JPH05171419A - 原料供給装置 - Google Patents
原料供給装置Info
- Publication number
- JPH05171419A JPH05171419A JP34095691A JP34095691A JPH05171419A JP H05171419 A JPH05171419 A JP H05171419A JP 34095691 A JP34095691 A JP 34095691A JP 34095691 A JP34095691 A JP 34095691A JP H05171419 A JPH05171419 A JP H05171419A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pellet
- raw material
- pellets
- metal
- box
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 金属ペレットの貯蔵量が真空容器の容量に左
右されないようにすると共に、ペレット通路内での金属
ペレットの詰まり等のない安定した供給が行える原料供
給装置を提供する。 【構成】 真空容器１の外部に比較的大容量のペレット
貯蔵箱５が設けられており、このペレット貯蔵箱５から
真空容器１の内部に向けて、金属ペレット６を案内する
フィードパイプ１２が配管されている。ペレット貯蔵箱
５の上部には、ペレット貯蔵箱内５のペレット通路１０
に衝撃を与えるハンマリング装置１３が取り付けられて
いる。ペレット貯蔵箱５の下部には、金属ペレット６同
士を分離するペレットセパレータ１４と金属ペレット６
をフィードパイプ１２に一つずつ供給するペレットフィ
ーダ１５とが上下に近接して配置されている。フィード
パイプ１２の下端部には、金属ペレット６を坩堝２内に
投入するためのペレット投入装置１６が設けられてい
る。
右されないようにすると共に、ペレット通路内での金属
ペレットの詰まり等のない安定した供給が行える原料供
給装置を提供する。 【構成】 真空容器１の外部に比較的大容量のペレット
貯蔵箱５が設けられており、このペレット貯蔵箱５から
真空容器１の内部に向けて、金属ペレット６を案内する
フィードパイプ１２が配管されている。ペレット貯蔵箱
５の上部には、ペレット貯蔵箱内５のペレット通路１０
に衝撃を与えるハンマリング装置１３が取り付けられて
いる。ペレット貯蔵箱５の下部には、金属ペレット６同
士を分離するペレットセパレータ１４と金属ペレット６
をフィードパイプ１２に一つずつ供給するペレットフィ
ーダ１５とが上下に近接して配置されている。フィード
パイプ１２の下端部には、金属ペレット６を坩堝２内に
投入するためのペレット投入装置１６が設けられてい
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は金属材料の供給に用いら
れる原料供給装置に関する。
れる原料供給装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】真空蒸着装置は、真空容器中に設けられ
た坩堝内で金属を加熱蒸発させ、蒸発原子を素地基板上
に凝固させる装置である。図３および図４（図３中、Ａ
矢視）には真空蒸着装置の一例の概略構成を示してあ
る。図３において、１は真空容器であり、この真空容器
１中に水冷式の加熱用坩堝（以降、坩堝と略称する）
２，熱電子式の金属溶融源３等と共に原料供給装置４が
収納されている。原料供給装置４は、図４にも示すよう
に、ペレット貯蔵箱５内に貯蔵された円筒形の金属ペレ
ット６を押出機７で押し出し、ガイドウェイ８を経由さ
せた後、シュート９から坩堝２内に一つずつ落下させる
構造となっている。図中１０はペレット貯蔵箱５内に形
成されたペレット通路であり、１１は蒸気室隔壁であ
る。
た坩堝内で金属を加熱蒸発させ、蒸発原子を素地基板上
に凝固させる装置である。図３および図４（図３中、Ａ
矢視）には真空蒸着装置の一例の概略構成を示してあ
る。図３において、１は真空容器であり、この真空容器
１中に水冷式の加熱用坩堝（以降、坩堝と略称する）
２，熱電子式の金属溶融源３等と共に原料供給装置４が
収納されている。原料供給装置４は、図４にも示すよう
に、ペレット貯蔵箱５内に貯蔵された円筒形の金属ペレ
ット６を押出機７で押し出し、ガイドウェイ８を経由さ
せた後、シュート９から坩堝２内に一つずつ落下させる
構造となっている。図中１０はペレット貯蔵箱５内に形
成されたペレット通路であり、１１は蒸気室隔壁であ
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の原料
供給装置４には次の不具合があった。原料供給装置４が
真空容器１内に収納されているため、金属ペレット６の
貯蔵量が制限されると共に、補充作業も困難であった。
また、一般にペレット貯蔵箱５内に形成されたペレット
通路１０の幅は金属ペレット６の幅より若干大きくして
あるが、金属ペレット６がペレット通路１０内で傾いた
場合等には、通路側壁との摩擦により詰まりを起こすこ
