JPH05182788A - ウィグラーの磁場調整機構 - Google Patents
ウィグラーの磁場調整機構Info
- Publication number
- JPH05182788A JPH05182788A JP3358895A JP35889591A JPH05182788A JP H05182788 A JPH05182788 A JP H05182788A JP 3358895 A JP3358895 A JP 3358895A JP 35889591 A JP35889591 A JP 35889591A JP H05182788 A JPH05182788 A JP H05182788A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic field
- magnetic
- wiggler
- electron beam
- magnet
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- Withdrawn
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 本発明のウィグラーの磁場調整機構は、電子
ビームの軌道２２を挾んで磁化方向が周期的に変化する
磁石２３を対向配置して、前記電子ビームに対して周期
磁場を与えるウィグラーにおいて、前記磁石２３の前記
電子ビームの軌道２２から遠い側２４に、磁極の対向方
向に移動自在に磁性体２５を配置してなることを特徴と
する。 【効果】 磁石内の磁束を変化させることができ、磁場
の強さを調整することができる。したがって、従来の様
に個々の調整部材の厚み等を様々に変更して調整する必
要がなくなり、調整操作が容易になる。また、必要に応
じて適正な磁界の強さの磁性体を選択すれば、磁場の段
階的な調整を行うことができ、広い調整範囲でかつ高精
度に磁場の調整を行うことができる。
ビームの軌道２２を挾んで磁化方向が周期的に変化する
磁石２３を対向配置して、前記電子ビームに対して周期
磁場を与えるウィグラーにおいて、前記磁石２３の前記
電子ビームの軌道２２から遠い側２４に、磁極の対向方
向に移動自在に磁性体２５を配置してなることを特徴と
する。 【効果】 磁石内の磁束を変化させることができ、磁場
の強さを調整することができる。したがって、従来の様
に個々の調整部材の厚み等を様々に変更して調整する必
要がなくなり、調整操作が容易になる。また、必要に応
じて適正な磁界の強さの磁性体を選択すれば、磁場の段
階的な調整を行うことができ、広い調整範囲でかつ高精
度に磁場の調整を行うことができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電子ビーム加速器にお
いて、この電子ビームを周期磁場で偏向することにより
ウィグラー放射光（またはアンジュレーター放射光）を
発生させることのできるウィグラー（アンジュレーター
を含む）の磁場調整機構に関するものである。
いて、この電子ビームを周期磁場で偏向することにより
ウィグラー放射光（またはアンジュレーター放射光）を
発生させることのできるウィグラー（アンジュレーター
を含む）の磁場調整機構に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、超ＬＳＩ製造、医療分野における
診断、分子解析、構造解析等の様々な分野において、シ
ンクロトロン放射（Ｓynchrotron Ｒadiation）光（略
してＳＯＲ光）を用いたＳＯＲリソグラフィー技術が注
目されている。ウィグラー放射光は、高エネルギー電子
が磁場中で偏向する際に発生するＳＯＲ光の干渉によっ
て発生するもので、高いビーム出力でかつ指向性のよい
準単色光が得られ、広い波長帯域にわたって連続的に波
長を可変することができる等の際立った特徴を有する。
診断、分子解析、構造解析等の様々な分野において、シ
ンクロトロン放射（Ｓynchrotron Ｒadiation）光（略
してＳＯＲ光）を用いたＳＯＲリソグラフィー技術が注
目されている。ウィグラー放射光は、高エネルギー電子
が磁場中で偏向する際に発生するＳＯＲ光の干渉によっ
て発生するもので、高いビーム出力でかつ指向性のよい
準単色光が得られ、広い波長帯域にわたって連続的に波
長を可変することができる等の際立った特徴を有する。
【０００３】図２は、このウィグラー放射光を発生させ
ることのできるウィグラー（ハイブリッド型）１の概要
を示す側面図である。このウィグラー１は、電子ビーム
２が光速近くに加速されて通過する真空ダクト３と、こ
の真空ダクト３に沿ってその上下に、磁化方向を交互に
変化させて対向配置された永久磁石４，４，…と、各隣
接する永久磁石４，４間に磁極材として挾み込まれたパ
ーメンダー５とから概略構成されている。これにより、
図２中矢印で示す様な磁束が発生し、対向するパーメン
ダー５，５間に真空ダクト３中を通過する磁束が発生す
