JPH05182792A - ウィグラーの磁場調整機構 - Google Patents
ウィグラーの磁場調整機構Info
- Publication number
- JPH05182792A JPH05182792A JP35918591A JP35918591A JPH05182792A JP H05182792 A JPH05182792 A JP H05182792A JP 35918591 A JP35918591 A JP 35918591A JP 35918591 A JP35918591 A JP 35918591A JP H05182792 A JPH05182792 A JP H05182792A
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- JP
- Japan
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- magnetic field
- wiggler
- magnetic
- electron beam
- adjustment
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- Withdrawn
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- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Particle Accelerators (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 本発明のウィグラーの磁場調整機構は、電子
ビームの軌道２２を挾んで磁化方向が周期的に変化する
磁石２３を対向配置して、電子ビームに対して周期磁場
を与えるウィグラーにおいて、磁石２３に、電子ビーム
の軌道２２及び磁極の対向方向２５に直角な方向に凹部
２６を形成し、当該凹部２６に、半割円棒状の磁性体２
７を回転自在に装着してなることを特徴とする。 【効果】 磁石内の磁束を変化させることができ、磁場
の強さを調整することができる。したがって、従来の様
に個々の調整部材の厚み等を様々に変更して調整する必
要がなくなり、調整操作が容易になる。また、前記凹部
を電子ビームの軌道からの距離が異なる複数の位置に形
成すれば、段階的な調整を行うことができ、広い調整範
囲でかつ高精度に磁場の調整を行うことができる。
ビームの軌道２２を挾んで磁化方向が周期的に変化する
磁石２３を対向配置して、電子ビームに対して周期磁場
を与えるウィグラーにおいて、磁石２３に、電子ビーム
の軌道２２及び磁極の対向方向２５に直角な方向に凹部
２６を形成し、当該凹部２６に、半割円棒状の磁性体２
７を回転自在に装着してなることを特徴とする。 【効果】 磁石内の磁束を変化させることができ、磁場
の強さを調整することができる。したがって、従来の様
に個々の調整部材の厚み等を様々に変更して調整する必
要がなくなり、調整操作が容易になる。また、前記凹部
を電子ビームの軌道からの距離が異なる複数の位置に形
成すれば、段階的な調整を行うことができ、広い調整範
囲でかつ高精度に磁場の調整を行うことができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電子ビーム加速器にお
いて、この電子ビームを周期磁場で偏向することにより
ウィグラー放射光（またはアンジュレーター放射光）を
発生させることのできるウィグラー（アンジュレーター
を含む）の磁場調整機構に関するものである。
いて、この電子ビームを周期磁場で偏向することにより
ウィグラー放射光（またはアンジュレーター放射光）を
発生させることのできるウィグラー（アンジュレーター
を含む）の磁場調整機構に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、超ＬＳＩの製造、医療分野におけ
る診断、分子解析、構造解析等様々な分野において、シ
ンクロトロン放射（Ｓynchrotron Ｒadiation）光（略
してＳＯＲ光）を用いたＳＯＲリソグラフィー技術が有
