JPH05162055A - 非球面形状物体の加工方法およびその装置 - Google Patents
非球面形状物体の加工方法およびその装置Info
- Publication number
- JPH05162055A JPH05162055A JP3324225A JP32422591A JPH05162055A JP H05162055 A JPH05162055 A JP H05162055A JP 3324225 A JP3324225 A JP 3324225A JP 32422591 A JP32422591 A JP 32422591A JP H05162055 A JPH05162055 A JP H05162055A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grinding
- workpiece
- grindstone
- processing
- work piece
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】非球面光学素子の超精密研削加工を行う。
【構成】曲面をもったワークを加工する超精密研削加工
装置において、研削加工点の移動軌跡に沿って、研削液
噴射ノズルを複数個配置し、研削点に最も近いノズルを
作動させるように制御する。 【効果】研削点が逐次変化する曲面の研削加工におい
て、研削点の移動に伴い研削液の噴射位置を変えること
ができるため、常に一定の研削液噴射状態が実現される
ため加工面全域にわたり、研削仕上げ状態を一定に保つ
ことができる。
装置において、研削加工点の移動軌跡に沿って、研削液
噴射ノズルを複数個配置し、研削点に最も近いノズルを
作動させるように制御する。 【効果】研削点が逐次変化する曲面の研削加工におい
て、研削点の移動に伴い研削液の噴射位置を変えること
ができるため、常に一定の研削液噴射状態が実現される
ため加工面全域にわたり、研削仕上げ状態を一定に保つ
ことができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、円環状の非球面形状物
体の加工方法及びその加工装置に係り、特に、非球面レ
ンズの副半径が場所により異なり、さらに加工面の全域
にわたり、一定の仕上げ状態を得ることが必要である変
形トーリック面をもつレンズを形成するのに好適な非球
面物体の加工方法と加工装置に関する。
体の加工方法及びその加工装置に係り、特に、非球面レ
ンズの副半径が場所により異なり、さらに加工面の全域
にわたり、一定の仕上げ状態を得ることが必要である変
形トーリック面をもつレンズを形成するのに好適な非球
面物体の加工方法と加工装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、非球面物体を形成するのに好適な
ＮＣ制御による研削加工において研削面に研削液を供給
する方法は、特殊なノズルを用いることにより研削砥石
の外周に沿って研削液を層流状に流出させる方法や砥石
表面に溝や穴を設けることにより研削面に多量の研削液
を供給する方法等が知られている（特開昭55−70548
号，特開昭55−77468 号公報）。
ＮＣ制御による研削加工において研削面に研削液を供給
する方法は、特殊なノズルを用いることにより研削砥石
の外周に沿って研削液を層流状に流出させる方法や砥石
表面に溝や穴を設けることにより研削面に多量の研削液
を供給する方法等が知られている（特開昭55−70548
号，特開昭55−77468 号公報）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】一般に、研削加工で仕
上げ面の状態は、研削条件によって大きく異なる。特
に、研削液が仕上げ状態に及ぼす影響は非常に大きく、
研削部への研削液の供給量が少ないとチッピングや焼け
が生じ、良好な仕上げ面を得ることはできない。ところ
で砥石は通常１０００〜６０００ｍ／min の周速で回転
しているため、砥石の表面では、圧力が高く、流速の大
きな空気層が発生する。従って研削液を噴射した場合、
研削液がこの空気層で跳ね返され、研削部分まで研削液
が充分に行き渡らない。そこで、この問題を解決するた
めに砥石表面に溝や穴を設けることにより、研削液を研
