JPH05157077A - 水封式真空ポンプ - Google Patents
水封式真空ポンプInfo
- Publication number
- JPH05157077A JPH05157077A JP34882691A JP34882691A JPH05157077A JP H05157077 A JPH05157077 A JP H05157077A JP 34882691 A JP34882691 A JP 34882691A JP 34882691 A JP34882691 A JP 34882691A JP H05157077 A JPH05157077 A JP H05157077A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- water
- pump chamber
- impeller
- pump
- motor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C19/00—Rotary-piston pumps with fluid ring or the like, specially adapted for elastic fluids
- F04C19/005—Details concerning the admission or discharge
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 水封式真空ポンプにおいて、ポンプ室の側面
とインペラの側面との間の隙間より、空気の漏れるのを
防止して真空ポンプの性能向上と供給する封水を節約す
る。 【構成】 反モーター側ケーシング１とモーター側ケー
シング２との間にポンプ室３を形成し、このポンプ室３
に複数の羽根６ａを具備したインペラ６を内設した構成
の水封式真空ポンプにおいて、前記ポンプ室３の外周領
域の圧力の高い封水を、一旦ポンプ室３の中心部に戻
し、そこからポンプ室３内の両側面と羽根６ａの両側面
との隙間３ｂへ還流させて、隣り合った羽根６ａ間に空
気が漏れるのを防止することができるように、半径方向
に開通する通水路２ｃを設けたことを特徴としている。
とインペラの側面との間の隙間より、空気の漏れるのを
防止して真空ポンプの性能向上と供給する封水を節約す
る。 【構成】 反モーター側ケーシング１とモーター側ケー
シング２との間にポンプ室３を形成し、このポンプ室３
に複数の羽根６ａを具備したインペラ６を内設した構成
の水封式真空ポンプにおいて、前記ポンプ室３の外周領
域の圧力の高い封水を、一旦ポンプ室３の中心部に戻
し、そこからポンプ室３内の両側面と羽根６ａの両側面
との隙間３ｂへ還流させて、隣り合った羽根６ａ間に空
気が漏れるのを防止することができるように、半径方向
に開通する通水路２ｃを設けたことを特徴としている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、水封式真空ポンプに
関するもので、更に詳細にはインペラを挟むポンプ室の
両側面と、インペラの両側面との隙間を通る羽根間の空
気漏れを防止するようにした水封式真空ポンプに関する
ものである。
関するもので、更に詳細にはインペラを挟むポンプ室の
両側面と、インペラの両側面との隙間を通る羽根間の空
気漏れを防止するようにした水封式真空ポンプに関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】周知のように、ポンプ室内の液体（例え
ば、水）をインペラによって回転させることにより、そ
の液体がインペラの半径方向へ移動するのに伴って気体
（例えば、空気）を吸入排出し、圧送または排除する水
封式の真空ポンプは公知であり、このポンプを複数個使
用し、１段側ポンプの排気口と２段側ポンプの吸気口を
連通して一段のものよりも高い真空度を得られるように
した２段水封式真空ポンプも種々提案されている。
ば、水）をインペラによって回転させることにより、そ
の液体がインペラの半径方向へ移動するのに伴って気体
（例えば、空気）を吸入排出し、圧送または排除する水
封式の真空ポンプは公知であり、このポンプを複数個使
用し、１段側ポンプの排気口と２段側ポンプの吸気口を
連通して一段のものよりも高い真空度を得られるように
