JPH05180869A - 集積回路の節点電圧を測定する方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 本発明の目的は、大気中で節点電圧を測定で
きる方法及び装置を提供することにある。 【構成】 本発明による集積回路１４の節点電圧を測定
する装置は、（ａ）前記節点１２からの電流を集めるこ
とができる導電性ニードル１０と、（ｂ）導電性ニード
ル１０を、節点１２の上方の所定距離に位置決めする位
置決め回路と、（ｃ）前記電流に応答して前記導電性ニ
ードル１０に電圧を供給するための、前記導電性ニード
ル１０に接続された電圧供給回路とを有している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、広くは集積回路の評価
に関し、より詳しくは集積回路の節点電圧を測定する方
法及び装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】集積回路に対する需要及び集積回路の複
雑さが増大すると、集積回路を評価するためのより効率
的で安価な方法を見出す必要が生じている。内部節点電
圧の測定は、集積回路を評価する上で不可欠なことであ
る。節点電圧を測定する従来の１つの方法として、ニー
ドルプローブを用いる方法がある。ニードルプローブは
集積回路に規定された低キャパシタンスプローブであ
り、各ニードルプローブを測定すべき集積回路の節点に
物理的に接触させることができる。しかしながら、ニー
ドルプローブは、実際に節点に接触させて節点電圧を測
定する必要があるため、節点を形成する金属線がプロー
ブとの接触により損傷を受けることがある。また、プロ
ーブ自体が節点を負荷にするため、読みに誤差が生じ
る。

【０００３】内部節点電圧を測定する従来の他の方法
は、電子ビーム試験法（Electron Beam Testing)であ
る。正確な電子ビームテスタは、通常、真空中で走査型
電子顕微鏡（ＳＥＭ）により発生される電子ビームを必
要とする。操作時に、電子ビームは集積回路の節点に合
焦され、このため低エネルギの二次電子を発生する。二
次電子のエネルギは試料（サンプル）の表面電位により
変調される。節点の正の電圧が二次電子を引き寄せるた
め電子はスローダウンする。また、節点の負の電圧が電
子を反発するため電子はスピードアップする。二次電子
の平均エネルギを測定するには、通常、特殊な二次電子
検出器が必要になる。平均エネルギが低いということ
は、電子の移動が遅いこと及び節点の電圧が正であるこ
とを示している。これに対し、平均エネルギが高いとい
うことは、電子の移動が速いこと及び負の電圧であるこ
とを示している。従って、節点の相対電圧は平均エネル
ギのレベルにより決定することができる。

【０００４】しかしながら、電子ビーム試験法に関連し
て、好ましくない幾つかの制限がある。第１の制限は、
空気の分子が測定を妨げるため、真空中で測定を行わな
くてはならないことである。第２の制限は、電子ビーム
テスタが大量のハードウェア（より詳しくは、真空を維
持するために必要なハードウェア）を必要とすることで
ある。最後の制限は、電子ビーム試験法は約１０〜３０
mvの感度を有するに過ぎないけれども、数ミリボルト又
は数マイクロボルトの感度が必要なことである。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】従って本発明の目的
は、大気中で節点電圧を測定できる方法及び装置を提供
することにある。本発明の他の目的は、少なくとも１mv
の感度を有する方法及び装置を提供することにある。

【０００６】本発明の他の目的は、集積回路に損傷を与
えない方法及び装置を提供することにある。本発明の他
の目的は、安価でもある方法及び装置を提供することに
ある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明の上記目的は、集
積回路の節点電圧を測定する本発明の方法により達成さ
れる。導電性ニードルが、集積回路の節点の上方の固定
距離に配置される。検出ニードルには、所定の電圧レベ
ルの電圧が供給される。次に電圧を調節して、導電性ニ
ードルと節点との間に所定の電流レベルの電流を流す。
この電流を、導電性ニードルに供給される電圧を調節す
ることにより、所定の電流レベルに維持する。

