JPH05149813A - 高清浄度媒体圧力検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 塵埃が残留しない簡素な構成で、洗浄が確実
且つ容易に行え、その上、圧力表示を遠隔モニタできる
ようにする。 【構成】 媒体通路２の内周面２ａが鏡面仕上げされた
媒体通路部材１の中間領域に、平面状に削成して他の部
分より薄肉とされた起歪部３を設けてある。この起歪部
３の外表面には、２枚のアクティブひずみゲージ４，４
を、起歪部３の近傍の媒体通路部材１の外表面には２枚
のダミーひずみゲージ５，５′を、それぞれ添着してあ
る。これらひずみゲージ４・４′、５・５′の周囲を囲
むように、二分割された上側ケーシング７２と下側ケー
シング７３が設けられ、それぞれ媒体通路部材１の外周
面との間が溶接により気密状に固着してある。媒体通路
２内の媒体圧力は、ひずみゲージ４・４′と５・５′に
よって構成されたブリッジ回路によって検出されて電気
信号に変換され、導出ケーブル１７を介して外部に導出
される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば０．０５μｍ程
度の大きさの塵埃までも極度に嫌う装置、例えばの半導
体製造装置用の圧力検出装置として開発された高清浄度
媒体圧力検出装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】超高密度集積回路（以下、「ＬＳＩ」と
略称する）は、例えば５mm角の領域の中に数百万個のト
ランジスタが形成されることになるので、トランジスタ
回路上のパターン間隔（ギャップ）が０．３〜０．８μ
ｍ以下と極めて小さな値となる。

【０００３】従って、ＬＳＩの製造過程に、このパター
ン間隔より大きい塵埃が混入する場合は勿論のこと、こ
のパターン間隔の数分の１の径の塵埃の結合体などが混
入すると、これらの塵埃を介してパターン同士が短絡し
てＬＳＩとしての機能を発揮することが出来なくなると
いう事故を生じる。

【０００４】このような事故は、ＬＳＩのBIT 数が大き
くなるにつれて甚だしくなるなるため、ＬＳＩの製造過
程での塵埃の発生やＬＳＩへの塵埃の付着などに対する
防止対策が、重要な要因となっており、塵埃防止に最大
の神経を使っているのが普通である。ＬＳＩの加工工程
では、半導体製造装置の一部として、エッチング用ガス
（液体）や洗浄用ガス（液体）を供給する装置が使用さ
れる。なお、本発明の説明では、流れ状態および静止状
態にある気体・液体を総称して「媒体」と云うことにす
る。

【０００５】さて、このような媒体供給装置は、例えば
図２４に示すように、媒体Ｇの供給管路６０１とこの供
給管路６０１に設けられた減圧弁６０２と、この減圧弁
６０２を挟んだ２個所に設けられた２つの圧力計６０３
から構成され、加工時に、供給管路６０１から所定圧の
媒体ＧをＩＣウエハＷ上に噴出せしめるようにしてい
る。

【０００６】そして、この媒体供給装置に使用される圧
力計６０３としては、従来からブルドン管式圧力計が広
く利用されている。

【０００７】このブルドン管式圧力計６０３は、図２５
の原理構成図に示すように、軸支点ａで回転可能に軸支
され且つその円弧縁部に扇形ギアｂを備えたセクタｃ
と、このセクタｃの扇形ギアｂと噛合し且つメータ軸ｄ
で回転可能に軸支されたピニオンｅと、一端が一方の連
結軸ｆを介してセクタｃの腕部に連結し且つ他端が他方
の連結軸ｇを介してブルドン管ｈの端部金具ｉと連結し
たリニヤリティリンクｊとから構成されている。

【０００８】この場合、ブルドン管ｈは、その先端部が
端部金具ｉで塞がれ且つ後端部が圧力測定対象の装置
（図示例では、前述の供給管路６０１）に連通する可撓
性の管体として構成され、ブルドン管ｈ内のガス圧が変
動した際には、その変動量をブルドン管ｈの曲り量変化
として検出し、この曲り量変化を端部金具ｉ、リニヤリ
ティリンクｊを介してセクタｃの回転角θに変換し、さ
らにこのセクタｃの回転を扇形ギアｂを介してピニオン
ｅに伝達し、このピニオンｅの回転量をメータ軸ｄを介
して適宜のメータ（図示せず）に伝達することにより視
覚表示するように構成されている。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ブルド
ン管ｈは、その先端部が端部金具ｉで塞がれた行き止ま
り構造になっているばかりでなく、管の内周面の仕上げ
程度も滑らかではないので、ブルドン管ｈ内のガスに塵
埃が含まれていると、塵埃が行き止まり個所や管の内周
面の凹部個所に付着してそのまま残留してしまうという
現象を生じる。

【００１０】この現象は、たとえ塵埃除去のための換気
作業や洗浄作業を繰り返しても、塵埃を完全に除去する
ことが出来ないため、ブルドン管式圧力計６０３を備え
た媒体の供給装置では、供給管路６０１内の圧力変動に
よってブルドン管ｈの曲り量が変化するときなどに、ブ
ルドン管ｈ内に残留した塵埃が供給管路６０１からＩＣ
ウエハＷ上に噴射されて、前述したような事故を発生さ
せることになる。

【００１１】そして、これがブルドン管式圧力計６０３
の大きな欠点となり、また、ブルドン管式圧力計６０３
を圧力測定の手段として利用する半導体製造装置やクリ
ーンルームで使用される空気清浄装置、或いは、高洗浄
度圧力媒体を使用する加工装置等における塵埃防止上の
致命的な欠陥となっていた。

【００１２】しかも、ブルドン管式圧力計６０３では、
メータを用いてそのときの供給管路６０１内の圧力を表
示するように構成されているため、圧力チェックの際に
担当者がメータの設置個所まで出向いて確認をしなけれ
ばならないということも、保守・管理上の欠点となって
いた。

【００１３】そのため、塵埃防止対策が高度に施され、
且つ、保守・管理も容易に行い得る圧力計ないし圧力検
出装置の出現が望まれていた。

【００１４】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、例えば０．０５μｍ程度の大きさの塵埃でも
残留することを許さないシンプルな構造を有し、しか
も、洗浄作業を完全且つ容易に行うことが可能で、さら
に、圧力表示を遠隔モニタすることの出来る新形式の高
清浄度媒体圧力検出装置を提供することを目的とする。