望視されている。ウィグラー放射光は、高エネルギー電
子が磁場中で偏向する際に発生するＳＯＲ光の干渉によ
って発生するもので、高いビーム出力でかつ指向性のよ
い準単色光が得られ、広い波長帯域にわたって連続的に
波長を可変することができる等の際立った特徴を有す
る。
る診断、分子解析、構造解析等様々な分野において、シ
ンクロトロン放射（Ｓynchrotron Ｒadiation）光（略
してＳＯＲ光）を用いたＳＯＲリソグラフィー技術が有
望視されている。ウィグラー放射光は、高エネルギー電
子が磁場中で偏向する際に発生するＳＯＲ光の干渉によ
って発生するもので、高いビーム出力でかつ指向性のよ
い準単色光が得られ、広い波長帯域にわたって連続的に
波長を可変することができる等の際立った特徴を有す
る。
【０００３】図４は、このウィグラー放射光を発生させ
ることのできるウィグラー（ハイブリッド型）１の概要
を示す側面図である。このウィグラー１は、電子ビーム
２が光速近くに加速されて通過する真空ダクト３と、こ
の真空ダクト３に沿ってその上下に、磁化方向を交互に
変化させて対向配置された永久磁石４，４，…と、各隣
接する永久磁石４，４間に磁極材として挾み込まれたパ
ーメンダー５とから概略構成されている。これにより、
図４中矢印で示す様な磁束が発生し、対向するパーメン
ダー５，５間に真空ダクト３中を通過する磁束が発生す
る。この磁束の方向は、電子ビーム２の進行方向に対し
て周期的な磁場を与え、電子ビーム２の進行方向及び磁
束の双方と直角な方向に電子ビーム２を蛇行させる。こ
の電子ビーム２が周期磁場中で蛇行することによりウィ
グラー放射光が発生し、ウィグラー１の出口から出射さ
れる。
ることのできるウィグラー（ハイブリッド型）１の概要
を示す側面図である。このウィグラー１は、電子ビーム
２が光速近くに加速されて通過する真空ダクト３と、こ
の真空ダクト３に沿ってその上下に、磁化方向を交互に
変化させて対向配置された永久磁石４，４，…と、各隣
接する永久磁石４，４間に磁極材として挾み込まれたパ
ーメンダー５とから概略構成されている。これにより、
図４中矢印で示す様な磁束が発生し、対向するパーメン
ダー５，５間に真空ダクト３中を通過する磁束が発生す
る。この磁束の方向は、電子ビーム２の進行方向に対し
て周期的な磁場を与え、電子ビーム２の進行方向及び磁
束の双方と直角な方向に電子ビーム２を蛇行させる。こ
の電子ビーム２が周期磁場中で蛇行することによりウィ
グラー放射光が発生し、ウィグラー１の出口から出射さ
れる。
【０００４】このウィグラー１から特定の波長の強力な
光を得るためには、各磁極間（対向するパーメンダー
５，５間）の磁場の強さを所定値に高精度に制御する必
要がある。そこで、このウィグラー１においては、図５
に示す様に、永久磁石４の表面４ａに鉄板等からなる板
状の調整部材６を配置し、パーメンダー５からの磁束の
一部を該調整部材６に分流（分流磁束１１）させて逃が
し、この逃がす量で対向するパーメンダー５間の主磁束
１２を調整している。
光を得るためには、各磁極間（対向するパーメンダー
５，５間）の磁場の強さを所定値に高精度に制御する必
要がある。そこで、このウィグラー１においては、図５
に示す様に、永久磁石４の表面４ａに鉄板等からなる板
状の調整部材６を配置し、パーメンダー５からの磁束の
一部を該調整部材６に分流（分流磁束１１）させて逃が
し、この逃がす量で対向するパーメンダー５間の主磁束
１２を調整している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のウィ
グラー１においては、所定の磁場の強さが得られるまで
個々の調整部材６の厚み等を様々に変更して調整しなけ
ればならず、調整部材６の調整及び交換に手間と時間が
かかり、特に永久磁石４の個数が多い場合には極めて作
業効率が悪いものとなっていた。
グラー１においては、所定の磁場の強さが得られるまで
個々の調整部材６の厚み等を様々に変更して調整しなけ
ればならず、調整部材６の調整及び交換に手間と時間が
かかり、特に永久磁石４の個数が多い場合には極めて作
業効率が悪いものとなっていた。
【０００６】本発明は、上記の事情に鑑みてなされたも
のであって、従来の問題点を解決するとともに、一様な
