JPH05172091A - 真空ポンプ - Google Patents
真空ポンプInfo
- Publication number
- JPH05172091A JPH05172091A JP34315591A JP34315591A JPH05172091A JP H05172091 A JPH05172091 A JP H05172091A JP 34315591 A JP34315591 A JP 34315591A JP 34315591 A JP34315591 A JP 34315591A JP H05172091 A JPH05172091 A JP H05172091A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotor
- exhaust
- exhaust passage
- outer peripheral
- stator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 外周面に羽根５を彫設状に設けて出っ張りの
ないストレート円筒に仕上げたロータ２の形状を生かし
て、渦流ポンプ段での排気速度を向上する。 【構成】 ロータ２の外周部に、上下段に位置する凹入
部４，４間を連通し、上段側の排気流路３から下段側の
排気流路３に向けて圧縮を行う傾斜角度２０度前後の断
面矩形状のネジ溝７を多数本設け、該ネジ溝７による排
気と排気流路３の周方向に沿う羽根５による旋回状の排
気との併用により排気速度を向上した。
ないストレート円筒に仕上げたロータ２の形状を生かし
て、渦流ポンプ段での排気速度を向上する。 【構成】 ロータ２の外周部に、上下段に位置する凹入
部４，４間を連通し、上段側の排気流路３から下段側の
排気流路３に向けて圧縮を行う傾斜角度２０度前後の断
面矩形状のネジ溝７を多数本設け、該ネジ溝７による排
気と排気流路３の周方向に沿う羽根５による旋回状の排
気との併用により排気速度を向上した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造部門等で使
用され、円弧状の排気流路の内部に気体分子をら旋状に
旋回させて排気する所謂渦流式のポンプ要素を備えるも
のであって、特に、そのロータの外周部に多数の羽根を
彫設状に設けて、該ロータの外周面を出っ張りのないス
トレートな形状にし、これを円筒形のステータの内部に
配設して構造上の改良を加えた渦流式ポンプ要素をもつ
真空ポンプに関する。
用され、円弧状の排気流路の内部に気体分子をら旋状に
旋回させて排気する所謂渦流式のポンプ要素を備えるも
のであって、特に、そのロータの外周部に多数の羽根を
彫設状に設けて、該ロータの外周面を出っ張りのないス
トレートな形状にし、これを円筒形のステータの内部に
配設して構造上の改良を加えた渦流式ポンプ要素をもつ
真空ポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種改良型の渦流式ポンプ要素
を備える真空ポンプは、特開昭６３−３６０９６号公報
に開示され且つ図４に示すように、円筒形のステータＳ
と、該ステータＳの内周面に外周面を近接させるロータ
Ｒとを備え、ステータＳの内周部に、該ステータＳの内
方に開放し、内部に円環コアＣを配設した円弧状の排気
流路Ｔを設けると共に、ロータＲの外周部に該ロータＲ
の外方に開放する多数の凹入部Ｍを周設して、相隣合う
凹入部間に排気流路Ｔに臨む羽根Ｆを設け、ロータＲの
回転により排気流路Ｔの内部に気体分子をら旋状に旋回
させて排気すると共に、羽根Ｆを彫設状に設けることで
ロータＲの外面を出っ張りのないストレートな円筒面形
状に仕上げ、ステータＳを分割構造とする必要性を無く
すると共に、ステータＳとロータＲとの軸方向の隙間管
理を緩和できるようにしている。
を備える真空ポンプは、特開昭６３−３６０９６号公報
に開示され且つ図４に示すように、円筒形のステータＳ
と、該ステータＳの内周面に外周面を近接させるロータ
Ｒとを備え、ステータＳの内周部に、該ステータＳの内
方に開放し、内部に円環コアＣを配設した円弧状の排気
流路Ｔを設けると共に、ロータＲの外周部に該ロータＲ
の外方に開放する多数の凹入部Ｍを周設して、相隣合う
凹入部間に排気流路Ｔに臨む羽根Ｆを設け、ロータＲの