削部まで多量に運ぶ方法(特開昭55−70548 号公報)やノ
ズルの形状を工夫することにより、研削液を砥石表面外
周に沿って、層流状態で流れるようにすることにより研
削部に多量の研削液を供給する方法(特開昭55−77468号
公報）が提案されている。確かに一般的な金属材料を平
面研削する場合は、この研削方法で充分に良好な仕上げ
面を得ることができる。しかし、複雑な非球面形状物体
を研削によって加工する場合、砥石は創成すべき曲面上
を移動しながら被加工物を研削するために、従来の研削
液供給方法では砥石と被加工物との位置関係によって研
削液の掛かり方が異なり、仕上げ面の状態に差が生じ
る。また、ガラスやセラミックスなどの脆性材料を研削
により高精度に仕上げる場合、砥石の表面状態も大いに
影響し、面の粗い砥石で脆性材料を研削した場合、高精
度な仕上げ面を得ることは不可能である。従って、砥石
に溝や穴を設けて、研削液の供給量を増やす研削方法で
は、脆性材料を高精度に仕上げることはできない。この
ように、従来の研削方法では良好な仕上げ面を得るため
には、被加工物の形状や材質の点で大きく制約を受ける
ことが多かった。
上げ面の状態は、研削条件によって大きく異なる。特
に、研削液が仕上げ状態に及ぼす影響は非常に大きく、
研削部への研削液の供給量が少ないとチッピングや焼け
が生じ、良好な仕上げ面を得ることはできない。ところ
で砥石は通常１０００〜６０００ｍ／min の周速で回転
しているため、砥石の表面では、圧力が高く、流速の大
きな空気層が発生する。従って研削液を噴射した場合、
研削液がこの空気層で跳ね返され、研削部分まで研削液
が充分に行き渡らない。そこで、この問題を解決するた
めに砥石表面に溝や穴を設けることにより、研削液を研
削部まで多量に運ぶ方法(特開昭55−70548 号公報)やノ
ズルの形状を工夫することにより、研削液を砥石表面外
周に沿って、層流状態で流れるようにすることにより研
削部に多量の研削液を供給する方法(特開昭55−77468号
公報）が提案されている。確かに一般的な金属材料を平
面研削する場合は、この研削方法で充分に良好な仕上げ
面を得ることができる。しかし、複雑な非球面形状物体
を研削によって加工する場合、砥石は創成すべき曲面上
を移動しながら被加工物を研削するために、従来の研削
液供給方法では砥石と被加工物との位置関係によって研
削液の掛かり方が異なり、仕上げ面の状態に差が生じ
る。また、ガラスやセラミックスなどの脆性材料を研削
により高精度に仕上げる場合、砥石の表面状態も大いに
影響し、面の粗い砥石で脆性材料を研削した場合、高精
度な仕上げ面を得ることは不可能である。従って、砥石
に溝や穴を設けて、研削液の供給量を増やす研削方法で
は、脆性材料を高精度に仕上げることはできない。この
ように、従来の研削方法では良好な仕上げ面を得るため
には、被加工物の形状や材質の点で大きく制約を受ける
ことが多かった。
【０００４】本発明の目的は、被加工物の形状や材質に
関わりなく、良好な研削仕上げ面を得るための研削方法
を提供することにある。
関わりなく、良好な研削仕上げ面を得るための研削方法
を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明においては、被加
工物を回転させ、前記被加工物を加工する砥石表面の研
削点を前記被加工物の回転軸を含む平面内に円弧運動さ
せて前記被加工物を加工する非球面形状物体の加工方法
において、前記被加工物の回転角位置に対応させて、前
記被加工物の回転中心軸位置が変化するように制御し、
さらに研削点における研削液の掛かり方が常に同一状態
になるように研削液の噴射状態を制御することにより、
非球面形状に加工する。
工物を回転させ、前記被加工物を加工する砥石表面の研
削点を前記被加工物の回転軸を含む平面内に円弧運動さ
せて前記被加工物を加工する非球面形状物体の加工方法
において、前記被加工物の回転角位置に対応させて、前
記被加工物の回転中心軸位置が変化するように制御し、
さらに研削点における研削液の掛かり方が常に同一状態
になるように研削液の噴射状態を制御することにより、
非球面形状に加工する。
【０００６】
【作用】図１に示すような凹球面を創成する研削加工装
置において、砥石１はワーク２の周りを創成すべき曲面
