JPH0515660Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0515660Y2 JPH0515660Y2 JP1988105963U JP10596388U JPH0515660Y2 JP H0515660 Y2 JPH0515660 Y2 JP H0515660Y2 JP 1988105963 U JP1988105963 U JP 1988105963U JP 10596388 U JP10596388 U JP 10596388U JP H0515660 Y2 JPH0515660 Y2 JP H0515660Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- valve
- curved surface
- valve seat
- support member
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 9
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Diaphragms And Bellows (AREA)
- Lift Valve (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は半導体製造ガス供給用配管に使用され
るメタルダイヤフラム弁に関する。
るメタルダイヤフラム弁に関する。
半導体製造ガス供給用配管に使用される従来の
メタルダイヤフラム弁においては、特にリフトを
大きく設定したい場合などダイヤフラム自体に反
力を持たせるため、第４図ないし第６図に示すよ
うにダヤフラムａの外周近傍に折曲部ｂを形成
し、その外側部分ｃを平面状に挟持することによ
りダイヤフラムａ自体が開方向の復元力を有する
ように構成されている。
メタルダイヤフラム弁においては、特にリフトを
大きく設定したい場合などダイヤフラム自体に反
力を持たせるため、第４図ないし第６図に示すよ
うにダヤフラムａの外周近傍に折曲部ｂを形成
し、その外側部分ｃを平面状に挟持することによ
りダイヤフラムａ自体が開方向の復元力を有する
ように構成されている。
〔考案が解決しようとする課題〕
上述のような従来例においては、第５図に示す
ような弁の開放時にも上記折曲部ｂに応力が集中
しているばかりでなく、第６図に示すような閉鎖
時にはさらに大きな応力が集中するので、開閉動
作の繰返に伴う局部的な疲労により耐久性が著し
く損なわれるという不具合がある。
ような弁の開放時にも上記折曲部ｂに応力が集中
しているばかりでなく、第６図に示すような閉鎖
時にはさらに大きな応力が集中するので、開閉動
作の繰返に伴う局部的な疲労により耐久性が著し
く損なわれるという不具合がある。
本考案は上述のような問題点を解決するために
なされたもので、耐久性に優れたメタルダイヤフ
ラム弁を提供することを目的とする。
なされたもので、耐久性に優れたメタルダイヤフ
ラム弁を提供することを目的とする。
本考案は、周縁部が弁箱本体と支持部材とによ
つて挟持されるとともに中央部が弁座に対し接離
自在に対向する金属製ダイヤフラムを備えたメタ
ルダイヤフラム弁において、 上記ダイヤフラムは自由状態における形状が上
記弁座側に中心を有する所定曲率の曲面または平
面をなし、かつ上記支持部材は上記ダイヤフラム
の対向面を上記所定曲率の曲面または平面よりも
大きな曲率をなす曲面に形成したことを特徴とす
る。
つて挟持されるとともに中央部が弁座に対し接離
自在に対向する金属製ダイヤフラムを備えたメタ
ルダイヤフラム弁において、 上記ダイヤフラムは自由状態における形状が上
記弁座側に中心を有する所定曲率の曲面または平
面をなし、かつ上記支持部材は上記ダイヤフラム
の対向面を上記所定曲率の曲面または平面よりも
大きな曲率をなす曲面に形成したことを特徴とす
る。
本考案は上述のように構成されているので、ダ
イヤフラムに作用する応力が弁の開閉状態にかか
わらずほぼ均等に分散され、開閉動作を多数回繰
返しても局部的な疲労の発生は効果的に抑制され
る。
イヤフラムに作用する応力が弁の開閉状態にかか
わらずほぼ均等に分散され、開閉動作を多数回繰
返しても局部的な疲労の発生は効果的に抑制され
る。
以下、本考案について図示の一実施例を参照し
ながら説明する。
ながら説明する。
第１図において弁箱１は本体２、蓋体３および
支持部材４等を備えている。本体２には弁室５、
流入路６および流出路７等が形成されており、か
つ弁室５の外周部には段部８が、中央部には弁座
９がそれぞれ設けられている。支持部材４に対し
軸方向に往復動自在に嵌装された押圧部材１０