る。この磁束の方向は、電子ビーム２の進行方向に対し
て周期的な磁場を与え、電子ビーム２の進行方向及び磁
束の双方と直角な方向に電子ビーム２を蛇行させる。こ
の電子ビーム２が周期磁場中で蛇行することによりウィ
グラー放射光が発生し、ウィグラー１の出口から出射さ
れる。
ることのできるウィグラー（ハイブリッド型）１の概要
を示す側面図である。このウィグラー１は、電子ビーム
２が光速近くに加速されて通過する真空ダクト３と、こ
の真空ダクト３に沿ってその上下に、磁化方向を交互に
変化させて対向配置された永久磁石４，４，…と、各隣
接する永久磁石４，４間に磁極材として挾み込まれたパ
ーメンダー５とから概略構成されている。これにより、
図２中矢印で示す様な磁束が発生し、対向するパーメン
ダー５，５間に真空ダクト３中を通過する磁束が発生す
る。この磁束の方向は、電子ビーム２の進行方向に対し
て周期的な磁場を与え、電子ビーム２の進行方向及び磁
束の双方と直角な方向に電子ビーム２を蛇行させる。こ
の電子ビーム２が周期磁場中で蛇行することによりウィ
グラー放射光が発生し、ウィグラー１の出口から出射さ
れる。
【０００４】このウィグラー１から特定の波長の強力な
光を得るには、各磁極間（対向するパーメンダー５，５
間）の磁場の強さを所定値に高精度に制御する必要があ
る。したがって、図３に示す様に、永久磁石４の表面４
ａに鉄板等からなる板状の調整部材６を配置し、パーメ
ンダー５からの磁束の一部を該調整部材６に分流（分流
磁束１１）させて逃がし、この逃がす量で対向するパー
メンダー５間の主磁束１２を調整している。
光を得るには、各磁極間（対向するパーメンダー５，５
間）の磁場の強さを所定値に高精度に制御する必要があ
る。したがって、図３に示す様に、永久磁石４の表面４
ａに鉄板等からなる板状の調整部材６を配置し、パーメ
ンダー５からの磁束の一部を該調整部材６に分流（分流
磁束１１）させて逃がし、この逃がす量で対向するパー
メンダー５間の主磁束１２を調整している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のウィ
グラー１においては、所定の磁場の強さが得られるまで
個々の調整部材６の厚み等を様々に変更して調整しなけ
ればならず、調整部材６の調整及び交換に手間と時間が
かかり、特に永久磁石４の個数が多い場合には極めて作
業効率が悪いものとなっていた。
グラー１においては、所定の磁場の強さが得られるまで
個々の調整部材６の厚み等を様々に変更して調整しなけ
ればならず、調整部材６の調整及び交換に手間と時間が
かかり、特に永久磁石４の個数が多い場合には極めて作
業効率が悪いものとなっていた。
【０００６】本発明は、上記の事情に鑑みてなされたも
のであって、従来の問題点を解決するとともに、一様な
磁場調整が容易にできるウィグラーの磁場調整機構を提
供することにある。
のであって、従来の問題点を解決するとともに、一様な
磁場調整が容易にできるウィグラーの磁場調整機構を提
供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は次の様なウィグラーの磁場調整機構を採用
した。すなわち、電子ビームの軌道を挾んで磁化方向が
周期的に変化する磁石を対向配置して、前記電子ビーム
に対して周期磁場を与えるウィグラーにおいて、前記磁
石の前記電子ビームの軌道から遠い側に、磁極の対向方
向に移動自在に磁性体を配置してなることを特徴として
いる。
に、本発明は次の様なウィグラーの磁場調整機構を採用
した。すなわち、電子ビームの軌道を挾んで磁化方向が
周期的に変化する磁石を対向配置して、前記電子ビーム
に対して周期磁場を与えるウィグラーにおいて、前記磁
石の前記電子ビームの軌道から遠い側に、磁極の対向方
向に移動自在に磁性体を配置してなることを特徴として
いる。
【０００８】
【作用】本発明のウィグラーの磁場調整機構では、前記
磁石に対して磁性体を磁極の対向方向に移動することに
より、前記磁石の磁束が変化し、これにより磁場の強さ
を調整することが可能になる。したがって、従来の様に
個々の調整部材の厚み等を様々に変更して調整する必要
がなく、調整操作が容易である。
磁石に対して磁性体を磁極の対向方向に移動することに
より、前記磁石の磁束が変化し、これにより磁場の強さ
を調整することが可能になる。したがって、従来の様に
個々の調整部材の厚み等を様々に変更して調整する必要
がなく、調整操作が容易である。
【０００９】また、磁界の強さの異なる数種類の磁性体
を用意しておき、必要に応じて適正な磁界の強さの磁性
体を選択することにより、磁場の段階的な調整を行うこ
とができ、広い調整範囲でかつ高精度に磁場の調整を行
うことができる。
を用意しておき、必要に応じて適正な磁界の強さの磁性
体を選択することにより、磁場の段階的な調整を行うこ
とができ、広い調整範囲でかつ高精度に磁場の調整を行
うことができる。
【００１０】
【実施例】図１は、本発明の磁場調整機構が適用された
ウィグラー３１の概要を示す斜視図である。このウィグ
