JPH05170475A - 光ファイバ用プリフォ−ムの製造方法 - Google Patents
光ファイバ用プリフォ−ムの製造方法Info
- Publication number
- JPH05170475A JPH05170475A JP35369691A JP35369691A JPH05170475A JP H05170475 A JPH05170475 A JP H05170475A JP 35369691 A JP35369691 A JP 35369691A JP 35369691 A JP35369691 A JP 35369691A JP H05170475 A JPH05170475 A JP H05170475A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass
- preform
- glass rod
- core
- optical fiber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/0148—Means for heating preforms during or immediately prior to deposition
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 本発明はコア用ガラスロッドに外付け法で
ガラス微粒子を堆積させて得た光ファイバ用プリフォ−
ムの割れや折れを防止する方法の提供を目的とするもの
である。 【構成】 本発明による光ファイバ用プリフォ−ムの
製造方法は、気体状ガラス原料を酸水素火炎中で酸化、
加水分解させ、生成するガラス微粒子をコア用ガラスロ
ッド表面に外付け法により堆積させて多孔質ガラスプリ
フォ−ムとする工程を含む光ファイバ用プリフォ−ムの
製造方法において、前記ガラス微粒子堆積層とコア用ガ
ラスロッドの境界付近を軸方向に往復運動する加熱バ−
ナ−で加熱することを特徴とするものである。
ガラス微粒子を堆積させて得た光ファイバ用プリフォ−
ムの割れや折れを防止する方法の提供を目的とするもの
である。 【構成】 本発明による光ファイバ用プリフォ−ムの
製造方法は、気体状ガラス原料を酸水素火炎中で酸化、
加水分解させ、生成するガラス微粒子をコア用ガラスロ
ッド表面に外付け法により堆積させて多孔質ガラスプリ
フォ−ムとする工程を含む光ファイバ用プリフォ−ムの
製造方法において、前記ガラス微粒子堆積層とコア用ガ
ラスロッドの境界付近を軸方向に往復運動する加熱バ−
ナ−で加熱することを特徴とするものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は光ファイバ用プリフォ−
ムの製造方法、特には大型の光ファイバ用プリフォ−ム
を安定にかつ容易に製造する方法に関するものである。
ムの製造方法、特には大型の光ファイバ用プリフォ−ム
を安定にかつ容易に製造する方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】光ファイバ用プリフォ−ムの製造方法に
ついてはコア用ガラスロッドを水平または垂直に設置
し、これを回転させ、気体上ガラス原料を左右に往復運
動している酸水素火炎バ−ナ−に導入し、その火炎加水
分解で生成したガラス微粒子をガラスロッド上に堆積さ
せ、所定の厚みのクラッド層形成させるいわゆる外付法
が知られている。
ついてはコア用ガラスロッドを水平または垂直に設置
し、これを回転させ、気体上ガラス原料を左右に往復運
動している酸水素火炎バ−ナ−に導入し、その火炎加水
分解で生成したガラス微粒子をガラスロッド上に堆積さ
せ、所定の厚みのクラッド層形成させるいわゆる外付法
が知られている。
【０００３】しかし、この場合には、往復運動している
酸水素火炎バ−ナ−で発生したガラス微粒子がガラスロ
ッド上に堆積されるのであるが、このガラスロッド上の
ガラス微粒子堆積層とガラスロッドとの境界付近では往
復運動する酸水素火炎バ−ナ−による加熱が十分に及ば
ないため、この境界付近の堆積層の密度が相対的に小さ
いものとなってひび割れが発生し、このひび割れが多孔
質ガラス体の有効部にまで波及し多孔質ガラス体が割れ