回転により排気流路Ｔの内部に気体分子をら旋状に旋回
させて排気すると共に、羽根Ｆを彫設状に設けることで
ロータＲの外面を出っ張りのないストレートな円筒面形
状に仕上げ、ステータＳを分割構造とする必要性を無く
すると共に、ステータＳとロータＲとの軸方向の隙間管
理を緩和できるようにしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、以上のような
改良型の渦流式ポンプ要素に限らず、一般に、円弧状の
排気流路の内部に気体分子をら旋状に旋回させて排気す
る所謂渦流式ポンプ要素は、排気流路が基本的に１本の
みでその通路面積が限られること等から、他の形式のポ
ンプ要素、すなわち、円筒形のステータに臨むロータ外
面に多数本のネジ溝を形成した所謂ネジ式ポンプ要素
や、円板形のステータに近接配置する円板ロータにら旋
状のジグバーン溝を多数本形成した所謂ジグバーン式ポ
ンプ要素等に比べて、その排気速度が一般に低い傾向に
ある。そして、以上のようにロータＲの外面をストレー
トにした改良型の渦流式ポンプ要素では、特に、羽根Ｆ
がロータＲの外周面を越えて排気流路Ｔの内部に入り込
まないため、排気流路Ｔと羽根Ｆとの間で気体分子を十
分に旋回させることができず、気体分子に与える運動エ
ネルギーが小さく、この傾向が顕著に現れる。
改良型の渦流式ポンプ要素に限らず、一般に、円弧状の
排気流路の内部に気体分子をら旋状に旋回させて排気す
る所謂渦流式ポンプ要素は、排気流路が基本的に１本の
みでその通路面積が限られること等から、他の形式のポ
ンプ要素、すなわち、円筒形のステータに臨むロータ外
面に多数本のネジ溝を形成した所謂ネジ式ポンプ要素
や、円板形のステータに近接配置する円板ロータにら旋
状のジグバーン溝を多数本形成した所謂ジグバーン式ポ
ンプ要素等に比べて、その排気速度が一般に低い傾向に
ある。そして、以上のようにロータＲの外面をストレー
トにした改良型の渦流式ポンプ要素では、特に、羽根Ｆ
がロータＲの外周面を越えて排気流路Ｔの内部に入り込
まないため、排気流路Ｔと羽根Ｆとの間で気体分子を十
分に旋回させることができず、気体分子に与える運動エ
ネルギーが小さく、この傾向が顕著に現れる。
【０００４】本発明は、構造上の利点を有するが排気速
度の面で難点のある改良型の渦流式ポンプ要素における
その低い排気速度を改善せんとするものであって、スト
レートな外面としているロータの形状を生かして、この
面にネジ式ポンプ要素の排気機構と同様に機能するネジ
溝を付加することにより、その排気速度を向上すること
ができる真空ポンプを提供することを目的とする。
度の面で難点のある改良型の渦流式ポンプ要素における
その低い排気速度を改善せんとするものであって、スト
レートな外面としているロータの形状を生かして、この
面にネジ式ポンプ要素の排気機構と同様に機能するネジ
溝を付加することにより、その排気速度を向上すること
ができる真空ポンプを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】そこで、上記目的を達成
するため、円筒形のステータ１と、このステータ１の内
周面に外周面を近接させるロータ２とを備え、前記ステ
ータ１の内周部に円弧状に沿う排気流路３を複数段設け
ると共に、前記ロータ２の外周部に多数の凹入部４を周
設して、相隣合う凹入部４，４の間に前記排気流路３に
臨む羽根５を複数段設けた真空ポンプにおいて、前記ロ
ータ２の外周部に、上下段に位置する凹入部４，４間を
傾斜状に連通し、上段側の排気流路３から下段側の排気
流路３に向けて圧縮を行うネジ溝７を多数本設けた。
するため、円筒形のステータ１と、このステータ１の内
周面に外周面を近接させるロータ２とを備え、前記ステ
ータ１の内周部に円弧状に沿う排気流路３を複数段設け
ると共に、前記ロータ２の外周部に多数の凹入部４を周
設して、相隣合う凹入部４，４の間に前記排気流路３に
臨む羽根５を複数段設けた真空ポンプにおいて、前記ロ
ータ２の外周部に、上下段に位置する凹入部４，４間を
傾斜状に連通し、上段側の排気流路３から下段側の排気
流路３に向けて圧縮を行うネジ溝７を多数本設けた。
【０００６】
【作用】ネジ溝７により上段側の排気流路３から下段側
の排気流路３に向けて気体分子の排気を行うことがで
