JPH05162315A

JPH05162315A - バブルジェットヘッド

Info

Publication number: JPH05162315A
Application number: JP33052291A
Authority: JP
Inventors: Yoshihiro Kondo; 宣裕近藤
Original assignee: Seikosha KK
Current assignee: Seikosha KK
Priority date: 1991-12-13
Filing date: 1991-12-13
Publication date: 1993-06-29

Abstract

(57)【要約】【目的】出力の大きい光源を必要とせず、短時間で発
熱させてバブルを発生させ、記録スピードを早くする。
信頼性を高め、小型化を可能にし、安価に提供する。【構成】ノズルプレート１と、発熱部２と、ノズルプ
レート１と発熱部２との間にインクを供給するインク室
３と、発熱部２の背後に位置する発光部４とからなる。
ノズルプレート１の正面に多数のノズル1aが整列し、所
定の高さの側壁部1bを有する。発熱部２は透明基板2aの
上面に所定の間隙で透明電極2bと対向電極2cが対向し、
多数のノズル1aに共通の１対の電極をなす。両電極2bと
2cとの間に感光体層2dを設ける。インクを吐出させたい
ノズルに対向する光源から光を照射すると、光が当たっ
た位置の感光体層2dの抵抗値が低下し、この低抵抗値の
感光体層を通って両電極2b，2c間を電流が流れ、ジュー
ル熱が発生し、その近傍のインクが加熱されてバブルを
発生し、インクが所望のノズルから吐出される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はバブルジェットヘッドに
関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、インクの通路に発熱手段を設
け、発熱によりインク中に気泡を発生させ、ノズルから
インク滴を噴射させるいわゆるバブルジェット方式のも
のがある。インク中に気泡を発生させる手段としては、
ノズルに対応するインク通路毎に個別に加熱用の電極を
設けるもの（例えば、特公昭６１−５９９１１号公報）
や、レーザー光をインクの細管の先端に導いて管を暖め
て気泡を発生させるもの（例えば、特公昭６１−６１９
８４号公報）等がある。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記の特公昭６１−５
９９１１号公報に示されるものでは、インク通路毎に個
別に電極が必要となり、構成が複雑となるばかりでな
く、その制御も複雑となる問題がある。また上記の特公
昭６１−６１９８４号公報に示されるものでは、レーザ
ー光によって気泡を発生させるのに十分な熱エネルギー
を与えるには、２００℃程度に加熱する必要があり、出
力が数ｍＷの半導体レーザーでは加熱時間が長くかかっ
て記録スピードが遅くなり、また出力の大きいガスレー
ザーやＹＡＧレーザーでは装置が大型化する。更にレー
ザー光走査のための光学系が必要で、例えばレーザーを
ポリゴンミラーで走査する場合には、振動などでずれる
場合があって信頼性に欠け、小型化が難しく、高価とな
る等の問題がある。

【０００４】そこで本発明の目的は、記録スピードを速
くし、信頼性を高め、小型化が可能で、安価に提供でき
るバブルジェットヘッドを提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のバブルジェットヘッドは、ノズルプレート
と、発熱部と、ノズルプレートと発熱部との間にインク
を供給するインク室と、発熱部の背後に位置する発光部
とからなり、ノズルプレートは多数のノズルが整列して
設けてあり、発熱部は多数のノズルに共通しかつ対向し
て位置する１対の電極と、両電極間に設けた感光体層と
からなり、発光部は感光体層に光を照射してその抵抗値
を低下させ、両電極間を導通させて発熱させるものであ
り、発熱によりインク室のインク中に気泡を発生させて
ノズルからインクを吐出することを特徴としている。

【０００６】上記のノズルプレートを各ノズル間にリブ
が設けてあるものとしたり、または発熱部と発光部との
間に、ノズルに対向する位置を透光部としその他の位置
を遮光部とする遮光マスクを介在させたりすることは、
クロストークを防止するのに有効である。