たりするという問題があったので、これについては図２
に示したようにガラスロッド１１上のガラス微粒子堆積
層とガラスロッド１１との境界１４付近をバ−ナ−１５
で加熱して、この境界１４付近の堆積層の密度を高める
という方法も提案されている（特開昭63-206324 号公報
参照）。
酸水素火炎バ−ナ−で発生したガラス微粒子がガラスロ
ッド上に堆積されるのであるが、このガラスロッド上の
ガラス微粒子堆積層とガラスロッドとの境界付近では往
復運動する酸水素火炎バ−ナ−による加熱が十分に及ば
ないため、この境界付近の堆積層の密度が相対的に小さ
いものとなってひび割れが発生し、このひび割れが多孔
質ガラス体の有効部にまで波及し多孔質ガラス体が割れ
たりするという問題があったので、これについては図２
に示したようにガラスロッド１１上のガラス微粒子堆積
層とガラスロッド１１との境界１４付近をバ−ナ−１５
で加熱して、この境界１４付近の堆積層の密度を高める
という方法も提案されている（特開昭63-206324 号公報
参照）。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、図３に示すよ
うにガラス微粒子層の堆積当初の破線の多孔質ガラス体
１６のように、前記境界線１４付近のガラス微粒子の加
熱は十分であり問題ないが、堆積が進行しガラス微粒子
の堆積層１６は厚みが増し、外径が次第に大きくなるに
したがって、実線の１７に示すようになり、境界１４は
しだいに外側に移動してくるが、加熱用バ−ナ−１５が
固定であるので、この境界付近の堆積層の加熱が次第に
及ばなくなってくるため多孔質ガラス体の外径が大きく
なるにしたがって、割れる確率が高くなる。なお、これ
を防ぐため加熱用バ−ナ−の水素流量を増すと割れる確
率は減るが、加熱用バ−ナ−の消火後にこの境界付近の
ガラスロッドが残留熱歪みのために折れやすくなるとい
う新たな問題が引き起こされた。
うにガラス微粒子層の堆積当初の破線の多孔質ガラス体
１６のように、前記境界線１４付近のガラス微粒子の加
熱は十分であり問題ないが、堆積が進行しガラス微粒子
の堆積層１６は厚みが増し、外径が次第に大きくなるに
したがって、実線の１７に示すようになり、境界１４は
しだいに外側に移動してくるが、加熱用バ−ナ−１５が
固定であるので、この境界付近の堆積層の加熱が次第に
及ばなくなってくるため多孔質ガラス体の外径が大きく
なるにしたがって、割れる確率が高くなる。なお、これ
を防ぐため加熱用バ−ナ−の水素流量を増すと割れる確
率は減るが、加熱用バ−ナ−の消火後にこの境界付近の
ガラスロッドが残留熱歪みのために折れやすくなるとい
う新たな問題が引き起こされた。
【０００５】
【課題を解決するための課題】本発明はこのような不利
を解決した光ファイバ用プリフォ−ムの製造方法に関す
るものであり、これは気体状ガラス原料を酸水素火炎中
で酸化、加水分解させ、生成するガラス微粒子をコア用
ガラスロッド表面に外付け法により堆積させて多孔質ガ
ラスプリフォ−ムとする工程を含む光ファイバ用プリフ
ォ−ムの製造方法において、前記ガラス微粒子堆積層と
コア用ガラスロッドの境界付近をガラスロッドの軸方向
に往復運動する加熱バ−ナ−で加熱することを特徴とす
るものである。
を解決した光ファイバ用プリフォ−ムの製造方法に関す
るものであり、これは気体状ガラス原料を酸水素火炎中
で酸化、加水分解させ、生成するガラス微粒子をコア用
ガラスロッド表面に外付け法により堆積させて多孔質ガ
ラスプリフォ−ムとする工程を含む光ファイバ用プリフ
ォ−ムの製造方法において、前記ガラス微粒子堆積層と
コア用ガラスロッドの境界付近をガラスロッドの軸方向
に往復運動する加熱バ−ナ−で加熱することを特徴とす
るものである。
【０００６】すなわち、本発明者らは従来法における光
ファイバ用プリフォ−ムの製造時におけるプリフォ−ム
の割れや折れを防止する方法について種々検討した結
果、これについてはガラス微粒子堆積層とコア用ガラス
ロッドとの界面付近を加熱バ−ナ−で加熱するのである
が、この加熱バ−ナ−の位置を固定せず、これをガラス
ロッドの軸方向に往復運動するものとし、この往復運動
する加熱バ−ナ−でこのガラス微粒子堆積層を加熱する
