JPH05182789A - ウィグラー - Google Patents
ウィグラーInfo
- Publication number
- JPH05182789A JPH05182789A JP3358896A JP35889691A JPH05182789A JP H05182789 A JPH05182789 A JP H05182789A JP 3358896 A JP3358896 A JP 3358896A JP 35889691 A JP35889691 A JP 35889691A JP H05182789 A JPH05182789 A JP H05182789A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- permanent magnets
- electron beam
- electromagnets
- wiggler
- pair
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Particle Accelerators (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 上下で対をなす永久磁石１２を電子ビームの
軌道を形成するための真空ダクト１１の上下に多数並べ
て設け、それら永久磁石１２の少なくとも一部もしくは
全てに対応させて電磁石１３を設ける。その電磁石の両
磁極１４ａは永久磁石の端部にそれぞれ近接配置し、電
磁石の起磁力を調節することで永久磁石の端部における
磁場強度を調節可能とする。 【効果】 電磁石の起磁力を調節することで永久磁石の
端部における磁場強度を調節し、それによって永久磁石
の中央部と端部とでの磁場強度に差を生ぜしめることに
より、電子ビームに対して水平方向の力を作用させ得て
電子ビームを水平方向に収束させ得る。
軌道を形成するための真空ダクト１１の上下に多数並べ
て設け、それら永久磁石１２の少なくとも一部もしくは
全てに対応させて電磁石１３を設ける。その電磁石の両
磁極１４ａは永久磁石の端部にそれぞれ近接配置し、電
磁石の起磁力を調節することで永久磁石の端部における
磁場強度を調節可能とする。 【効果】 電磁石の起磁力を調節することで永久磁石の
端部における磁場強度を調節し、それによって永久磁石
の中央部と端部とでの磁場強度に差を生ぜしめることに
より、電子ビームに対して水平方向の力を作用させ得て
電子ビームを水平方向に収束させ得る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電子ビームを周期磁場
で偏向してシンクロトロン放射光（ＳＯＲ光）を取り出
すウィグラー（アンジュレーターを含む）に関するもの
である。
で偏向してシンクロトロン放射光（ＳＯＲ光）を取り出
すウィグラー（アンジュレーターを含む）に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】周知のように、ウィグラーおよびその一
種であるアンジュレーターは、電子ビームの軌道に沿っ
て周期磁場を与えて電子ビームを偏向させることによ
り、特定の波長の強いＳＯＲ光を取り出すものであり、
自由電子レーザー装置等に利用されている。
種であるアンジュレーターは、電子ビームの軌道に沿っ
て周期磁場を与えて電子ビームを偏向させることによ
り、特定の波長の強いＳＯＲ光を取り出すものであり、
自由電子レーザー装置等に利用されている。
【０００３】図２はウィグラーの一従来例の概要を示す
ものである。図中符号１は電子ビーム２の軌道を形成す
るための真空ダクトであり、この真空ダクト１中を電子
ビーム２が光速近くに加速されて通過するようになって
いる。真空ダクト１を挟んでその上下には、上下で対を
なす永久磁石３が真空ダクト１の長手方向に沿って多数
並べられて設けられている。それら永久磁石３の極性は
交互に変化しており、隣接する永久磁石３の間には磁極
材としてパーメンダー４が挟み込まれている。これによ
り、図中の矢印で示すように、対向しているパーメンダ
ー４間で真空ダクト１を貫通する磁束が発生する。この
磁束の方向は交互に反転しているので、真空ダクト１中
を通過する電子ビーム２に対しては周期磁場が与えら
れ、磁束と直角な方向すなわち水平方向に電子ビーム２
が蛇行することになり、その蛇行の際に接線方向に放射
光が放射され、各部からの放射光が干渉して準単色光が
得られるのである。
ものである。図中符号１は電子ビーム２の軌道を形成す
るための真空ダクトであり、この真空ダクト１中を電子
ビーム２が光速近くに加速されて通過するようになって
いる。真空ダクト１を挟んでその上下には、上下で対を