【０００７】上記の発光部は、液晶シャッタと光源とで
構成したり、発光ダイオードや、ＥＬ素子や、プラズマ
などで構成することができる。

【０００８】上記の発熱部と発光部とを１つの基板上に
積層して設けることは、正確な位置合わせに有効であ
る。

【０００９】上記の１対の電極は、ノズルプレートの面
に対して垂直方向、或いは平行方向に対向させて構成す
ることができる。

【００１０】上記の感光体層は、ノズルに対向する位置
を感光体層とし、その周囲の部分が高抵抗層を含むよう
にすることは、クロストークを防止するのに有効であ
る。

【００１１】上記の発光部とは別に位置合わせ用の光源
を設け、ノズルプレート及び発熱部にこの光源と対応す
る部分に位置合わせ用の開口部を設けることは、位置合
わせを容易にするのに有効である。

【００１２】

【作用】発熱部に設けた感光体層は、光の照射を受けて
その抵抗値が低下するので、両電極間が導通して容易に
所望の温度に発熱する。この熱によりインク中にバブル
を発生させる。

【００１３】

【実施例】図面を参照して本発明の一実施例を説明す
る。図１に示すように、本発明のバブルジェットヘッド
は、ノズルプレート１と、発熱部２と、ノズルプレート
１と発熱部２との間にインクを供給するインク室３と、
発熱部２の背後に位置する発光部４とからなっている。
ノズルプレート１に対向してプラテン５が配設してあ
り、記録紙などの記録媒体６を搬送する。

【００１４】図２に一部切欠して示しているように、ノ
ズルプレート１は、感光性ガラスやステンレス等の金属
やプラスチック等で作られ、その正面に多数のノズル１
ａが整列して設けてあり、所定の高さの側壁部１ｂを有
する形状に形成してある。ノズル１ａの径は１０〜２０
０μｍ程度が望ましい。

【００１５】図１及び図２に示すように、発熱部２は、
透明基板２ａの上面に透明電極２ｂが設けてあり、この
透明電極と所定の間隙をもって対向電極２ｃが対向して
１対の電極をなしている。この両電極は上記の多数のノ
ズル１ａに共通のもので、ノズル毎に設けられるもので
はない。両電極２ｂと２ｃとの間に感光体層２ｄが設け
てある。対向電極２ｃを保護層２ｅで覆っている。透明
基板２ａは感光体層２ｄの感度波長の光を透過するガラ
ス基板が用いられ、透明電極２ｂは感光体層２ｄの感度
波長の光を透過するＩＴＯ等の電極膜が約１０００オン
グストロームの厚さで形成してある。感光体層２ｄには
耐熱温度の高いａ−Ｓｉ等が用いられ、約１〜２０μｍ
の厚さに形成してある。対向電極２ｃにはＣｒ，Ａｌ等
が用いられ、約１０００オングストロームの厚さで形成
してある。また保護層２ｅは、インクに含まれる不純物
等や、バブルの発生や消滅による圧力変化等から電極や
感光体層を保護するものであり、ＳｉＮｘ，ＳｉＯ₂ 等
を用いて約３０００オングストロームの厚さに、又はポ
リイミド等の有機膜を約０．１〜１０μｍの厚さに形成
してある。電極２ｂ，２ｃは、相互に反対側に引出端子
２ｂ1 ，２ｃ1 が設けてあり、電源Ｅ（図３図示）に接
続されている。

【００１６】なお図示しないが、透明電極２ｂと対向電
極２ｃとの中間に抵抗層を設けてもよい。

【００１７】ノズルプレート１の側壁部１ｂの下端面
は、透明基板２ａの上面外周縁に当接して接合され、両
者間の間隙にインク室３が形成されてインクが供給され
る。

【００１８】発光部４としてＬＥＤアレイを示してお
り、ノズル１ａ…にそれぞれ対向する位置に発光ダイオ
ード（ＬＥＤ）４ａ…が配設してある。

【００１９】図３にバブル発生の原理図を示している
が、ＬＥＤアレイのうちのインクを吐出させたいノズル
１ａに対向するＬＥＤから光を照射すると、感光体層２
ｄの光が当った位置、即ち所望のノズル１ａに対向する
位置の感光体層の抵抗値が低下するので、この低抵抗値
の感光体層を通って両電極２ｂ，２ｃ間を電流が流れ、
ジュール熱が発生する。このジュール熱によってインク
室３内の熱が発生した電極近傍のインクが加熱され、バ
ブルが発生し、このバブルによりインクが所望のノズル
１ａから吐出される。