ようにすれば、このコア用ガラスロッドとガラス微粒子
堆積層との界面付近におけるガラス微粒子堆積層の密度
を高めることができるのでこれにひび割れの発生するこ
とがなくなるし、ガラスロッドの残留熱歪みによる折れ
もなくすことができることを見出して本発明を完成させ
た。以下にこれをさらに詳述する。
ファイバ用プリフォ−ムの製造時におけるプリフォ−ム
の割れや折れを防止する方法について種々検討した結
果、これについてはガラス微粒子堆積層とコア用ガラス
ロッドとの界面付近を加熱バ−ナ−で加熱するのである
が、この加熱バ−ナ−の位置を固定せず、これをガラス
ロッドの軸方向に往復運動するものとし、この往復運動
する加熱バ−ナ−でこのガラス微粒子堆積層を加熱する
ようにすれば、このコア用ガラスロッドとガラス微粒子
堆積層との界面付近におけるガラス微粒子堆積層の密度
を高めることができるのでこれにひび割れの発生するこ
とがなくなるし、ガラスロッドの残留熱歪みによる折れ
もなくすことができることを見出して本発明を完成させ
た。以下にこれをさらに詳述する。
【０００７】
【作用】本発明は光ファイバ用プリフォ−ムの製造方法
に関するものであり、これはコア用ガラスロッドに外付
け法でガラス微粒子を堆積させる光ファイバ用プリフォ
−ムの製造において、このガラス微粒子堆積層とコア用
ガラスロッドとの境界付近をガラスロッドの軸方向に往
復運動する加熱バ−ナ−で加熱することを要旨とするも
のである。
に関するものであり、これはコア用ガラスロッドに外付
け法でガラス微粒子を堆積させる光ファイバ用プリフォ
−ムの製造において、このガラス微粒子堆積層とコア用
ガラスロッドとの境界付近をガラスロッドの軸方向に往
復運動する加熱バ−ナ−で加熱することを要旨とするも
のである。
【０００８】本発明における光ファイバ用プリフォ−ム
の製造自体は公知の方法で行なわれる。すなわち、この
光ファイバ用プリフォ−ムの製造は、公知の方法で作ら
れた合成石英ガラスなどからなるコア用ガラスロッドを
回転させ、この外周に四塩化けい素などの気体状ガラス
原料の酸水素火炎中での火炎加水分解反応で生成したガ
ラス微粒子を堆積させるという方法で行なわれるのであ
るが、通常、この場合には酸水素火炎バ−−ナ−による
加熱が十分に及ばないために、前記したようにこのガラ
ス微粒子堆積体は密度の小さいものとなり、ひび割れが
発生する。
の製造自体は公知の方法で行なわれる。すなわち、この
光ファイバ用プリフォ−ムの製造は、公知の方法で作ら
れた合成石英ガラスなどからなるコア用ガラスロッドを
回転させ、この外周に四塩化けい素などの気体状ガラス
原料の酸水素火炎中での火炎加水分解反応で生成したガ
ラス微粒子を堆積させるという方法で行なわれるのであ
るが、通常、この場合には酸水素火炎バ−−ナ−による
加熱が十分に及ばないために、前記したようにこのガラ
ス微粒子堆積体は密度の小さいものとなり、ひび割れが
発生する。
【０００９】しかし、図１に示したようにコア用ガラス
ロッド１の軸方向に沿って往復運動する酸水素火炎バ−
ナ−２にけい素化合物を供給し、この火炎加水分解反応
で発生したガラス微粒子をガラスロッド１の上に堆積さ
せて多孔質ガラス母材を作るようにした従来公知の装置
において、この酸水素火炎バ−ナ−２とは別にガラスロ
ッド１の軸方向に沿って往復運動する加熱バ−ナ−５を
設けて、ガラス微粒子のガラスロッド１への堆積を行な
っている間この加熱バ−ナ−５で前記ガラス微粒子堆積
層とコア用ガラスロッドの境界付近を軸方向に往復運動
させながら加熱すると、この境界付近４の多孔質ガラス
母材の密度が上昇するので、このものはひび割れするこ
とがなくなるという有利性が与えられる。
ロッド１の軸方向に沿って往復運動する酸水素火炎バ−
ナ−２にけい素化合物を供給し、この火炎加水分解反応
で発生したガラス微粒子をガラスロッド１の上に堆積さ
せて多孔質ガラス母材を作るようにした従来公知の装置
において、この酸水素火炎バ−ナ−２とは別にガラスロ
ッド１の軸方向に沿って往復運動する加熱バ−ナ−５を
設けて、ガラス微粒子のガラスロッド１への堆積を行な
っている間この加熱バ−ナ−５で前記ガラス微粒子堆積
層とコア用ガラスロッドの境界付近を軸方向に往復運動