とがあった。更に、ガイドウェイ８に連なったペレット
６がシュート９から複数個まとめて坩堝２に落下し、安
定した溶融・蒸発が成し得なくなることもあった。本発
明は上記状況に鑑みなされたもので、金属ペレットの貯
蔵量が真空容器の容量に左右されないようにすると共
に、ペレット通路内での金属ペレットの詰まり等のない
安定した供給が行える原料供給装置を提供することを目
的とする。
供給装置４には次の不具合があった。原料供給装置４が
真空容器１内に収納されているため、金属ペレット６の
貯蔵量が制限されると共に、補充作業も困難であった。
また、一般にペレット貯蔵箱５内に形成されたペレット
通路１０の幅は金属ペレット６の幅より若干大きくして
あるが、金属ペレット６がペレット通路１０内で傾いた
場合等には、通路側壁との摩擦により詰まりを起こすこ
とがあった。更に、ガイドウェイ８に連なったペレット
６がシュート９から複数個まとめて坩堝２に落下し、安
定した溶融・蒸発が成し得なくなることもあった。本発
明は上記状況に鑑みなされたもので、金属ペレットの貯
蔵量が真空容器の容量に左右されないようにすると共
に、ペレット通路内での金属ペレットの詰まり等のない
安定した供給が行える原料供給装置を提供することを目
的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】そこで本発明では、真空
蒸着装置内の加熱用坩堝に金属ペレットを供給する原料
供給装置であって、当該真空蒸着装置の外殻たる真空容
器の外部に設けられ、金属ペレットが貯蔵されるペレッ
ト貯蔵箱と、当該ペレット貯蔵箱内の衝撃付与手段と、
当該ペレット貯蔵箱の下部に設けられ、複数の金属ペレ
ットが同時に供給されることを防止するべく、金属ペレ
ット同士を分離するペレット分離手段と、当該ペレット
分離手段の下部に設けられ、金属ペレットを当該加熱用
坩堝へのペレット供給路に一つずつ供給するペレット供
給手段とを具えたことを特徴とする原料供給装置を提案
するものである。
蒸着装置内の加熱用坩堝に金属ペレットを供給する原料
供給装置であって、当該真空蒸着装置の外殻たる真空容
器の外部に設けられ、金属ペレットが貯蔵されるペレッ
ト貯蔵箱と、当該ペレット貯蔵箱内の衝撃付与手段と、
当該ペレット貯蔵箱の下部に設けられ、複数の金属ペレ
ットが同時に供給されることを防止するべく、金属ペレ
ット同士を分離するペレット分離手段と、当該ペレット
分離手段の下部に設けられ、金属ペレットを当該加熱用
坩堝へのペレット供給路に一つずつ供給するペレット供
給手段とを具えたことを特徴とする原料供給装置を提案
するものである。
【０００５】
【作用】ペレット貯蔵箱が真空容器の外部に設けられて
いるため、ペレットの貯蔵量が真空容器の容積に左右さ
れない。また、衝撃付与手段によってペレット通路に衝
撃を適宜与えることにより、金属ペレットの詰まりが防
止される。そして、ペレット分離手段とペレット供給手
段とによりペレットの確実な供給が行われる。
いるため、ペレットの貯蔵量が真空容器の容積に左右さ
れない。また、衝撃付与手段によってペレット通路に衝
撃を適宜与えることにより、金属ペレットの詰まりが防
止される。そして、ペレット分離手段とペレット供給手
段とによりペレットの確実な供給が行われる。
【０００６】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づき説明す
る。尚、実施例の説明に当たっては、前述した従来の部
材と同一の部材に同一の符号を付し、重複する説明を省
略する。図１には本発明に係る原料供給装置の一実施例
を斜視により示し、図２には図１中Ｂ矢視を示してあ
る。これらの図に示すように、本実施例では比較的大容
量のペレット貯蔵箱５が真空容器１の外部に設けられて
おり、このペレット貯蔵箱５から真空容器１の内部に向
けて、金属ペレット６を案内するペレット供給路たるフ
ィードパイプ１２が配管されている。ペレット貯蔵箱５
の上部には、電動モータ等を駆動源とした衝撃付与手段
たるハンマリング装置１３が取り付けられており、ペレ
ット通路１０に対して間欠的に衝撃を与えるようになっ
ている。
る。尚、実施例の説明に当たっては、前述した従来の部
材と同一の部材に同一の符号を付し、重複する説明を省
略する。図１には本発明に係る原料供給装置の一実施例
を斜視により示し、図２には図１中Ｂ矢視を示してあ
る。これらの図に示すように、本実施例では比較的大容
量のペレット貯蔵箱５が真空容器１の外部に設けられて
おり、このペレット貯蔵箱５から真空容器１の内部に向
けて、金属ペレット６を案内するペレット供給路たるフ
ィードパイプ１２が配管されている。ペレット貯蔵箱５
の上部には、電動モータ等を駆動源とした衝撃付与手段
たるハンマリング装置１３が取り付けられており、ペレ
ット通路１０に対して間欠的に衝撃を与えるようになっ
ている。
【０００７】一方、ペレット貯蔵箱５の下部には、共に
電動モータ等を駆動源とした、ペレット分離手段たるペ
レットセパレータ１４とペレット供給手段たるペレット
フィーダ１５とが上下に近接して配置されている。ペレ
ットセパレータ１４は、上下に並んだ金属ペレット６間