【００１５】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記の目的を
達成するために、媒体通路である内部空間の断面に断面
急変部がない剛体製の管体として構成されると共に前記
媒体通路の内周面が滑らかな面として形成され、且つ、
両端部分において圧力検出対象機器の媒体通路と連通的
に接続される媒体通路部材と、この媒体通路部材の長さ
方向の中間領域における周壁外周面に設定された起歪部
と、この起歪部の表面に添着され且つ自身の電気的出力
を外部に取り出すためのケージリードが接続された少な
くとも１個のひずみゲージと、少なくとも前記起歪部を
覆い得るように前記媒体通路部材の周壁部分の全周面ま
たは一部の周面に結合され、且つ、前記ひずみゲージの
リード線を外部に取り出すためのリード線導出部を自身
の壁部に備えた中空状のケーシング部材と、を有するよ
うに構成したことを特徴としたものである。

【００１６】

【作用】本発明に係る高清浄度媒体圧力検出装置は、測
定対象媒体の通路である内部空間の断面に断面急変部を
設けないために、剛体製の管体を媒体通路部材に採用し
て、その内周面を滑らかな面として形成し、この媒体通
路部材の外周面であって且つ予定したひずみが生じる領
域に起歪部を設定して、その表面に添着した１個のひず
みゲージによって測定媒体圧力に対応した電気信号を得
るようにしている。

【００１７】そして、ひずみゲージを添着した媒体通路
部材をその長さ方向の中間領域において中空状に形成さ
れた剛体製のケーシング部材で支持するが、このケーシ
ング部材は媒体通路部材の中間領域における全周囲また
は部分周囲を覆い得る状態で媒体通路部材に取り付けら
れ、ひずみゲージの保護、管体の無用の変形を防止する
ようにしている。

【００１８】さらに、このケーシング部材にはひずみゲ
ージに接続されたリード線を外部に取り出すための機密
構造のリード線導出部が設けられ、このリード線導出部
を介してひずみゲージからの出力を外部のひずみ量測定
装置に導出するようにしている。

【００１９】

【実施例】以下、本発明をエッチング用ガスの供給装置
に適用した場合の実施例に基づいて本発明の高清浄度媒
体圧力検出装置を説明する。図１は、本発明の高清浄度
媒体圧力検出装置に係る第一実施例の構成を一部破断し
て示す縦断面図、図２は、図１の第一実施例に係るＡ−
Ａ矢視方向断面の構成を示す断面図である。

【００２０】図１および図２において、１は媒体通路２
である内部空間の断面に断面急変部がない、例えばステ
ンレス製の比較的細い円筒状管体として形成された媒体
通路部材で、媒体通路２の内周面２ａは、例えば複合電
解研磨方法によって滑らかな鏡面仕上げとして形成され
ている。

【００２１】そして、媒体通路部材１の両方の端部１ａ
および１ｂは、例えば後述する端部結合手段を介して、
図示なきエッチング用ガスの供給装置側の媒体通路（以
下、「供給装置媒体通路」という）と連通的に接続され
るように構成されている。

【００２２】なお、前述した複合電解研磨方法というの
は、例えば０．０５μｍ径の研磨材を使用したラッピン
グ法による研磨と電解研磨法により精密研磨とを同時的
に行うという研磨方法である。

【００２３】３は媒体通路部材１の長さ方向の中間領域
における周壁外周面に設定された起歪部で、図２に示す
ように、媒体通路部材１の長さ方向の他領域の周壁外面
よりも凹んだ状態に、しかも、起歪部３の表面（外面）
が例えば媒体通路２の中心軸線に対して平行な平面にな
るように形成されている。

【００２４】この場合、起歪部３は、例えばミーリング
加工法を用いて、媒体通路部材１の外周半径寸法よりも
小さい寸法ｗで周壁外面を削ぎ落とした平面であって、
しかも、滑らかな研磨面として形成されている。なお、
起歪部３の長さ方向の寸法は、必要に応じた値に設定さ
れることになる。

【００２５】従って、起歪部３における周壁厚さは、媒
体通路部材１の長さ方向の他領域の周壁厚さ、並びに、
前述の長さ方向の中間領域における起歪部３以外の部分
の周壁厚さよりも薄肉に形成されることになる。

【００２６】４および４′は起歪部３の表面に所定距離
を隔てて添着された一対のアクティブひずみゲージ（以
下、「アクティブゲージ」という）で、図３に示すよう
に、媒体通路２内の圧力が増大して管体である媒体通路
部材１が半径方向（Ｂ方向）に膨張したり、またはその
反対に収縮したとき、薄肉の起歪部３に生じる左右方向
へのひずみ（伸びまたは縮み）を検出し得るように構成
されている。

【００２７】このアクティブゲージ４，４′は、図４に
示すように、ひずみ検出回路（図示せず）の一部である
ホイートストンブリッジ回路６の一方の対向する二辺の
抵抗機能を果すように結線されることになる。

【００２８】５および５′は、アクティブゲージ４，
４′によるひずみ変動の検出時における温度変化に伴う
熱膨張（また収縮）の要因を、除去または補正するため
に設けられた一対のダミーゲージで、図１に示すよう
に、起歪部３の両側近傍部分の他領域の周壁外面上、す
なわち、圧力変化に対し実質的にひずみを生じない部分
に添着されている。このダミーゲージ５，５′は、前述
のホイートストンブリッジ回路６の他の対向する二辺の
抵抗機能を果すように結線されることになる。

【００２９】７は起歪部３とその両側近傍部分のダミー
ゲージ５，５′を添着した他領域の周壁部分をその全周
周面に亘って覆うように媒体通路部材１の周壁部分に結
合された中空状のケーシング部材で、媒体通路部材１の
中心軸線上に設定された接合面７１を境として上下に二
分割された構成となっていている。

【００３０】この場合、上方に位置する上側ケーシング
７２は、後述するアンプ基板１０を内蔵し得るように蓋
状の単純なケーシング構造物として構成され、内部の適
宜個所にアンプ基板１０を取り付けるための取り付け部
を有するように構成されている。

【００３１】さらに、上側ケーシング７２の左右ケーシ
ング壁には、媒体通路部材１の上半部を接合面７１（中
心軸線）上で貫通させるための例えば下向き半円形の開
口（図示せず）を有するように構成されている。この場
合、下向き半円形の開口は、媒体通路部材１の上半部の
外周面と嵌合するような形状の開口として設けられるこ
とになる。

【００３２】一方、下方に位置する下側ケーシング７３
は、下部外側に中空円筒状のケーブル取り出し突起７４
を有するケーシング構造物として構成され、また、その
左右ケーシング壁には、媒体通路部材１の下半部を接合
面７１上で貫通させるための、例えば上向き半円形の開
口（図示せず）を有するように構成されている。この場
合も、上向き半円形の開口は、媒体通路部材１の下半部
の外周面と嵌合するような形状の開口として設けられる
ことになる。