した２段水封式真空ポンプも種々提案されている。
【０００３】この種の水封式真空ポンプの封水の供給
は、図８に示すように、給水口２１よりポンプ室２２へ
矢印で示すようにインペラ２３の両側面とポンプ室２２
の両側面との環状隙間より流入する構造が一般的であ
る。ところで、この従来の封水供給構造では、ポンプ室
２２とインペラ２３の両側面の隙間が大きいと、ポンプ
性能は悪くなりがちで、また、隙間を小さくしても給水
量が少ないとポンプ室２２とインペラ２３の両側面の給
水によるシールが不充分となり性能が低下する。尚、封
水の給水を給水口２１より吸気口２４へ変更（吸気配管
中へ給水する）すれば、給水自吸性は良くなるが、この
場合はポンプ室２２とインペラ２３の両側面の給水によ
るシールが全くできないために空気の内部漏れが著しく
て、ポンプ性能は低下する。
は、図８に示すように、給水口２１よりポンプ室２２へ
矢印で示すようにインペラ２３の両側面とポンプ室２２
の両側面との環状隙間より流入する構造が一般的であ
る。ところで、この従来の封水供給構造では、ポンプ室
２２とインペラ２３の両側面の隙間が大きいと、ポンプ
性能は悪くなりがちで、また、隙間を小さくしても給水
量が少ないとポンプ室２２とインペラ２３の両側面の給
水によるシールが不充分となり性能が低下する。尚、封
水の給水を給水口２１より吸気口２４へ変更（吸気配管
中へ給水する）すれば、給水自吸性は良くなるが、この
場合はポンプ室２２とインペラ２３の両側面の給水によ
るシールが全くできないために空気の内部漏れが著しく
て、ポンプ性能は低下する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述のように、水封式
真空ポンプでは、インペラ２３を挟むポンプ室２２の両
側面とインペラ２３の両側面との隙間を通って羽根間を
空気が漏れて性能が低下するため、この発明は、ポンプ
室２２の両側面とインペラ２３の両側面との間に、封水
によるシールができるようポンプ室２２の封水をインペ
ラのボス部に還流させる構成の水封式真空ポンプを提供
することを目的とするものである。
真空ポンプでは、インペラ２３を挟むポンプ室２２の両
側面とインペラ２３の両側面との隙間を通って羽根間を
空気が漏れて性能が低下するため、この発明は、ポンプ
室２２の両側面とインペラ２３の両側面との間に、封水
によるシールができるようポンプ室２２の封水をインペ
ラのボス部に還流させる構成の水封式真空ポンプを提供
することを目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明は、前記課題を
解決するためになされたものであって、反モーター側ケ
ーシングとモーター側ケーシングとの間にポンプ室を形
成し、このポンプ室に複数の羽根を具備したインペラを
内設した構成の水封式真空ポンプにおいて、前記ポンプ
室内の外周領域の圧力の高い封水を、一旦ポンプ室の中
心部に戻し、そこからポンプ室内の両側面と羽根の両側
面との隙間へ還流させて、隣り合った羽根間の空気が漏
れるのを防止することができるように、半径方向に開通
する通水路を設けたことを特徴としている。
解決するためになされたものであって、反モーター側ケ
ーシングとモーター側ケーシングとの間にポンプ室を形
成し、このポンプ室に複数の羽根を具備したインペラを
内設した構成の水封式真空ポンプにおいて、前記ポンプ
室内の外周領域の圧力の高い封水を、一旦ポンプ室の中
心部に戻し、そこからポンプ室内の両側面と羽根の両側
面との隙間へ還流させて、隣り合った羽根間の空気が漏
れるのを防止することができるように、半径方向に開通
する通水路を設けたことを特徴としている。
【０００６】
【作用】この発明によれば、封水はポンプ室内をほぼ一
定の厚さでインペラとともに回転するから、その遠心力
で外周の圧力は内周の圧力よりも高い。その圧力差によ
って封水の一部は、通水路を介してインペラのボス部を
囲む止り穴および空間部に流入し、ポンプ室の両側面と
インペラの羽根の両側面との隙間よりポンプ室内に還流
する。還流した封水は、インペラの隣り合った羽根間で
薄膜状となり羽根の端面をシールするので、羽根側面と
ポンプ室側面との隙間から空気の漏れるのを防止するこ
とができる。
定の厚さでインペラとともに回転するから、その遠心力
で外周の圧力は内周の圧力よりも高い。その圧力差によ