【０００８】

【実施例】本発明の上記目的及び他の目的及び特徴及び
利点は、添付図面に関連して述べる以下の詳細な説明に
より明らかになるであろう。図１に示すように、集積回
路１４の節点１２の上方に検出ニードル１０を配置し
て、節点１２の電圧を測定できるようにする。検出ニー
ドル１０と節点１２との間の距離は固定され、節点１２
と検出ニードル１０との間にトンネル電流すなわち電界
放出電流（すなわち、番号３０で示す電流）が流れ得る
ようにする。電流３０は、検出ニードル１０と節点１２
との間の電位差及び距離の関数である。検出ニードル１
０と供給電圧２０との間には電圧制御回路１８が接続さ
れていて、電流３０の変化を検出する。電流３０の検出
された変化に応答して、電圧制御回路１８がフィードバ
ック信号２８を発生し、電流３０がその初期値に戻るよ
うに供給電圧２０を調節する。電流３０がその初期値に
戻ると、供給電圧２０の変化が節点１２の電圧レベルの
変化と等しくなる。従って、節点１２の電圧レベルの変
化は、供給電圧２０の電圧レベルの変化を記録すること
により測定される。

【０００９】集積回路１４は、ウェーハ又はパッケージ
形態で評価できる試験中のデバイスである。集積回路１
４を評価するため、集積回路１４には、操作に必要な外
部接続（図示せず）がなされる。必要な外部接続の個数
及び形式は、試験される個々の集積回路に基づいて定め
られる。ワイヤボンディング等の外部接続方法は、当業
者にとって明らかであろう。一般に、集積回路１４に
は、作動中に電圧を測定できる種々の節点１２が含まれ
ている。概略的にいえば、節点１２は金属すなわち半導
体材料で構成されている。例えば、節点１２は、相互接
続ライン、又はトランジスタのソース又はドレイン領域
で構成することができる。節点１２の他の例は、当業者
にとって明らかであろう。

【００１０】検出ニードル１０は、伝統的な走査型トン
ネル顕微鏡（ＳＴＭ）の技術に使用される検出ニードル
と同じものである。一般に、検出ニードル１０はタング
ステンのような導電性材料で構成されている。検出ニー
ドル１０の下端部には鋭いコーン形先端部２４を備えて
おり、該先端部２４が節点１２上に置かれてトンネル電
流を発生する。引き寄せる電界放出電流のような別の方
法も当業者には明らかであり、これらも本発明の範囲に
包含されると考えられる。一般に、先端部２４は僅かに
原子３〜４個分の幅であり、１原子の幅程度に小さくす
ることができる。従って、本発明によれば節点１２の幅
にいかなる制限もなく、このため、節点１２の幅は、デ
バイスの製造限度により決定される。

【００１１】電圧制御回路１８は、概略的に、電流検出
器２６と、フィードバック信号２８とで構成されてい
る。電流検出器２６は検出ニードル１０と供給電圧２０
との間に接続されていて、電流３０の変化を検出する。
フィードバック信号２８は、電流３０の変化に応答して
供給電圧２０を調節するため、供給電圧２０に接続され
ている。本発明が電圧を測定できる精度は、電流検出器
２６の感度の程度に基づいている。電流検出器２６のよ
うな電流の変化を検出する回路は当業者により良く知ら
れており且つ当業者にとって明らかなものである。

【００１２】供給電圧２０は、検出ニードル１０に電圧
を供給する調節可能な電圧源である。供給電圧２０は電
圧制御回路１８を介して検出ニードル１０に接続されて
いる。供給電圧２０の電圧レベルは、フィードバック信
号２８により、反映する節点１２の電圧レベルの変化に
調節される。操作において、検出ニードル１０は、集積
回路１４の節点１２から約１ナノメートル上方に配置さ
れる。検出ニードル１０は節点１２に決して接触しない
ため、幾つかの従来技術のように、測定により集積回路
１４に損傷を与えることはない。検出ニードル１０を位
置決めする１つの方法は、伝統的な原子力顕微鏡（ＡＦ
Ｍ）の技術を用いている。図２に示すように、位置決め
装置（ポジショナ）１６は、下方のアーム４０と、該ア
ーム４０を覆っている金属層４４と、該金属層４４の上
方に配置された上方のアーム４６と、下方のアーム４０
及び上方のアーム４６の両方に接続された圧電Ｚ駆動装
置（piezo-electric z-drive) ４８とで構成されてい
る。下方のアーム４０は集積回路１４の上方に配置され
る。図３に示すように、集積回路１４の表面が上昇する
と、下方のアーム４０が追いやられる。この結果、金属
層４４が上方のアーム４６の近くに移動し、上方のアー
ム４６と金属層４４との間のトンネル電流５０が増大す
る。この増大電流に応答して、図４に示すように、電流
５０が初期値に戻るまで、圧電Ｚ駆動装置４８が上方の
アーム４６及び下方のアーム４０の両方を上昇させる。
これとは逆に、集積回路１４の表面が下降すると、図５
に示すように下方のアーム４０も下降する。この結果、
金属層４４が上方のアーム４６から離れる方向に移動
し、上方のアーム４６と金属層４４との間のトンネル電
流５０が減少する。この電流の減少に応答して、図６に
示すように、電流５０が初期値に戻るまで、圧電Ｚ駆動
装置４８が上方のアーム４６及び下方のアーム４０の両
方を下降させる。この結果、検出ニードル１０が集積回
路１４の上方の固定距離に維持される。検出ニードル１
０を位置決めする他の方法も当業者には明白であり、本
発明の範囲内に包含されると考える。