の軌道３に沿って移動しながら研削を行なう。この時、
研削点で、ノズル４′を砥石の接線と平行に設け、研削
液を噴射するのがよいが、実際にはノズルとワークが干
渉したりあるいは上述したように高速で回転する砥石の
表面には、高圧の空気層が存在し、研削液の多くが跳ね
返されるために、研削部に到達する研削液の量は減少す
る。
置において、砥石１はワーク２の周りを創成すべき曲面
の軌道３に沿って移動しながら研削を行なう。この時、
研削点で、ノズル４′を砥石の接線と平行に設け、研削
液を噴射するのがよいが、実際にはノズルとワークが干
渉したりあるいは上述したように高速で回転する砥石の
表面には、高圧の空気層が存在し、研削液の多くが跳ね
返されるために、研削部に到達する研削液の量は減少す
る。
【０００７】そこで、ノズルとワークの干渉を防ぎかつ
研削液を研削点にまで供給する効率を高めるためには、
図２に示すように、ノズル４′を砥石の接線方向より少
し、傾けて設けるのが良い。ところがこの状態で砥石を
ある軌道に沿って、移動させながら研削を行なうと、砥
石１とワーク２の相対的な位置関係によって研削液の噴
射方向が微妙に変化し、研削液の供給状態に微妙な差が
生じ、仕上げ面の状態が場所によって異なる。
研削液を研削点にまで供給する効率を高めるためには、
図２に示すように、ノズル４′を砥石の接線方向より少
し、傾けて設けるのが良い。ところがこの状態で砥石を
ある軌道に沿って、移動させながら研削を行なうと、砥
石１とワーク２の相対的な位置関係によって研削液の噴
射方向が微妙に変化し、研削液の供給状態に微妙な差が
生じ、仕上げ面の状態が場所によって異なる。
【０００８】この問題を解決するためには研削点の移動
に伴い、研削液の噴射方向を最適化する必要がある。そ
こで、本発明では図３に示すように、複数のノズル４を
軌道３に沿って配置し研削液を噴射することにより、こ
の問題を解決した。
に伴い、研削液の噴射方向を最適化する必要がある。そ
こで、本発明では図３に示すように、複数のノズル４を
軌道３に沿って配置し研削液を噴射することにより、こ
の問題を解決した。
【０００９】
〈実施例１〉本実施例では一般に研削加工が困難である
と言われている光学ガラスを研削し、球面レンズを加工
することにより本発明の効果を確認した。被加工物には
硬度の異なる五種類の光学ガラスを選んだ。砥石は直径
５０mmの３０００番のダイヤモンド砥石を用いた。切り
込み量は２μｍ、砥石回転数は１５０００rpm 、研削液
供給量は一分間に１０ｌとした。本実施例ではノズルを
次のように設定した。すなわち、内径１.５mm のノズル
を研削点の円弧運動の軌道に沿って二十本配置し、研削
点の移動に従って、差動するノズルを逐次変えることに
より研削液の掛かり方が常に同一状態になるようにし
た。その結果、研削面全面にわたって鏡面が得られ、研
削工程のみで球面レンズを加工することができた。な
お、研削面はペルトメータにより面粗さを評価し、さら
に光学顕微鏡で表面の様子を観察した。その結果、本実
施例による研削面はほとんど塑性流動面からなる平滑な
面であることが確認された。
と言われている光学ガラスを研削し、球面レンズを加工
することにより本発明の効果を確認した。被加工物には
硬度の異なる五種類の光学ガラスを選んだ。砥石は直径
５０mmの３０００番のダイヤモンド砥石を用いた。切り
込み量は２μｍ、砥石回転数は１５０００rpm 、研削液
供給量は一分間に１０ｌとした。本実施例ではノズルを
次のように設定した。すなわち、内径１.５mm のノズル
を研削点の円弧運動の軌道に沿って二十本配置し、研削
点の移動に従って、差動するノズルを逐次変えることに
より研削液の掛かり方が常に同一状態になるようにし
た。その結果、研削面全面にわたって鏡面が得られ、研
削工程のみで球面レンズを加工することができた。な
お、研削面はペルトメータにより面粗さを評価し、さら
に光学顕微鏡で表面の様子を観察した。その結果、本実
施例による研削面はほとんど塑性流動面からなる平滑な
面であることが確認された。
【００１０】〈比較例１〉実施例とはノズルの部分のみ
が異なる研削加工装置を用いて、実施例の場合と全く同
じ加工条件で上記のガラスを研削し仕上げ面の様子を調
べた。本比較例ではノズルは固定されているため砥石が
ワークの中心から離れるのに従い、研削部への研削液の