【００３３】また、ケーブル取り出し突起７４は、アン
プ基板１０からのリード線１６を導出ケーブル１７を介
して外部に取り出すために設けられたもので、上方に天
井部分を有し且つ下方が開放された状態の中空空間部７
４ａを有するように構成されている。

【００３４】７５は中空空間部７４ａの天井部分に穿設
された端子取り付け開口、７６は中空空間部７４ａの内
周に形成された雌ねじ部である。なお、上下のケーシン
グ７２，７３は、後述するように、最終工程において媒
体通路部材１の周壁部分に上下方向から取り付けられ、
接合面７１で接合された後に、例えば溶接法を利用して
媒体通路部材１の周壁部分に、ケーシング部材７内の気
密を保持し得るような状態で強固に結合されるように構
成されている。

【００３５】１０は適宜の手段によって取り付け前の上
側ケーシング７２の内部に取り付けられたアンプ基板
で、その表・裏面には、ホイートストンブリッジ回路６
を含んだ形のひずみ検出回路を構成する各種補償電気抵
抗器群１１、アンプ１２、オペアンプ１３を始め増幅・
波形処理手段、感度調整ボリューム、零点調整ボリュー
ムなどの電気的部材が搭載されている。

【００３６】１４は前述のアクティブゲージ４，４′の
出力をアンプ基板１０上の電気的部材（例えば１１〜１
３等）に電気的に接続するためのゲージリードで、例え
ば図示のように、一度、適宜の絶縁部材を介して媒体通
路部材１の外周面に固定し、その後、アンプ基板１０上
に導かれるように結線されている。

【００３７】なお、ダミーゲージ５，５′とアンプ基板
１０上の電気的部材との間も、図示されていないゲージ
リードによって適宜に接続されるように構成されてい
る。

【００３８】１５は下側ケーシング７３の端子取り付け
開口７５に取り付けられた気密構造を有する接続端子部
材で、例えば端子取り付け開口７５との接触部分を防湿
用コーティング剤（図示せず）で被覆するような構造に
構成されている。１６はこの接続端子部材１５の内側端
子とアンプ基板１０とを接続するためのリード線であ
る。

【００３９】１７は接続端子部材１５の外側端子と外部
の必要処理装置（図示せず）との間を電気的に接続する
ための、例えば円形断面を有する導出ケーブルである。

【００４０】なお、この導出ケーブル１７を介して外部
に取り出されたひずみ検出回路の電気的出力は、必要処
理装置（例えば、ひずみ測定器）の演算回路手段に導か
れて媒体通路部材１の媒体通路２内のそのときのガス圧
力データに変換され、好ましくは、その変換出力が適宜
の遠隔モニタ手段（図示せず）に入力されるように構成
されている。

【００４１】そして、ひずみ検出回路の電気的出力を遠
隔モニタ手段に入力させるように構成した実施態様で
は、遠隔モニタ手段を担当者の常置個所に設置すれば、
担当者が高清浄度媒体圧力検出装置の所に直接行かなく
とも、媒体通路部材１の媒体通路２内のガス圧力を監視
することが出来るという効果を奏する。

【００４２】１８はケーブル取り出し突起７４に取り付
けられる気密構造の中空状のコネクタ部材で、導出ケー
ブル１７の外周部分を囲繞するような中空状構造のコネ
クタ部材として構成されている。

【００４３】このコネクタ部材１８の先端部外周には、
ケーブル取り出し突起７４の雌ねじ部７６と螺合する雄
ねじ部（図示せず）が設けられ、例えば導出ケーブル１
７と接続端子部材１５との接続が終了した後に、この雄
ねじ部とケーブル取り出し突起７４の雌ねじ部７６との
螺合作用によってコネクタ部材１８をケーブル取り出し
突起７４の中空空間部７４ａ内に強固に結合し得るよう
に構成されている。

【００４４】しかも、自身の中空部分（図示せず）に
は、後述するケーブルクランプ部材１９の雄ねじ部１９
ａとの螺合作用により導出ケーブル１７を外側方向から
締め付けるための雌ねじ部（図示せず）が設けられてい
る。

【００４５】１９はこのコネクタ部材１８側の雌ねじ部
に螺合する雄ねじ部１９ａを備えた中空状のケーブルク
ランプ部材で、コネクタ部材１８と同様に、例えば接続
端子部材１５との接続が終了した導出ケーブル１７の外
周部分を囲繞するような状態でコネクタ部材１８側の雌
ねじ部に螺合するように構成され、このコネクタ部材１
８側の雌ねじ部と自身の雄ねじ部１９ａとのとの間に生
じる締め付け力を利用して、導出ケーブル１７の外周部
分を強く圧縮してケーブル取り出し突起７４の中空空間
部７４ａ内の気密を充分に保持し得るように構成されて
いる。なお、この場合の構造例については、後述する端
部結合手段の項で併せて説明することにする。

【００４６】２０はそれ自体公知の構造より成るケーブ
ル取り付け補強部材で、例えば四角形断面を有する合成
樹脂の線材を螺旋状に巻いてフレキシブルな性質を付与
した構造のものとして構成されている。

【００４７】このケーブル取り付け補強部材２０は、導
出ケーブル１７が何等かの理由で動揺したとき等に生じ
る導出ケーブル１７の外周部分とケーブルクランプ部材
１９の中空部分（図示せず）との直接接触を防ぎ、この
直接接触により生じる導出ケーブル１７の外周部分の損
傷およびケーブル１７の繰り返し折曲げに伴う疲労破壊
を防止するためのものであり、その一端部がケーブルク
ランプ部材１９に固定され、他端部が自由端として導出
ケーブル１７の外周を巻回するように設けられている。

【００４８】次に、このような構成から成る第一実施例
の高清浄度媒体圧力検出装置の組立法ないし作用につい
て説明する。先ず、起歪部３の表面および起歪部３の左
右近傍に位置する媒体通路部材１の外周面を充分に洗浄
してから、起歪部３の表面上の所定個所にアクティブゲ
ージ４，４′を添着し、必要に応じて起歪部３の左右近
傍に位置する媒体通路部材１の外周面上の所定個所にダ
ミーゲージ５，５′を添着する。

【００４９】一方、アンプ基板１０の上下両面に、各種
補償電気抵抗器群１１、アンプ１２、オペアンプ１３を
始めとするひずみ検出回路を構成する各電気的部材を配
設してそれぞれ所定通りに結線し、結線終了後のアンプ
基板１０を、適宜の手段を介してケーシング部材７の上
側ケーシング７２のアンプ基板取り付け部に取り付け
る。