【００１３】検出ニードル１０が節点１２の上方に位置
決めされると、供給電圧２０が初期電圧レベルに設定さ
れる（もちろん、供給電圧２０は、検出ニードル１０の
位置決めを行う前に設定することもできる）。概略的に
いえば、供給電圧２０は、検出ニードル１０と節点１２
との間の電位差が小さくなるように設定される。検出ニ
ードル１０と節点１２との間の電位差により、電子はギ
ャップをトンネル通過させられ、トンネル電流（検出ニ
ードル１０においては電流３０）が生じる。トンネル電
流を検出することの１つの利点は、正確な測定を行うの
に真空が不要なことである。検出ニードル１０と節点１
２との間の距離（すなわち、電子がトンネリングしなけ
ればならない距離）に比べ空気の分子の方が大きいた
め、空気の分子が、トンネリングする電子に影響を及ぼ
すことはない。

【００１４】別の方法として、電界放出電流を検出する
こともできる。しかしながら、電界放出電流を検出する
には真空が必要になる。この場合、検出ニードル１０又
は節点１２のうちのよりネガティブな方の電界が、他方
の電界から電子を取り出し、検出ニードル１０に電界放
出電流を発生させる。電流３０がトンネリングにより発
生されるか、電界放出電流により発生されるかとは無関
係に、電流３０は、節点１２と検出ニードル１０との間
の電位差及び節点１２と検出ニードル１０との間の距離
の関数である。電流３０は、次の節点電圧の式から決定
することができる。

【００１５】Ｖｓ−ＩＲ−Ｖｎ＝０ ここで、Ｖｓは、供給電圧２０の電圧レベル、Ｖｎは、
節点１２の電圧レベル、Ｒは、検出ニードル１０と節点
１２との間の距離が増大するときに増大するトンネリン
グ抵抗及び検出ニードル１０の抵抗、Ｉは、電流３０で
ある。

【００１６】上式を変形すれば、 Ｉ＝（Ｖｓ−Ｖｎ）／Ｒ となる。従って、供給電圧２０、節点１２の電圧レベ
ル、又は検出ニードル１０と節点１２との間の距離のい
ずれかが変化すれば、電流３０が影響を受けることにな
る。

【００１７】本発明（図１）においては、検出ニードル
１０と節点１２との間の距離が固定されており且つ電圧
が測定される。電流３０は、検出ニードル１０と節点１
２との間の初期電位差に相当する初期値を有している。
検出ニードル１０の電圧が節点１２の電圧よりもポジテ
ィブであると仮定すると、検出ニードル１０と節点１２
との間の電位差は節点１２の電圧の低下につれて小さく
なり、従って電流３０も減少する。この電流の減少は電
流検出器２６により検出され、且つフィードバック信号
２８が発生されて、電流３０がその初期値に戻るまで供
給電圧２０を上昇させる。電流３０がその初期値に戻る
と、供給電圧２０の上昇、従って検出ニードル１０の電
圧上昇が、節点１２の電圧上昇と等しくなる。

【００１８】節点１２の電圧が低下すると、電流３０と
共に、検出ニードル１０と節点１２との間の電位差も大
きくなる。この電流の増大は電流検出器２６により検出
され、且つフィードバック信号２８が発生されて、電流
３０がその初期値に戻るまで供給電圧２０が低下され
る。電流３０がその初期値に戻ると、供給電圧２０の低
下、従って検出ニードル１０の電圧の低下が、節点１２
の電圧の低下と等しくなる。従って、供給電圧２０を記
録することにより、節点１２の電圧が測定される。