にプレート等を挿入することにより、ペレットフィーダ
１５への金属ペレット６の供給を一つずつ行う。また、
ペレットフィーダ１５は、ペレットセパレータ１４と連
動して、フィードパイプ１２に金属ペレット６を一つず
つ供給する。フィードパイプ１２の下端部には、金属ペ
レット６を坩堝２内に投入するためのペレット投入装置
１６が設けられている。ペレット投入装置１６は、その
一端が蒸気室隔壁１１に開口したガイドパイプ１７と、
ガイドパイプ１７内を摺動する押出しロッド１８を有し
ており、押出しロッド１８の往復動によりフィードパイ
プからの金属ペレット６を坩堝２内に落とし込む。
電動モータ等を駆動源とした、ペレット分離手段たるペ
レットセパレータ１４とペレット供給手段たるペレット
フィーダ１５とが上下に近接して配置されている。ペレ
ットセパレータ１４は、上下に並んだ金属ペレット６間
にプレート等を挿入することにより、ペレットフィーダ
１５への金属ペレット６の供給を一つずつ行う。また、
ペレットフィーダ１５は、ペレットセパレータ１４と連
動して、フィードパイプ１２に金属ペレット６を一つず
つ供給する。フィードパイプ１２の下端部には、金属ペ
レット６を坩堝２内に投入するためのペレット投入装置
１６が設けられている。ペレット投入装置１６は、その
一端が蒸気室隔壁１１に開口したガイドパイプ１７と、
ガイドパイプ１７内を摺動する押出しロッド１８を有し
ており、押出しロッド１８の往復動によりフィードパイ
プからの金属ペレット６を坩堝２内に落とし込む。
【０００８】本実施例では、以上述べたような構成を採
ったため、従来に較べて大量の金属ペレット６をペレッ
ト貯蔵箱５内に貯蔵できるようになると共に、金属ペレ
ット６の補充も容易に行えるようになった。また、ハン
マリング装置１３の作用によってペレット貯蔵箱５内で
の金属ペレット６の詰まりが全く生じなくなった。更
に、ペレットセパレータ１４とペレットフィーダ１５の
作用によって金属ペレット６の重送が防止され確実な供
給が行えるようになった。そして、坩堝２の真上にシュ
ートを配置した従来のものとは異なり、シュートの落下
口に蒸発金属が付着堆積して金属材料が落下を阻害する
ようなことがなくなる一方、坩堝の上方全域で金属蒸気
を有効に利用できるようになった。
ったため、従来に較べて大量の金属ペレット６をペレッ
ト貯蔵箱５内に貯蔵できるようになると共に、金属ペレ
ット６の補充も容易に行えるようになった。また、ハン
マリング装置１３の作用によってペレット貯蔵箱５内で
の金属ペレット６の詰まりが全く生じなくなった。更
に、ペレットセパレータ１４とペレットフィーダ１５の
作用によって金属ペレット６の重送が防止され確実な供
給が行えるようになった。そして、坩堝２の真上にシュ
ートを配置した従来のものとは異なり、シュートの落下
口に蒸発金属が付着堆積して金属材料が落下を阻害する
ようなことがなくなる一方、坩堝の上方全域で金属蒸気
を有効に利用できるようになった。
【０００９】
【発明の効果】本発明に係る原料供給装置によれば、ペ
レット貯蔵箱を真空容器の外部に設けるようにすると共
に、衝撃付与手段とペレット分離手段およびペレット供
給手段を具えるようにしたため、金属ペレットの貯蔵量
を真空容器の容積に左右されずに設定できるようになる
一方で、金属ペレットの詰まりが防止されてペレットの
確実な供給が行われる等の効果を奏する。
レット貯蔵箱を真空容器の外部に設けるようにすると共
に、衝撃付与手段とペレット分離手段およびペレット供
給手段を具えるようにしたため、金属ペレットの貯蔵量
を真空容器の容積に左右されずに設定できるようになる
一方で、金属ペレットの詰まりが防止されてペレットの
確実な供給が行われる等の効果を奏する。
【図１】本発明に係る原料供給装置の一実施例を示す斜
視図である。
視図である。
【図２】図１中、Ｂ矢視図である。
【図３】従来の原料供給装置を具えた真空蒸着装置の概
略構成図である。
略構成図である。
【図４】図３中、Ａ矢視図である。
１ 真空容器 ２ 加熱用坩堝 ４ 原料供給装置 ５ ペレット貯蔵箱 ６ 金属ペレット １０ ペレット通路 １１ 蒸気室隔壁 １２ フィードパイプ １３ ハンマリング装置 １４ ペレットセパレータ １５ ペレットフィーダ １６ ペレット投入装置 １７ ガイドパイプ １８ 押出しロッド
Claims (1)
- 【請求項１】 真空蒸着装置内の加熱用坩堝に金属ペレ
ットを供給する原料供給装置であって、 当該真空蒸着装置の外殻たる真空容器の外部に設けら
れ、金属ペレットが貯蔵されるペレット貯蔵箱と、 当該ペレット貯蔵箱内のペレット通路に衝撃を与える衝
撃付与手段と、 当該ペレット貯蔵箱の下部に設けられ、複数の金属ペレ
ットが同時に供給されることを防止するべく、金属ペレ
ット同士を分離するペレット分離手段と、 当該ペレット分離手段の下部に設けられ、金属ペレット
を当該加熱用坩堝へのペレット供給路に一つずつ供給す
るペレット供給手段とを具えたことを特徴とする原料供
