっ
て上記信号jとは位相が90度異なっている。
On the other hand, a signal transmitted to the other electrode of the piezoelectric ceramic of the ultrasonic motor M is also transmitted to the shift register 7,
The data selector 9 and the AND circuit 11 are pulse signals having the same duty as the signal j, but the pulse signal has a phase difference of 90 degrees from the signal j by the data selector 5 for controlling the phase difference.

【0011】圧電セラミックス20は、上記した図11
にも示したように、これを孔あき円板状に形成して振動
させた場合、円板の径振動である(R,1)モードの振
動と円板の非軸対象対称振動である(1,1)モードの
振動とが時間差をおいて発生する。この場合、(R,
1)モードの振動は回転子に対する圧力成分として作用
し、(1,1)モードの振動は回転子へのトルク成分と
して作用する。図3は、このような圧電セラミックスの
振動特性を示す図であり、振動周波数とアドミタンスと
の関係を示したものである。即ち、この圧電セラミック
ス20の振動特性によれば、振動周波数の低い時点でア
ドミタンスの値が大きくなる点、即ち振動の振幅値の最
も大きな共振点が(R,1)モードの振動周波数であ
り、次の振幅値の大きな共振点がトルク成分である
(1,1)モードの振動周波数である。ここで、(1,
1)モードの振動の振動周波数をモータMの駆動周波数
(約116.1KHZ )と定め、この駆動周波数の電圧
信号をそれぞれ位相を90度違えて圧電セラミックス2
0の各電極に印加する。
[0011] The piezoelectric ceramics 20 are formed as shown in FIG.
As shown in FIG. 5, when this is formed in the shape of a perforated disk and vibrated, (R, 1) mode vibration, which is radial vibration of the disk, and non-axial symmetric vibration of the disk ( The vibration of the (1) mode occurs with a time difference. In this case, (R,
The 1) mode vibration acts as a pressure component on the rotor, and the (1, 1) mode vibration acts as a torque component on the rotor. FIG. 3 is a diagram showing the vibration characteristics of such a piezoelectric ceramic, and shows the relationship between the vibration frequency and admittance. That is, according to the vibration characteristics of the piezoelectric ceramics 20, the point where the value of admittance increases at the time when the vibration frequency is low, that is, the resonance point where the amplitude value of the vibration is the largest is the vibration frequency of the (R, 1) mode. The next resonance point having a large amplitude value is the vibration frequency of the (1,1) mode that is the torque component. Where (1,
1) The vibration frequency of the mode vibration is defined as the driving frequency of the motor M (about 116.1 KHz), and the voltage signals of this driving frequency are different in phase by 90 degrees, respectively.
0 is applied to each electrode.

【0012】この場合、各電極に印加する駆動電圧信号
をパルス信号とし、このパルス信号のデュティを50%
とすると、駆動周波数と合致する振動の他に、図4,図
5に示すように、駆動周波数の高次の周波数の振動が圧
電セラミックス20上に生じる。一般に、圧電セラミッ
クスを振動させる場合は、駆動周波数と同一の周波数で
振動するときが最も効率が良いとされ、したがって上記
のように高次の周波数の振動が発生しこの高次の周波数
の振動で超音波モータMが駆動される場合はモータMの
トルクは小さくなる。ここで、圧電セラミックス上に高
次の振動が生じる現象を究明するために、図6に示すよ
うに、圧電セラミックス20の電極21Aに駆動周波数
116.1KHZ ,デュティ50%のパルス信号を印加
して振動させ、この振動結果を電極21Bから電流波形
信号として取り出すようにする。図7は、電極21Aに
対して印加されるパルス電圧信号の波形及び電極21B
から取り出される電流波形の結果をそれぞれオシロスコ
ープ上のチャネルCH1,CH2で観測した例を示した
ものである。ここで、電極21Aに印加する電圧信号が
正弦波の場合には電極21Bからは基準波(正弦波)の
周波数と同一の周波数の電流信号のみ出力されるが、図
7に示すように、電極21Aにパルス信号を印加した場
合には電極21Bからは基準波(パルス信号)の3倍の
電流信号が観測され、このような電流波形の周波数スペ
クトル成分を分析すると、図8に示すように駆動周波数
の3倍の周波数のときに最も大きな振動振幅を示すこと
がわかる。したがって、この場合は超音波モータMの駆
動効率は低下する。
In this case, the drive voltage signal applied to each electrode is a pulse signal, and the duty of the pulse signal is 50%.
Then, in addition to the vibration that matches the driving frequency, vibration of a higher frequency than the driving frequency occurs on the piezoelectric ceramics 20 as shown in FIGS. In general, when vibrating a piezoelectric ceramic, it is considered that the most efficient operation is performed when the piezoelectric ceramic is vibrated at the same frequency as the driving frequency. When the ultrasonic motor M is driven, the torque of the motor M decreases. Here, in order to investigate a phenomenon in which higher-order vibration occurs on the piezoelectric ceramic, as shown in FIG. 6, a pulse signal having a driving frequency of 116.1 KHz and a duty of 50% is applied to the electrode 21A of the piezoelectric ceramic 20. Vibration is performed, and the result of the vibration is extracted from the electrode 21B as a current waveform signal. FIG. 7 shows the waveform of the pulse voltage signal applied to the electrode 21A and the waveform of the electrode 21B.
This is an example in which the results of current waveforms taken out of the oscilloscope are observed on channels CH1 and CH2 on an oscilloscope, respectively. Here, when the voltage signal applied to the electrode 21A is a sine wave, only a current signal having the same frequency as the frequency of the reference wave (sine wave) is output from the electrode 21B, but as shown in FIG. When a pulse signal is applied to 21A, a current signal three times as large as the reference wave (pulse signal) is observed from the electrode 21B. When the frequency spectrum component of such a current waveform is analyzed, the driving is performed as shown in FIG. It can be seen that the maximum vibration amplitude is shown at a frequency three times the frequency. Therefore, in this case, the driving efficiency of the ultrasonic motor M decreases.