【００２０】図４及び図５に発熱部２の製造方法の一例
を示している。まず図４の透明基板２ａの上面にＩＴＯ
等の透明電極２ｂを均一に形成（ａ）し、その上にフォ
トレジストを回転法によって均一に塗付して第１のレジ
スト７ａを形成（ｂ）する。

【００２１】次に紫外線などの照射装置を使って、レジ
スト７ａの上面に透明電極２ｂのパターンを露光し、こ
れを現像し、透明電極２ｂの上部のレジスト７ａのみを
残してその他の部分を除去（ｃ）する。次にエッチング
処理により露出している透明電極を溶解除去（ｄ）し、
レジスト７ａを剥離（ｅ）する。その上面に感光体層２
ｄとなるａ−Ｓｉの膜をプラズマ・ＣＶＤ（化学気相成
長）法等により均一に形成（ｆ）し、その上面に第２の
レジスト７ｂを形成（ｇ）する。次にレジスト７ｂの上
面に感光体層２ｄのパターンを紫外線などで露光し、こ
れを現像し、感光体層２ｄの上部のレジスト７ｂのみを
残してその他の部分を除去（ｈ）し、エッチング処理に
より露出している感光体層を除去（ｉ）し、レジスト７
ｂを剥離（ｊ）する。次いで図５のようにその上面にス
パッタリング，蒸着などによりＣｒ，Ａｒ等の対向電極
２ｃを均一に形成（ｋ）し、その上面に第３のレジスト
７ｃを形成（ｍ）する。次にレジスト７ｃの上面に対向
電極２ｃのパターンを紫外線などで露光し、これを現像
し、対向電極２ｃの上のレジスト７ｃのみを残してその
他の部分を除去（ｎ）し、エッチング処理により露出し
ている対向電極を溶解除去（ｏ）し、レジスト７ｃを剥
離（ｐ）する。最後にポリイミド等により保護膜２ｅを
形成（ｑ）して発熱部２の製造を完了する。

【００２２】図６及び図７に隣り合うノズルの間にリブ
を有するノズルプレート１１（図７図示）を製造する方
法の一例を示している。まず図６のノズルプレートの正
面板１１Ａのために、所定の厚さ（リブの高さに対応）
の感光性ガラス板を用意（ａ）する。この感光性ガラス
板の上面にフォトマスク８を配置する。フォトマスク８
には、ノズル１１ａ…に対向する位置に透光部８ａが、
その他の部分に遮光部８ｂが形成してある。このフォト
マスクを介して、波長２４０〜３６０nmの紫外線で感光
性ガラス板を露光（ｂ）する。また感光性ガラス板の端
面にフォトマスク９を配置する。フォトマスク９には、
図７に示す正面板１１Ａの板厚部と、隣り合うノズル１
１ａの間を区切るリブ１１ｂとなる突部とを遮光部９ｂ
とし、その他の部分に透光部９ａが形成してある。この
フォトマスク９を介して、波長２４０〜３６０nmの紫外
線で感光性ガラス板の端面を露光（ｃ）する。図７に示
すようにフォトマスク８，９を取り外し、５００〜７０
０℃で熱現像し、露光部を結晶化し、ノズルに対応する
結晶部８ｃと、板厚及びリブ以外の部分に対応する結晶
部９ｃとを形成（ｄ）する。これをフッ化水素酸ＨＦの
５〜１０％溶液を用いてエッチングすると、結晶部８
ｃ，９ｃが溶解除去され、ノズル１１ａとリブ１１ｂと
を有するノズルプレート１１の正面板１１Ａが形成
（ｅ）される。最後にこの正面板１１Ａに、インク室を
形成するのに十分な高さの枠状の側壁板１１Ｂを嵌合し
て接合（ｆ）すれば、ノズルプレート１１の製造が完了
する。