【００５０】また、ケーシング部材７の下側ケーシング
７３の端子取り付け開口７５に接続端子部材１５を取り
付け、さらに、例えばその外側部分を防湿用コーティン
グ剤で覆うようにして端子取り付け開口７５と接続端子
部材１５との間の気密状態を確立する。

【００５１】このようにして媒体通路部材１、ケーシン
グ部材７の上側ケーシング７２および下側ケーシング７
３の準備作業が終了したならば、媒体通路部材１側のア
クティブゲージ４，４′およびダミーゲージ５，５′と
上側ケーシング７２側のアンプ基板１０上の各電気的部
材とをゲージリード１４を使用して電気的に接続し、さ
らに、アンプ基板１０上の各電気的部材と下側ケーシン
グ７３側の接続端子部材１５とをリード線１６を用いて
電気的に接続する。

【００５２】その後、アンプ基板１０付きの上側ケーシ
ング７２を、その左右ケーシング壁に設けた下向き半円
形の開口を媒体通路部材１の上半部の外周面に嵌合させ
ながら上方から媒体通路部材１の所定個所に取り付け
る。

【００５３】また、接続端子部材１５付きの下側ケーシ
ング７３を、その左右ケーシング壁に設けた上向き半円
形の開口を媒体通路部材１の下半部の外周面に嵌合させ
ながら下方から媒体通路部材１の所定個所に取り付け
る。

【００５４】そして、上側ケーシング７２と下側ケーシ
ング７３とを接合面７１で衝き合せるように結合してケ
ーシング部材７を完成させてから、例えば溶接法を利用
して上側ケーシング７２と下側ケーシング７３とを、ケ
ーシング部材７内部の気密を保持し得るような状態で媒
体通路部材１の外周面に強固に結合させる。

【００５５】このようにして媒体通路部材１とケーシン
グ部材７との結合が終了したならば、コネクタ部材１８
およびケーブルクランプ部材１９のそれぞれの中空部に
導出ケーブル１７を貫通させ、さらに、この状態で導出
ケーブル１７を下側ケーシング７３のケーブル取り出し
突起７４の中空空間部７４ａ内に挿入して、導出ケーブ
ル１７の内部導線を下側ケーシング７３側の接続端子部
材１５に電気的に接続させる。

【００５６】そして、両者１５，１７の接続後に、ケー
ブル取り出し突起７４の雌ねじ部７６とコネクタ部材１
８側の雄ねじ部（図示せず）との螺合作用を利用して、
コネクタ部材１８をケーブル取り出し突起７４に強固に
結合させ、さらに、ケーブルクランプ部材１９の雄ねじ
部１９ａとコネクタ部材１８側の雌ねじ（図示せず）と
の螺合作用を利用して、ケーブルクランプ部材１９をコ
ネクタ部材１８に取り付ける。

【００５７】この際、コネクタ部材１８の中空部分とケ
ーブルクランプ部材１９の先端外周部分との間に例えば
Ｏリングのようなパッキング部材（図示せず）を介在さ
せ、ケーブルクランプ部材１９とコネクタ部材１８との
螺合作用によりこのパッキング部材を導出ケーブル１７
の外周面に圧接させて、導出ケーブル１７とケーブル取
り出し突起７４の中空空間部７４ａとの間の気密保持を
図るように構成することが好ましい。

【００５８】そして、ケーブル取り出し突起７４に取り
付けられた導出ケーブル１７の外周には、ケーブルクラ
ンプ部材１９と一体化されたケーブル取り付け補強部材
２０が取り付けられており、導出ケーブル１７の損傷の
原因となるケーブルの動揺時（繰り返し折曲げ）におけ
る導出ケーブル１７とケーブルクランプ部材１９との直
接接触を防ぐようにする。

【００５９】この状態において媒体通路部材１の媒体通
路２の内周面２ａを充分に洗浄し、併せて、第一実施例
の高清浄度媒体圧力検出装置を取り付けるべきエッチン
グ用ガスの供給装置側の供給装置媒体通路部材（図示せ
ず）内も充分に洗浄した後、後述する端部結合手段を用
いて媒体通路部材１の両方の端部１ａ，１ｂと供給装置
媒体通路部材とを充分な気密保持を図りながら接続す
る。

【００６０】このようして高清浄度媒体圧力検出装置と
エッチング用ガスの供給装置との接続が終了したなら
ば、媒体通路部材１の媒体通路２内に圧力測定対象であ
る媒体を充填し、この媒体の圧力が変化したときには、
図３に示すように、その変化に伴う起歪部３の左右方向
Ｂへの変形量を一対のアクティブゲージ４，４′で検出
すると共に、ダミーゲージ５，５′で検出時における温
度影響を検出して、それらの検出値をブリッジ電圧ｅｉ
が印加されたホイートストンブリッジ回路６を含むひず
み検出回路で上記温度影響が除去されたひずみ量として
検出し、その検出出力ｅｏを演算回路手段で圧力値に再
度変換して例えば遠隔モニタ手段（図示せず）に表示す
るようにする。

【００６１】図５および図６に示すのは、本発明の第二
実施例の構成を一部破断して示す縦断面図および図５の
Ｄ視断面の構成を示すＤ視断面図である。この第二実施
例では、媒体通路部材１０１、起歪部１０３、ケーシン
グ部材１０７の構成が異なり、アンプ基板１０の取り付
け対象部材が第一実施例と相違するだけで、他の構成部
材ないし手段が第一実施例の場合と共通であるので、煩
雑さを避ける意味でこの相違点だけに絞って説明するこ
とにする。

【００６２】図５および図６において、１０１は第二実
施例に使用する例えばステンレス製の媒体通路部材で、
一方の端部１０１ａを含む左側領域１０１Ａと他方の端
部１０１ｂを含む右側領域１０１Ｂとは、いずれも第一
実施例の場合と同様に断面急変部がない比較的細い円筒
状管体として形成され、左側領域１０１Ａと右側領域１
０１Ｂとに挟まれた中間領域１０１Ｃは、その周壁の肉
厚がこれら左側および右側領域１０１Ａおよび１０１Ｂ
における周壁の肉厚よりも可成り厚く形成され四角形断
面管体として形成されている。

【００６３】そして、この媒体通路部材１０１の内部に
は、左側領域１０１Ａ、中間領域１０１Ｃ、右側領域１
０１Ｂをそれぞれ連通的に貫通する中空状の媒体通路１
０２が形成され、その内周面１０２ａは、第一実施例の
場合と同様に、例えば複合電解研磨方法によって滑らか
な鏡面仕上げとして形成されている。