って封水の一部は、通水路を介してインペラのボス部を
囲む止り穴および空間部に流入し、ポンプ室の両側面と
インペラの羽根の両側面との隙間よりポンプ室内に還流
する。還流した封水は、インペラの隣り合った羽根間で
薄膜状となり羽根の端面をシールするので、羽根側面と
ポンプ室側面との隙間から空気の漏れるのを防止するこ
とができる。
【０００７】
【実施例】以下、この発明の具体的実施例を図面に基づ
いて詳細に説明する。図示の実施例は、一例として、単
段の水封式気真空ポンプについての説明である。
いて詳細に説明する。図示の実施例は、一例として、単
段の水封式気真空ポンプについての説明である。
【０００８】図１に示すように、水封式真空ポンプは、
ポンプ部Ｐと軸受部４からなり、ポンプ部Ｐは一方側か
ら吸気し、同方向側へ排気するもので、反モーター側ケ
ーシング１とモーター側ケーシング２により構成されて
おり、このポンプ部Ｐは、ボルト９により軸受部４に対
して連結されている。
ポンプ部Ｐと軸受部４からなり、ポンプ部Ｐは一方側か
ら吸気し、同方向側へ排気するもので、反モーター側ケ
ーシング１とモーター側ケーシング２により構成されて
おり、このポンプ部Ｐは、ボルト９により軸受部４に対
して連結されている。
【０００９】前記反モーター側ケーシング１とモーター
側ケーシング２との間にポンプ室３が形成されており、
このポンプ室３にはインペラ６が回転自在に設けられて
いる。このインペラ６は、回転軸８にキーおよびバネを
介してＣ型止め輪により固定してある。そして、前記軸
受部４には、回転軸８を回転自在に支持する軸受と駆動
モータ（図示省略）を配置している。
側ケーシング２との間にポンプ室３が形成されており、
このポンプ室３にはインペラ６が回転自在に設けられて
いる。このインペラ６は、回転軸８にキーおよびバネを
介してＣ型止め輪により固定してある。そして、前記軸
受部４には、回転軸８を回転自在に支持する軸受と駆動
モータ（図示省略）を配置している。
【００１０】反モーター側ケーシング１は、図１および
図２に示すように、略円板形状で中心のポンプ室３側に
止り穴１ａを形成しており、斜上方には吸気口１ｂ（空
気と水を供給）を吸気ポート１ｃに連通するように形成
し、斜下方には排気口１ｄと排気ポート１ｅを連通する
ように形成している。
図２に示すように、略円板形状で中心のポンプ室３側に
止り穴１ａを形成しており、斜上方には吸気口１ｂ（空
気と水を供給）を吸気ポート１ｃに連通するように形成
し、斜下方には排気口１ｄと排気ポート１ｅを連通する
ように形成している。
【００１１】モーター側ケーシング２は、図１および図
３に示すように、略円板形状で中心にメカニカルシール
５を収納するメカニカルシールボックス２ａを形成し、
前記インペラ６との間にマウスリング７を設けて空間２
ｂを形成している。前記反モーター側ケーシング１と対
面する側面に、中心より所定量偏心したポンプ室３を形
成し、このポンプ室３の側面と前記空間２ｂとの間に通
水路２ｃを形成している。尚、上記実施例では、通水路
２ｃをモーター側ケーシング２に形成したが、これを、
反モーター側ケーシング１に形成することもでき、又、
両側に形成することも実施に応じて適用することができ
る。
３に示すように、略円板形状で中心にメカニカルシール
５を収納するメカニカルシールボックス２ａを形成し、
前記インペラ６との間にマウスリング７を設けて空間２
ｂを形成している。前記反モーター側ケーシング１と対
面する側面に、中心より所定量偏心したポンプ室３を形
成し、このポンプ室３の側面と前記空間２ｂとの間に通
水路２ｃを形成している。尚、上記実施例では、通水路
２ｃをモーター側ケーシング２に形成したが、これを、
反モーター側ケーシング１に形成することもでき、又、
両側に形成することも実施に応じて適用することができ
る。
【００１２】インペラ６は、図１および図４に示すよう
に、略放射状に配置した複数の羽根６ａにより構成され
ており、中心に回転軸８用の孔６ｂを形成し、その回り
には複数の通水孔６ｃを貫通してある。図中矢印はイン
ペラ６の回転方向を示し、３ａはポンプ室の内周壁を示
す。
に、略放射状に配置した複数の羽根６ａにより構成され
ており、中心に回転軸８用の孔６ｂを形成し、その回り
には複数の通水孔６ｃを貫通してある。図中矢印はイン