は、支持部材４と螺合するネジ軸１１を介して開
閉用ハンドル１２と一体的に連結されている。
支持部材４等を備えている。本体２には弁室５、
流入路６および流出路７等が形成されており、か
つ弁室５の外周部には段部８が、中央部には弁座
９がそれぞれ設けられている。支持部材４に対し
軸方向に往復動自在に嵌装された押圧部材１０
は、支持部材４と螺合するネジ軸１１を介して開
閉用ハンドル１２と一体的に連結されている。
ダイヤフラム１３は適宜の金属材料から形成さ
れ、自由状態においては第２図に例示するように
所定曲率１／R1（図中のR1およびR2は曲率半径）
の曲面状をなしている。また、上記支持部材４
は、ダイヤフラム１３との対向面１４が上記所定
曲率１／R1よりも大きい曲率１／R2の曲面状に
形成されている。上記段部８は上記対向面１４と
ほぼ相等しい曲率の曲面状に形成されており、か
つその内周部１５（第３図参照）も適宜の曲面状
に形成されている。そして、ダイヤフラム１３は
第３図に示すように曲面中心が上記弁座９側に位
置するように、換言すれば凹面側が弁座９と対向
するようにして外周部が上記段部８と対向面１４
の外周部との相に挟持されている。
れ、自由状態においては第２図に例示するように
所定曲率１／R1（図中のR1およびR2は曲率半径）
の曲面状をなしている。また、上記支持部材４
は、ダイヤフラム１３との対向面１４が上記所定
曲率１／R1よりも大きい曲率１／R2の曲面状に
形成されている。上記段部８は上記対向面１４と
ほぼ相等しい曲率の曲面状に形成されており、か
つその内周部１５（第３図参照）も適宜の曲面状
に形成されている。そして、ダイヤフラム１３は
第３図に示すように曲面中心が上記弁座９側に位
置するように、換言すれば凹面側が弁座９と対向
するようにして外周部が上記段部８と対向面１４
の外周部との相に挟持されている。
上述のように構成された装置においては、押圧
部材１０を介して付与される閉方向の押圧力が作
用しないかぎり（第３図参照）ダイフラム１３は
これ自体の復元力により弁座９から離間し、支持
部材４の対向面１４と突設する全開状態にある。
また、ハンドル１２を回動操作することにより押
圧部材１０を介してダイアフラム１３を閉方向に
押圧すれば、ダイアフラム１３が変形しながら弁
座９に近接し、両者が相互に圧接することにより
閉状態となる。
部材１０を介して付与される閉方向の押圧力が作
用しないかぎり（第３図参照）ダイフラム１３は
これ自体の復元力により弁座９から離間し、支持
部材４の対向面１４と突設する全開状態にある。
また、ハンドル１２を回動操作することにより押
圧部材１０を介してダイアフラム１３を閉方向に
押圧すれば、ダイアフラム１３が変形しながら弁
座９に近接し、両者が相互に圧接することにより
閉状態となる。
上述のように自由状態におけるダイヤフラム１
３は所定曲率１／R1の曲面状をなすとともに上
記従来例におけるような折曲部を備えてはおら
ず、かつこれと対向する支持部材４の対向面１４
はそれより大きい曲率１／R2の曲面状に形成さ
れているから、開閉動作に伴うダイヤフラム１３
の変形が無理なく円滑に行なわれ、応力は常にほ
ぼ均等に分布して局部的に集中するようなことが
ない。したがつて、開閉動作を多数回繰返しても
局部的に疲労に伴う早期破損を生ずることがな
く、極めて耐久性に優れている。
３は所定曲率１／R1の曲面状をなすとともに上
記従来例におけるような折曲部を備えてはおら
ず、かつこれと対向する支持部材４の対向面１４
はそれより大きい曲率１／R2の曲面状に形成さ
れているから、開閉動作に伴うダイヤフラム１３
の変形が無理なく円滑に行なわれ、応力は常にほ
ぼ均等に分布して局部的に集中するようなことが
ない。したがつて、開閉動作を多数回繰返しても
局部的に疲労に伴う早期破損を生ずることがな
く、極めて耐久性に優れている。
なお、本考案は上記実施例のみに限定されるも
のではなく、たとえば上記ダイヤフラム１３は所
定曲率が無限大、すなわち平面状のものであつて
もよい。また、ダイヤフラム１３および対向面１
４の各曲面も球面状に限られることがなく、たと
えば回転楕円面あるいは回転放物面など適宜のも
のであつてもよい。要すれば、ダイヤフラム１３
を押圧する手段として上記押圧部材１０等に代え
て適宜の流体を利用するようにしてもよい。その
他、本考案の要旨とするところの範囲内において
種々の変更ないし応用が可能である。
のではなく、たとえば上記ダイヤフラム１３は所
定曲率が無限大、すなわち平面状のものであつて
もよい。また、ダイヤフラム１３および対向面１
４の各曲面も球面状に限られることがなく、たと
えば回転楕円面あるいは回転放物面など適宜のも
のであつてもよい。要すれば、ダイヤフラム１３