磁場調整が容易にできるウィグラーの磁場調整機構を提
供することにある。
のであって、従来の問題点を解決するとともに、一様な
磁場調整が容易にできるウィグラーの磁場調整機構を提
供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は次の様なウィグラーの磁場調整機構を採用
した。すなわち、電子ビームの軌道を挾んで磁化方向が
周期的に変化する磁石を対向配置して、前記電子ビーム
に対して周期磁場を与えるウィグラーにおいて、前記磁
石に、前記電子ビームの軌道及び磁極の対向方向に直角
な方向に凹部を形成し、当該凹部に、半割円棒状の磁性
体を回転自在に装着してなることを特徴としている。
に、本発明は次の様なウィグラーの磁場調整機構を採用
した。すなわち、電子ビームの軌道を挾んで磁化方向が
周期的に変化する磁石を対向配置して、前記電子ビーム
に対して周期磁場を与えるウィグラーにおいて、前記磁
石に、前記電子ビームの軌道及び磁極の対向方向に直角
な方向に凹部を形成し、当該凹部に、半割円棒状の磁性
体を回転自在に装着してなることを特徴としている。
【０００８】
【作用】本発明のウィグラーの磁場調整機構では、前記
磁石の凹部に装着される半割円棒状の磁性体を軸の回り
に回転させることにより、前記磁石内の磁束が変化し、
これにより磁場の強さを調整することが可能になる。し
たがって、従来の様に個々の調整部材の厚み等を様々に
変更して調整する必要がなく、調整操作が容易である。
磁石の凹部に装着される半割円棒状の磁性体を軸の回り
に回転させることにより、前記磁石内の磁束が変化し、
これにより磁場の強さを調整することが可能になる。し
たがって、従来の様に個々の調整部材の厚み等を様々に
変更して調整する必要がなく、調整操作が容易である。
【０００９】また、前記凹部を電子ビームの軌道からの
距離が異なる複数の位置に形成することにより、前記軌
道に近い部分では広い調整幅が得られ、前記軌道から遠
い部分では微少な調整幅が得られる。したがって、これ
らを組み合わせることにより段階的な調整を行うことが
でき、広い調整範囲でかつ高精度に磁場の調整を行うこ
とができる。
距離が異なる複数の位置に形成することにより、前記軌
道に近い部分では広い調整幅が得られ、前記軌道から遠
い部分では微少な調整幅が得られる。したがって、これ
らを組み合わせることにより段階的な調整を行うことが
でき、広い調整範囲でかつ高精度に磁場の調整を行うこ
とができる。
【００１０】
【実施例】図１は、本発明の磁場調整機構が適用された
ウィグラー２１の概要を示す斜視図である。
ウィグラー２１の概要を示す斜視図である。
【００１１】このウィグラー２１は、電子ビームの軌道
２２を挾んでその上下には、Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ系合金等か
らなる永久磁石２３が磁化方向を交互に変化させて対向
配置されている。そして、これらの永久磁石２３の電子
ビームの軌道２２から遠い面２４の前記電子ビームの軌
道２２及び磁極の対向方向２５に直角な方向の各端部
に、断面が四半円状の凹部２６が形成され、これら隣接
する凹部２６，２６内に、図２に示す様な軟鉄等からな
る半割円棒状の磁性体２７がこの磁性体２７の軸線の回
りに回転自在に装着されている。そして、この磁性体２
７がウィグラー２１の磁場調整機構を担っている。
２２を挾んでその上下には、Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ系合金等か
らなる永久磁石２３が磁化方向を交互に変化させて対向
配置されている。そして、これらの永久磁石２３の電子
ビームの軌道２２から遠い面２４の前記電子ビームの軌
道２２及び磁極の対向方向２５に直角な方向の各端部
に、断面が四半円状の凹部２６が形成され、これら隣接
する凹部２６，２６内に、図２に示す様な軟鉄等からな
る半割円棒状の磁性体２７がこの磁性体２７の軸線の回
りに回転自在に装着されている。そして、この磁性体２
７がウィグラー２１の磁場調整機構を担っている。
【００１２】この磁性体２７の形状は、上記以外に様々
な形状のものが使用可能である。例えば、図３に示す様