ペラ６の回転方向を示し、３ａはポンプ室の内周壁を示
す。
【００１３】次に、この水封式ポンプの作動及び作用を
説明する。吸気口１ｂから水と空気を供給し、図示しな
いモーターにより回転軸８を回転してインペラ６を回転
すると、ポンプ室３内の水はポンプ室の内周壁に沿って
流れ、環状になって周回する。インペラ６の中心はポン
プ室３の内周壁３ａの中心に対して偏心しているので、
インペラのボス面と水面との間に三日月状の空間部が生
じ、インペラの羽根と水面に挟まれた空間部がインペラ
の回転によって膨張収縮することにより空気を吸入排出
する。
説明する。吸気口１ｂから水と空気を供給し、図示しな
いモーターにより回転軸８を回転してインペラ６を回転
すると、ポンプ室３内の水はポンプ室の内周壁に沿って
流れ、環状になって周回する。インペラ６の中心はポン
プ室３の内周壁３ａの中心に対して偏心しているので、
インペラのボス面と水面との間に三日月状の空間部が生
じ、インペラの羽根と水面に挟まれた空間部がインペラ
の回転によって膨張収縮することにより空気を吸入排出
する。
【００１４】一方、空気の流れを説明すると、吸気口１
ｂからの空気は吸気ポート１ｃからポンプ室３に吸い込
まれる。ポンプ室３内から排出される空気は、反モータ
ー側ケーシング１の内面に形成した排気ポート１ｅから
排気口１ｄを介して外部に排出されることになる。
ｂからの空気は吸気ポート１ｃからポンプ室３に吸い込
まれる。ポンプ室３内から排出される空気は、反モータ
ー側ケーシング１の内面に形成した排気ポート１ｅから
排気口１ｄを介して外部に排出されることになる。
【００１５】この発明の空気漏れ防止の作用について説
明すると、図５および図６に示すように、ポンプ室３内
の封水は、ほぼ一定の厚さでインペラ６と共に回転する
から、その遠心力で外側の圧力は内側の圧力よりも高く
その圧力差によって封水の一部は、通水路２ｃを通って
空間２ｂに向かって流れる。この空間２ｂはインペラ６
の側面に向って開いているから、封水はインペラ６の側
面とポンプ室３の側面との間の隙間３ｂを半径方向に流
出し、ポンプ室３の側板上に水の薄膜が作られる。この
水の薄膜は、インペラ６の羽根６ａの側面によって掻き
上げられて、その前面の端に水がもりあがるので空気が
羽根６ａの側端から漏れるのを防止することができる。
又、前記空間２ｂ内の封水は、インペラ６のボス部に貫
通している複数の通水孔６ｃを介して反対側の反モータ
ー側ケーシング１に形成した止り穴１ａ内に流入し、前
述のごとくインペラ６の側面とポンプ室３の側面との間
の隙間３ｂに流れこみ同様に空気の漏れるのを防止する
ことができる。
明すると、図５および図６に示すように、ポンプ室３内
の封水は、ほぼ一定の厚さでインペラ６と共に回転する
から、その遠心力で外側の圧力は内側の圧力よりも高く
その圧力差によって封水の一部は、通水路２ｃを通って
空間２ｂに向かって流れる。この空間２ｂはインペラ６
の側面に向って開いているから、封水はインペラ６の側
面とポンプ室３の側面との間の隙間３ｂを半径方向に流
出し、ポンプ室３の側板上に水の薄膜が作られる。この
水の薄膜は、インペラ６の羽根６ａの側面によって掻き
上げられて、その前面の端に水がもりあがるので空気が
羽根６ａの側端から漏れるのを防止することができる。
又、前記空間２ｂ内の封水は、インペラ６のボス部に貫
通している複数の通水孔６ｃを介して反対側の反モータ
ー側ケーシング１に形成した止り穴１ａ内に流入し、前
述のごとくインペラ６の側面とポンプ室３の側面との間
の隙間３ｂに流れこみ同様に空気の漏れるのを防止する
ことができる。
【００１６】つぎに、請求項３に記載の上記実施例にか
わる実施例として、図７に示すように、この水封式真空
ポンプは、ポンプ部１０と軸受部１１からなり、ポンプ
部１０は一方側から吸気し、他方側へ排気するもので、
反モーター側ケーシング１２とモーター側ケーシング１
３により構成されており、このポンプ部１０は、ボルト
１４により軸受部１１に対して連結されている。
わる実施例として、図７に示すように、この水封式真空
ポンプは、ポンプ部１０と軸受部１１からなり、ポンプ
部１０は一方側から吸気し、他方側へ排気するもので、
反モーター側ケーシング１２とモーター側ケーシング１
３により構成されており、このポンプ部１０は、ボルト
１４により軸受部１１に対して連結されている。
