JPH05172090A - 真空ポンプ - Google Patents
真空ポンプInfo
- Publication number
- JPH05172090A JPH05172090A JP34097491A JP34097491A JPH05172090A JP H05172090 A JPH05172090 A JP H05172090A JP 34097491 A JP34097491 A JP 34097491A JP 34097491 A JP34097491 A JP 34097491A JP H05172090 A JPH05172090 A JP H05172090A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- blade
- stator
- exhaust channel
- rotor
- exhaust groove
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ステータ１及びロータ２をストレートな円筒
面で接する構造としたことによる構造上の利点、即ちス
テータ分割構造の廃止及び軸方向隙間管理の緩和という
利点を有しながら、排気溝３の段数を増加させたりロー
タ径を拡大したりすることなく、小型軽量で安定した回
転を得ながらポンプ性能を改善する。 【構成】 排気溝３の底部に、この排気溝３の周方向に
沿う流路に対面する翼面７０をもち、羽根５側に向けて
張り出す静翼７を多数個周設して、排気溝３の内部にら
旋状に巻回しながら該溝３に沿って周方向に流れてくる
気体分子を、翼面７０に当てて、その周方向の速度成分
の一部を旋回力を増すためのラジアル方向の速度成分に
変え、気体分子の旋回を促進させて、羽根５の最深部に
まで十分に気体分子を回り込ませて排気を行うようにし
た。
面で接する構造としたことによる構造上の利点、即ちス
テータ分割構造の廃止及び軸方向隙間管理の緩和という
利点を有しながら、排気溝３の段数を増加させたりロー
タ径を拡大したりすることなく、小型軽量で安定した回
転を得ながらポンプ性能を改善する。 【構成】 排気溝３の底部に、この排気溝３の周方向に
沿う流路に対面する翼面７０をもち、羽根５側に向けて
張り出す静翼７を多数個周設して、排気溝３の内部にら
旋状に巻回しながら該溝３に沿って周方向に流れてくる
気体分子を、翼面７０に当てて、その周方向の速度成分
の一部を旋回力を増すためのラジアル方向の速度成分に
変え、気体分子の旋回を促進させて、羽根５の最深部に
まで十分に気体分子を回り込ませて排気を行うようにし
た。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造部門等で使
用され、円筒形ステータの内周部に設ける排気溝に、ロ
ータの外周部に彫設状に設ける多数の羽根を臨ませた渦
流式ポンプ要素を備える真空ポンプに関する。
用され、円筒形ステータの内周部に設ける排気溝に、ロ
ータの外周部に彫設状に設ける多数の羽根を臨ませた渦
流式ポンプ要素を備える真空ポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、特開昭６３−３６０９６号公報に
開示され且つ図５に示すように、円筒形のステータＳ
と、該ステータＳの内周面に外周面を近接させるロータ
Ｒとを備え、ステータＳの内周部に、該ステータＳの内
方に開放し、内部に円環コアＣを配設した円弧状に沿う
排気溝Ｔを設けると共に、ロータＲの外周部に、該ロー
タＲの外方に開放する多数の凹入部Ｍを周設して、相隣
合う凹入部間に排気溝Ｔに臨む羽根Ｆを設けており、こ
うして、ロータＲの外面を出っ張りのないストレートな
円筒形状にして、ステータＳを分割構造とする必要性を
無くすると共に、ステータＳとロータＲとの軸方向の隙
間管理を緩和できるようにしている。
開示され且つ図５に示すように、円筒形のステータＳ
と、該ステータＳの内周面に外周面を近接させるロータ
Ｒとを備え、ステータＳの内周部に、該ステータＳの内
方に開放し、内部に円環コアＣを配設した円弧状に沿う
排気溝Ｔを設けると共に、ロータＲの外周部に、該ロー
タＲの外方に開放する多数の凹入部Ｍを周設して、相隣
合う凹入部間に排気溝Ｔに臨む羽根Ｆを設けており、こ