供給状態が悪くなる。従って、本発明の効果を確認する
ためには実施例，比較例共に仕上げ面の端面付近の表面
の様子を観察した。
が異なる研削加工装置を用いて、実施例の場合と全く同
じ加工条件で上記のガラスを研削し仕上げ面の様子を調
べた。本比較例ではノズルは固定されているため砥石が
ワークの中心から離れるのに従い、研削部への研削液の
供給状態が悪くなる。従って、本発明の効果を確認する
ためには実施例，比較例共に仕上げ面の端面付近の表面
の様子を観察した。
【００１１】結果を図５及び図６に示す。図５から分か
るようにワーク材質がやわらかい場合は研削性が良いた
めに、多少研削液の供給状態が悪くても、平滑な仕上げ
面が得られるが、材質の硬度が大きくなると、研削性が
悪くなり、仕上げ面は研削液供給の影響を大きく受け
る。従って図６に示したように、研削液の供給が不十分
なままで、研削した場合の仕上げ面には脆性破壊による
クラックが多数認められる。
るようにワーク材質がやわらかい場合は研削性が良いた
めに、多少研削液の供給状態が悪くても、平滑な仕上げ
面が得られるが、材質の硬度が大きくなると、研削性が
悪くなり、仕上げ面は研削液供給の影響を大きく受け
る。従って図６に示したように、研削液の供給が不十分
なままで、研削した場合の仕上げ面には脆性破壊による
クラックが多数認められる。
【００１２】〈実施例２〉本発明による加工装置の一実
施例を図６により説明する。
施例を図６により説明する。
【００１３】図６は、本発明に係る非球面レンズの加工
方法に基づく加工装置の構成を示している。ワーク２
は、モータ８により回転する回転テーブル６上に取り付
けられており、さらに、この回転テーブル６は、前後に
移動可能な直進テーブル７上に設けられている。この直
進テーブル７はガイド９を介しベース１０に取付けられ
ている。この直進テーブル７を駆動するために、ピエゾ
アクチュエータ１１が用いられる。一方、ワーク２を加
工するために、砥石１が用いられるが、この砥石１は、
エアスピンドル１２に取付けられて、一万rpm ほどの回
転数で高精度に回転する。また、エアスピンドル１２
は、その回転軸と平行に設置されたエアスピンドル保持
軸１３を中心としてウォーム１４，ウォームホィール１
５により、円弧状に揺動できるように構成されている。
エアスピンドル保持軸１３は支持部材１６−ａ，１６−
ｂによりその両端が固定されている。また、研削液噴射
ノズル４はベース１０上に固定されており、さらにこの
研削液噴射ノズル４は、砥石１の揺動軌跡に沿って複数
本設置されている。なお、研削液供給用コントローラ１
７により作動するノズルを変えることができる。
方法に基づく加工装置の構成を示している。ワーク２
は、モータ８により回転する回転テーブル６上に取り付
けられており、さらに、この回転テーブル６は、前後に
移動可能な直進テーブル７上に設けられている。この直
進テーブル７はガイド９を介しベース１０に取付けられ
ている。この直進テーブル７を駆動するために、ピエゾ
アクチュエータ１１が用いられる。一方、ワーク２を加
工するために、砥石１が用いられるが、この砥石１は、
エアスピンドル１２に取付けられて、一万rpm ほどの回
転数で高精度に回転する。また、エアスピンドル１２
は、その回転軸と平行に設置されたエアスピンドル保持
軸１３を中心としてウォーム１４，ウォームホィール１
５により、円弧状に揺動できるように構成されている。
エアスピンドル保持軸１３は支持部材１６−ａ，１６−
ｂによりその両端が固定されている。また、研削液噴射
ノズル４はベース１０上に固定されており、さらにこの
研削液噴射ノズル４は、砥石１の揺動軌跡に沿って複数
本設置されている。なお、研削液供給用コントローラ１
７により作動するノズルを変えることができる。
【００１４】次に、本加工装置の動作について説明す
る。まず、研削開始点であるワーク２の下端に、砥石１
を移動させておく。ここで、回転テーブル６を回転させ
る。非球面加工の場合は、回転テーブル６の回転角θを
正確に検出する。すなわち、砥石１がワーク２の表面上
のどの位置で研削を行なうかを正確に検出する。そのた
め、回転テーブル６の回転軸に直結したロータリエンコ
ーダ１８で高精度に回転角を測定する。一方、エアスピ
ンドル１２は、回転テーブル６の一回転ごとに、ステッ