【００１７】前記反モーター側ケーシング１２とモータ
ー側ケーシング１３との間にポンプ室１５を形成し、こ
のポンプ室１５と反モーター側ケーシング１２との間に
隔壁部材１６を介在させる。この隔壁部材１６に前記ポ
ンプ室１５の外周領域に通路１７を設け、この通路１７
に対面する反モーター側ケーシング１２の側面に通路１
７より半径方向に向かって溝状の通水路１２ａを形成し
て、圧力の高い封水を止り穴１２ｂを介して、ポンプ室
１５内へ還流するものである。
ー側ケーシング１３との間にポンプ室１５を形成し、こ
のポンプ室１５と反モーター側ケーシング１２との間に
隔壁部材１６を介在させる。この隔壁部材１６に前記ポ
ンプ室１５の外周領域に通路１７を設け、この通路１７
に対面する反モーター側ケーシング１２の側面に通路１
７より半径方向に向かって溝状の通水路１２ａを形成し
て、圧力の高い封水を止り穴１２ｂを介して、ポンプ室
１５内へ還流するものである。
【００１８】この発明は、前記実施例の単段水封式真空
ポンプに適用する以外に、２段水封式真空ポンプにも全
く同様に適用することができる。即ち、図９に示すよう
に、吸気側ケーシング３１と排気側ケーシング３２との
間に中間ケーシング３３を介設し、吸気側ケーシング３
１側に１段側ポンプ室３４を、排気側ケーシング３２側
に２段側ポンプ室３５をそれぞれ形成し、この１段側ポ
ンプ室３４に対面する吸気側ケーシング３１の側面に、
単段と同様の通水路３１ａを形成し、この通水路３１ａ
と１段側ポンプ室３４との間に隔壁部材３６を挿入す
る。また、排気側ケーシング３２には、２段側ポンプ室
３５と空間部３２ａを連通する通水路３２ｂが、形成し
てある。尚、以上のほかの構成および作用は、前述の単
段水封式真空ポンプと同様であるので説明を省略する。
ポンプに適用する以外に、２段水封式真空ポンプにも全
く同様に適用することができる。即ち、図９に示すよう
に、吸気側ケーシング３１と排気側ケーシング３２との
間に中間ケーシング３３を介設し、吸気側ケーシング３
１側に１段側ポンプ室３４を、排気側ケーシング３２側
に２段側ポンプ室３５をそれぞれ形成し、この１段側ポ
ンプ室３４に対面する吸気側ケーシング３１の側面に、
単段と同様の通水路３１ａを形成し、この通水路３１ａ
と１段側ポンプ室３４との間に隔壁部材３６を挿入す
る。また、排気側ケーシング３２には、２段側ポンプ室
３５と空間部３２ａを連通する通水路３２ｂが、形成し
てある。尚、以上のほかの構成および作用は、前述の単
段水封式真空ポンプと同様であるので説明を省略する。
【００１９】
【発明の効果】この発明は、以上のように構成したので
次のような効果がある。即ち、反モーター側ケーシング
又はモーター側ケーシングに、ポンプ室に連通する通水
路を設けたので、ポンプ室の外周領域の圧力の高い封水
を、一旦ポンプ室の中心部に戻し、そこからポンプ室の
両側面とインペラの羽根の両側面の隙間へ還流するの
で、この隙間よりの空気漏れを防止し、ポンプ性能を向
上させることができる。又、封水を循環させて使用する
ので水を節約することができる。
次のような効果がある。即ち、反モーター側ケーシング
又はモーター側ケーシングに、ポンプ室に連通する通水
路を設けたので、ポンプ室の外周領域の圧力の高い封水
を、一旦ポンプ室の中心部に戻し、そこからポンプ室の
両側面とインペラの羽根の両側面の隙間へ還流するの
で、この隙間よりの空気漏れを防止し、ポンプ性能を向
上させることができる。又、封水を循環させて使用する
ので水を節約することができる。
【図１】この発明を適用した水封式真空ポンプの断面図
である。
である。
【図２】図１の反モーター側ケーシングの正面図であ
る。
る。
【図３】図１のモーター側ケーシングの正面図である。
【図４】図１のインペラの正面図である。
【図５】図１のポンプ室と回転中のインペラおよび封水
の関係を示す説明図である。
の関係を示す説明図である。
【図６】図１のポンプ室とインペラの両側面の隙間を拡
大して示す部分断面図である。
大して示す部分断面図である。
【図７】図１の水封式真空ポンプにかわる実施例を示す
水封式真空ポンプの断面図である。
水封式真空ポンプの断面図である。
【図８】従来の水封式真空ポンプの断面図である。
【図９】この発明を適用した２段水封式真空ポンプの断
面図である。
面図である。