うして、ロータＲの外面を出っ張りのないストレートな
円筒形状にして、ステータＳを分割構造とする必要性を
無くすると共に、ステータＳとロータＲとの軸方向の隙
間管理を緩和できるようにしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、以上の構造の
ものでは、ロータＲをストレート形状としたことにより
通常のものに比べて上記した構造上の利点が得られる
が、反面、羽根ＦがロータＲの外周面を越えて排気溝Ｔ
の内部に入り込まないため、排気溝Ｔと羽根Ｆとの間で
気体分子を旋回させるためのラジアル方向の速度成分が
小さく、羽根Ｆの最深部つまり凹入部Ｍの底部にまでガ
スを十分に回り込ませることが困難となり、このため、
通常のものよりも性能が劣り、要求性能を満足させるた
めには、排気溝Ｔの段数を増やしたり、ステータＳ及び
ロータＲの径を大きくして排気流路長をかせぐ必要が生
じ、重量増大を招くと共に、この重量増大に伴い共振点
が下がって安定した回転が妨げられる問題が起こる。
ものでは、ロータＲをストレート形状としたことにより
通常のものに比べて上記した構造上の利点が得られる
が、反面、羽根ＦがロータＲの外周面を越えて排気溝Ｔ
の内部に入り込まないため、排気溝Ｔと羽根Ｆとの間で
気体分子を旋回させるためのラジアル方向の速度成分が
小さく、羽根Ｆの最深部つまり凹入部Ｍの底部にまでガ
スを十分に回り込ませることが困難となり、このため、
通常のものよりも性能が劣り、要求性能を満足させるた
めには、排気溝Ｔの段数を増やしたり、ステータＳ及び
ロータＲの径を大きくして排気流路長をかせぐ必要が生
じ、重量増大を招くと共に、この重量増大に伴い共振点
が下がって安定した回転が妨げられる問題が起こる。
【０００４】本発明の目的は、ステータ及びロータをス
トレートな円筒面で接する構造としたことによる構造上
の利点を有しながら、装置の重量増大や大型化を招くこ
となく、性能を改善することができる真空ポンプを提供
することにある。
トレートな円筒面で接する構造としたことによる構造上
の利点を有しながら、装置の重量増大や大型化を招くこ
となく、性能を改善することができる真空ポンプを提供
することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】そこで、上記目的を達成
するため、円筒形のステータ１と、このステータ１の内
周面に外周面を近接させるロータ２とを備え、前記ステ
ータ１の内周部に内方に開放する排気溝３を設けると共
に、前記ロータ２の外周部に外方に開放する多数の凹入
部４を周設して、相隣合う凹入部４，４の間に前記排気
溝３に臨む羽根５を設けた真空ポンプにおいて、前記排
気溝３の底部に、この排気溝３の周方向に沿う流路に対
面する翼面７０をもち、前記羽根５側に向けて張り出す
静翼７を多数個周設した。
するため、円筒形のステータ１と、このステータ１の内
周面に外周面を近接させるロータ２とを備え、前記ステ
ータ１の内周部に内方に開放する排気溝３を設けると共
に、前記ロータ２の外周部に外方に開放する多数の凹入
部４を周設して、相隣合う凹入部４，４の間に前記排気
溝３に臨む羽根５を設けた真空ポンプにおいて、前記排
気溝３の底部に、この排気溝３の周方向に沿う流路に対
面する翼面７０をもち、前記羽根５側に向けて張り出す
静翼７を多数個周設した。
【０００６】
【作用】静翼７の翼面７０に、排気溝３内に周方向に沿
って流れる気体分子が当たり、この排気溝３の周方向に
沿う気体分子の速度成分の一部が、該気体分子を排気溝
３内で旋回させるためのラジアル方向の速度成分に変わ
り、気体分子の旋回が促進できるのであり、これによ
り、羽根５の最深部にまで十分に気体分子を回り込ませ
ることができ、そのポンプ性能を改善することができ
る。
って流れる気体分子が当たり、この排気溝３の周方向に
沿う気体分子の速度成分の一部が、該気体分子を排気溝
３内で旋回させるためのラジアル方向の速度成分に変わ
り、気体分子の旋回が促進できるのであり、これによ
り、羽根５の最深部にまで十分に気体分子を回り込ませ
ることができ、そのポンプ性能を改善することができ
る。
【０００７】
【実施例】図１に示すものは、ポンプハウジング９の内
部に、円筒形のステータ１と、該ステータ１の内周面に
