JPH05157649A - 高耐蝕性圧力センサ - Google Patents
高耐蝕性圧力センサInfo
- Publication number
- JPH05157649A JPH05157649A JP36085091A JP36085091A JPH05157649A JP H05157649 A JPH05157649 A JP H05157649A JP 36085091 A JP36085091 A JP 36085091A JP 36085091 A JP36085091 A JP 36085091A JP H05157649 A JPH05157649 A JP H05157649A
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- JP
- Japan
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- pressure sensor
- diaphragm
- silicon
- glass
- silicon oxide
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 耐蝕性の高い圧力センサ、とくに医療器具の
高温滅菌消毒などに使用される塩素系の薬品に対して耐
蝕性の高い圧力センサを提供することを目的とする。 【構成】 本発明による高耐蝕性圧力センサでは、接液
部をパイレックス、石英ガラスなどのガラスを用いて作
成するか、又は珪素の表面に酸化、窒化などの反応を生
ぜしめ、酸化珪素、窒化珪素あるいは酸化珪素と窒化珪
素の多層とし、耐蝕性を高めたものを用いて作成するこ
とを特長とし、耐蝕性の高い圧力センサを提供しようと
するものである。望ましい一例として、二重ダイヤフラ
ム式圧力センサのダイヤフラム１１の酸化珪素でコー卜
された珪素で作成し、基体前部１２をガラスで作成する
ことにより、上記の目的を達成することができる。
高温滅菌消毒などに使用される塩素系の薬品に対して耐
蝕性の高い圧力センサを提供することを目的とする。 【構成】 本発明による高耐蝕性圧力センサでは、接液
部をパイレックス、石英ガラスなどのガラスを用いて作
成するか、又は珪素の表面に酸化、窒化などの反応を生
ぜしめ、酸化珪素、窒化珪素あるいは酸化珪素と窒化珪
素の多層とし、耐蝕性を高めたものを用いて作成するこ
とを特長とし、耐蝕性の高い圧力センサを提供しようと
するものである。望ましい一例として、二重ダイヤフラ
ム式圧力センサのダイヤフラム１１の酸化珪素でコー卜
された珪素で作成し、基体前部１２をガラスで作成する
ことにより、上記の目的を達成することができる。
Description
【０００１】 本発明は耐蝕性圧力センサにかかわり、
接液部のすべてを、ガラスを用いるか又は珪素の表面に
酸化珪素、窒化珪素あるいはその両者を多層化した耐蝕
性材料をコートしたものを用いて構成することを特長と
する。
接液部のすべてを、ガラスを用いるか又は珪素の表面に
酸化珪素、窒化珪素あるいはその両者を多層化した耐蝕
性材料をコートしたものを用いて構成することを特長と
する。
【０００２】 従来、耐蝕性の圧力センサとしては、接
液部としてステンレススチールを用いたものが使用され
てきた。
液部としてステンレススチールを用いたものが使用され
てきた。
【０００３】 また、一部の圧力センサでは、接液部の
うちダイヤフラムにのみ珪素の表面に酸化珪素をコート
したものを用いていた。
うちダイヤフラムにのみ珪素の表面に酸化珪素をコート
したものを用いていた。
【０００４】 ところが、上記のような接液部をステン
レススチールとした圧力センサでは、耐蝕性の対象とす
る薬品が限られており、とくに医療器具の高温滅菌消毒
などに使用される塩素系の薬品に対しては、耐蝕性の少
ないものであった。
レススチールとした圧力センサでは、耐蝕性の対象とす
る薬品が限られており、とくに医療器具の高温滅菌消毒
などに使用される塩素系の薬品に対しては、耐蝕性の少
ないものであった。
【０００５】 また、接液部のうちダイヤフラムにのみ
珪素の表面に酸化珪素をコートしたものを用いた圧力セ
ンサでは、基体部分が耐蝕性の低い材質で構成されてい
たため、全体として耐蝕性の低いものであった。
珪素の表面に酸化珪素をコートしたものを用いた圧力セ
ンサでは、基体部分が耐蝕性の低い材質で構成されてい
たため、全体として耐蝕性の低いものであった。
【０００６】 本発明は上記従来の難点に鑑みなされた
もので、耐蝕性の高い圧力センサを提供することを目的