なす永久磁石３が真空ダクト１の長手方向に沿って多数
並べられて設けられている。それら永久磁石３の極性は
交互に変化しており、隣接する永久磁石３の間には磁極
材としてパーメンダー４が挟み込まれている。これによ
り、図中の矢印で示すように、対向しているパーメンダ
ー４間で真空ダクト１を貫通する磁束が発生する。この
磁束の方向は交互に反転しているので、真空ダクト１中
を通過する電子ビーム２に対しては周期磁場が与えら
れ、磁束と直角な方向すなわち水平方向に電子ビーム２
が蛇行することになり、その蛇行の際に接線方向に放射
光が放射され、各部からの放射光が干渉して準単色光が
得られるのである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のよう
な構成のウィグラーは、電子ビーム２を垂直方向（上下
方向）に対しては収束させる作用があるが、水平方向に
対する収束作用はなく、ウィグラーを通過する際に電子
ビーム２は水平方向に発散してしまうものであり、電子
ビームを水平方向にも収束させ得るウィグラーの開発が
要望されていた。
な構成のウィグラーは、電子ビーム２を垂直方向（上下
方向）に対しては収束させる作用があるが、水平方向に
対する収束作用はなく、ウィグラーを通過する際に電子
ビーム２は水平方向に発散してしまうものであり、電子
ビームを水平方向にも収束させ得るウィグラーの開発が
要望されていた。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記事情に鑑
みてなされたもので、上下で対をなす永久磁石を電子ビ
ームの軌道を挟んで記軌道の方向に沿って多数並べて設
けるとともに、それら対の永久磁石の極性を周期的に変
化させておくことによって、軌道を通過する電子ビーム
に対して周期磁場を与えて偏向させる構成のウィグラー
において、両磁極が前記対の永久磁石の端部にそれぞれ
近接配置された電磁石を少なくとも一部の対の永久磁石
に対応させて設け、その電磁石の起磁力を調節すること
により永久磁石の端部における磁場強度を調節可能にし
たことを特徴とするものである。
みてなされたもので、上下で対をなす永久磁石を電子ビ
ームの軌道を挟んで記軌道の方向に沿って多数並べて設
けるとともに、それら対の永久磁石の極性を周期的に変
化させておくことによって、軌道を通過する電子ビーム
に対して周期磁場を与えて偏向させる構成のウィグラー
において、両磁極が前記対の永久磁石の端部にそれぞれ
近接配置された電磁石を少なくとも一部の対の永久磁石
に対応させて設け、その電磁石の起磁力を調節すること
により永久磁石の端部における磁場強度を調節可能にし
たことを特徴とするものである。
【０００６】
【作用】本発明のウィグラーにおいては、少なくとも一
部もしくは全ての対の永久磁石に対応させて設けた電磁
石の起磁力を調節することにより、それら永久磁石の端
部における磁場強度を調節することが可能である。そし
て、永久磁石の中央部と端部とでの磁場強度に差を生じ
させることにより、電子ビームを水平方向に収束させる
べく電子ビームに対する水平方向の力を作用させ得る。
部もしくは全ての対の永久磁石に対応させて設けた電磁
石の起磁力を調節することにより、それら永久磁石の端
部における磁場強度を調節することが可能である。そし
て、永久磁石の中央部と端部とでの磁場強度に差を生じ
させることにより、電子ビームを水平方向に収束させる
べく電子ビームに対する水平方向の力を作用させ得る。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１を参照して説
明する。図１は本実施例のウィグラーの概略構成を示す
部分斜視図であり、符号１１は電子ビームの軌道となる
真空ダクト、１２はその上下に対向配置されている対の
永久磁石である。それら永久磁石１２は、従来のウィグ
ラーにおけるものと同様に、真空ダクト１１に直交する
水平方向に延在するように設けられているとともに、真
空ダクト１１の長手方向に沿って多数並べられて配置さ
れ、それらの極性は交互に変化するものとされている。
明する。図１は本実施例のウィグラーの概略構成を示す
部分斜視図であり、符号１１は電子ビームの軌道となる
真空ダクト、１２はその上下に対向配置されている対の
永久磁石である。それら永久磁石１２は、従来のウィグ
ラーにおけるものと同様に、真空ダクト１１に直交する
水平方向に延在するように設けられているとともに、真
空ダクト１１の長手方向に沿って多数並べられて配置さ
れ、それらの極性は交互に変化するものとされている。
【０００８】そして、各対の永久磁石１２の両側には、
それぞれ電磁石１３が配置されている。各電磁石１３