ラー２１は、電子ビームの軌道２２を挾んでその上下
に、Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ系合金等からなる永久磁石２３が磁
化方向を交互に変化させて対向配置され、これらの永久
磁石２３の電子ビームの軌道２２から遠い面（側）２４
に、永久磁石からなる磁性体２５が配置され、この磁性
体２５がウィグラー２１の磁場調整機構を担っている。
ウィグラー３１の概要を示す斜視図である。このウィグ
ラー２１は、電子ビームの軌道２２を挾んでその上下
に、Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ系合金等からなる永久磁石２３が磁
化方向を交互に変化させて対向配置され、これらの永久
磁石２３の電子ビームの軌道２２から遠い面（側）２４
に、永久磁石からなる磁性体２５が配置され、この磁性
体２５がウィグラー２１の磁場調整機構を担っている。
【００１１】この磁性体２５の両端部にはそれぞれ支持
部材２６が取り付けられ、これらの支持部材２６，２６
は、クランク２７により磁極の対向方向（図中上下方
向）に移動自在に支持され、このクランク２７はハンド
ル２８，２８を操作することにより軸線の回りに回転
し、前記磁性体２５の位置を磁極の対向方向に調整する
様になっている。
部材２６が取り付けられ、これらの支持部材２６，２６
は、クランク２７により磁極の対向方向（図中上下方
向）に移動自在に支持され、このクランク２７はハンド
ル２８，２８を操作することにより軸線の回りに回転
し、前記磁性体２５の位置を磁極の対向方向に調整する
様になっている。
【００１２】このウィグラー２１では、磁性体２５を磁
極の対向方向に移動させることにより、前記永久磁石２
３内の磁束が変化し、これにより磁場の強さが調整され
る。したがって、従来の様に個々の調整部材６の厚み等
を様々に変更して調整する必要がなく、調整操作が容易
となる。
極の対向方向に移動させることにより、前記永久磁石２
３内の磁束が変化し、これにより磁場の強さが調整され
る。したがって、従来の様に個々の調整部材６の厚み等
を様々に変更して調整する必要がなく、調整操作が容易
となる。
【００１３】また、磁界の強さの異なる数種類の磁性体
２５を用意しておき、必要に応じて適正な磁界の強さの
磁性体２５を選択することにより、磁場の段階的な調整
を行うことができ、広い調整範囲でかつ高精度に磁場の
調整を行うことができる。
２５を用意しておき、必要に応じて適正な磁界の強さの
磁性体２５を選択することにより、磁場の段階的な調整
を行うことができ、広い調整範囲でかつ高精度に磁場の
調整を行うことができる。
【００１４】以上説明した様に、上記実施例のウィグラ
ー２１の磁場調整機構によれば、電子ビームの軌道２２
を挾んでその上下に、永久磁石２３が磁化方向を交互に
変化させて対向配置され、これらの永久磁石２３の電子
ビームの軌道２２から遠い面（側）２４に、永久磁石か
らなる磁性体２５が配置され、この磁性体２５の両端部
にはそれぞれ支持部材２６が取り付けられ、これらの支
持部材２６，２６は、クランク２７により磁極の対向方
向に移動自在に支持されているので、前記永久磁石２３
内の磁束を変化させることができ、磁場の強さを調整す
ることができる。したがって、従来の様に個々の調整部
材の厚み等を様々に変更して調整する必要がなくなり、
調整操作が容易になる。
ー２１の磁場調整機構によれば、電子ビームの軌道２２
を挾んでその上下に、永久磁石２３が磁化方向を交互に
変化させて対向配置され、これらの永久磁石２３の電子
ビームの軌道２２から遠い面（側）２４に、永久磁石か
らなる磁性体２５が配置され、この磁性体２５の両端部
にはそれぞれ支持部材２６が取り付けられ、これらの支
持部材２６，２６は、クランク２７により磁極の対向方
向に移動自在に支持されているので、前記永久磁石２３
内の磁束を変化させることができ、磁場の強さを調整す
ることができる。したがって、従来の様に個々の調整部
材の厚み等を様々に変更して調整する必要がなくなり、
調整操作が容易になる。
【００１５】また、磁界の強さの異なる数種類の磁性体
２５を用意しておき、必要に応じて適正な磁界の強さの
磁性体２５を選択すれば、磁場の段階的な調整を行うこ
とができ、広い調整範囲でかつ高精度に磁場の調整を行
うことができる。
２５を用意しておき、必要に応じて適正な磁界の強さの
磁性体２５を選択すれば、磁場の段階的な調整を行うこ
とができ、広い調整範囲でかつ高精度に磁場の調整を行
うことができる。
【００１６】なお、磁性体２５は、全ての永久磁石２３
に装着する必要はなく、それぞれの永久磁石２３の調整
幅等に応じて、例えば、１つおき、２つおきの様に間引
いて装着してもよい。
に装着する必要はなく、それぞれの永久磁石２３の調整
幅等に応じて、例えば、１つおき、２つおきの様に間引
いて装着してもよい。
【００１７】
【発明の効果】以上説明した様に、本発明のウィグラー
