JPH051763Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH051763Y2 JPH051763Y2 JP1986061261U JP6126186U JPH051763Y2 JP H051763 Y2 JPH051763 Y2 JP H051763Y2 JP 1986061261 U JP1986061261 U JP 1986061261U JP 6126186 U JP6126186 U JP 6126186U JP H051763 Y2 JPH051763 Y2 JP H051763Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pair
- sensor coils
- circuit
- rotating shaft
- parallel
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
Links
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
《産業上の利用分野》
本考案は、磁気軸受装置における回転軸の径方
向偏位を検出する磁気軸受装置の回転軸径方向偏
位検出回路に関する。
向偏位を検出する磁気軸受装置の回転軸径方向偏
位検出回路に関する。
《考案の背景》
第４図には従来におけるこの種の回路の一例が
示されており、センサコイル１０Ａ，１０Ｂは磁
気軸受装置の回転軸に近接配置されている。
示されており、センサコイル１０Ａ，１０Ｂは磁
気軸受装置の回転軸に近接配置されている。
そしてこれらセンサコイル１０Ａ，１０Ｂには
ケーブル１２を介して抵抗１４Ａ，１４Ｂおよび
共振用コンデンサ１６が接続されており、それら
で形成されたブリツジ回路には発振器２０が接続
されている。
ケーブル１２を介して抵抗１４Ａ，１４Ｂおよび
共振用コンデンサ１６が接続されており、それら
で形成されたブリツジ回路には発振器２０が接続
されている。
そのブリツジ回路の端子１８Ａ，１８Ｂからは
回転軸の径方向偏位に応じた検出電圧が得られて
ており、その検出電圧は基準姿勢に対する回転軸
の径方向偏差に相当している。
回転軸の径方向偏位に応じた検出電圧が得られて
ており、その検出電圧は基準姿勢に対する回転軸
の径方向偏差に相当している。
ここで、このブリツジ回路に対する供給電流を
Ｉ、その電圧をＶ、それらの角周波数をω、セン
サコイル１０Ａおよび１０Ｂのインダクタンスを
Ｌ、抵抗１４Ａ，１４Ｂの抵抗値をＲ、コンデン
サ１６の容量をＣとすれば、電流Ｉは Ｉ＝Ｖ√１2＋（−１）2 …第(1)式 で表わされるが、その際に発振器２０の発振角周
波数ωが ω＝√１ …第(2)式 に設定されることにより、センサコイル１０Ａ，
１０Ｂとコンデンサ１６とが共振状態とされて供
給電流Ｉと電圧Ｖとが同位相とされる。
Ｉ、その電圧をＶ、それらの角周波数をω、セン
サコイル１０Ａおよび１０Ｂのインダクタンスを
Ｌ、抵抗１４Ａ，１４Ｂの抵抗値をＲ、コンデン
サ１６の容量をＣとすれば、電流Ｉは Ｉ＝Ｖ√１2＋（−１）2 …第(1)式 で表わされるが、その際に発振器２０の発振角周
波数ωが ω＝√１ …第(2)式 に設定されることにより、センサコイル１０Ａ，
１０Ｂとコンデンサ１６とが共振状態とされて供
給電流Ｉと電圧Ｖとが同位相とされる。
しかしながら、センサコイル１０Ａ，１０Ｂの
インダクタンスにバラツキが生じており、またケ
ーブル１２の静電容量１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃに
もバラツキが生じており、さらにケーブル１２の
長さによりそれら静電容量１２Ａ，１２Ｂ，１２
Ｃが変化するので、従来では上記の最適共振状態
を得るために調整作業が必要となるという問題が
生じていた。
インダクタンスにバラツキが生じており、またケ
ーブル１２の静電容量１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃに
もバラツキが生じており、さらにケーブル１２の
長さによりそれら静電容量１２Ａ，１２Ｂ，１２
Ｃが変化するので、従来では上記の最適共振状態
を得るために調整作業が必要となるという問題が
生じていた。
《考案の目的》
本考案は上記従来の課題に鑑みてなされたもの
であり、その目的は、前記最適共振状態を得るた
めの調整作業が不要となる磁気軸受装置の回転軸
径方向偏位検出回路を提供することにある。
であり、その目的は、前記最適共振状態を得るた
めの調整作業が不要となる磁気軸受装置の回転軸
径方向偏位検出回路を提供することにある。
《考案の構成》
上記目的を達成するために本考案は、磁気軸受
装置により浮上支持される回転軸と、回転軸に近
接して対向する位置に配置され、電気的に直列に