は、それぞれＣ字状の鉄芯１４とそれに取り付けられて
いるコイル１５からなり、磁極１４ａとなっている鉄芯
１４の両端部がそれぞれ永久磁石１２の端部に近接配置
されている。つまり、電磁石１３の両磁極１４ａ，１４
ａ間に対の永久磁石１２の端部が挟まれた形態となって
いる。
それぞれ電磁石１３が配置されている。各電磁石１３
は、それぞれＣ字状の鉄芯１４とそれに取り付けられて
いるコイル１５からなり、磁極１４ａとなっている鉄芯
１４の両端部がそれぞれ永久磁石１２の端部に近接配置
されている。つまり、電磁石１３の両磁極１４ａ，１４
ａ間に対の永久磁石１２の端部が挟まれた形態となって
いる。
【０００９】上記構成のウィグラーでは、従来のものと
全く同様に、真空ダクト１１を貫通する磁束が発生する
とともにその磁束の方向は交互に反転したものとなって
いるので、真空ダクト１１中を通過する電子ビームに対
して周期磁場が与えられ、電子ビームは蛇行してその際
に放射光が得られるものである。そして、従来のウィグ
ラーでは電子ビームが水平方向には発散してしまうもの
であったのに対し、本実施例のウィグラーでは、各対の
電磁石１２に対応させて設けた電磁石１３により電子ビ
ームを水平方向にも収束させることができるものであ
る。
全く同様に、真空ダクト１１を貫通する磁束が発生する
とともにその磁束の方向は交互に反転したものとなって
いるので、真空ダクト１１中を通過する電子ビームに対
して周期磁場が与えられ、電子ビームは蛇行してその際
に放射光が得られるものである。そして、従来のウィグ
ラーでは電子ビームが水平方向には発散してしまうもの
であったのに対し、本実施例のウィグラーでは、各対の
電磁石１２に対応させて設けた電磁石１３により電子ビ
ームを水平方向にも収束させることができるものであ
る。
【００１０】すなわち、従来のウィグラーにおける永久
磁石３は、その磁場強度が各永久磁石３の長さ方向に均
等であり、したがって電子ビームに対しては水平方向に
収束させるような力を何等作用させ得るものではない
が、本実施例の装置においては、各電磁石１３のコイル
１５に通じる電流値を調節することによってその電磁石
１３の起磁力を調節でき、そのような調節を行うことに
より、この電磁石１３の磁極１４ａに近接している永久
磁石１２の端部における磁場強度を調節できるものであ
り、したがって、永久磁石１２の中央部と端部とでの磁
場強度に差を生ぜしめることができるものである。そし
て、そのように、永久磁石１２の中央部と端部とで磁場
強度に差を生ぜしめることにより、電子ビームに対して
水平方向の力を作用させ得て電子ビームを水平方向に収
束させることが可能である。しかも、そのような調節は
電磁石１３のコイル１５に通じる電流値の調節のみで極
めて容易にかつ精度良く行い得るものである。
磁石３は、その磁場強度が各永久磁石３の長さ方向に均
等であり、したがって電子ビームに対しては水平方向に
収束させるような力を何等作用させ得るものではない
が、本実施例の装置においては、各電磁石１３のコイル
１５に通じる電流値を調節することによってその電磁石
１３の起磁力を調節でき、そのような調節を行うことに
より、この電磁石１３の磁極１４ａに近接している永久
磁石１２の端部における磁場強度を調節できるものであ
り、したがって、永久磁石１２の中央部と端部とでの磁
場強度に差を生ぜしめることができるものである。そし
て、そのように、永久磁石１２の中央部と端部とで磁場
強度に差を生ぜしめることにより、電子ビームに対して
水平方向の力を作用させ得て電子ビームを水平方向に収
束させることが可能である。しかも、そのような調節は
電磁石１３のコイル１５に通じる電流値の調節のみで極
めて容易にかつ精度良く行い得るものである。
【００１１】なお、上記実施例では、電磁石１３を全て
の対の永久磁石１２に対応させて設けるようにしたが、
必ずしもそうすることはなく、電磁石１３を特定の対の
永久磁石１２に対してのみ部分的に設けるようにしても
良い。また、図２に示した従来のもののように隣接して
いる永久磁石１２の間にパーメンダーを設けることは任
意である。
の対の永久磁石１２に対応させて設けるようにしたが、
必ずしもそうすることはなく、電磁石１３を特定の対の
永久磁石１２に対してのみ部分的に設けるようにしても
良い。また、図２に示した従来のもののように隣接して
いる永久磁石１２の間にパーメンダーを設けることは任
意である。
【００１２】
【発明の効果】以上で説明したように、本発明のウィグ
ラーは、少なくとも一部の永久磁石に対応する電磁石を
その両磁極を永久磁石の端部に近接配置させた状態で設
けた構成であるから、電磁石の起磁力を調節することで
永久磁石の端部における磁場強度を調節できるものであ