に、丸棒状に形成され、その径方向の半分が軟鉄等から
なる磁性材料３１により構成され、他の半分がステンレ
ススチール等からなる非磁性材料３２により構成され、
これらの材料３１，３２が接合され一体化された磁性体
３３であってもよい。
な形状のものが使用可能である。例えば、図３に示す様
に、丸棒状に形成され、その径方向の半分が軟鉄等から
なる磁性材料３１により構成され、他の半分がステンレ
ススチール等からなる非磁性材料３２により構成され、
これらの材料３１，３２が接合され一体化された磁性体
３３であってもよい。
【００１３】このウィグラー２１では、磁性体２７をこ
の磁性体２７の軸線の回りに回転させることにより、前
記永久磁石２３内の磁束が変化し、これにより磁場の強
さが調整される。したがって、従来の様に個々の調整部
材６の厚み等を様々に変更して調整する必要がなく、調
整操作が容易となる。
の磁性体２７の軸線の回りに回転させることにより、前
記永久磁石２３内の磁束が変化し、これにより磁場の強
さが調整される。したがって、従来の様に個々の調整部
材６の厚み等を様々に変更して調整する必要がなく、調
整操作が容易となる。
【００１４】また、前記凹部２６を電子ビームの軌道２
２からの距離が異なる複数の位置、例えば永久磁石２３
の下端部等に形成すれば、前記軌道２２に近い部分では
広い調整幅が得られ、また、前記軌道２２から遠い部分
では微少な調整幅が得られる。したがって、これらを組
み合わせることにより段階的な調整を行うことができ、
広い調整範囲でかつ高精度に磁場の調整を行うことがで
きる。
２からの距離が異なる複数の位置、例えば永久磁石２３
の下端部等に形成すれば、前記軌道２２に近い部分では
広い調整幅が得られ、また、前記軌道２２から遠い部分
では微少な調整幅が得られる。したがって、これらを組
み合わせることにより段階的な調整を行うことができ、
広い調整範囲でかつ高精度に磁場の調整を行うことがで
きる。
【００１５】以上説明した様に、上記実施例のウィグラ
ー２１の磁場調整機構によれば、永久磁石２３の電子ビ
ームの軌道２２から遠い面２４の前記電子ビームの軌道
２２及び磁極の対向方向２５に直角な方向の各端部に、
断面が四半円状の凹部２６が形成され、これら隣接する
凹部２６，２６内に、半割円棒状の磁性体２７が軸線の
回りに回転自在に装着されているので、前記永久磁石２
３内の磁束を変化させることができ、磁場の強さを調整
することができる。したがって、従来の様に個々の調整
部材の厚み等を様々に変更して調整する必要がなくな
り、調整操作が容易になる。
ー２１の磁場調整機構によれば、永久磁石２３の電子ビ
ームの軌道２２から遠い面２４の前記電子ビームの軌道
２２及び磁極の対向方向２５に直角な方向の各端部に、
断面が四半円状の凹部２６が形成され、これら隣接する
凹部２６，２６内に、半割円棒状の磁性体２７が軸線の
回りに回転自在に装着されているので、前記永久磁石２
３内の磁束を変化させることができ、磁場の強さを調整
することができる。したがって、従来の様に個々の調整
部材の厚み等を様々に変更して調整する必要がなくな
り、調整操作が容易になる。
【００１６】また、凹部２６を電子ビームの軌道２２か
らの距離が異なる複数の位置に形成すれば、前記軌道２
２に近い部分では広い調整幅が得られ、前記軌道２２か
ら遠い部分では微少な調整幅が得られる。したがって、
これらを組み合わせることにより段階的な調整を行うこ
とができ、広い調整範囲でかつ高精度に磁場の調整を行
うことができる。
らの距離が異なる複数の位置に形成すれば、前記軌道２
２に近い部分では広い調整幅が得られ、前記軌道２２か
ら遠い部分では微少な調整幅が得られる。したがって、
これらを組み合わせることにより段階的な調整を行うこ
とができ、広い調整範囲でかつ高精度に磁場の調整を行
うことができる。
【００１７】
【発明の効果】以上説明した様に、本発明のウィグラー
の磁場調整機構によれば、電子ビームの軌道を挾んで磁
化方向が周期的に変化する磁石を対向配置して、前記電
子ビームに対して周期磁場を与えるウィグラーにおい
て、前記磁石に、前記電子ビームの軌道及び磁極の対向
方向に直角な方向に凹部を形成し、当該凹部に、半割円
棒状の磁性体を回転自在に装着してなることとしたの