【００６４】この場合、中間領域１０１Ｃの四角形断面
の外側寸法は、例えば媒体通路１０２の中心軸線より上
方に位置する周壁部分（以下、「上方周壁部分」とい
う）の肉厚が、媒体通路１０２の中心軸線より下方に位
置する周壁部分（以下、「下方周壁部分」という）の肉
厚よりも厚くなるように設定されている。

【００６５】なお、後述する起歪部１０３を除く中間領
域１０１Ｃの下方周壁部分の一部には、前述のアンプ基
板１０用の取り付け部が設けられ、ここにアンプ基板１
０を取り付けるように構成されているが、このアンプ基
板１０の取り付け部の違いが第一実施例との違いとな
る。

【００６６】１０３は媒体通路部材１０１の中間領域１
０１Ｃの下方周壁部分に形成された起歪部で、図示のよ
うに、中間領域１０１Ｃの下方周壁部分の下面より凹ん
だ状態に、しかも、起歪部１０３の表面（下向き面）
が、例えば媒体通路１０２の中心軸線に対して平行な平
面になるように形成されている。

【００６７】この場合、起歪部１０３は、例えばミーリ
ング加工法を用いて、媒体通路１０２の中心軸線から中
間領域１０１Ｃの下方周壁部分の下面までの寸法よりも
小さい寸法ｗ（図６参照）で下方周壁部分を削ぎ落とし
た平面であって、しかも、滑らかな研磨面として形成さ
れている。なお、起歪部１０３の長さ方向の寸法は、必
要に応じた値に設定されることになる。

【００６８】従って、起歪部１０３における周壁厚さ
は、左側領域１０１Ａ、右側領域１０１Ｂにおける周壁
厚さおよび中間領域１０１Ｃの下方周壁部分における起
歪部１０３以外の部分の周壁厚さよりも薄肉に形成され
ることになる。

【００６９】なお、媒体通路部材１０１の両方の端部１
０１ａおよび１０１ｂは、第一実施例の場合と同様に、
端部結合手段を介して供給装置媒体通路と連通的に接続
されるように構成されている。

【００７０】１０７は起歪部１０３を覆うように媒体通
路部材１０１の中間領域１０１Ｃの下方周壁部分に結合
された中空状のケーシング部材で、アンプ基板１０を内
蔵し得るような単純な箱状構造物として構成され、その
下部外側には、第一実施例のケーブル取り出し突起７４
と同一構造のケーブル取り出し突起１７４が設けられて
いる。

【００７１】なお、このケーシング部材１０７は、最終
工程において、例えば溶接法を利用して媒体通路部材１
０１の中間領域１０１Ｃの下方周壁部分の下面に、ケー
シング部材１０７内の気密を保持し得るような状態で強
固に結合されるように構成されている。

【００７２】この第二実施例の高清浄度媒体圧力検出装
置の組立法ないし作用は、第一実施例の場合と基本的に
同じであるので、下記（ａ）〜（ｆ）などの作業につい
ての説明は、煩雑さを避ける意味で省略することにす
る。

【００７３】（ａ） 起歪部１０３の表面上へのアクテ
ィブゲージ４，４′の添着作業（ダミーゲージ５，５′
を添着する必要のあるときには、その添着作業を含
む）。

【００７４】（ｂ） アンプ基板１０にひずみ検出回路
を構成する各電気的部材を配設し且つ結線する作業。

【００７５】（ｃ） ケーシング部材１０７のケーブル
取り出し突起１７４と接続端子部材１５との結合作業お
よび両者１７４，１５間の気密状態を確立する作業。

【００７６】（ｄ） アンプ基板１０上の各電気的部材
とアクティブゲージ４，４′および接続端子部材１５と
の電気的な接続作業 （ｅ） ケーシング部材１０７のケーブル取り出し突起
１７４とコネクタ部材１８との結合作業およびコネクタ
部材１８に対するケーブルクランプ部材１９の結合作
業。

【００７７】（ｆ） 接続端子部材１５への導出ケーブ
ル１７の電気的な接続作業、並びに、ケーブルクランプ
部材１９による導出ケーブル１７とケーブル取り出し突
起１７４の中空空間部との間の気密保持作業。

【００７８】さて、第二実施例では、結線終了後のアン
プ基板１０を適宜の手段を介して媒体通路部材１０１の
中間領域１０１Ｃのアンプ基板用取り付け部に取り付け
ることになる。

【００７９】また、第二実施例では、溶接法を利用し
て、ケーシング部材１０７を媒体通路部材１０１の中間
領域１０１Ｃの下方周壁部分の下面にケーシング部材１
０７内の気密を保持し得るような状態で結合するように
構成されており、これらの点が第一実施例との相違点と
なる。

【００８０】図７および図８に示すのは、第二実施例の
変形例である本発明の第三実施例の構成を示す縦断面図
および図７のＥ−Ｅ矢視方向断面の構成を示す断面図で
ある。

【００８１】前述の第二実施例では、媒体通路部材１０
１の中間領域１０１Ｃを四角形断面管体として形成して
いるが、これを大円形断面管体として構成した場合の実
施例がこの第三実施例である。

【００８２】すなわち、第三実施例の媒体通路部材１０
１′は、第一および第二実施例と同様に、例えばステン
レス製の媒体通路部材として構成されるが、一方の端部
を含む左側領域１０１′Ａと他方の端部を含む右側領域
１０１′Ｂとは、いずれも第一実施例の場合と同様に断
面急変部がない比較的細い円筒状管体として形成され、
中間領域１０１′Ｃは、その周壁の肉厚がこれら左側お
よび右側領域１０１′Ａ、１０１′Ｂにおける周壁の肉
厚よりも大幅に厚く形成され大円形断面管体として形成
されている。

【００８３】そして、その内部には、第二実施例と同様
に、左側領域１０１′Ａ、中間領域１０１′Ｃ、右側領
域１０１′Ｂをそれぞれ連通的に貫通する中空状の媒体
通路１０２′が形成され、その内周面１０２′ａは、第
一および第二実施例の場合と同様に、例えば複合電解研
磨方法によって滑らかな鏡面仕上げとして形成されてい
る。

【００８４】また、この第三実施例でも、起歪部１０
３′は、媒体通路１０２′の中心軸線からｗの寸法を有
する平面として形成され、その下面に、図示は省略した
が、第二実施例のケーシング部材１０７と同一構造を持
つケーシング部材（１０７に相当）が溶接されることに
なる。