１ 反モーター側ケーシング １ａ 止り穴 ２ モーター側ケーシング ２ｂ 空間部 ２ｃ 通水路 ３ ポンプ室 ３ｂ 隙間 ６ インペラ ６ａ 羽根 １２ 反モーター側ケーシング １２ａ 通水路 １３ モーター側ケーシング １５ ポンプ室 １６ 隔壁部材 １６ａ 通路
Claims (3)
- 【請求項１】 反モーター側ケーシング１とモーター側
ケーシング２との間にポンプ室３を形成し、このポンプ
室３に複数の羽根６ａを具備したインペラ６を内設した
構成の水封式真空ポンプにおいて、前記ポンプ室３の外
周領域の圧力の高い封水を、一旦ポンプ室３の中心部に
戻し、そこからポンプ室３内の両側面と羽根６ａの両側
面との隙間３ｂへ還流させて、隣り合った羽根６ａ間に
空気が漏れるのを防止することができるように、半径方
向に開通する通水路２ｃを設けたことを特徴とする水封
式真空ポンプ。 - 【請求項２】 モーター側ケーシング２又は反モーター
側ケーシング１に、前記ポンプ室３内と空間部２ｂ、又
は止り穴１ａに連通する通水路２ｃを設けたことを特徴
とする請求項１に記載の水封式真空ポンプ - 【請求項３】 ポンプ室１５のいずれか一方または両方
の側面にポンプ室１５の外周領域より半径方向に向かっ
て溝状の通水路１２ａを形成し、この通水路１２ａとモ
ーター側ケーシング１３との間に隔壁部材１６を設けこ
の隔壁部材１６に通路１６ａを形成してポンプ室１５と
通水路１２ａを連通したことを特徴とする請求項１に記
載の水封式真空ポンプ
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3348826A JP2684911B2 (ja) | 1991-12-04 | 1991-12-04 | 水封式真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3348826A JP2684911B2 (ja) | 1991-12-04 | 1991-12-04 | 水封式真空ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05157077A true JPH05157077A (ja) | 1993-06-22 |
| JP2684911B2 JP2684911B2 (ja) | 1997-12-03 |
Family
ID=18399638
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3348826A Expired - Fee Related JP2684911B2 (ja) | 1991-12-04 | 1991-12-04 | 水封式真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2684911B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5464329A (en) * | 1994-05-25 | 1995-11-07 | Miura Co., Ltd. | Water ring type pump with sidewall water reflux passage |
| CN105464979A (zh) * | 2015-12-28 | 2016-04-06 | 昂伯（上海）真空设备有限公司 | 一种单级水环式真空泵 |
| CN115263756A (zh) * | 2022-09-05 | 2022-11-01 | 兰州理工大学 | 一种高效液环真空泵 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS6256791U (ja) * | 1985-09-27 | 1987-04-08 | ||
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1991
- 1991-12-04 JP JP3348826A patent/JP2684911B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JP2684911B2 (ja) | 1997-12-03 |
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