を押圧する手段として上記押圧部材１０等に代え
て適宜の流体を利用するようにしてもよい。その
他、本考案の要旨とするところの範囲内において
種々の変更ないし応用が可能である。
本考案によれば、上述のように耐久性に優れた
メタルダイヤフラム弁を提供することができる。
メタルダイヤフラム弁を提供することができる。
第１図ないし第３図は本考案の一実施例を示
し、第１図は断面図、第２図は自由状態における
ダイヤフラムを示す断面図、第３図は要部を拡大
して示す説明図であり、第４図ないし第６図は従
来例を示し、第４図は自由状態におけるダイヤフ
ラムを示す断面図、第５図および第６図は相異な
る動作状態を示す説明図である。 １……弁箱、２……本体、４……支持部材、５
……弁室、８……段部、９……弁座、１３……ダ
イヤフラム、１４……対向面、R1，R2……曲率
半径。
し、第１図は断面図、第２図は自由状態における
ダイヤフラムを示す断面図、第３図は要部を拡大
して示す説明図であり、第４図ないし第６図は従
来例を示し、第４図は自由状態におけるダイヤフ
ラムを示す断面図、第５図および第６図は相異な
る動作状態を示す説明図である。 １……弁箱、２……本体、４……支持部材、５
……弁室、８……段部、９……弁座、１３……ダ
イヤフラム、１４……対向面、R1，R2……曲率
半径。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 周縁部が弁箱本体と支持部材とによつて挟持さ
れるとともに中央部が弁座に対し接離自在に対向
する金属製ダイヤフラムを備えたメタルダイヤフ
ラム弁において、 上記ダイヤフラムは自由状態における形状が上
記弁座側に中心を有する所定曲率の曲面または平
面をなし、かつ上記支持部材は上記ダイヤフラム
との対向面を上記所定曲率の曲面または平面より
も大きな曲率をなす曲面に形成したことを特徴と
するメタルダイヤフラム弁。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988105963U JPH0515660Y2 (ja) | 1988-08-12 | 1988-08-12 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988105963U JPH0515660Y2 (ja) | 1988-08-12 | 1988-08-12 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0229361U JPH0229361U (ja) | 1990-02-26 |
| JPH0515660Y2 true JPH0515660Y2 (ja) | 1993-04-23 |
Family
ID=31339049
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988105963U Expired - Lifetime JPH0515660Y2 (ja) | 1988-08-12 | 1988-08-12 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0515660Y2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2547590Y2 (ja) * | 1993-11-12 | 1997-09-10 | 大野ベロー工業株式会社 | ダイヤフラム弁 |
| JP3586075B2 (ja) * | 1997-08-15 | 2004-11-10 | 忠弘 大見 | 圧力式流量制御装置 |
| JP6564593B2 (ja) | 2015-03-25 | 2019-08-21 | 株式会社フジキン | ダイヤフラム弁 |
| JP7257056B2 (ja) * | 2018-04-06 | 2023-04-13 | 株式会社フジキン | バルブ装置および流体制御装置、流体制御方法、半導体製造装置及び半導体製造方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0234532Y2 (ja) * | 1985-12-04 | 1990-09-17 |
-
1988
- 1988-08-12 JP JP1988105963U patent/JPH0515660Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0229361U (ja) | 1990-02-26 |
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