接続された一対のセンサコイルと、一対のセンサ
コイルと並列に接続され、並列共振回路を形成す
るコンデンサと、同じくその一対のセンサコイル
と並列に接続され、ブリツジ回路を形成する一対
の抵抗素子と、並列共振回路に供給する電圧と電
流の位相を同一に保つ位相ロツクループ回路（以
下PLL回路と称す）を有し、一対のセンサコイ
ルの中間端子と一対の抵抗素子の中間端子の間の
検出電圧から、回転軸の径方向偏位を検出する構
成とした。
装置により浮上支持される回転軸と、回転軸に近
接して対向する位置に配置され、電気的に直列に
接続された一対のセンサコイルと、一対のセンサ
コイルと並列に接続され、並列共振回路を形成す
るコンデンサと、同じくその一対のセンサコイル
と並列に接続され、ブリツジ回路を形成する一対
の抵抗素子と、並列共振回路に供給する電圧と電
流の位相を同一に保つ位相ロツクループ回路（以
下PLL回路と称す）を有し、一対のセンサコイ
ルの中間端子と一対の抵抗素子の中間端子の間の
検出電圧から、回転軸の径方向偏位を検出する構
成とした。
《実施例の説明》
以下、図面に基づいて本考案に係る回路の好適
な実施例を説明する。
な実施例を説明する。
第２図にはターボ分子ポンプの内部構成が示さ
れており、同図においてその回転軸２２の両側に
はこれに近接してセンサコイル１０Ａ，１０Ｂが
設けられている。
れており、同図においてその回転軸２２の両側に
はこれに近接してセンサコイル１０Ａ，１０Ｂが
設けられている。
そしてそれらセンサコイル１０Ａ，１０Ｂから
第３図のように信号線が引き出されており、その
信号線は第１図のようにケーブル１２に接続され
る。
第３図のように信号線が引き出されており、その
信号線は第１図のようにケーブル１２に接続され
る。
この第１図においてセンサコイル１０Ａ，１０
Ｂおよびコンデンサ１６を有するブリツジ回路に
対する供給電流Ｉ、電圧ＶはPLL回路により得
られており、本実施例ではそのPLL回路には差
動増幅器２４、位相比較器２６、ローパスフイル
タ２８、基本周波数設定器３０、演算器３２、
VCO３４、増幅器３６が含まれている。
Ｂおよびコンデンサ１６を有するブリツジ回路に
対する供給電流Ｉ、電圧ＶはPLL回路により得
られており、本実施例ではそのPLL回路には差
動増幅器２４、位相比較器２６、ローパスフイル
タ２８、基本周波数設定器３０、演算器３２、
VCO３４、増幅器３６が含まれている。
そしてそのPLL回路の増幅器３６においては
前記ブリツジ回路に対する供給電流Ｉ、電圧Ｖが
得られており、その電圧Ｖは位相比較器２６の一
方の位相比較入力に供給されている。
前記ブリツジ回路に対する供給電流Ｉ、電圧Ｖが
得られており、その電圧Ｖは位相比較器２６の一
方の位相比較入力に供給されている。
またブリツジ回路に対する供給電流Ｉが抵抗３
８に供給されており、その電流Ｉに応じて生じた
抵抗３８の両端電圧は差動増幅器２４を介して位
相比較器２６の他方の位相比較入力に供給されて
いる。
８に供給されており、その電流Ｉに応じて生じた
抵抗３８の両端電圧は差動増幅器２４を介して位
相比較器２６の他方の位相比較入力に供給されて
いる。
したがつて、このPLL回路によりブリツジ回
路に対する供給電流Ｉと電圧Ｖとは強制的に同一
位相とされる。
路に対する供給電流Ｉと電圧Ｖとは強制的に同一
位相とされる。
このため本実施例によれば、ブリツジ回路が最
適な共振状態に自動調整され、その最適共振状態
はセンサコイル１０Ａ，１０Ｂのインダクタンス
バラツキ、ケーブル１２の静電容量バラツキ、そ
のケーブル長による静電容量の変化などにかかわ
らず維持される。
適な共振状態に自動調整され、その最適共振状態
はセンサコイル１０Ａ，１０Ｂのインダクタンス
バラツキ、ケーブル１２の静電容量バラツキ、そ
のケーブル長による静電容量の変化などにかかわ
らず維持される。
その結果、その最適共振状態を得るための手動
調整が不要となり、取扱いが極めて容易となると
ともにコスト低減も可能となる。
調整が不要となり、取扱いが極めて容易となると
ともにコスト低減も可能となる。
また任意のセンサコイル１０Ａ，１０Ｂ、任意
長のケーブル１２、任意構成のブリツジ回路を組
合せて使用できるので、回路設計の自由度が大幅
に拡大され、さらにそれらの個別在庫が不要とな
つて製造コストがさらに低減される。
長のケーブル１２、任意構成のブリツジ回路を組
合せて使用できるので、回路設計の自由度が大幅
に拡大され、さらにそれらの個別在庫が不要とな
つて製造コストがさらに低減される。
《考案の効果》
以上説明したように本考案によれば、ブリツジ
回路の最適な共振状態が自動的に得られるので、
その調整作業が不要となるとともに製造コストを
引き下げることが可能となる。
回路の最適な共振状態が自動的に得られるので、
その調整作業が不要となるとともに製造コストを