プ送りされ、その位置を変えて行く。すなわち、砥石１
とワーク２の接触位置が変わって行く。同時に複数本配
置された研削液噴射ノズル４は研削液供給用コントロー
ラ１７により制御され、研削点に最も近いノズルが作動
する。
る。まず、研削開始点であるワーク２の下端に、砥石１
を移動させておく。ここで、回転テーブル６を回転させ
る。非球面加工の場合は、回転テーブル６の回転角θを
正確に検出する。すなわち、砥石１がワーク２の表面上
のどの位置で研削を行なうかを正確に検出する。そのた
め、回転テーブル６の回転軸に直結したロータリエンコ
ーダ１８で高精度に回転角を測定する。一方、エアスピ
ンドル１２は、回転テーブル６の一回転ごとに、ステッ
プ送りされ、その位置を変えて行く。すなわち、砥石１
とワーク２の接触位置が変わって行く。同時に複数本配
置された研削液噴射ノズル４は研削液供給用コントロー
ラ１７により制御され、研削点に最も近いノズルが作動
する。
【００１５】すなわち、予め、エアスピンドル１２の各
々の位置での回転角θをパラメータとして計算された加
工データをメモリから呼出し、ロータリエンコーダ１８
からのパルスを検出し、そのパルスを元に加工データを
ピエゾアクチュエータ１１及び研削液供給用コントロー
ラ１７に供給し、直進テーブル７を連続的に前後に動か
すと同時に研削点に最も近い研削液噴射ノズル４を作動
させる。この様にすると、砥石１がワーク２を研削して
ゆく際、研削量及び研削液の噴射位置が連続的に変化す
る。そして、回転テーブル６が一回転したところで、エ
アスピンドル１２をΔψだけステップ的に動かし、砥石
１をワーク２の新しい面へ持ってゆく。同時に、その角
度ψに対応する新しい加工データをメモリから呼出し、
前述した様な動作を行ない、研削量及び研削液の噴射位
置を制御してゆく。この様な動作を繰り返しながら、砥
石１がワーク２の上端に移動し終わると、ワーク２の表
面はすべて研削されたことになり、その面は副半径ｒが
場所によって異なる非球面形状となる。
々の位置での回転角θをパラメータとして計算された加
工データをメモリから呼出し、ロータリエンコーダ１８
からのパルスを検出し、そのパルスを元に加工データを
ピエゾアクチュエータ１１及び研削液供給用コントロー
ラ１７に供給し、直進テーブル７を連続的に前後に動か
すと同時に研削点に最も近い研削液噴射ノズル４を作動
させる。この様にすると、砥石１がワーク２を研削して
ゆく際、研削量及び研削液の噴射位置が連続的に変化す
る。そして、回転テーブル６が一回転したところで、エ
アスピンドル１２をΔψだけステップ的に動かし、砥石
１をワーク２の新しい面へ持ってゆく。同時に、その角
度ψに対応する新しい加工データをメモリから呼出し、
前述した様な動作を行ない、研削量及び研削液の噴射位
置を制御してゆく。この様な動作を繰り返しながら、砥
石１がワーク２の上端に移動し終わると、ワーク２の表
面はすべて研削されたことになり、その面は副半径ｒが
場所によって異なる非球面形状となる。
【００１６】なお、加工データは図７に示すように、レ
ンズ１９の副半径方向については、エアスピンドル１２
の揺動の１ステップごと、それぞれ主半径方向について
は、ロータリエンコーダ１８の１パルスごとに、それぞ
れレンズ表面を格子状に分割し、各点における偏差量を
計算機により計算した数値制御データである。
ンズ１９の副半径方向については、エアスピンドル１２
の揺動の１ステップごと、それぞれ主半径方向について
は、ロータリエンコーダ１８の１パルスごとに、それぞ
れレンズ表面を格子状に分割し、各点における偏差量を
計算機により計算した数値制御データである。
【００１７】〈実施例３〉設備の簡便化を図るため研削
液供給用コントローラ１７を設けない場合、ノズル形状
を研削点の揺動軌跡と同一形状とすることにより、研削
液は研削点の揺動軌跡に沿って噴射されるため、研削点
における研削液の掛かり方は常に一定になる。ただし、
前記実施例に記載した研削液噴射方法に比べて、研削点
への供給効率は低下する。
液供給用コントローラ１７を設けない場合、ノズル形状
を研削点の揺動軌跡と同一形状とすることにより、研削
液は研削点の揺動軌跡に沿って噴射されるため、研削点
における研削液の掛かり方は常に一定になる。ただし、
前記実施例に記載した研削液噴射方法に比べて、研削点