させながら加熱すると、この境界付近４の多孔質ガラス
母材の密度が上昇するので、このものはひび割れするこ
とがなくなるという有利性が与えられる。
【００１０】なお、加熱バ−ナ−５はこれによってガラ
ス微粒子堆積層とコア用ガラスロッドの境界付近を加熱
するものであることから、これには水素ガスと酸素ガス
を供給するようにすればよいが、この加熱はガラス微粒
子のガラスロッドへの堆積中は続けて行なうことがよ
く、これによればガラス微粒子堆積層とコア用ガラスロ
ッドの境界付近の多孔質ガラス層の密度を上昇させるこ
とができる。
ス微粒子堆積層とコア用ガラスロッドの境界付近を加熱
するものであることから、これには水素ガスと酸素ガス
を供給するようにすればよいが、この加熱はガラス微粒
子のガラスロッドへの堆積中は続けて行なうことがよ
く、これによればガラス微粒子堆積層とコア用ガラスロ
ッドの境界付近の多孔質ガラス層の密度を上昇させるこ
とができる。
【００１１】
【実施例】つぎに本発明の実施例、比較例をあげる。 実施例 ガラス微粒子堆積層３とコア用ガラスロッド１の境界付
近４を軸方向に往復運動する加熱バ−ナ−５を取りつけ
た図１に示したような装置を使用し、常法により石英製
の同心多重管バ−ナ−２に原料ガスとしての四塩化けい
素、水素ガス、酸素ガスを供給し、この酸水素火炎バ−
ナ−火炎中での火炎加水分解反応で発生したガラス微粒
子を回転している合成石英ガラスロッド１の上に堆積さ
せて多孔質ガラスプレフォ−ムを作成した。
近４を軸方向に往復運動する加熱バ−ナ−５を取りつけ
た図１に示したような装置を使用し、常法により石英製
の同心多重管バ−ナ−２に原料ガスとしての四塩化けい
素、水素ガス、酸素ガスを供給し、この酸水素火炎バ−
ナ−火炎中での火炎加水分解反応で発生したガラス微粒
子を回転している合成石英ガラスロッド１の上に堆積さ
せて多孔質ガラスプレフォ−ムを作成した。
【００１２】しかし、この場合、ガラス微粒子３がガラ
スロッド１に堆積されている間、上記した加熱バ−ナ−
５に水素ガス10リットル／分、酸素ガス10リットル／分
を供給し、この火炎でガラス微粒子堆積体２とガラスロ
ッド１との境界部４を加熱し、このガラス微粒子の堆積
を継続したところ、外径180mm φ、長さ900mm の多孔質
ガラスプレフォ−ムが得られた。
スロッド１に堆積されている間、上記した加熱バ−ナ−
５に水素ガス10リットル／分、酸素ガス10リットル／分
を供給し、この火炎でガラス微粒子堆積体２とガラスロ
ッド１との境界部４を加熱し、このガラス微粒子の堆積
を継続したところ、外径180mm φ、長さ900mm の多孔質
ガラスプレフォ−ムが得られた。
【００１３】しかして、この実験を５回くり返して行な
ったところ、得られた多孔質ガラスプレフォ−ムには一
本の割れも発生せず、この加熱バ−ナ−５に対する水素
ガスの供給量を５リットル／分として５回くり返したと
きも割れは一本もなかった。
ったところ、得られた多孔質ガラスプレフォ−ムには一
本の割れも発生せず、この加熱バ−ナ−５に対する水素
ガスの供給量を５リットル／分として５回くり返したと
きも割れは一本もなかった。
【００１４】比較例 しかし、比較のために実施例におけるように加熱バ−ナ
−５を往復運動させず、図２に示したように加熱バ−ナ
−15をガラスロッドとガラス微粒子堆積部との境界部14
に固定し、この加熱バ−ナ−15に水素ガスを10リットル
／分または５リットル／分供給してこの境界部を加熱し
たところ、５回のくり返し実験で水素ガスが10リットル
／分のときには５本中１本に割れが発生し、残りの４本
のうち２本には熱歪み残留応力によって境界部に割れが
発生した。また、この加熱バ−ナ−15に対する水素供給
量を５リットル／分とした場合には５回のくり返し実験
で得られた５本の多孔質ガラスプレフォ−ムはそのすべ
てに割れが発生していた。
−５を往復運動させず、図２に示したように加熱バ−ナ
−15をガラスロッドとガラス微粒子堆積部との境界部14
に固定し、この加熱バ−ナ−15に水素ガスを10リットル
／分または５リットル／分供給してこの境界部を加熱し
たところ、５回のくり返し実験で水素ガスが10リットル