給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34095691A JPH05171419A (ja) | 1991-12-24 | 1991-12-24 | 原料供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34095691A JPH05171419A (ja) | 1991-12-24 | 1991-12-24 | 原料供給装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05171419A true JPH05171419A (ja) | 1993-07-09 |
Family
ID=18341863
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34095691A Withdrawn JPH05171419A (ja) | 1991-12-24 | 1991-12-24 | 原料供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05171419A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004009864A1 (en) * | 2002-07-22 | 2004-01-29 | Cambridge Display Technology Limited | Pellet feeder |
-
1991
- 1991-12-24 JP JP34095691A patent/JPH05171419A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004009864A1 (en) * | 2002-07-22 | 2004-01-29 | Cambridge Display Technology Limited | Pellet feeder |
| GB2406562A (en) * | 2002-07-22 | 2005-04-06 | Cambridge Display Tech Ltd | Pellet feeder |
| GB2406562B (en) * | 2002-07-22 | 2005-12-28 | Cambridge Display Tech Ltd | Pellet feeder |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| GB1155320A (en) | Apparatus for Loading Bobbins on Holders. | |
| JPH08204388A (ja) | チップ部品の自動補給装置 | |
| JPH05171419A (ja) | 原料供給装置 | |
| JPH0730574Y2 (ja) | 電子部品供給装置 | |
| US5730317A (en) | Structure of chip component feeder | |
| US4222502A (en) | Meter and dispensing system for abrasive materials | |
| US5107751A (en) | Chute magazine for modular propelling charges | |
| US2978148A (en) | Automatic fish feeder | |
| US4021902A (en) | Coiled vibratory feeder | |
| JPH08100252A (ja) | 成膜装置 | |
| CN111846911B (zh) | 一种用于电子束物理气相沉积的连续供料装置及方法 | |
| JP3494185B2 (ja) | 真空蒸着用材料供給装置 | |
| JP7039007B2 (ja) | カセットおよび物品供給装置 | |
| EP0602939B1 (en) | Hopper apparatus for rod members | |
| JP3068269B2 (ja) | 原料供給装置 | |
| JP4714920B2 (ja) | 蒸着材料供給装置および方法 | |
| JPH0219963Y2 (ja) | ||
| JPS61119502A (ja) | キヤリア供給装置 | |
| JPH0995775A (ja) | 連続真空蒸着装置のるつぼ機構 | |
| JP2006028607A (ja) | 蒸着材料の供給・回収手段及び真空装置 | |
| JPH05171420A (ja) | 原料供給装置 | |
| JPH1029719A (ja) | 樹脂ペレット整送装置 | |
| SU1227418A1 (ru) | Магазин-накопитель цилиндрических заготовок | |
| JPH08134634A (ja) | 真空蒸着装置 | |
| JPH0716841A (ja) | 自動成型装置における樹脂タブレット自動装填機 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990311 |