【0013】ここで、電極21Aに印加するパルス電圧
信号のデュティを変え、図9に示すようにそのデュティ
を32%として圧電セラミックス20を振動させると、
電極21Bから発生する電流波形の周波数は、印加され
たパルス電圧信号の周波数と同一となる。この場合、電
流波形の周波数スペクトル成分を分析すると、図10に
示すように最も大きな振動振幅を示す圧電セラミックス
20の振動周波数は、上記駆動周波数とほぼ等しいこと
がわかる。したがって圧電セラミックスの電極に印加さ
れるパルス電圧信号のデュティが32%の場合は、超音
波モータMのトルクは増大する。なお、超音波モータM
の駆動効率を向上させるための上記パルス信号のデュテ
ィは32%だけではなく、68%,40%及び60%
等、50%よりずらした値であれば同様にトルクが増大
し、したがってモータMの駆動効率は向上する。
When the duty of the pulse voltage signal applied to the electrode 21A is changed, and the duty is set to 32% as shown in FIG.
The frequency of the current waveform generated from the electrode 21B is the same as the frequency of the applied pulse voltage signal. In this case, analysis of the frequency spectrum component of the current waveform reveals that the vibration frequency of the piezoelectric ceramics 20 having the largest vibration amplitude is substantially equal to the drive frequency as shown in FIG. Therefore, when the duty of the pulse voltage signal applied to the piezoelectric ceramic electrode is 32%, the torque of the ultrasonic motor M increases. The ultrasonic motor M
The duty of the pulse signal for improving the driving efficiency of the device is not only 32% but also 68%, 40% and 60%.
For example, if the value is shifted by more than 50%, the torque similarly increases, so that the driving efficiency of the motor M improves.

【0014】このように、圧電セラミックス20上に形
成された各電極へ印加される所定周波数のパルス信号の
位相を90゜ずらし、かつこれらのパルス信号のデュテ
ィが50%以外のときに超音波モータMの駆動トルクは
最も大きくなる。
As described above, when the phase of the pulse signal of a predetermined frequency applied to each electrode formed on the piezoelectric ceramic 20 is shifted by 90 ° and the duty of these pulse signals is other than 50%, the ultrasonic motor The driving torque of M is the largest.

【0015】[0015]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
所定の駆動周波数で圧電素子を振動させる場合は、圧電
素子上の各電極に印加されるパルス信号のデュティが5
0%以外のデュティに設定されるため、圧電素子の最も
振幅値の大きい振動周波数が上記駆動周波数となり、こ
の結果、超音波モータの駆動トルクが増大してモータの
駆動効率が向上するという効果がある。
As described above, according to the present invention,
When the piezoelectric element is vibrated at a predetermined driving frequency, the duty of the pulse signal applied to each electrode on the piezoelectric element is 5
Since the duty is set to a duty other than 0%, the vibration frequency having the largest amplitude value of the piezoelectric element becomes the above-described drive frequency. As a result, the drive torque of the ultrasonic motor increases, and the effect of improving the drive efficiency of the motor is obtained. is there.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る超音波モータ駆動方法を適用した
装置の一実施例を示すブロック図である。
FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of an apparatus to which an ultrasonic motor driving method according to the present invention is applied.