【００２３】この様なリブ１１ｂを有するノズルプレー
ト１１を用いると、上記のようにして発生したバブルに
よってインクが吐出する際に、バブルの横方向への伝播
がリブ１１ｂにより遮られるので、所望のノズル１１ａ
からのインクの吐出が一層確実になり、いわゆるクロス
トークがし難くなる。

【００２４】図８は他の実施例を示すもので、光を感光
体層の特定の位置に集中して照射しようとしている。こ
のために発熱部２と発光部４との間に、（ａ）に示すよ
うな遮光マスク１０を介在させている。遮光マスク１０
は、ノズルに対向する位置に透光部１０ａを設け、その
他の部分は遮光部１０ｂであり、Ｃｒ等により１０００
オングストロームの厚さで平板状に形成したものであ
る。

【００２５】図８（ｂ）図示では、この遮光マスク１０
を透明基板２ａ上に介在させ、この遮光マスク１０の上
に、先に説明したと同様に透明電極２ｂ，感光体層２
ｄ，対向電極２ｃ，保護層２ｅが形成されて発熱部２と
なっている。

【００２６】図９はさらに他の実施例を示すもので、ノ
ズルプレート２１，発熱部２２，発光部２４の相対的な
位置合わせを容易にしている。この為に、発光部２４に
は、ＬＥＤ２４ａ…の両外側に、ＬＥＤによる位置合わ
せ用の光源２４ｂ，２４ｂが設けてある。ノズルプレー
ト２１には、ノズル２１ａ…の両外側であって光源２４
ｂと対応する位置に、位置合わせ用の開口部２１ｂ，２
１ｂが設けてある。また発熱部２２には、光源２４ｂ及
び開口部２１ｂと対応する位置に、透光材料などによる
位置合わせ用の開口部２２ｆ，２２ｆが設けてある。そ
の他の透明基板２２ａ，透明電極２２ｂ，感光体層２２
ｄ，対向電極２２ｃなどの構造は、図２で説明したもの
と実質的に同じである。

【００２７】図１０は発熱部２２において上記のような
位置決め用投光部２２ｆを形成する製造方法の一例を示
している。透明電極２２ｂの形成から対向電極２２ｃの
上面に第３のレジスト２７ｃを形成するまでの工程は図
４（ａ）〜図５（ｍ）と同じであるので図示を省略して
いる。この例では、次にレジスト２７ｃの上面に対向電
極２２ｃのパターンと、位置決め用透光部２２ｆのパタ
ーンとを紫外線などで露光し、これを現像し、対向電極
２２ｃと透光部２２ｆの上のレジスト２７ｃを残してそ
の他の部分を除去（ｎ）し、エッチング処理により露出
している対向電極を溶解除去（ｏ）し、レジスト７ｃを
剥離（ｐ）する。これによって透明基板２２ａの右方に
一方の透光部２２ｆと、透明電極２２ｂの左方に他方の
透光部２２ｆとが、余分な工程を必要としないで形成さ
れることになる。図示しないが保護層は必要に応じてそ
の後に形成すればよい。

【００２８】図１１は更に他の実施例を示すもので、発
光部３４の光源としてＥＬ素子を使用している。またこ
の例では、発熱部の透明基板に汚れなどが付着すると、
発光部からの入射効率が悪くなり、記録品質に影響を及
ぼすことを考慮し、発光部３４の上に発熱部３２を積層
させて形成し、透明基板を不要にしている。

【００２９】即ち、基板３４ａの上面に、Ｃｒ，Ａｒ等
の金属よりなる下部電極３４ｂを形成する。その上に、
ＺｎＳにＣｕを添加してなる発光層３４ｄを、数μｍの
厚さに形成する。発光層３４ｄの上面には、各ノズルに
対向する位置で下部電極３４ｂを横切るように、ＩＴＯ
からなる透明電極３４ｃ…が形成してある。下部電極３
４ｂと透明電極３４ｃとの間に電界が印加されると、両
電極に挾まれた部分の発光層３４ｄが発光する。