【００１９】当業者には、検出ニードル１０の電圧を、
節点１２の電圧よりポジティブではないように設定でき
ることは明らかであろう。この場合には、電流３０は、
節点１２の電圧レベルの上昇と共に増大する。従って、
供給電圧２０を上昇させて、電流３０をその初期値に戻
さなくてはならない。節点１２の電圧レベルが低下する
と電流３０は減少する。このため、供給電圧２０を低下
させて電流３０をその初期値に戻さなくてはならない。
前述の場合と同様に、供給電圧２０の上昇又は低下は、
節点１２の電圧レベルの上昇又は低下と等しくなる。

【００２０】所望ならば、検出ニードル１０と電圧制御
回路１８との間にサンプル及びホールド回路６０を挿入
して、装置のバンド幅を拡大する。図７に示すように、
節点１２上に光子ビーム６２が合焦される。光子ビーム
６２の代わりに、イオンビーム又は電子ビームを用いる
こともできる。検出ニードル１０と節点１２との間の距
離が非常に大きくて非常に大きな電流を流す必要がある
場合には、サンプリングモードにおいて装置が光子ビー
ム６２の速度特性に応答できるようにする電流が光子ビ
ーム６２により形成される。非常に短いパルス（ピコセ
カンドのオーダのパルス）が可能であるので、装置のバ
ンド幅を非常に大きくすることができる。

【００２１】サンプル及びホールド回路６０は、節点１
２に信号が入力されている位相又は全波形をモニタリン
グすべくシフトされた位相で作動できる。いずれの場合
でも、電流検出器２６及びフィードバック信号２８は、
電流検出器２６と検出ニードル１０との間にサンプル及
びホールド回路６０が挿入されている点を除き、前の実
施例と同様に作動する。換言すれば、電流検出器２６及
びフィードバック信号２８は、節点１２の電圧レベルで
はなくサンプリングされた信号に応答するといえる。

【００２２】以上、本発明をその好ましい実施例及びこ
れを変更した実施例について詳細に説明したが、上記説
明は例示のみを目的とするものであって、本発明を制限
するものではないことを理解すべきである。また、上記
説明を参照すれば、当業者ならば、本発明の実施例及び
付加した実施例の詳細における種々の変更は明白であろ
う。もちろん、そのような変更及び付加的実施例とし
て、ここに説明した測定の感度についての変更が含まれ
よう。そのような全ての変更及び付加的実施例は、本発
明の精神及び特許請求の範囲に記載の真の範囲内に包含
されるものである。

【００２３】以上の記載に関連して、以下の各項を開示
する。 １．集積回路の節点電圧を測定する装置において、
（ａ）前記節点からの電流を集めることができる導電性
ニードルと、（ｂ）該導電性ニードルを、前記節点の上
方の所定距離に位置決めする位置決め回路と、（ｃ）前
記電流に応答して前記導電性ニードルに電圧を供給する
ための、前記導電性ニードルに接続された電圧供給回路
とを有していることを特徴とする集積回路の節点電圧測
定装置。

【００２４】２．前記電圧供給回路が、（ａ）前記導電
性ニードルの電流を検出する電流検出器と、（ｂ）前記
導電性ニードルに電圧を供給する電圧源と、（ｃ）前記
電流検出器により検出された前記電流に応答して前記電
圧源を調節するためのフィードバック信号ラインとを備
えていることを特徴とする前記項１に記載の節点電圧測
定装置。

【００２５】３．前記導電性ニードルがタングステンで
構成されていることを特徴とする前記項１に記載の節点
電圧測定装置。 ４．前記電流がトンネル電流であることを特徴とする前
記項１に記載の節点電圧測定装置。 ５．前記所定距離は、前記導電性ニードルが前記節点か
ら前記トンネル電流を集めることができる距離に固定さ
れていることを特徴とする前記項１に記載の節点電圧測
定装置。

【００２６】６．前記電流が電界放出電流であることを
特徴とする前記項１に記載の節点電圧測定装置。 ７．前記所定距離は、前記導電性ニードルが前記節点か
ら前記電界放出電流を集めることができる距離に固定さ
れていることを特徴とする前記項６に記載の節点電圧測
定装置。

