JPH0515461U - ガスレーザ装置 - Google Patents

ガスレーザ装置

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JPH0515461U
JPH0515461U JP6225591U JP6225591U JPH0515461U JP H0515461 U JPH0515461 U JP H0515461U JP 6225591 U JP6225591 U JP 6225591U JP 6225591 U JP6225591 U JP 6225591U JP H0515461 U JPH0515461 U JP H0515461U
Authority
JP
Japan
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discharge current
gas laser
current control
output
gas
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Pending
Application number
JP6225591U
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English (en)
Inventor
慎司 笠原
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NEC Corp
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NEC Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【構成】放電電流制御動作時に、レーザ出力を検出し、
放電電流制御回路にレーザ出力が一定レベル以上に放電
電流が設定されないようなレーザ出力リミッタ回路を設
けている。 【効果】放電電流制御時にレーザ出力リミッタ回路を追
加しているため、ガスレーザ装置を必要以上に出力を出
すことなく使用できるのでガスレーザ装置を長持ちさせ
ることができる。

Description

【考案の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】
本考案は、ガスレーザ装置に関し、特に放電電流制御回路に関する。
【0002】
【従来の技術】
ガスレーザ装置の構成図は図1に示すように、レーザ発振をさせるためのレー ザ媒体を密封したガスレーザ管1と、その両端に設置した一対の光共振器用ミラ ー2.2′と、レーザ出力3の一部を参照光とするためのビームスプリッタ5と 、参照光4を受光する太陽電池6と、ガスレーザ管1を放電スタートさせるため のトリガー回路7と、放電電流を絞り込むための電磁石8とから成るガスレーザ 発振器9と、ガスレーザ発振器9を動作・制御する電源10から成る。電源10 はキースイッチ部11,マグネットスイッチ部12,整流回路部13,パワーF ET部14,ガス自動補給回路部15、放電電流制御回路16、出力表示部17 等から成る。
【0003】 従来のガスレーザ装置の放電電流制御回路16は図3に示すとうり光フィード バック動作においては、光設定用可変抵抗27を設定することにより、参照光4 を受光した太陽電池6の光信号を第4の可変抵抗28と第3のIC29で増幅し 出力された信号と光設定用可変抵抗27の設定値を第4のIC30により比較し 、パワーFET部14のゲート電圧を制御することにより放電電流を変化させて レーザ出力3を一定にする構成となっていて、光設定用可変抵抗27の最大値で のレーザ出力値を決定できるため一定出力以上とはならない。
【0004】 次に光フィードバック動作と放電電流制御動作の切換えはスイッチングIC2 6で行なわれ、放電電流制御動作時は放電電流設定用可変抵抗21の設定値と放 電電流検出用シャント抵抗22からの検出値を第1のIC23で比較し、パワー FET部14のゲート電圧を制御することにより放電電流値を制御する。またス タート時、放電電流設定用可変抵抗21により設定された放電電流に設定される までの時間を第2の可変抵抗25により決定し、第1の可変抵抗24により設定 された放電電流に設定されるまでの時間を第2の可変抵抗25により決定し、第 1の可変抵抗24により放電電流の最大値を決定し、第6のIC33は放電電流 が過電流となった場合の検出用に使用している。以上の構成となっていたため、 放電電流設定用可変抵抗21の設定値により放電電流は第1の可変抵抗24で決 定した最大値まではどこでも動作する様になっていた。
【0005】
【考案が解決しようとする課題】
この従来のガスレーザ発振器では、放電電流制御動作時、放電電流接地端接続 抵抗の設定値のみによって決定される放電電流によって動作されるため、ガスレ ーザ管が新しい状態でレーザ出力が十分に出力される時は必要以上に放電電流を 流して使用できるため、ガスレーザ管を短寿命とするような問題点があった。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本考案のガスレーザ装置は、放電電流制御動作時に、レーザ出力を検出し、放 電電流制御回路にレーザ出力がある一定レベル以上に放電電流が設定されない様 なレーザ出力リミッタ回路を備えている。
【0007】
【実施例】
次に本考案について図面を参照して説明する。図1は本考案のガスレーザ装置 の構成図であり、図2は本考案の一実施例の放電電流制御回路のブロック図であ る。ガスレーザ装置を光フィードバックする時は、光設定用可変抵抗27を設定 することにより、参照光4を受光した太陽電池6の信号を第4の可変抵抗28と 第3のIC29で増幅し、出力された信号と光設定用可変抵抗27の設定値を第 4のIC30により比較し、パワーFET部14のゲート電圧を制御することに より放電電流を変化させ、レーザ出力3を一定にする構成となっていて、光設定 用可変抵抗27の最大値でのレーザ出力値を決定できるため一定出力以上とはな らない。
【0008】 次に光フィードバック動作と放電電流制御動作の切換えはスイッチングIC2 6で行なわれ、放電電流制御動作時は放電電流設定用可変抵抗21の設定値と放 電電流検出用シャント抵抗22からの検出値を第1のIC23で比較し、パワー FET部14のゲート電圧を制御することにより放電電流を制御する。また、ス タート時、放電電流設定用可変抵抗21により設定された放電電流値に設定され るまでの時間を第2の可変抵抗25により決定し、第1の可変抵抗24により放 電電流の最大値を決定し、第6のIC33は放電電流が過電流となった場合の検 出用に使用している。次に参照光4を受光した太陽電池6の光信号と第5の可変 抵抗31により決定された信号を第5のIC32で比較することにより、パワー FET部14のゲート電圧を制御する。この第5の可変抵抗31の設定値により 放電電流動作時におけるレーザ出力3のリミッタとして動作させることができる 。
【0009】
【考案の効果】
以上説明したように、本考案は、放電電流制御時に光リミッタ回路を追加して いるため、ガスレーザ装置を必要以上にレーザ出力を出すことなく使用できガス レーザ管の寿命を長くできる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本考案のガスレーザ装置の構成図である。
【図2】本考案の一実施例の放電電流制御回路を示す図
である。
【図3】従来の放電電流制御回路を示す図である。
【符号の説明】
1 ガスレーザ管 2,2′ 光共振器用ミラー 3 レーザ出力 4 参照光 5 ビームスプリッタ 6 太陽電池 7 トリガー回路 8 電磁石 9 ガスレーザ発振器 10 電源 11 キースイッチ部 12 マグネットスイッチ部 13 整流回路部 14 パワーFET部 15 ガス自動補給回路部 16 放電電流制御回路部 17 出力表示部