【００３０】発熱部３２は、この発光部３４に積層して
形成してあり、透明電極３４ｃの上に絶縁層３２ａを形
成し、この上に上記と同様な透明電極３２ｂ，感光体層
３２ｄ，対向電極３２ｃを設け、その上面を保護層３２
ｅで保護している。

【００３１】ノズルプレートについては、図２及び図７
に示すノズルプレート１，１１が適宜使用でき、図示を
省略している。

【００３２】図１２及び図１３に発光部３４と発熱部３
２とを積層して形成する製造方法の一例を示している。
まず図１２の基板３４ａの上面に下部電極３４ｂを均一
に形成（ａ）し、フォトリソグラフィにより下部電極を
パターニングして所望の形状にする（ｂ）。その上面に
均一に発光層３４ｄを形成（ｃ）し、パターニングして
所望の形状にする（ｄ）。その上面に均一に透明電極３
４ｃ…を形成（ｅ）し、パターニングして所望の形状に
する（ｆ）。これによって発光部３４が形成できる。

【００３３】次にその上面にＳｉＯ₂ ，ポリイミド等に
よる絶縁層３２ａを均一に形成（ｇ）し、下部電極３４
ｂと透明電極３４ｃの引出し部を露出させるようにパタ
ーニング（ｈ）する。以下は図４（ａ）〜（ｇ）におい
て発熱部を形成したのと同様に、絶縁層３２ａの上部に
均一に透明電極３２ｂを形成（ｉ）し、これを所望の形
状にし（ｊ）、その上面に感光体層３２ｄをプラズマＣ
ＶＤ法等により均一に形成（ｋ）し、これを所望の形状
にし（ｍ）、次いでその上面に対向電極３２ｃを均一に
形成（ｎ）し、これを所望の形状にし（ｏ）、最後にポ
リイミド等により保護膜３２ｅを形成（ｐ）して発熱部
３２を発光部３４に積層して形成して製造を完了する。

【００３４】図１４は更に他の実施例を示すもので、図
１１と同様に発光部４４の上に発熱部４２を積層させて
形成し、かつ絶縁層と２枚の透明電極の内の一方とを不
要にしている。

【００３５】即ち、基板４４ａの上面に、各ノズルに対
向する位置に複数の下部電極４４ｂを形成する。その上
に、ＺｎＳにＣｕを添加してなる発光層４４ｄを形成す
る。発光層３４ｄの上面に下部電極４４ｂ…を横切るよ
うに、ＩＴＯからなる透明電極４４ｃを形成する。次に
絶縁層と透明電極とを省略して直接その上に感光体層４
２ｄ，対向電極４２ｃを設け、その上面を保護層４２ｅ
で保護している。

【００３６】従って下部電極４４ｂ，発光層４４ｄ及び
透明電極４４ｃにより発光部４４が形成され、透明電極
４４ｃ，感光体層４２ｄ及び対向電極４２ｃにより発熱
部４２が形成される。

【００３７】図１５は更に他の実施例を示すもので、上
に述べた実施例における発熱部は、対をなす透明電極と
対向電極とがいずれもノズルプレートの面に対して垂直
方向に対向している。この場合、１対の電極は感光体層
の厚みを挾んで対向することになる。感光体層には耐熱
性の点からａ−Ｓｉが望ましいが、これはプラズマＣＶ
Ｄ等の真空成膜方法で形成される。そして電気的耐圧の
点から、２０〜３０μｍの膜厚が必要であり、成膜に非
常に時間がかかる。本例においては、１対の電極をノズ
ルプレートの面に対して平行方向に対向させ、感光体層
の厚み方向でなく面方向に対向させて電気的耐圧に必要
な間隔を得るように発熱部５２を構成している。