【００２７】８．前記位置決め回路が、（ａ）第１検出
アームと、（ｂ）該第１検出アーム上に配置された金属
層と、（ｃ）該金属層から検出電流を引き寄せるため
の、前記第１検出アームの上方に配置された第２検出ア
ームと、（ｄ）前記第１検出アーム及び第２検出アーム
の高さを調節するＺ駆動装置とを備えていることを特徴
とする前記項１に記載の節点電圧測定装置。

【００２８】９．（ａ）前記導電性ニードルと前記調節
可能な電圧源との間に接続されたサンプル及びホールド
回路と、（ｂ）前記導電性ニードル内への前記電流の注
入を助けるべく前記集積回路に合焦されるビームとを更
に有していることを特徴とする前記項１に記載の節点電
圧測定装置。

【００２９】10. 前記ビームが光子ビームであることを
特徴とする前記項９に記載の節点電圧測定装置。 11. 前記ビームが電子ビームであることを特徴とする前
記項９に記載の節点電圧測定装置。 12. 前記ビームがイオンビームであることを特徴とする
前記項９に記載の節点電圧測定装置。

【００３０】13. 集積回路の節点電圧を測定する装置に
おいて、（ａ）検出ニードルと、（ｂ）該検出ニードル
が、前記集積回路から電流を集めることができるよう
に、前記集積回路の上方に小距離を隔てた位置に前記検
出ニードルを位置決めするホルダと、（ｃ）前記検出ニ
ードルに電圧を供給するための、該検出ニードルに接続
された調節可能な電圧源と、（ｄ）前記検出ニードルの
前記電流を検出するための、前記検出ニードルと前記調
節可能な電圧源との間に接続された電流検出器と、
（ｅ）前記調節可能な電圧源を調節するための、前記電
流検出器と前記調節可能な電圧源との間に接続されたフ
ィードバック信号ラインとを有していることを特徴とす
る節点電圧測定装置。

【００３１】14. 前記導電性ニードルがタングステンで
構成されていることを特徴とする前記項１３に記載の節
点電圧測定装置。 15. 前記電流がトンネル電流であることを特徴とする前
記項１３に記載の節点電圧測定装置。 16. 前記電流が電界放出電流であることを特徴とする前
記項１３に記載の節点電圧測定装置。

【００３２】17. （ａ）前記検出ニードルと前記調節可
能な電圧源との間に接続されたサンプル及びホールド回
路と、（ｂ）前記検出ニードル内への前記電流の注入を
助けるべく前記集積回路に合焦される光子ビームとを更
に有していることを特徴とする前記項１３に記載の節点
電圧測定装置。

【００３３】18. 集積回路の節点電圧を測定する方法に
おいて、（ａ）導電性ニードルを前記節点の上方の固定
距離に位置決めする工程と、（ｂ）前記導電性ニードル
に所定の電圧レベルの電圧を供給する工程と、（ｃ）前
記電圧を調節して、前記導電性ニードルと前記節点との
間に所定の電流レベルの電流を流す工程と、（ｄ）前記
導電性ニードルに供給される前記電圧を調節することに
より、前記電流を所定の電流レベルに維持することを特
徴とする節点電圧測定方法。

【００３４】19. 前記導電性ニードルの前記電流を検出
する工程を更に有していることを特徴とする前記項１８
に記載の節点電圧測定方法。 20. 前記検出電流に応答して、前記導電性ニードルに供
給される電圧を調節するフィードバック信号を発生する
工程を更に有していることを特徴とする前記項１９に記
載の節点電圧測定方法。

【００３５】21. 前記電流が第１トンネル電流であるこ
とを特徴とする前記項１８に記載の節点電圧測定方法。 22. 前記電流が電界放出電流であることを特徴とする前
記項１８に記載の節点電圧測定方法。 23. 前記位置決め工程が、（ａ）上面に金属層が設けら
れた第１検出アームを設ける工程と、（ｂ）前記第１検
出アームの上方に、前記金属層からの第２トンネル電流
を集める第２検出アームを設ける工程と、（ｃ）前記第
２トンネル電流を検出する工程と、（ｄ）前記第２トン
ネル電流に応答して、前記第１検出アーム及び第２検出
アームの高さを調節する工程とを備えていることを特徴
とする前記項１８に記載の節点電圧測定方法。