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ガスレーザ管と、その両端に設置した一
    対の光共振器用ミラーと、レーザ出力の一部を参照光と
    して分離するためのビームスプリッタと、参照光を受光
    する太陽電池と、ガスレーザ管を放電スタートするため
    のトリガー回路と、放電プラズマを絞込むための電磁石
    とからなるガスレーザ発振器と、ガスレーザ発振器を動
    作・制御する電源から成り、電源はマグネットスイッチ
    部、整流回路部、パワーFET部、出力表示部、放電電
    流制御部、ガス自動補給回路部を有するガスレーザ装置
    において、太陽電池からの信号を受け、放電電流制御回
    路部にレーザ出力を制限するリミッタ回路を備えること
    を特徴とするガスレーザ装置。
JP6225591U 1991-08-07 1991-08-07 ガスレーザ装置 Pending JPH0515461U (ja)

Priority Applications (1)

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JP6225591U JPH0515461U (ja) 1991-08-07 1991-08-07 ガスレーザ装置

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6225591U JPH0515461U (ja) 1991-08-07 1991-08-07 ガスレーザ装置

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JPH0515461U true JPH0515461U (ja) 1993-02-26

Family

ID=13194856

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JP6225591U Pending JPH0515461U (ja) 1991-08-07 1991-08-07 ガスレーザ装置

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