外周面を近接させるロータ２とを備え、ステータ１の内
周部に内方に開放する円弧状に沿う排気溝３を６段にわ
たり設けると共に、ロータ２の外周部に外方に開放する
多数の凹入部４を周設して、相隣合う凹入部４，４の間
に排気溝３に臨む羽根５を６段にわたり設けた渦流型ポ
ンプ要素９１を配設すると共に、該ポンプ要素９１の上
段部に、上部ステータ１０と、外周部に複数のネジ溝３
０を設けた上部ロータ２０とを備えたネジ型ポンプ要素
９２を配設した複合型の真空ポンプである。そして、モ
ータハウジング９０に配設するモータ９３及びこれに直
結する駆動軸９４の駆動により、各ロータ２，２０を高
速回転させて、処理室に接続する吸気口９５から大気に
開放する排気口９６に向けて順次排気を行うようにして
いる。
部に、円筒形のステータ１と、該ステータ１の内周面に
外周面を近接させるロータ２とを備え、ステータ１の内
周部に内方に開放する円弧状に沿う排気溝３を６段にわ
たり設けると共に、ロータ２の外周部に外方に開放する
多数の凹入部４を周設して、相隣合う凹入部４，４の間
に排気溝３に臨む羽根５を６段にわたり設けた渦流型ポ
ンプ要素９１を配設すると共に、該ポンプ要素９１の上
段部に、上部ステータ１０と、外周部に複数のネジ溝３
０を設けた上部ロータ２０とを備えたネジ型ポンプ要素
９２を配設した複合型の真空ポンプである。そして、モ
ータハウジング９０に配設するモータ９３及びこれに直
結する駆動軸９４の駆動により、各ロータ２，２０を高
速回転させて、処理室に接続する吸気口９５から大気に
開放する排気口９６に向けて順次排気を行うようにして
いる。
【０００８】尚、上下の排気溝３，３間はステータ１の
内周部に切欠く連絡溝６を介して連結している。又、羽
根５は、気体分子に旋回力を付与できるように回転方向
に斜めに形成している。図１中、符号９７は冷却水の取
入口９８と取出口９９をもつ水ジャケット、８は上下の
軸受８１，８２に給油する油を溜める油溜である。
内周部に切欠く連絡溝６を介して連結している。又、羽
根５は、気体分子に旋回力を付与できるように回転方向
に斜めに形成している。図１中、符号９７は冷却水の取
入口９８と取出口９９をもつ水ジャケット、８は上下の
軸受８１，８２に給油する油を溜める油溜である。
【０００９】以上の構成で、図２及び図３に明示するよ
うに、排気溝３の底部に、この排気溝３の周方向に沿う
流路に対面する翼面７０をもち、羽根５側に向けて張り
出す静翼７を多数個周設する。この静翼７は、排気溝３
の周方向に沿う流路に対して前後方向やや斜めに傾斜さ
せた板状翼７１で構成している。
うに、排気溝３の底部に、この排気溝３の周方向に沿う
流路に対面する翼面７０をもち、羽根５側に向けて張り
出す静翼７を多数個周設する。この静翼７は、排気溝３
の周方向に沿う流路に対して前後方向やや斜めに傾斜さ
せた板状翼７１で構成している。
【００１０】尚、前記静翼７は、板状翼７１で構成する
他、図４に明示するように、三日月形の曲面翼７２で構
成してもよい。又、これら静翼７１，７２は、羽根５と
同じ枚数だけ設ける必要性はなく、該羽根５よりも少な
い枚数であってもよい。
他、図４に明示するように、三日月形の曲面翼７２で構
成してもよい。又、これら静翼７１，７２は、羽根５と
同じ枚数だけ設ける必要性はなく、該羽根５よりも少な
い枚数であってもよい。
【００１１】こうして、以上の構成により、ロータ２の
回転に伴い、排気溝３の内部にら旋状に巻回しながら該
溝３に沿って周方向に流れる気体分子は、静翼７の翼面
７０に当たって、その周方向の速度成分の一部を旋回力
を増すためのラジアル方向の速度成分に変えることがで
き、気体分子の旋回を促進させることができるのであ
り、これにより、羽根５の最深部にまで十分に気体分子
を回り込ませることができ、そのポンプ性能を改善する
ことができるのである。従って、ステータ１及びロータ
２をストレートな円筒面で接する構造としたことによる
構造上の利点を有しながら、排気溝３の段数を増やした
り、ステータ１及びロータ２の径を増大させなくても、
所定のポンプ性能を確保することができるのである。
回転に伴い、排気溝３の内部にら旋状に巻回しながら該
溝３に沿って周方向に流れる気体分子は、静翼７の翼面
７０に当たって、その周方向の速度成分の一部を旋回力