【００８５】なお、このように構成された第二および第
三実施例では、媒体通路部材１０１，１０１′の中間領
域１０１Ｃ，１０１′Ｃの下方周壁部分の下面、並び
に、起歪部１０３，１０３′の表面がいずれも下向き面
として構成されているが、これらを第一実施例の場合の
ように上向き面として構成することも可能である。但
し、このように構成した場合には、ケーブル取り出し突
起１７４の設置個所を上向きまたは横向きに設定するこ
とが好ましい。

【００８６】そして、第三実施例の高清浄度媒体圧力検
出装置は、媒体通路部材１０１′の中間領域１０１′Ｃ
の断面形状が第二実施例の場合と異なるだけであるた
め、その組立法ないし作用は、第二実施例の場合と同じ
になる。

【００８７】図９および図１０に示すのは、本発明の第
四実施例の構成を示す縦断面図および図９のＦ−Ｆ矢視
方向断面の構成を示す断面図である。

【００８８】この第四実施例は、前述の第一実施例の変
形例として構成されたもので、媒体通路部材２０１を円
筒状管体として構成すると共に、この媒体通路部材２０
１の長さ方向の中間領域に形成される起歪部２０３を、
長さ方向の他の領域の周壁肉厚よりも薄く構成した薄肉
管体の外周面（円筒面）として構成した場合の実施例で
ある。

【００８９】この場合にも、媒体通路２０２の内周面２
０２ａは、他の実施例と同様に、例えば複合電解研磨方
法により滑らかな鏡面仕上げとして形成され、また、起
歪部２０３である薄肉管体の外周面も滑らかな研磨面と
して形成されることになる。

【００９０】図１１および図１２に示すのは、本発明の
第五実施例の構成を一部破断して示す部分縦断面図およ
び図１１のＧ−Ｇ矢視方向断面の構成を示す断面図であ
る。

【００９１】この第五実施例も、前述の第一実施例の変
形例として構成されたもので、媒体通路部材３０１を円
筒状管体として構成すると共に、この媒体通路部材３０
１の長さ方向の中間領域に形成される起歪部３０３を長
さ方向の他の領域の外周面よりも凹ませ、さらに、起歪
部３０３の表面を、媒体通路３０２の中心軸線に対して
凹面を向け且つ媒体通路３０２の内周面３０２ａの曲率
よりも緩い曲率の筒状曲面（例えば、円筒面）として構
成した場合の実施例である。

【００９２】この場合も、起歪部３０３の周壁肉厚は、
長さ方向の他の領域の周壁肉厚、並びに、自身が属する
中間領域の他の部分の周壁肉厚よりも薄く形成されるこ
とになる。

【００９３】図１３および図１４に示すのは、本発明の
第六実施例の構成を示す縦断面図および図１３のＨ−Ｈ
矢視方向断面の構成を示す断面図である。この第六実施
例は、媒体通路部材４０１を円筒状管体として構成する
と共に、この媒体通路部材４０１の長さ方向の中間領域
に互いに１８０°対向する外周面側から所定の深さまで
平面状に削成して形成される起歪部４０３と４０３′を
構成したものである。

【００９４】この場合、起歪部４０３および４０３′の
周壁肉厚は、長さ方向の他の領域の周壁肉厚よりも薄く
設定されることになる。この第六実施例の場合には、起
歪部４０３と軸対称になる個所に起歪部４０３と同じ形
状の起歪部４０３′が形成されるため、媒体通路４０２
内の圧力が変化した際の起歪部４０３の変形量、すなわ
ち、この起歪部４０２，４０３にひずみゲージを添着す
ることにより、そのひずみゲージにより圧力と比例関係
を有する電気信号を検出し得るという効果を奏する。

【００９５】なお、第四〜第六実施例の媒体通路部材２
０１，３０１，４０１を用いた場合の組立法ないし作用
は第一実施例の場合と同じになる。

【００９６】ところで、前述した各媒体通路部材１，１
０１，１０１′，２０１，３０１，４０１の両方の端部
をエッチング用ガスの供給装置の供給装置媒体通路部材
に結合するときには、例えば次に述べるような構成を有
する端部結合手段を使用するものとする。

【００９７】なお、説明に当っては、第一実施例の媒体
通路部材１を各々の媒体通路部材の代表例とし、また、
その左側の端部１ａ（以下、単に「端部１ａ」という）
をエッチング用ガスの供給装置の供給装置媒体通路部材
に接続する場合を代表構成例として説明する。

【００９８】先ず、分解出来ない構成の端部結合手段
を、図１５〜図２０に示す。図１５に示すのは、第一の
構成例から成る端部結合手段３０で、この構成例に用い
られるエッチング用ガスの供給装置の供給装置媒体通路
部材３１は、第一実施例の媒体通路部材１と同径の例え
ばステンレス製の細い円筒状管体として形成されてい
る。

【００９９】この端部結合手段３０では、先ず、媒体通
路部材１の端部１ａの端面と供給装置媒体通路部材３１
の端部３１ａの端面とを衝き合わせ、この状態におい
て、衝き合わせ部分の外周部分を気密保持を図りながら
溶接３２することにより、両方の部材１と３１を結合
（接合）するようにしている。

【０１００】図１６および図１７に示すのは、第二の構
成例から成る端部結合手段３５で、この構成例に用いら
れるエッチング用ガスの供給装置の供給装置媒体通路部
材３６は、その端部３６ａの内部に、媒体通路部材１の
端部１ａが嵌入し得る段付き案内穴３６ｂを有する円筒
状管体として形成されている。

【０１０１】この端部結合手段３５では、先ず、媒体通
路部材１の端部１ａを供給装置媒体通路部材３６の段付
き案内穴３６ｂ内に嵌入させ、この状態において、供給
装置媒体通路部材３６の端部３６ａの端面と媒体通路部
材１の外周面との境界部分を気密保持を図りながら溶接
３７することにより、両部材１と３６を結合するように
している。

【０１０２】図１８および図１９に示すのは、第三の構
成例から成る端部結合手段４０で、この構成例に用いら
れるエッチング用ガスの供給装置の供給装置媒体通路部
材４１は、その端部が部分的な大径部４１ａとして形成
され、その内部に、媒体通路部材１の端部１ａが嵌入し
得る段付き案内穴４１ｂを有する一部大径付きの円筒状
管体として形成されている。

【０１０３】この端部結合手段４０では、媒体通路部材
１と供給装置媒体通路部材４１とを溶接４２して両方の
部材１と３６を結合するが、その結合の仕方は第二の構
成例の場合と同じになる。

【０１０４】図２０に示すのは、第四の構成例から成る
端部結合手段４５で、この構成例に用いられるエッチン
グ用ガスの供給装置の供給装置媒体通路部材３１と媒体
通路部材１との間に管状継ぎ手部材４６を介在させるよ
うに構成した例である。