【００３６】24. （ａ）前記節点にビームを合焦させる
工程と、（ｂ）前記導電性ニードルの前記電流をサンプ
リングするサンプル及びホールド信号を発生する工程と
を更に有していることを特徴とする前記項１８に記載の
節点電圧測定方法。 25. 前記サンプル及びホールド回路が前記ビームと同相
であることを特徴とする前記項２４に記載の節点電圧測
定方法。

【００３７】26. 前記サンプル及びホールド回路が前記
ビームの位相から外れていることを特徴とする前記項２
４に記載の節点電圧測定方法。 27. 前記ビームが光子ビームであることを特徴とする前
記項２４に記載の節点電圧測定方法。 28. 前記ビームが電子ビームであることを特徴とする前
記項２４に記載の節点電圧測定方法。

【００３８】29. 前記ビームがイオンビームであること
を特徴とする前記項２４に記載の節点電圧測定方法。 30. 集積回路の節点電圧を測定する方法において、
（ａ）検出ニードルを前記節点の上方の固定距離に位置
決めする工程と、（ｂ）前記検出ニードルに供給電圧を
供給して、前記検出ニードルと前記節点との間に、該節
点の第１電圧レベルに相当する初期電流レベルの電流を
流す工程と、（ｃ）前記節点の第２電圧レベルに相当す
る前記電流の変化を検出すべく前記電流をモニタリング
する工程と、（ｄ）前記電流が前記初期電流レベルに戻
るように、前記電流の変化に応答して前記供給電圧を調
節する工程とを有していることを特徴とする節点電圧測
定方法。

【００３９】31. 前記電流が第１トンネル電流であるこ
とを特徴とする前記項３０に記載の節点電圧測定方法。 32. 前記電流が電界放出電流であることを特徴とする前
記項３０に記載の節点電圧測定方法。 33. （ａ）前記節点に光子ビームを合焦させる工程と、
（ｂ）前記検出ニードルの前記電流をサンプリングする
サンプル及びホールド信号を発生する工程とを更に有し
ていることを特徴とする前記項３０に記載の節点電圧測
定方法。

【００４０】34. 本願明細書には、集積回路の節点電圧
を測定する方法及び装置が開示されている。供給電圧２
０に接続された検出ニードル１０は、集積回路１４の節
点１２の直ぐ上に配置されている。検出ニードル１０と
節点１２との間の電位差により、検出ニードル１０には
トンネル電流すなわち電界放出電流３０が発生する。こ
の電流３０を初期値に設定するため供給電圧２０が調節
される。節点１２の電圧が変化すると、電流３０も変化
しようとする。電流３０の変化が検出されると信号２８
が発生され、電流３０がその初期値に戻るように供給電
圧２０が調節される。従って、供給電圧２０の変化が節
点１２の電圧の変化を反映している。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による節点電圧測定装置を示す概略図で
ある。

【図２】種々の操作段階における検出ニードルと集積回
路との間の距離を固定するための従来技術による装置を
示す概略図である。

【図３】図２と同様な概略図である。

【図４】図２と同様な概略図である。

【図５】図２と同様な概略図である。

【図６】図２と同様な概略図である。

【図７】サンプル及びホールド回路を備えた本発明によ
る節点電圧測定装置を示す概略図である。

【符号の説明】

１０ 検出ニードル １２ 節点 １４ 集積回路 １６ ポジショナ １８ 電圧制御回路 ２０ 供給電圧 ２４ 検出ニードルの先端部 ２６ 電流検出器 ２８ フィードバック信号 ３０ 電流（電界放出電流） ４０ 下方のアーム ４４ 金属層 ４６ 上方のアーム ４８ 電圧Ｚ駆動装置 ６０ サンプル及びホールド回路

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ロバート ティー マシューズ アメリカ合衆国 テキサス州 75075 プ ラノパークヘヴン ドライヴ 2417 (72)発明者 セシル ジェイ ディヴィス アメリカ合衆国 テキサス州 75401 グ リーンヴィル ルート ４ ボックス 113ジー

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 集積回路の節点電圧を測定する装置にお
   いて、 （ａ）前記節点からの電流を集めることができる導電性
   ニードルと、 （ｂ）該導電性ニードルを、前記節点の上方の所定距離
   に位置決めする位置決め回路と、 （ｃ）前記電流に応答して前記導電性ニードルに電圧を
   供給するための、前記導電性ニードルに接続された電圧
   供給回路とを有していることを特徴とする集積回路の節
   点電圧測定装置。