とする。
もので、耐蝕性の高い圧力センサを提供することを目的
とする。
【０００７】 本発明による高耐蝕性圧力センサでは、
接液部をパイレックス、石英ガラスなどのガラスを用い
て作成するか、又は珪素など半導体材料の表面に酸化あ
るいは窒化の反応を生ぜしめ、酸化珪素、窒化珪素ある
いはその両者の多層とし、耐蝕性を高めたものを用いて
作成することを特長とし、耐蝕性の高い圧力センサを提
供しようとするものである。
接液部をパイレックス、石英ガラスなどのガラスを用い
て作成するか、又は珪素など半導体材料の表面に酸化あ
るいは窒化の反応を生ぜしめ、酸化珪素、窒化珪素ある
いはその両者の多層とし、耐蝕性を高めたものを用いて
作成することを特長とし、耐蝕性の高い圧力センサを提
供しようとするものである。
【０００８】 さらにセンサ部の小型化のためには、珪
素を選択的にエッチングすることにより成形し、さらに
表面の一部又は全部に酸化、窒化などの反応を生ぜし
め、酸化珪素、窒化珪素あるいはその両者を多層化した
耐蝕性材料をコートすることによって耐蝕性を付し、ダ
イヤフラムとすることもできる。
素を選択的にエッチングすることにより成形し、さらに
表面の一部又は全部に酸化、窒化などの反応を生ぜし
め、酸化珪素、窒化珪素あるいはその両者を多層化した
耐蝕性材料をコートすることによって耐蝕性を付し、ダ
イヤフラムとすることもできる。
【０００９】 さらにまた、前述のダイヤフラムを固定
してセンサヘッドとするための基体として、熱膨張係数
を考慮して、パイレックス、石英ガラスなどのガラスを
用いて作成するか、又は珪素の表面に酸化珪素、窒化珪
素あるいはその両者を多層化した耐蝕性材料をコートし
たものを用いて作成することもできる。
してセンサヘッドとするための基体として、熱膨張係数
を考慮して、パイレックス、石英ガラスなどのガラスを
用いて作成するか、又は珪素の表面に酸化珪素、窒化珪
素あるいはその両者を多層化した耐蝕性材料をコートし
たものを用いて作成することもできる。
【実施例の１】
【００１０】 以下に、本発明の望ましい実施例を、図
面にもとづき説明する。
面にもとづき説明する。
【００１１】 第１図は、本発明による圧力センサに使
用するダイヤフラムの一例の断面図であり、第２図は、
第１図に断面を示したダイヤフラムを使用した二重ダイ
ヤフラム式圧力センサの断面図である。
用するダイヤフラムの一例の断面図であり、第２図は、
第１図に断面を示したダイヤフラムを使用した二重ダイ
ヤフラム式圧力センサの断面図である。
【００１２】 すなわち、珪素製の円盤状の物に、選択
的にエッチングして凹部２を作り、接液部表面を酸化せ
しめ酸化珪素のコート１を生ぜしめる。
的にエッチングして凹部２を作り、接液部表面を酸化せ
しめ酸化珪素のコート１を生ぜしめる。
【００１３】 第１図に断面を示したダイヤフラム１１
をガラス製の基体前部１２に接着する。基体前部１２は
Ｏリング１３を介して基体後部１４に固定する。基体後
部１４にもうひとつのダイヤフラム１５を固定し、その
ダイヤフラム１５には歪みセンサ１６を接着する。ダイ
ヤフラム１１、基体前部１２、基体後部１４、ダイヤフ
ラム１５に囲まれた空間１７にはオイルを充たす。
をガラス製の基体前部１２に接着する。基体前部１２は
Ｏリング１３を介して基体後部１４に固定する。基体後
部１４にもうひとつのダイヤフラム１５を固定し、その
ダイヤフラム１５には歪みセンサ１６を接着する。ダイ
ヤフラム１１、基体前部１２、基体後部１４、ダイヤフ
ラム１５に囲まれた空間１７にはオイルを充たす。
【００１４】 この二重ダイヤフラム式圧力センサを使
用するときは、被測定流体がダイヤフラム１１および基
体前部１２にのみ接触するように外部構造を作成する。
被測定流体の圧力は、ダイヤフラム１１を介して空間１
７に充たされたオイルに伝達され、さらにもうひとつの
ダイヤフラム１５に伝達され、ダイヤフラム１５を歪ま
せる。歪みセンサ１６によってこの歪みの大きさを測定
することによって被測定流体の圧力を知ることができ
る。
用するときは、被測定流体がダイヤフラム１１および基
体前部１２にのみ接触するように外部構造を作成する。
被測定流体の圧力は、ダイヤフラム１１を介して空間１
７に充たされたオイルに伝達され、さらにもうひとつの
ダイヤフラム１５に伝達され、ダイヤフラム１５を歪ま
せる。歪みセンサ１６によってこの歪みの大きさを測定
することによって被測定流体の圧力を知ることができ
る。
【００１５】 このような構造では、被測定流体はダイ
ヤフラム１１の酸化珪素でコートされた部分およびガラ