き、このネジ溝７による排気と排気流路３の周方向に沿
う羽根５による旋回状の排気とが相俟って、排気速度を
向上することができる。
の排気流路３に向けて気体分子の排気を行うことがで
き、このネジ溝７による排気と排気流路３の周方向に沿
う羽根５による旋回状の排気とが相俟って、排気速度を
向上することができる。
【０００７】
【実施例】図１に示すものは、ポンプハウジング９の内
部に、円筒形のステータ１と、該ステータ１の内周面に
外周面を近接させるロータ２とを備え、ステータ１の内
周部に内方に開放する円弧状の排気流路３を６段にわた
り設けると共に、ロータ２の外周部に外方に開放する多
数の凹入部４を周設して、相隣合う凹入部４，４の間に
排気流路３に臨む羽根５を６段にわたり設けた渦流式ポ
ンプ要素９１を配設すると共に、該ポンプ要素９１の上
段部に、上部ステータ１０と、外周部に複数のネジ溝３
０を設けた上部ロータ２０とを備えたネジ式ポンプ要素
９２を配設した複合型の真空ポンプである。そして、モ
ータハウジング９０に配設するモータ９３及びこれに直
結する駆動軸９４の駆動により、各ロータ２，２０を高
速回転させて、処理室に接続する吸気口９５から大気に
開放する排気口９６に向けて順次排気を行うようにして
いる。
部に、円筒形のステータ１と、該ステータ１の内周面に
外周面を近接させるロータ２とを備え、ステータ１の内
周部に内方に開放する円弧状の排気流路３を６段にわた
り設けると共に、ロータ２の外周部に外方に開放する多
数の凹入部４を周設して、相隣合う凹入部４，４の間に
排気流路３に臨む羽根５を６段にわたり設けた渦流式ポ
ンプ要素９１を配設すると共に、該ポンプ要素９１の上
段部に、上部ステータ１０と、外周部に複数のネジ溝３
０を設けた上部ロータ２０とを備えたネジ式ポンプ要素
９２を配設した複合型の真空ポンプである。そして、モ
ータハウジング９０に配設するモータ９３及びこれに直
結する駆動軸９４の駆動により、各ロータ２，２０を高
速回転させて、処理室に接続する吸気口９５から大気に
開放する排気口９６に向けて順次排気を行うようにして
いる。
【０００８】尚、上下の排気流路３，３間はステータ１
の内周部に切欠く連絡流路６を介して連結している。
又、羽根５は、気体分子に旋回力を付与できるように回
転方向に斜めに形成している。図１中、９７は冷却水の
取入口９８と取出口９９をもつ水ジャケット、８は上下
の軸受８１，８２に給油する油を溜める油溜である。
の内周部に切欠く連絡流路６を介して連結している。
又、羽根５は、気体分子に旋回力を付与できるように回
転方向に斜めに形成している。図１中、９７は冷却水の
取入口９８と取出口９９をもつ水ジャケット、８は上下
の軸受８１，８２に給油する油を溜める油溜である。
【０００９】以上の構成で、図２に明示するように、ロ
ータ２の外周部に、上下段に位置する凹入部４，４間を
傾斜状に連通し、上段側の排気流路３から下段側の排気
流路３に向けて圧縮を行うネジ溝７を多数本設ける。
ータ２の外周部に、上下段に位置する凹入部４，４間を
傾斜状に連通し、上段側の排気流路３から下段側の排気
流路３に向けて圧縮を行うネジ溝７を多数本設ける。
【００１０】このネジ溝７の傾斜角度は、約２０度前後
としており、上段の凹入部４から下方側に延設する溝入
口部７１を、図２中矢印で示す回転方向前方側に、下段
の凹入部４に上方側から接続する溝出口部７２を、回転
方向後方側にそれぞれ配置している。又、このネジ溝７
は、羽根５の枚数に対して少ない本数にしており、例え
ば羽根５が一段３０枚であるのに対してネジ溝７をその
半分の一段１５本としている。更に、各段の溝入口部７
１は凹入部４の下部側に一つ飛ばしに開口させており、
又、溝出口部７２は溝入口部７１を開口させない凹入部
４に一つ飛ばしに開口させている。又、このネジ溝７の
断面形状は、図３に示すように、矩形状に形成してい
る。
としており、上段の凹入部４から下方側に延設する溝入
口部７１を、図２中矢印で示す回転方向前方側に、下段
の凹入部４に上方側から接続する溝出口部７２を、回転
方向後方側にそれぞれ配置している。又、このネジ溝７
は、羽根５の枚数に対して少ない本数にしており、例え
ば羽根５が一段３０枚であるのに対してネジ溝７をその
半分の一段１５本としている。更に、各段の溝入口部７