／分のときには５本中１本に割れが発生し、残りの４本
のうち２本には熱歪み残留応力によって境界部に割れが
発生した。また、この加熱バ−ナ−15に対する水素供給
量を５リットル／分とした場合には５回のくり返し実験
で得られた５本の多孔質ガラスプレフォ−ムはそのすべ
てに割れが発生していた。
【００１５】
【発明の効果】本発明は光ファイバ用プレフォ−ムの製
造方法に関するものであり、これには前記したようにコ
ア用ガラスロッドに外付け法でガラス微粒子を堆積させ
る光ファイバ用プレフォ−ムの製造において、このガラ
ス微粒子堆積層とコア用ガラスロッドとの界面付近をガ
ラスロッドの軸方向に往復運動する加熱バ−ナ−で加熱
することを特徴とするものであり、これによればガラス
微粒子堆積層とコア用ガラスロッドとの境界付近におけ
るガラス微粒子堆積層の密度を高めることができるの
で、これにひび割れが発生することがなくなり、さらに
はガラスロッドの残留熱歪みによる折れもなくすことが
できるという有利性が与えられる。
造方法に関するものであり、これには前記したようにコ
ア用ガラスロッドに外付け法でガラス微粒子を堆積させ
る光ファイバ用プレフォ−ムの製造において、このガラ
ス微粒子堆積層とコア用ガラスロッドとの界面付近をガ
ラスロッドの軸方向に往復運動する加熱バ−ナ−で加熱
することを特徴とするものであり、これによればガラス
微粒子堆積層とコア用ガラスロッドとの境界付近におけ
るガラス微粒子堆積層の密度を高めることができるの
で、これにひび割れが発生することがなくなり、さらに
はガラスロッドの残留熱歪みによる折れもなくすことが
できるという有利性が与えられる。
【図１】本発明による多孔質ガラスプレフォ−ム製造装
置の縦断面図を示したものである。
置の縦断面図を示したものである。
【図２】公知の方法による多孔質ガラスプレフォ−ム製
造装置の縦断面図を示したものである。
造装置の縦断面図を示したものである。
【図３】図２の装置を用いたときの多孔質ガラスプレフ
ォ−ムの成長状態を示す縦断面図である。
ォ−ムの成長状態を示す縦断面図である。
１、11……コア用ガラスロッド、 ２、12……酸水素
火炎バーナー、３、13……ガラス微粒子、
４、14……境界部、５、15……加熱バーナー、
16…………多孔質ガラス体。
火炎バーナー、３、13……ガラス微粒子、
４、14……境界部、５、15……加熱バーナー、
16…………多孔質ガラス体。
Claims (1)
- 【請求項１】気体状ガラス原料を酸水素火炎中で酸化、
加水分解させ、生成するガラス微粒子をコア用ガラスロ
ッド表面に外付け法により堆積させて多孔質ガラスプリ
フォ−ムとする工程を含む光ファイバ用プリフォ−ムの
製造方法において、前記ガラス微粒子堆積層とコア用ガ
ラスロッドの境界付近をガラスロッドの軸方向に往復運
動する加熱バ−ナ−で加熱することを特徴とする光ファ
イバ用プリフォ−ムの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35369691A JP2938650B2 (ja) | 1991-12-18 | 1991-12-18 | 光ファイバ用プリフォ−ムの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35369691A JP2938650B2 (ja) | 1991-12-18 | 1991-12-18 | 光ファイバ用プリフォ−ムの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05170475A true JPH05170475A (ja) | 1993-07-09 |
| JP2938650B2 JP2938650B2 (ja) | 1999-08-23 |
Family
ID=18432604
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35369691A Expired - Lifetime JP2938650B2 (ja) | 1991-12-18 | 1991-12-18 | 光ファイバ用プリフォ−ムの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2938650B2 (ja) |