【０１０５】この端部結合手段４５では、エッチング用
ガスの供給装置の供給装置媒体通路部材３１は、第一の
構成例と同じに細い円筒状管体として形成され、また、
管状継ぎ手部材４６は、その一端部に供給装置媒体通路
部材３１の端部３１ａが嵌入し得る左側段付き案内穴４
６ａを有し、他端部に媒体通路部材１の端部１ａが嵌入
し得る右側段付き案内穴４６ｂを有するように構成され
ている。

【０１０６】この場合、先ず、管状継ぎ手部材４６の左
側段付き案内穴４６ａ内に供給装置媒体通路部材３１の
端部３１ａを嵌入させて、管状継ぎ手部材４６の左側端
面と供給装置媒体通路部材３１の端部３１ａの外周面と
の境界部分を気密保持を図りながら溶接４７し、さら
に、管状継ぎ手部材４６の右側段付き案内穴４６ｂ内に
媒体通路部材１の端部１ａを嵌入させて、供給装置媒体
通路部材４６の右側端面と媒体通路部材１の外周面との
境界部分を気密保持を図りながら溶接４８することによ
り、三つの部材１と４６と３１を結合するようにしてい
る。

【０１０７】次に、分解可能な構成の端部結合手段を、
図２０〜図２３に示す。図２１に示すのは、第五の構成
例から成る端部結合手段５０で、この構成例に用いられ
るエッチング用ガスの供給装置の供給装置媒体通路部材
５１は、その端部の外周領域に雄ねじ部５１ａを有し、
その左側の外周領域に外周鍔部５１ｂを有するように構
成され、さらに、端部の内部には、雌テーパー部５１ｃ
とそれに引き続く段付き案内穴５１ｄとが形成されてい
る。

【０１０８】この場合、段付き案内穴５１ｄは、媒体通
路部材１の端部１ａが嵌入し得るように構成されること
になる。５２は媒体通路部材１の外周部分に緩く嵌合す
るように取り付けられたナット部材で、その内部には、
供給装置媒体通路部材５１の雄ねじ部５１ａと螺合する
雌ねじ部５２ａとそれに引き続く内周鍔部５２ｂとが形
成されている。

【０１０９】５３は供給装置媒体通路部材５１の雌テー
パー部５１ｃとナット部材５２の内周鍔部５２ｂとの間
に挟まれるように取り付けられるパッキング部材で、例
えば合成ゴム製合成樹脂、軟質の金属などにより構成さ
れている。

【０１１０】この端部結合手段５０では、先ず、ナット
部材５２およびパッキング部材５３を媒体通路部材１の
端部１ａの外周部分に緩く取り付け、その後、媒体通路
部材１の端部１ａを供給装置媒体通路部材５１の段付き
案内穴５１ｄ内に嵌入する。このとき、パッキング部材
５３は、供給装置媒体通路部材５１の雌テーパー部５１
ｃに挿入する。

【０１１１】この状態で、ナット部材５２の雌ねじ部５
２ａを供給装置媒体通路部材５１の雄ねじ部５１ａに螺
合させてから、供給装置媒体通路部材５１の外周鍔部５
１ｂをスパナ等の工具を用いて固定しながらナット部材
５２を回転させる。

【０１１２】そして、ナット部材５２の内周鍔部５２ｂ
と供給装置媒体通路部材５１の雌テーパー部５１ｃとの
協同作用でパッキング部材５３を、図示のように左方向
に変形させながら供給装置媒体通路部材５１の端部１ａ
の外周面に強く圧着させるように締め付ける。そのた
め、供給装置媒体通路部材５１は、このパッキング部材
５３の圧着力によって供給装置媒体通路部材５１に強固
に結合されることになる。

【０１１３】なお、前述したように、導出ケーブル１７
の内部導線を下側ケーシング７３側の接続端子部材１５
に電気的に接続させた後に、ケーブル取り出し突起７４
の雌ねじ部７６とコネクタ部材１８側の雄ねじ部との螺
合作用を利用して、コネクタ部材１８をケーブル取り出
し突起７４に強固に結合させ、さらに、ケーブルクラン
プ部材１９の雄ねじ部１９ａとコネクタ部材１８側の雌
ねじとの螺合作用を利用して、ケーブルクランプ部材１
９をコネクタ部材１８に取り付けるケースでは、この図
２１に示すような結合方法（締め付け方法）を用いて、
導出ケーブル１７をケーブル取り出し突起７４側に固定
するように構成するとよい。

【０１１４】そして、このように構成するケースでは、
媒体通路部材１に相当する部材が導出ケーブル１７とな
り、ナット部材５２に相当する部材がコネクタ部材１８
となり、さらに、供給装置媒体通路部材５１に相当する
部材がケーブルクランプ部材１９となる。この場合、コ
ネクタ部材１８とケーブルクランプ部材１９との間に介
在させるパッキング部材（図示せず）は、図２１のよう
なパッキング部材５３となる。

【０１１５】このケースでは、ケーブルクランプ部材１
９を回転させてパッキング部材（５３に相当する部材）
を締め付けると、このパッキング部材が変形しながら導
出ケーブル１７（１に相当する部材）の外周面に圧着し
て３つの部材１７〜１９を強固に結合することになる。

【０１１６】図２２および２３に示すのは、第六の構成
例から成る端部結合手段５５で、この構成例に用いられ
るエッチング用ガスの供給装置の供給装置媒体通路部材
５６は、その端部の外周領域に雄ねじ部５６ａを有し、
その後方の外周領域に外周鍔部５６ｂを有し、さらに、
端部の先端には雄テーパー部５６ｃを有するように構成
されている。

【０１１７】一方、この構成例に用いられる媒体通路部
材１の端部１ａには、部分的な大径部５７が形成され、
さらに、その先端内部には、供給装置媒体通路部材５６
の雄テーパー部５６ｃに対応する雌テーパー部５７ａが
形成されるように構成されている。

【０１１８】５８は大径部５７より右側の媒体通路部材
１の外周部分に緩く嵌合するように取り付けられたナッ
ト部材で、その内部には、供給装置媒体通路部材５６の
雄ねじ部５６ａと螺合する雌ねじ部５８ａが形成されて
いる。