【００３８】そこで本実施例の発熱部５２の構成につい
て、図１６に示したその製造方法と共に説明する。透明
基板５２ａの上面に、図４（ａ），（ｂ）で説明したと
同様にして、Ｃｒ，Ａｌ等の金属からなる電極膜と、そ
の上面に第１のレジスト５７ａとを均一に形成し、紫外
線などを照射して、レジスト５７ａの上面に平面的に対
向する１対の透明電極５２ｂ，５２ｃのパターンを露光
し、これを現像し、透明電極５２ｂ，５２ｃの上部のレ
ジスト５７ａのみを残してその他の部分を除去（ｃ）す
る。次にエッチング処理により露出している透明電極を
溶解除去（ｄ）し、レジスト５７ａを剥離（ｅ）する。
これにより平面的に所定の間隔で対向する１対の透明電
極５２ｂ，５２ｃが形成できる。電極間距離は２０〜５
００μｍとしている。その上面に感光体層５２ｄとなる
ａ−Ｓｉの膜をプラズマ・ＣＶＤ等により膜厚０．１〜
１０μｍに均一に形成（ｆ）し、その上面に第２のレジ
スト５７ｂを形成（ｇ）する。次にレジスト５７ｂの上
面に感光体層５２ｄのパターンを露光し、現像し、感光
体層５２ｄの上部のレジスト５７ｂのみを残してその他
を除去（ｈ）し、エッチング処理により露出している感
光体層を除去（ｉ）し、レジスト５７ｂを剥離（ｊ）す
る。最後にＳｉＯ₂ ，ＳｉＮ，ＳｉＣ等の無機膜、或い
はポリイミド等の有機膜により保護膜５２ｅを形成す
る。これにより発熱部５２の製造を完了する。

【００３９】この構成では、発光部から光が感光体層５
２ｄに照射されると、電極５２ｂから感光体層５２ｄを
面方向に横切って電極５２ｃに至る方向に電流が流れる
ので、感光体層の膜厚が薄くても電極間距離を十分に得
ることが可能である。

【００４０】ノズルプレートについては、図２及び図７
に示すノズルプレート１，１１が適宜使用でき、また発
光部については、図２及び図１１に示す発光部４，３４
が適宜使用でき、図示を省略している。

【００４１】他の例として、透明基板の上に感光体層を
先に形成し、その上に平面的に対向する１対の電極を形
成する構成であってもよい。この構成では発熱部がイン
クに一層近付くので、効率アップに有効である。

【００４２】図１７及び図１８は更に他の例を示すもの
で、感光体層において、光の照射により生じる低抵抗部
分が、光源の広がりや感光体層内部での散乱などにより
広がって、発熱部の面積が大きくなり、２つのノズルか
らインクが吐出したり、高密度の記録ができなくなるこ
とを防止するように、感光体層の回りを高抵抗層で区切
るように発熱部６２を構成している。

【００４３】そこで本実施例の発熱部６２の構成につい
て、図１９に示したその製造方法と共に説明する。透明
基板６２ａ上に透明電極６２ｂ及び感光体層６２ｄを形
成するまでの工程は、図４（ａ）〜（ｊ）と同じである
ので図示を省略している。この例では、この感光体層６
２ｄのうちノズルに対向する限られた範囲のみを感光体
層６２ｄ1として残し、その周囲を高抵抗層６２ｄ2 と
する工程を追加している。即ち、感光体層６２ｄの上面
に、残したい感光体層６２ｄ1 に対応する部分を遮光部
２０ｂとし、その他の部分を透光部２０ａとするフォト
マスク２０を配置し、上方から紫外線を照射（ｊ−２）
する。紫外線が照射されなかったところは、そのまま感
光体層６２ｄ1 として残り、紫外線が照射されたところ
は高抵抗層６２ｄ2 に変化（ｊ−３）する。感光体層６
２ｄ1 の上面に対向電極６２ｃを形成する工程は、図５
（ｋ）〜（ｐ）と同じであるので図示を省略している。
最後にその上面に先に説明したと同様な保護膜６２ｅを
形成（ｑ）して発熱部６２の製造を完了する。