引き下げることが可能となる。
第１図は本考案に係る回路の好適な実施例の回
路図、第２図はターボ分子ポンプの内部構成説明
図、第３図はセンサコイル説明図、第４図は従来
回路の説明図である。 １０Ａ，１０Ｂ……センサコイル、１２……ケ
ーブル、１４Ａ，１４Ｂ……抵抗、１６……共振
コンデンサ、１８Ａ，１８Ｂ……端子、２２……
回転軸、２４……差動増幅器、２６……位相比較
器、２８……ローパスフイルタ、３０……基本周
波数設定器、３２……演算器、３４……VCO、
３６……増幅器、３８……抵抗。
路図、第２図はターボ分子ポンプの内部構成説明
図、第３図はセンサコイル説明図、第４図は従来
回路の説明図である。 １０Ａ，１０Ｂ……センサコイル、１２……ケ
ーブル、１４Ａ，１４Ｂ……抵抗、１６……共振
コンデンサ、１８Ａ，１８Ｂ……端子、２２……
回転軸、２４……差動増幅器、２６……位相比較
器、２８……ローパスフイルタ、３０……基本周
波数設定器、３２……演算器、３４……VCO、
３６……増幅器、３８……抵抗。
Claims (1)
- 磁気軸受装置により浮上支持される回転軸と、
前記回転軸に近接して対向する位置に配置され、
電気的に直列に接続された一対のセンサコイル
と、前記一対のセンサコイルと並列に接続され、
並列共振回路を形成するコンデンサと、同じく前
記一対のセンサコイルと並列に接続され、ブリツ
ジ回路を形成する一対の抵抗素子と、前記並列共
振回路に供給する電圧と電流の位相を同一に保つ
位相ロツクループ回路を有し、前記一対のセンサ
コイルの中間端子と前記一対の抵抗素子の中間端
子の間の検出電圧から、前記回転軸の径方向偏位
を検出する構成であることを特徴とする磁気軸受
装置の回転軸径方向変位検出回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986061261U JPH051763Y2 (ja) | 1986-04-23 | 1986-04-23 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986061261U JPH051763Y2 (ja) | 1986-04-23 | 1986-04-23 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62173005U JPS62173005U (ja) | 1987-11-04 |
| JPH051763Y2 true JPH051763Y2 (ja) | 1993-01-18 |
Family
ID=30894432
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986061261U Expired - Lifetime JPH051763Y2 (ja) | 1986-04-23 | 1986-04-23 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH051763Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004204939A (ja) * | 2002-12-25 | 2004-07-22 | Koyo Seiko Co Ltd | 磁気軸受装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5127374A (ja) * | 1974-05-10 | 1976-03-06 | Control Data Corp | Indakutansukei |
| JPS55107903A (en) * | 1979-02-09 | 1980-08-19 | Ono Sokki Co Ltd | Measuring method of eccentricity |
-
1986
- 1986-04-23 JP JP1986061261U patent/JPH051763Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5127374A (ja) * | 1974-05-10 | 1976-03-06 | Control Data Corp | Indakutansukei |
| JPS55107903A (en) * | 1979-02-09 | 1980-08-19 | Ono Sokki Co Ltd | Measuring method of eccentricity |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62173005U (ja) | 1987-11-04 |
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