で、前記磁石内の磁束を変化させることができ、磁場の
強さを調整することができる。したがって、従来の様に
個々の調整部材の厚み等を様々に変更して調整する必要
がなくなり、調整操作が容易になる。
の磁場調整機構によれば、電子ビームの軌道を挾んで磁
化方向が周期的に変化する磁石を対向配置して、前記電
子ビームに対して周期磁場を与えるウィグラーにおい
て、前記磁石に、前記電子ビームの軌道及び磁極の対向
方向に直角な方向に凹部を形成し、当該凹部に、半割円
棒状の磁性体を回転自在に装着してなることとしたの
で、前記磁石内の磁束を変化させることができ、磁場の
強さを調整することができる。したがって、従来の様に
個々の調整部材の厚み等を様々に変更して調整する必要
がなくなり、調整操作が容易になる。
【００１８】また、前記凹部を電子ビームの軌道からの
距離が異なる複数の位置に形成すれば、前記軌道に近い
部分では広い調整幅が得られ、前記軌道から遠い部分で
は微少な調整幅が得られる。したがって、これらを組み
合わせることにより段階的な調整を行うことができ、広
い調整範囲でかつ高精度に磁場の調整を行うことができ
る。
距離が異なる複数の位置に形成すれば、前記軌道に近い
部分では広い調整幅が得られ、前記軌道から遠い部分で
は微少な調整幅が得られる。したがって、これらを組み
合わせることにより段階的な調整を行うことができ、広
い調整範囲でかつ高精度に磁場の調整を行うことができ
る。
【００１９】このように、一様な磁場調整が容易にで
き、かつ機構の簡素化ができるウィグラーの磁場調整機
構を提供することができる。
き、かつ機構の簡素化ができるウィグラーの磁場調整機
構を提供することができる。
【図１】本発明の磁場調整機構が適用されたウィグラー
の概要を示す斜視図である。
の概要を示す斜視図である。
【図２】本発明の磁性体の一実施例を示す斜視図であ
る。
る。
【図３】本発明の磁性体の他の一実施例を示す斜視図で
ある。
ある。
【図４】従来のウィグラーの概要を示す側面図である。
【図５】従来の磁場調整機構を示す側面図である。
２１ ウィグラー ２２ 電子ビームの軌道 ２３ 永久磁石 ２４ 面 ２５ 磁極の対向方向 ２６ 凹部 ２７ 磁性体 ３１ 磁性材料 ３２ 非磁性材料 ３３ 磁性体
Claims (1)
- 【請求項１】 電子ビームの軌道を挾んで磁化方向が周
期的に変化する磁石を対向配置して、前記電子ビームに
対して周期磁場を与えるウィグラーにおいて、 前記磁石に、前記電子ビームの軌道及び磁極の対向方向
に直角な方向に凹部を形成し、 当該凹部に、半割円棒状の磁性体を回転自在に装着して
なることを特徴とするウィグラーの磁場調整機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35918591A JPH05182792A (ja) | 1991-12-27 | 1991-12-27 | ウィグラーの磁場調整機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35918591A JPH05182792A (ja) | 1991-12-27 | 1991-12-27 | ウィグラーの磁場調整機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05182792A true JPH05182792A (ja) | 1993-07-23 |
Family
ID=18463187
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35918591A Withdrawn JPH05182792A (ja) | 1991-12-27 | 1991-12-27 | ウィグラーの磁場調整機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05182792A (ja) |
-
1991
- 1991-12-27 JP JP35918591A patent/JPH05182792A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990311 |