【００４４】この構成では、発光部から光が照射された
とき、高抵抗層６２ｄ2 に囲まれた一定面積の感光体層
６２ｄ1 のみが低抵抗化して電流が流れるので、一定面
積で発熱し、これにより発生したバブルにより所定のノ
ズルから必ずインクが吐出することになり、正確で高密
度の記録が可能である。

【００４５】ノズルプレートについては、図２及び図７
に示すノズルプレート１，１１が適宜使用でき、また発
光部については、図２及び図１１に示す発光部４，３４
が適宜使用でき、図示を省略している。

【００４６】図２０は、図１７に示した発熱部６２の他
の製造方法を示している。透明基板６２ａ上に透明電極
６２ｂを形成する工程は、図４（ａ）〜（ｅ）と同じで
あるので図示を省略している。この例では、この透明電
極６２ｂの上にまず高抵抗層６２ｄ2 としてポリイミド
等の絶縁物を印刷などの手段で形成（ｅ−２）する。そ
の後で感光体層６２ｄ1 を形成するが、その工程は、図
４（ｆ）〜（ｉ）と同じであるので図示を省略し、図２
０（ｊ）に示すように感光体層６２ｄ1 の周囲を高抵抗
層６２ｄ2 で囲んだ構成とする。感光体層６２ｄ1 の上
面に対向電極６２ｃを形成する工程は、図５（ｋ）〜
（ｐ）と同じであるので図示を省略している。最後にそ
の上面に先に説明したと同様な保護膜６２ｅを形成
（ｑ）して発熱部６２の製造を完了する。

【００４７】この例において、感光体層６２ｄ1 は、有
機感光体（ＯＰＣ）を用いてディップ法や印刷法で形成
してもよく、また高抵抗層６２ｄ2は、染料を加えるこ
とにより光遮断層として使えるようにしても更に効果が
ある。

【００４８】

【発明の効果】以上に説明したように、本発明は個別の
電極を必要とせず、多数のノズルに共通して対向する１
対の電極ですむので、構成が簡単で制御も簡単である。
この両電極間に設けた感光体層に光を照射し、その抵抗
値を低下させて両電極間を導通させて発熱させるので、
出力の大きい光源を必要とせず、短時間での加熱を達成
でき、このために記録スピードを早くすることができ
る。発光部としてＥＬ素子，ＬＥＤ等をライン状に整列
させて構成できるので、ポリゴンミラー等の光走査手段
を必要とせず、振動がなくなり、位置ずれも生じない。

【００４９】ノズルプレートの各ノズル間にリブを設
け、または遮光マスクを介在させ、或いはノズルに対向
する位置を感光体層としてその周囲の部分に高抵抗層を
含ませたりするので、バブルによるインクの吐出が特定
のノズルから発するようになり、クロストークを防止す
る効果がある。

【００５０】発光部を、液晶シャッタや、発光ダイオー
ドや、ＥＬ素子などで構成できるので、発熱部と発光部
とを１つの基板上に積層して設けることができ、位置合
わせが正確にできる。

【００５１】１対の電極をノズルプレートの面に対して
平行方向に対向させると、薄型化が達成できる。

【００５２】更に位置合わせ用の光源とこれに対応して
位置合わせ用の開口部を設けると、相互の位置合わせが
容易にできる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す概略構成図である。