を増すためのラジアル方向の速度成分に変えることがで
き、気体分子の旋回を促進させることができるのであ
り、これにより、羽根５の最深部にまで十分に気体分子
を回り込ませることができ、そのポンプ性能を改善する
ことができるのである。従って、ステータ１及びロータ
２をストレートな円筒面で接する構造としたことによる
構造上の利点を有しながら、排気溝３の段数を増やした
り、ステータ１及びロータ２の径を増大させなくても、
所定のポンプ性能を確保することができるのである。
【００１２】
【発明の効果】以上、本発明によれば、ステータ１及び
ロータ２を円筒面で接する構造としたことによる構造上
の利点即ちステータ１を分割構造とする必要性を無くす
ると共に軸方向の隙間管理を緩和できるという利点を有
しながら、排気溝３の底部に、この排気溝３の周方向に
沿う流路に対面する翼面７０をもち、羽根５側に向けて
張り出す静翼７を多数個周設したから、排気溝３と羽根
５との間で気体分子を十分に旋回させて良好な排気を行
うことができるのであり、ことさら排気溝３の段数を増
やしたりステータ１及びロータ２の径を増大したりする
ことなく、小型軽量で安定した回転を得ながらポンプ性
能を改善することができるのである。
ロータ２を円筒面で接する構造としたことによる構造上
の利点即ちステータ１を分割構造とする必要性を無くす
ると共に軸方向の隙間管理を緩和できるという利点を有
しながら、排気溝３の底部に、この排気溝３の周方向に
沿う流路に対面する翼面７０をもち、羽根５側に向けて
張り出す静翼７を多数個周設したから、排気溝３と羽根
５との間で気体分子を十分に旋回させて良好な排気を行
うことができるのであり、ことさら排気溝３の段数を増
やしたりステータ１及びロータ２の径を増大したりする
ことなく、小型軽量で安定した回転を得ながらポンプ性
能を改善することができるのである。
【図１】本発明に係る真空ポンプの断面図。
【図２】同ステータの要部断面図。
【図３】同静翼の第１実施例を示す排気溝の拡大展開
図。
図。
【図４】同静翼の第２実施例を示す排気溝の拡大展開
図。
図。
【図５】従来の真空ポンプの断面図。
１ ステータ ２ ロータ ３ 排気溝 ４ 凹入部 ５ 羽根 ７ 静翼 ７０ 翼面
Claims (1)
- 【請求項１】円筒形のステータ１と、このステータ１の
内周面に外周面を近接させるロータ２とを備え、前記ス
テータ１の内周部に内方に開放する排気溝３を設けると
共に、前記ロータ２の外周部に外方に開放する多数の凹
入部４を周設して、相隣合う凹入部４，４の間に前記排
気溝３に臨む羽根５を設けた真空ポンプにおいて、前記
排気溝３の底部に、この排気溝３の周方向に沿う流路に
対面する翼面７０をもち、前記羽根５側に向けて張り出
す静翼７を多数個周設したことを特徴とする真空ポン
プ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34097491A JPH05172090A (ja) | 1991-12-24 | 1991-12-24 | 真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34097491A JPH05172090A (ja) | 1991-12-24 | 1991-12-24 | 真空ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05172090A true JPH05172090A (ja) | 1993-07-09 |
Family
ID=18342034
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34097491A Pending JPH05172090A (ja) | 1991-12-24 | 1991-12-24 | 真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05172090A (ja) |
-
1991
- 1991-12-24 JP JP34097491A patent/JPH05172090A/ja active Pending
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