への供給効率は低下する。
【００１８】
【発明の効果】本発明によれば、ガラスのような脆性材
料に研削加工を行ない、鏡面を得るためには、研削液の
供給方法が重要であることが分かった。特に曲面を創成
する場合には、研削液の供給状態が研削部によって微妙
に異なり、それが仕上げ面精度に大きく影響を及ぼす。
本発明による研削方法は研削点の揺動軌跡に沿ってノズ
ルを複数本設置した構成とすることにより常に研削点に
高効率で研削液が供給されるようにした。その結果、脆
性材料のような難削材料でも容易に全面に渡って鏡面を
有する曲面を形成することが可能となった。
料に研削加工を行ない、鏡面を得るためには、研削液の
供給方法が重要であることが分かった。特に曲面を創成
する場合には、研削液の供給状態が研削部によって微妙
に異なり、それが仕上げ面精度に大きく影響を及ぼす。
本発明による研削方法は研削点の揺動軌跡に沿ってノズ
ルを複数本設置した構成とすることにより常に研削点に
高効率で研削液が供給されるようにした。その結果、脆
性材料のような難削材料でも容易に全面に渡って鏡面を
有する曲面を形成することが可能となった。
【図１】本発明の一実施例を示す説明図。
【図２】本発明の一実施例を示す説明図。
【図３】本発明の一実施例を示す説明図。
【図４】本実施例の結果を示す特性図。
【図５】本実施例の結果の一例を示す特性図。
【図６】本発明の加工装置の一例を示す説明図。
【図７】加工すべき非球面レンズの形状を示す説明図。
１…砥石、２…ワーク、３…砥石の移動する軌跡、４′
…ノズル、４…ノズル。
…ノズル、４…ノズル。
Claims (4)
- 【請求項１】被加工物を回転させ、前記被加工物を加工
する砥石表面の研削点を前記被加工物の回転軸を含む平
面内に円弧運動させて前記被加工物を加工する非球面形
状物体の加工方法において、前記被加工物の回転角位置
に対応させて、前記被加工物の回転中心軸位置が変化す
るように制御し、さらに研削点における研削液の掛かり
方が常に同一状態になるように研削液の噴射状態を制御
することにより、非球面形状に加工することを特徴とす
る非球面形状物体の加工方法。 - 【請求項２】請求項１において、研削点の移動軌跡に沿
って複数本の研削液噴射ノズルを配置した非球面形状物
体の加工方法。 - 【請求項３】被加工物の回転装置と、前記被加工物を加
工する砥石を備えた砥石スピンドルと、前記砥石スピン
ドルの軸を円弧運動させる手段と、前記被加工物の回転
角に対応させて、前記被加工物の回転軸と前記砥石スピ
ンドルの円弧運動の中心軸間の距離を変化させる手段
と、研削液の噴射位置を制御する手段を設けたことを特
徴とする非球面形状物体の加工装置。 - 【請求項４】被加工物の回転装置と、前記被加工物を加
工する回転砥石を備えた砥石スピンドルと、前記砥石ス
ピンドルの軸を円弧運動させる手段と、前記被加工物の
回転軸と前記砥石スピンドルの円弧運動の中心軸間の距
離を変化させる手段と、前記被加工物の回転角位置を検
出する検出器と、前記砥石スピンドルの円弧運動の角位
置を検出する手段と、これら検出された二つの角位置信
号に対応させて、予め蓄積手段に蓄積された制御データ
を読み出し、前記読み出された制御データにもとづいて
前記軸間距離及び研削液の噴射位置を変化すべく構成し
た制御装置で構成したことを特徴とする非球面形状物体
の加工装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3324225A JPH05162055A (ja) | 1991-12-09 | 1991-12-09 | 非球面形状物体の加工方法およびその装置 |
| US07/950,687 US5411430A (en) | 1991-09-25 | 1992-09-25 | Scanning optical device and method for making a hybrid scanning lens used therefor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3324225A JPH05162055A (ja) | 1991-12-09 | 1991-12-09 | 非球面形状物体の加工方法およびその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05162055A true JPH05162055A (ja) | 1993-06-29 |