-
1991
- 1991-12-18 JP JP35369691A patent/JP2938650B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2938650B2 (ja) | 1999-08-23 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4627867A (en) | Method for producing highly pure glass preform for optical fiber | |
| JPS60155535A (ja) | 光フアイバーの製造方法 | |
| JP4043768B2 (ja) | 光ファイバ用母材の製造方法 | |
| JP2000272930A (ja) | 光ファイバ母材の製造方法 | |
| US5281248A (en) | VAd process improvements | |
| JP2938650B2 (ja) | 光ファイバ用プリフォ−ムの製造方法 | |
| KR20020067992A (ko) | 수트 예비 성형물의 형성 방법 | |
| JP3517848B2 (ja) | 光ファイバ母材の製造方法 | |
| JPH0525818B2 (ja) | ||
| JP2000272929A (ja) | 光ファイバ母材の製造方法 | |
| JP3133392B2 (ja) | 光ファイバ用スート母材の製造方法 | |
| JP2999095B2 (ja) | スートプリフォームの製法 | |
| JPH0327493B2 (ja) | ||
| JPH09124333A (ja) | 光ファイバ母材の製造方法 | |
| JPH107430A (ja) | 光ファイバ母材の製造方法 | |
| JPS62207734A (ja) | ガラス微粒子の堆積方法 | |
| JP3169409B2 (ja) | 光ファイバ用母材の製造方法 | |
| JP2017100910A (ja) | 光ファイバ用母材の製造方法 | |
| JPH0383829A (ja) | 光ファイバ用母材の製造方法 | |
| JP2770103B2 (ja) | 光ファイバ母材の製造方法 | |
| JP3169503B2 (ja) | 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法 | |
| JP2003335537A (ja) | 光ファイバ母材の製造方法およびこれを用いた光ファイバの製造方法 | |
| JP3517250B2 (ja) | 光伝送路用ガラスファイバ母材の製造方法 | |
| JPH0986948A (ja) | 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法 | |
| JPH0563417B2 (ja) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090611 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090611 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100611 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100611 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110611 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110611 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120611 Year of fee payment: 13 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120611 Year of fee payment: 13 |