１は凹入部４の下部側に一つ飛ばしに開口させており、
又、溝出口部７２は溝入口部７１を開口させない凹入部
４に一つ飛ばしに開口させている。又、このネジ溝７の
断面形状は、図３に示すように、矩形状に形成してい
る。
【００１１】尚、最上段の凹入部４の上部にも、凹入部
４，４間を上下に連通させる前記ネジ溝７と同様なネジ
溝７０ａを開口させていると共に、最下段の凹入部４の
下部にも、前記ネジ溝７と同様なネジ溝７０ｂを開口さ
せている。
４，４間を上下に連通させる前記ネジ溝７と同様なネジ
溝７０ａを開口させていると共に、最下段の凹入部４の
下部にも、前記ネジ溝７と同様なネジ溝７０ｂを開口さ
せている。
【００１２】こうして、以上の構成により、ネジ溝７に
より上段側の排気流路３から下段側の排気流路３に向け
て気体分子の排気を行うことができ、このネジ溝７によ
る排気と、排気流路３の周方向に沿う羽根５による旋回
状の排気とが相俟って、排気速度を向上することができ
るのである。従って、この渦流式ポンプ要素９１の上部
にネジ式ポンプ要素９２を併用した複合型のポンプにお
いて、従来排気速度が一般に低い傾向にあり、しかも、
ロータ２の外面をストレート形状としたことによりその
傾向が顕著に現れていた渦流式ポンプ要素９１の特性を
十分に補うことができ、この渦流式ポンプ要素９１にお
ける排気速度が改善されて、全体として高性能のポンプ
を得ることができるのである。
より上段側の排気流路３から下段側の排気流路３に向け
て気体分子の排気を行うことができ、このネジ溝７によ
る排気と、排気流路３の周方向に沿う羽根５による旋回
状の排気とが相俟って、排気速度を向上することができ
るのである。従って、この渦流式ポンプ要素９１の上部
にネジ式ポンプ要素９２を併用した複合型のポンプにお
いて、従来排気速度が一般に低い傾向にあり、しかも、
ロータ２の外面をストレート形状としたことによりその
傾向が顕著に現れていた渦流式ポンプ要素９１の特性を
十分に補うことができ、この渦流式ポンプ要素９１にお
ける排気速度が改善されて、全体として高性能のポンプ
を得ることができるのである。
【００１３】因に、ネジ式ポンプ要素９２と渦流式ポン
プ要素９１とにおける圧力分担は、０．１〜１０Ｔｏｒ
ｒ程度以下をネジ式ポンプ要素９２で、この値を越えて
大気圧（７６０Ｔｏｒｒ）までを渦流式ポンプ要素９１
でそれぞれ受け持つが、上記ネジ溝７を設けたことによ
り、下部の渦流式ポンプ要素９１におけるその上流側
（０．１〜１０Ｔｏｒｒ）から下流側２００Ｔｏｒｒ付
近までの上流側排気流路３で、ネジ溝無しの場合に比べ
て排気速度が約１．５倍程度に改善されることが実験結
果から得られ、又、２００Ｔｏｒｒから大気圧７６０Ｔ
ｏｒｒまでの下流側排気流路３では、ネジ溝７が下段の
排気流路３から上段の排気流路３への漏れを低減するシ
ール機構として働き、ネジ溝無しの場合に比べて各段の
排気流路３の圧力差が大きく確保されることが実験結果
から得られた。こうして、全体として、ポンプ性能を向
上できるのであって、これにより、ポンプ入力を低減で
きると共にポンプの小型化をも図ることができるのであ
る。
プ要素９１とにおける圧力分担は、０．１〜１０Ｔｏｒ
ｒ程度以下をネジ式ポンプ要素９２で、この値を越えて
大気圧（７６０Ｔｏｒｒ）までを渦流式ポンプ要素９１
でそれぞれ受け持つが、上記ネジ溝７を設けたことによ
り、下部の渦流式ポンプ要素９１におけるその上流側
（０．１〜１０Ｔｏｒｒ）から下流側２００Ｔｏｒｒ付
近までの上流側排気流路３で、ネジ溝無しの場合に比べ
て排気速度が約１．５倍程度に改善されることが実験結
果から得られ、又、２００Ｔｏｒｒから大気圧７６０Ｔ
ｏｒｒまでの下流側排気流路３では、ネジ溝７が下段の
排気流路３から上段の排気流路３への漏れを低減するシ
ール機構として働き、ネジ溝無しの場合に比べて各段の
排気流路３の圧力差が大きく確保されることが実験結果
から得られた。こうして、全体として、ポンプ性能を向
上できるのであって、これにより、ポンプ入力を低減で
きると共にポンプの小型化をも図ることができるのであ
る。
【００１４】
【発明の効果】以上、本発明によれば、円筒形のステー
タ１と接し、出っ張りのないロータ２の形状を生かしな
がら、このロータ２の外周部に、上下段に位置する凹入
部４，４間を傾斜状に連通し、上段側の排気流路３から