Family
ID=18163438
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3324225A Withdrawn JPH05162055A (ja) | 1991-09-25 | 1991-12-09 | 非球面形状物体の加工方法およびその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05162055A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100376357C (zh) * | 2005-04-25 | 2008-03-26 | 东北大学 | 砂轮约束磨粒喷射精密光整加工方法及装置 |
-
1991
- 1991-12-09 JP JP3324225A patent/JPH05162055A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100376357C (zh) * | 2005-04-25 | 2008-03-26 | 东北大学 | 砂轮约束磨粒喷射精密光整加工方法及装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5213442B2 (ja) | 眼科用レンズのラスタ切削技術 | |
| US5704824A (en) | Method and apparatus for abrasive water jet millins | |
| US6887125B2 (en) | Polishing apparatus, polishing method, control program for causing computer to execute polishing, and recording medium | |
| JP4953599B2 (ja) | 加工物のプロファイルの研削方法及び研削装置 | |
| JPS60228063A (ja) | 曲面創成研磨装置 | |
| JP4576255B2 (ja) | 工具砥石の形状創成方法 | |
| JP3426132B2 (ja) | 非軸対称非球面の加工方法 | |
| JPH0253557A (ja) | 非球面形状物体の加工方法及び加工装置 | |
| JP2006289566A (ja) | マイクロレンズアレイの成形型の研削加工方法及び研削加工装置 | |
| JPH044102B2 (ja) | ||
| WO2005039821A1 (ja) | 非球面加工方法、非球面形成方法及び非球面加工装置 | |
| JP2005342875A (ja) | 曲面加工装置並びにこれを用いて形成された光学素子及び光学素子金型、パラレルリンク機構のキャリブレーション方法 | |
| JPH05162055A (ja) | 非球面形状物体の加工方法およびその装置 | |
| JP5296509B2 (ja) | 研削方法および研削装置 | |
| JPH04169713A (ja) | 研削加工方法及び装置 | |
| JPH07237122A (ja) | 研削加工装置 | |
| JP4208364B2 (ja) | 球面創成装置および球面創成方法 | |
| JP2008142799A (ja) | 回折溝の加工方法 | |
| JP4462497B2 (ja) | ドレス装置、研削装置、及びドレス方法 | |
| JPH0637075A (ja) | 砥石を用いる加工方法 | |
| JP2002113662A (ja) | 回転テーブル及び噴射ノズルの制御方法 | |
| JP2690797B2 (ja) | 研削液供給装置 | |
| JPH08229792A (ja) | 研削加工装置および研削加工方法 | |
| JPH05138521A (ja) | 非球面の創成装置および方法 | |
| JP3452619B2 (ja) | 球面創成研削方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990311 |