の磁場調整機構によれば、電子ビームの軌道を挾んで磁
化方向が周期的に変化する磁石を対向配置して、前記電
子ビームに対して周期磁場を与えるウィグラーにおい
て、前記磁石の前記電子ビームの軌道から遠い側に、磁
極の対向方向に移動自在に磁性体を配置してなることと
したので、前記磁石内の磁束を変化させることができ、
磁場の強さを調整することができる。したがって、従来
の様に個々の調整部材の厚み等を様々に変更して調整す
る必要がなくなり、調整操作が容易になる。
の磁場調整機構によれば、電子ビームの軌道を挾んで磁
化方向が周期的に変化する磁石を対向配置して、前記電
子ビームに対して周期磁場を与えるウィグラーにおい
て、前記磁石の前記電子ビームの軌道から遠い側に、磁
極の対向方向に移動自在に磁性体を配置してなることと
したので、前記磁石内の磁束を変化させることができ、
磁場の強さを調整することができる。したがって、従来
の様に個々の調整部材の厚み等を様々に変更して調整す
る必要がなくなり、調整操作が容易になる。
【００１８】また、磁界の強さの異なる数種類の磁性体
を用意しておき、必要に応じて適正な磁界の強さの磁性
体を選択すれば、磁場の段階的な調整を行うことがで
き、広い調整範囲でかつ高精度に磁場の調整を行うこと
ができる。
を用意しておき、必要に応じて適正な磁界の強さの磁性
体を選択すれば、磁場の段階的な調整を行うことがで
き、広い調整範囲でかつ高精度に磁場の調整を行うこと
ができる。
【００１９】このように、一様な磁場調整が容易にで
き、かつ機構の簡素化ができるウィグラーの磁場調整機
構を提供することができる。
き、かつ機構の簡素化ができるウィグラーの磁場調整機
構を提供することができる。
【図１】本発明の磁場調整機構が適用されたウィグラー
の概要を示す斜視図である。
の概要を示す斜視図である。
【図２】従来のウィグラー（ハイブリッド型）の概要を
示す側面図である。
示す側面図である。
【図３】従来の磁場調整機構を示す側面図である。
２１ ウィグラー ２２ 電子ビームの軌道 ２３ 永久磁石 ２４ 面（側） ２５ 磁性体 ２６ 支持部材 ２７ クランク ２８ ハンドル
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０５Ｈ 13/04 Ｆ 9014−2Ｇ
Claims (1)
- 【請求項１】 電子ビームの軌道を挾んで磁化方向が周
期的に変化する磁石を対向配置して、前記電子ビームに
対して周期磁場を与えるウィグラーにおいて、 前記磁石の前記電子ビームの軌道から遠い側に、磁極の
対向方向に移動自在に磁性体を配置してなることを特徴
とするウィグラーの磁場調整機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3358895A JPH05182788A (ja) | 1991-12-27 | 1991-12-27 | ウィグラーの磁場調整機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3358895A JPH05182788A (ja) | 1991-12-27 | 1991-12-27 | ウィグラーの磁場調整機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05182788A true JPH05182788A (ja) | 1993-07-23 |
Family
ID=18461660
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3358895A Withdrawn JPH05182788A (ja) | 1991-12-27 | 1991-12-27 | ウィグラーの磁場調整機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05182788A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108831666A (zh) * | 2018-06-27 | 2018-11-16 | 中国工程物理研究院应用电子学研究所 | 一种小周期永磁型错列波荡器磁路 |
-
1991
- 1991-12-27 JP JP3358895A patent/JPH05182788A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108831666A (zh) * | 2018-06-27 | 2018-11-16 | 中国工程物理研究院应用电子学研究所 | 一种小周期永磁型错列波荡器磁路 |
| CN108831666B (zh) * | 2018-06-27 | 2020-11-03 | 中国工程物理研究院应用电子学研究所 | 一种小周期永磁型错列波荡器磁路 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990311 |