下段側の排気流路３に向けて圧縮を行うネジ溝７を多数
本設けたから、このネジ溝７による排気と、排気流路３
の周方向に沿う羽根５による旋回状の排気とが相俟っ
て、排気速度を向上することができるのである。
タ１と接し、出っ張りのないロータ２の形状を生かしな
がら、このロータ２の外周部に、上下段に位置する凹入
部４，４間を傾斜状に連通し、上段側の排気流路３から
下段側の排気流路３に向けて圧縮を行うネジ溝７を多数
本設けたから、このネジ溝７による排気と、排気流路３
の周方向に沿う羽根５による旋回状の排気とが相俟っ
て、排気速度を向上することができるのである。
【図１】本発明に係る真空ポンプの断面図。
【図２】同ロータの拡大側面図。
【図３】同ネジ溝の拡大断面図。
【図４】従来の真空ポンプの断面図。
１ ステータ ２ ロータ ３ 排気流路 ４ 凹入部 ５ 羽根 ７ ネジ溝
Claims (1)
- 【請求項１】円筒形のステータ１と、このステータ１の
内周面に外周面を近接させるロータ２とを備え、前記ス
テータ１の内周部に円弧状に沿う排気流路３を複数段設
けると共に、前記ロータ２の外周部に多数の凹入部４を
周設して、相隣合う凹入部４，４の間に前記排気流路３
に臨む羽根５を複数段設けた真空ポンプにおいて、前記
ロータ２の外周部に、上下段に位置する凹入部４，４間
を傾斜状に連通し、上段側の排気流路３から下段側の排
気流路３に向けて圧縮を行うネジ溝７を多数本設けてい
ることを特徴とする真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34315591A JPH05172091A (ja) | 1991-12-25 | 1991-12-25 | 真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34315591A JPH05172091A (ja) | 1991-12-25 | 1991-12-25 | 真空ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05172091A true JPH05172091A (ja) | 1993-07-09 |
Family
ID=18359344
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34315591A Pending JPH05172091A (ja) | 1991-12-25 | 1991-12-25 | 真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05172091A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2020040375A1 (ko) * | 2018-08-23 | 2020-02-27 | 이제이콥부희 | 캐비테이션 유닛 |
| EP3605008A4 (en) * | 2017-03-23 | 2020-12-16 | Edwards Japan Limited | VACUUM PUMP, MAIN SENSOR AND SCREW GROOVE STATOR |
-
1991
- 1991-12-25 JP JP34315591A patent/JPH05172091A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3605008A4 (en) * | 2017-03-23 | 2020-12-16 | Edwards Japan Limited | VACUUM PUMP, MAIN SENSOR AND SCREW GROOVE STATOR |
| US11346349B2 (en) | 2017-03-23 | 2022-05-31 | Edwards Japan Limited | Vacuum pump, main sensor, and thread groove stator |
| WO2020040375A1 (ko) * | 2018-08-23 | 2020-02-27 | 이제이콥부희 | 캐비테이션 유닛 |
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