【図２】要部の展開斜視図である。

【図３】発熱部の原理図である。

【図４】発熱部の製造工程図である。

【図５】図４に続く発熱部の製造工程図である。

【図６】ノズルプレートの他の実施例の製造工程図であ
る。

【図７】図６に続く製造工程図である。

【図８】発熱部の他の実施例を示し、（ａ）は遮光マス
クの斜視図であり、（ｂ）は断面図である。

【図９】他の実施例の要部の展開斜視図である。

【図１０】図９の発熱部の製造工程図である。

【図１１】更に他の実施例の要部の展開斜視図である。

【図１２】図１１の発光部及び発熱部の製造工程図であ
る。

【図１３】図１２に続く製造工程図である。

【図１４】更に他の実施例の要部の展開斜視図である。

【図１５】発熱部の更に他の実施例を示す斜視図であ
る。

【図１６】図１５の発熱部の製造工程図である。

【図１７】発熱部の更に他の実施例を示す斜視図であ
る。

【図１８】図１７の断面図である。

【図１９】図１８の発熱部の製造工程図である。

【図２０】同上の発熱部の他の製造工程図である。

【符号の説明】

１，１１，２１ノズルプレート１ａ，１１ａ，２１ａノズル１１ｂリブ１０遮光マスク１０ａ透光部１０ｂ遮光部２，２２，３２，４２，５２，６２発熱部２ｂ，２ｃ，２２ｂ，２２ｃ電極３２ｂ，３２ｃ，４２ｃ電極５２ｂ，５２ｃ，６２ｂ，６２ｃ電極２ｄ，２２ｄ，３２ｄ，４２ｄ感光体層５２ｄ，６２ｄ1 感光体層６２ｄ2 高抵抗層３インク室４，２４，３４，４４，発光部４ａ，２４ａ発光ダイオード３４ｂ，３４ｄ，３４ｃＥＬ素子３４ａ基板２４ｂ位置合わせ用の光
源２１ｂ，２２ｆ位置合わせ用の開
口部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ノズルプレートと、発熱部と、上記ノズ
ルプレートと上記発熱部との間にインクを供給するイン
ク室と、上記発熱部の背後に位置する発光部とからな
り、上記ノズルプレートは、多数のノズルが整列して設けて
あり、上記発熱部は、上記多数のノズルに共通し、かつ対向し
て位置する１対の電極と、上記両電極間に設けた感光体
層とからなり、上記発光部は、上記感光体層に光を照射してその抵抗値
を低下させ、上記両電極間を導通させて発熱させるもの
であり、上記発熱により上記インク室の上記インク中に気泡を発
生させて上記ノズルからインクを吐出することを特徴と
するバブルジェットヘッド。
【請求項２】請求項１において、上記ノズルプレート
には上記各ノズル間にリブが設けてあることを特徴とす
るバブルジェットヘッド。
【請求項３】請求項１において、上記発熱部と上記発
光部との間に、上記ノズルに対向する位置を透光部と
し、その他の位置を遮光部とする遮光マスクを介在して
あることを特徴とするバブルジェットヘッド。
【請求項４】請求項１において、上記発光部は、液晶
シャッタと光源とで構成されていることを特徴とするバ
ブルジェットヘッド。
【請求項５】請求項１において、上記発光部は、発光
ダイオードで構成されていることを特徴とするバブルジ
ェットヘッド。
【請求項６】請求項１において、上記発光部は、ＥＬ
素子で構成されていることを特徴とするバブルジェット
ヘッド。
【請求項７】請求項１において、上記発光部は、プラ
ズマで構成されていることを特徴とするバブルジェット
ヘッド。
【請求項８】請求項１において、上記発熱部と上記発
光部とが１つの基板上に積層して設けてあることを特徴
とするバブルジェットヘッド。
【請求項９】請求項１において、上記１対の電極は上
記ノズルプレートの面に対して垂直方向に対向するもの
であることを特徴とするバブルジェットヘッド。
【請求項１０】請求項１において、上記１対の電極は
上記ノズルプレートの面に対して平行方向に対向するも
のであることを特徴とするバブルジェットヘッド。
【請求項１１】請求項１において、上記感光体層は、
上記ノズルに対向する位置を感光体層とし、その周囲の
部分が高抵抗層を含むことを特徴とするバブルジェット
ヘッド。
【請求項１２】請求項１において、上記発光部とは別
に位置合わせ用の光源を設け、上記ノズルプレート及び
発熱部の上記光源と対応する部分に位置合わせ用の開口
部を設けてあることを特徴とするバブルジェットヘッ
ド。