り、したがって、永久磁石の中央部と端部とでの磁場強
度に差を生ぜしめることによって電子ビームに対して水
平方向の力を作用させ得て電子ビームを水平方向に収束
させることが可能であり、しかも、そのような調節を電
磁石のコイルに通じる電流値の調節を行うことのみで極
めて容易にかつ精度良く行い得る。
ラーは、少なくとも一部の永久磁石に対応する電磁石を
その両磁極を永久磁石の端部に近接配置させた状態で設
けた構成であるから、電磁石の起磁力を調節することで
永久磁石の端部における磁場強度を調節できるものであ
り、したがって、永久磁石の中央部と端部とでの磁場強
度に差を生ぜしめることによって電子ビームに対して水
平方向の力を作用させ得て電子ビームを水平方向に収束
させることが可能であり、しかも、そのような調節を電
磁石のコイルに通じる電流値の調節を行うことのみで極
めて容易にかつ精度良く行い得る。
【図１】本発明のウィグラーの実施例を示す部分斜視図
である。
である。
【図２】従来のウィグラーの概要を示す側面図である。
１２ 永久磁石 １３ 電磁石 １４ａ 磁極
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０５Ｈ 13/04 Ｆ 9014−2Ｇ
Claims (1)
- 【請求項１】 上下で対をなす永久磁石を電子ビームの
軌道を挟んでその上下に軌道の方向に沿って多数並べて
設けるとともに、それら対の永久磁石の極性を周期的に
変化させておくことによって、軌道を通過する電子ビー
ムに対して周期磁場を与えて偏向させる構成のウィグラ
ーにおいて、両磁極が前記対の永久磁石の端部にそれぞ
れ近接配置された電磁石を少なくとも一部の対の永久磁
石に対応させて設け、その電磁石の起磁力を調節するこ
とにより永久磁石の端部における磁場強度を調節可能に
したことを特徴とするウィグラー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3358896A JPH05182789A (ja) | 1991-12-27 | 1991-12-27 | ウィグラー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3358896A JPH05182789A (ja) | 1991-12-27 | 1991-12-27 | ウィグラー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05182789A true JPH05182789A (ja) | 1993-07-23 |
Family
ID=18461665
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3358896A Withdrawn JPH05182789A (ja) | 1991-12-27 | 1991-12-27 | ウィグラー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05182789A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6795462B1 (en) * | 1999-07-02 | 2004-09-21 | Jens Christiansen | Gas laser |
| CN102956279A (zh) * | 2012-10-25 | 2013-03-06 | 中国科学院上海应用物理研究所 | 波荡器及波荡器的制造方法 |
| WO2018198222A1 (ja) * | 2017-04-26 | 2018-11-01 | 株式会社ニコン | 露光装置、露光方法、及び、デバイス製造方法 |
-
1991
- 1991-12-27 JP JP3358896A patent/JPH05182789A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6795462B1 (en) * | 1999-07-02 | 2004-09-21 | Jens Christiansen | Gas laser |
| CN102956279A (zh) * | 2012-10-25 | 2013-03-06 | 中国科学院上海应用物理研究所 | 波荡器及波荡器的制造方法 |
| WO2018198222A1 (ja) * | 2017-04-26 | 2018-11-01 | 株式会社ニコン | 露光装置、露光方法、及び、デバイス製造方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990311 |