ス製の基体前部１２にのみ接触するので、酸化珪素ある
いはガラスを腐食するたとえば弗化水素などをのぞく流
体の圧力を測定することができる。
ヤフラム１１の酸化珪素でコートされた部分およびガラ
ス製の基体前部１２にのみ接触するので、酸化珪素ある
いはガラスを腐食するたとえば弗化水素などをのぞく流
体の圧力を測定することができる。
【実施例の２】
【００１６】 第３図は、本発明による他の望ましい圧
力センサの断面図である。
力センサの断面図である。
【００１７】 すなわち、ガラス製のダイヤフラム２１
をガラス製の基体２２に接着する。そのダイヤフラム２
１には歪みセンサ２３を接着する。この圧力センサを使
用するときは、被測定流体がダイヤフラム２１および基
体２２にのみ接触するように外部構造を作成する。
をガラス製の基体２２に接着する。そのダイヤフラム２
１には歪みセンサ２３を接着する。この圧力センサを使
用するときは、被測定流体がダイヤフラム２１および基
体２２にのみ接触するように外部構造を作成する。
【００１８】 このような構造では、被測定流体はガラ
ス製のダイヤフラム２１およびガラス製の基体２２にの
み接触するので、第２図に断面を示した二重ダイヤフラ
ム式圧力センサと同様に、ガラスを腐食するたとえば弗
化水素などをのぞく流体の圧力を測定することができ
る。
ス製のダイヤフラム２１およびガラス製の基体２２にの
み接触するので、第２図に断面を示した二重ダイヤフラ
ム式圧力センサと同様に、ガラスを腐食するたとえば弗
化水素などをのぞく流体の圧力を測定することができ
る。
【実施例の３】
【００１９】 第４図は、本発明による他の望ましい圧
力センサに使用するダイヤフラムの一例の断面図であ
り、第５図は、第４図に断面を示したダイヤフラムを使
用した圧力センサの断面図である。
力センサに使用するダイヤフラムの一例の断面図であ
り、第５図は、第４図に断面を示したダイヤフラムを使
用した圧力センサの断面図である。
【００２０】 すなわち、珪素単結晶の一部を選択的に
エッチングして凹部を作りダイヤフラムとし、接液部表
面を酸化せしめ酸化珪素のコー卜３２を生ぜしめる。ダ
イヤフラムの他の面には、不純物拡散によって歪みセン
サ３１を形成させる。
エッチングして凹部を作りダイヤフラムとし、接液部表
面を酸化せしめ酸化珪素のコー卜３２を生ぜしめる。ダ
イヤフラムの他の面には、不純物拡散によって歪みセン
サ３１を形成させる。
【００２１】 第４図に断面を示したダイヤフラム４１
をガラス製の基体４２に接着する。この圧力センサを使
用するときは、被測定流体がダイヤフラム４１の酸化珪
素でコートされた部分および基体４２にのみ接触するよ
うに外部構造を作成する。
をガラス製の基体４２に接着する。この圧力センサを使
用するときは、被測定流体がダイヤフラム４１の酸化珪
素でコートされた部分および基体４２にのみ接触するよ
うに外部構造を作成する。
【００２２】 このような構造では、被測定流体はダイ
ヤフラム４１の酸化珪素でコートされた部分およびガラ
ス製の基体４２にのみ接触するので、第２図に断面を示
した二重ダイヤフラム式圧力センサ、第３図に断面を示
した圧力センサと同様に、ガラスあるいは酸化珪素を腐
食するたとえば弗化水素などをのぞく流体の圧力を測定
することができる。
ヤフラム４１の酸化珪素でコートされた部分およびガラ
ス製の基体４２にのみ接触するので、第２図に断面を示
した二重ダイヤフラム式圧力センサ、第３図に断面を示
した圧力センサと同様に、ガラスあるいは酸化珪素を腐
食するたとえば弗化水素などをのぞく流体の圧力を測定
することができる。
【００２３】 以上の説明から明らかなように、本発明
による高耐蝕性圧力センサを用いれば、酸化珪素、窒化
珪素あるいはガラスを腐食するたとえば弗化水素などを
のぞく腐食性流体の圧力を測定することができる。
による高耐蝕性圧力センサを用いれば、酸化珪素、窒化
珪素あるいはガラスを腐食するたとえば弗化水素などを
のぞく腐食性流体の圧力を測定することができる。
【図１】 本発明による二重ダイヤフラム式圧力センサ
に使用するダイヤフラムの一例の断面図である。
に使用するダイヤフラムの一例の断面図である。
【図２】 第１図に断面を示したダイヤフラムを使用し
た二重ダイヤフラム式圧力センサの一例の断面図であ
る。
た二重ダイヤフラム式圧力センサの一例の断面図であ
る。
【図３】 本発明による他の望ましい圧力センサの断面
図である。
図である。
【図４】 本発明による他の望ましい圧力センサに使用
するダイヤフラムの一例の断面図である。