【図2】上記装置の各部のタイミングを示す波形図であ
る。
FIG. 2 is a waveform chart showing timings of respective parts of the device.

【図3】上記装置を構成する圧電セラミックスの振動周
波数とアドミタンスとの関係を示す図である。
FIG. 3 is a diagram showing a relationship between a vibration frequency and admittance of a piezoelectric ceramic constituting the device.

【図4】圧電セラミックスの振動周波数と位相及び振動
周波数とアドミタンスとの関係を示す図である。
FIG. 4 is a diagram showing a relationship between a vibration frequency and a phase of a piezoelectric ceramic, and a relationship between the vibration frequency and admittance.

【図5】圧電セラミックスの振動の一例を示す図であ
る。
FIG. 5 is a diagram illustrating an example of vibration of a piezoelectric ceramic.

【図6】圧電セラミックス上の一方の電極にパルス信号
を印加して他方の電極から電流信号を取り出す例を模式
的に示す図である。
FIG. 6 is a diagram schematically illustrating an example in which a pulse signal is applied to one electrode on a piezoelectric ceramic and a current signal is extracted from the other electrode.

【図7】上記パルス信号及び電流信号の観測波形を示す
図である。
FIG. 7 is a diagram showing observed waveforms of the pulse signal and the current signal.

【図8】上記電流信号の周波数スペクトル分析の結果を
示す図である。
FIG. 8 is a diagram showing a result of a frequency spectrum analysis of the current signal.

【図9】上記パルス信号のデュティを32%とした場合
の電流信号の観測波形を示す図である。
FIG. 9 is a diagram showing an observed waveform of a current signal when the duty of the pulse signal is set to 32%.

【図10】デュティ32%のパルス信号の印加により圧
電セラミックス上に生じる電流信号の周波数スペクトル
分析の結果を示す図である。
FIG. 10 is a diagram showing a result of frequency spectrum analysis of a current signal generated on piezoelectric ceramics by application of a pulse signal of 32% duty.

【図11】超音波モータの駆動原理を示す図である。FIG. 11 is a diagram illustrating a driving principle of an ultrasonic motor.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 CPU 2 発振器 3 インバータ 4 バイナリカウンタ 5,8,9 データセレクタ 6,7 シフトレジスタ 10,11 アンド回路 12 ドライバ 20 圧電セラミックス 21A,21B 電極 M 超音波モータ a,d〜j パルス電圧信号 b 位相差制御信号 c デュティ制御信号 φ クロック信号 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 CPU 2 Oscillator 3 Inverter 4 Binary counter 5, 8, 9 Data selector 6, 7 Shift register 10, 11 AND circuit 12 Driver 20 Piezoelectric ceramics 21A, 21B Electrode M Ultrasonic motor a, d-j Pulse voltage signal b Phase difference Control signal c Duty control signal φ Clock signal

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 圧電素子上に2つの電極を形成すると共
に、形成された各電極にそれぞれ位相が90度異なる同
一駆動周波数の電気信号を与えて前記圧電素子を振動さ
せ、この圧電素子と圧接される回転子を駆動する超音波
モータにおいて、 前記雷気信号をパルス電圧信号とするとともに、前記圧
電素子の最大振動振幅の周波数が前記駆動周波数と同一
周波数となるように前記パルス電圧信号のデュティを5
0%以外の値として設定したことを特徴とする超音波モ
ータ駆動方法。
1. Two electrodes are formed on a piezoelectric element, and an electric signal of the same driving frequency having a phase difference of 90 degrees is applied to each of the formed electrodes to cause the piezoelectric element to vibrate. in the ultrasonic motor for driving the rotor is, the Kaminariki signal with a pulse voltage signal, the pressure
The frequency of the maximum vibration amplitude of the element is the same as the drive frequency
The duty of the pulse voltage signal so that the frequency of 5
An ultrasonic motor driving method, wherein the value is set as a value other than 0%.
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