するダイヤフラムの一例の断面図である。
【図５】 第４図に断面を示したダイヤフラムを使用し
た圧力センサの断面図である。
た圧力センサの断面図である。
１ 接液部表面を酸化せしめることによって生ぜしめ
た、酸化珪素のコート。 ２ 珪素製の円盤状の物に、選択的にエッチングして
作った凹部。 １１ 酸化珪素のコートをしたダイヤフラム。 １２ ガラス製の基体前部。 １３ Ｏリング。 Ｉ４ 基体後部。 １５ 耐蝕性の低いダイヤフラム。 １６ センサ。 １７ オイルを充たした空間。 ２１ 酸化珪素のコートをしたダイヤフラム。 ２２ ガラス製の基体。 ２３ センサ。 ３１ ダイヤフラムの面に不純物拡散によって作られた
歪みセンサ。 ３２ 接液部表面を酸化せしめ生ぜしめた酸化珪素のコ
ート。 ４１ 接液部に酸化珪素のコートを生成し、多面に歪み
センサを作ったダイヤフラム。 ４２ ガラス製の基体。
た、酸化珪素のコート。 ２ 珪素製の円盤状の物に、選択的にエッチングして
作った凹部。 １１ 酸化珪素のコートをしたダイヤフラム。 １２ ガラス製の基体前部。 １３ Ｏリング。 Ｉ４ 基体後部。 １５ 耐蝕性の低いダイヤフラム。 １６ センサ。 １７ オイルを充たした空間。 ２１ 酸化珪素のコートをしたダイヤフラム。 ２２ ガラス製の基体。 ２３ センサ。 ３１ ダイヤフラムの面に不純物拡散によって作られた
歪みセンサ。 ３２ 接液部表面を酸化せしめ生ぜしめた酸化珪素のコ
ート。 ４１ 接液部に酸化珪素のコートを生成し、多面に歪み
センサを作ったダイヤフラム。 ４２ ガラス製の基体。
Claims (1)
- 【請求項１】 接液部として、ガラスを用いるか又は珪
素の表面に酸化珪素、窒化珪素あるいはその両者を混合
した耐蝕性材料をコートしたものを用いた圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36085091A JPH05157649A (ja) | 1991-12-02 | 1991-12-02 | 高耐蝕性圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36085091A JPH05157649A (ja) | 1991-12-02 | 1991-12-02 | 高耐蝕性圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05157649A true JPH05157649A (ja) | 1993-06-25 |
Family
ID=18471183
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP36085091A Pending JPH05157649A (ja) | 1991-12-02 | 1991-12-02 | 高耐蝕性圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05157649A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005127770A (ja) * | 2003-10-22 | 2005-05-19 | Shiga Yamashita:Kk | 圧力センサ |
| CN100350231C (zh) * | 2002-06-19 | 2007-11-21 | 恩德莱斯和豪瑟尔两合公司 | 压力测量单元 |
| CN110672258A (zh) * | 2019-10-09 | 2020-01-10 | 武汉飞恩微电子有限公司 | 一种耐液压冲击和抗冰冻的尿素溶液压力传感器 |
-
1991
- 1991-12-02 JP JP36085091A patent/JPH05157649A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100350231C (zh) * | 2002-06-19 | 2007-11-21 | 恩德莱斯和豪瑟尔两合公司 | 压力测量单元 |
| JP2005127770A (ja) * | 2003-10-22 | 2005-05-19 | Shiga Yamashita:Kk | 圧力センサ |
| CN110672258A (zh) * | 2019-10-09 | 2020-01-10 | 武汉飞恩微电子有限公司 | 一种耐液压冲击和抗冰冻的尿素溶液压力传感器 |
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