【０１１９】この端部結合手段５５では、先ず、ナット
部材５８を媒体通路部材１の大径部５７より右側の媒体
通路部材１の外周部分に緩く嵌合するように取り付け、
その後、媒体通路部材１の雌テーパー部５７ａと供給装
置媒体通路部材５６の雄テーパー部５６ｃとを嵌合さ
せ、この状態で、ナット部材５８の雌ねじ部５８ａを供
給装置媒体通路部材５６の雄ねじ部５６ａに螺合させて
から、供給装置媒体通路部材５６の外周鍔部５６ｂを固
定しながらナット部材５８を回転させる。

【０１２０】そのため、媒体通路部材１の雌テーパー部
５７ａと供給装置媒体通路部材５６の雄テーパー部５６
ｃとが緊密に嵌合した状態（気密が保持された状態）で
両部材１と５６が強固に結合されることになる。

【０１２１】この場合、供給装置媒体通路部材５６の雄
テーパー部５６ｃと媒体通路部材１の雌テーパー部５７
ａの間に、例えば合成ゴム製のＯリングから成るパッキ
ング部材を介在させることも可能である。

【０１２２】このように構成された第一〜第六の端部結
合手段３０，３５，４０，４５，５０，５５は、いずれ
も供給装置媒体通路部材３１，３６，４１，５１，５６
の媒体通路の内周面と媒体通路部材１の媒体通路２の内
周面２ａとを、同じような条件を持つ内周面として形成
することが可能となるため、供給装置媒体通路部材と媒
体通路部材１とを、全体の媒体通路に対して断面急変部
がない状態で接続することが出来るようになる。従っ
て、本発明の高清浄度媒体圧力検出装置に使用する端部
結合手段としては、極めて有効であると云える。

【０１２３】以上、図示実施例について説明したが、本
発明は、これに限定されるものではなく、その要旨を逸
脱しない範囲内で種々に変形実施することが可能であ
る。例えば、図示実施例ではエッチング用ガスの供給装
置に適用した例について説明したが、例えば、クリーン
ルームに使用される空気清浄機器や圧力液体を使用する
加工機器の場合などにも適用することが出来る。

【０１２４】また、図示実施例では、起歪部の表面を媒
体通路部材の長さ方向の他の部分の外周面よりも凹ませ
るように構成してあるが、事情が許すならば、特に凹ま
せないでもよい。すなわち、媒体通路部材を、太さの一
様な断面急変部がない、例えばステンレス製の比較的細
い円筒状または四角形断面の管体として構成することも
可能である。

【０１２５】また、ひずみ検出回路の構成、並びに、ア
ンプ基板を始めとするひずみ検出回路に必要な電気回路
部材の構成については、図示実施例の構成に限定される
ものではないことを勿論である。

【０１２６】

【発明の効果】以上述べたように、本発明を用いるとき
は、下記のような種々の効果を奏し得る新しい形式の高
清浄度媒体圧力検出装置を提供することができる。

【０１２７】（１） 高清浄度媒体圧力検出装置の媒体
通路を断面急変部がなく、しかも、測定対象媒体に接す
る媒体通路内周面を凹凸のない滑らかな面として形成さ
れることになるので、分解洗浄に際して完全且つ容易に
洗浄作業をすることが可能になる。

【０１２８】そのため、組み立て時は勿論のこと、洗浄
作業中および洗浄作業後においても、例えば０．０５μ
ｍ程度の大きさの有害な塵埃の付着ないし残留現象を完
全に防止することが出来る。

【０１２９】（２） 高清浄度媒体圧力検出装置の構造
を非常にシンプルな構造として構成することが出来る。

【０１３０】（３） 高清浄度媒体圧力検出装置とエッ
チング用ガスの供給装置などの圧力測定対象装置との結
合手段として、前述の各構成例を選択することが可能で
あるので、このような結合手段を使用した場合には、測
定対象媒体の全体的通路に対する有害な塵埃の発生、付
着、残留、外部からの侵入現象を防止することが出来
る。

【０１３１】（４） 高清浄度媒体圧力検出装置の圧力
表示を遠隔モニタし得るように構成することが可能にな
り、このように構成した場合には、媒体圧測定作業を能
率よく行うことが出来る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の高清浄度媒体圧力検出装置に係る第一
実施例の構成を一部破断して示す縦断面図である。

【図２】図１の第一実施例に係るＡ−Ａ矢視方向断面の
構成を一部破断して示す部分断面図である。

【図３】図１の高清浄度媒体圧力検出装置を構成する媒
体通路部材の起歪部におけるひずみ検出作用を説明する
ための作用説明図である。

【図４】図１の高清浄度媒体圧力検出装置に使用するひ
ずみ検出回路の一部を構成するホイートストンブリッジ
回路側を示す回路図である。

【図５】本発明の高清浄度媒体圧力検出装置に係る第二
実施例の構成を一部破断して示す部分縦断面図である。

【図６】図５の第二実施例に係るＤ−Ｄ矢視方向断面の
構成を示す部分断面図である。

【図７】本発明の高清浄度媒体圧力検出装置に係る第三
実施例の構成を示す縦断面図である。

【図８】図７の第三実施例に係るＥ−Ｅ矢視方向断面の
構成を示す断面図である。

【図９】本発明の高清浄度媒体圧力検出装置に係る第四
実施例の構成を示す縦断面図である。

【図１０】図９の第四実施例に係るＦ−Ｆ矢視方向断面
の構成を示す断面図である。

【図１１】本発明の高清浄度媒体圧力検出装置に係る第
五実施例の構成を一部破断して示す部分縦断面図であ
る。

【図１２】図１１の第五実施例に係るＧ−Ｇ矢視方向断
面の構成を示す断面図である。

【図１３】本発明の高清浄度媒体圧力検出装置に係る第
六実施例の構成を示す縦断面図である。

【図１４】図１３の第六実施例に係るＨ−Ｈ矢視方向断
面の構成を示す断面図である。

【図１５】図１の高清浄度媒体圧力検出装置の媒体通路
部材とエッチング用ガスの供給装置の供給装置媒体通路
部材とを結合するときに使用する端部結合手段に係る第
一の構成例を説明するための部分縦断面図である。

【図１６】図１の高清浄度媒体圧力検出装置の媒体通路
部材とエッチング用ガスの供給装置の供給装置媒体通路
部材とを結合するときに使用する端部結合手段に係る第
二の構成例を説明するための部分縦断面図である。

【図１７】図１６の端部結合手段に使用するエッチング
用ガスの供給装置の供給装置媒体通路部材側の構成を示
す部分縦断面図である。

【図１８】図１の高清浄度媒体圧力検出装置の媒体通路
部材とエッチング用ガスの供給装置の供給装置媒体通路
部材とを結合するときに使用する端部結合手段に係る第
三の構成例を説明するための部分縦断面図である。

【図１９】図１８の端部結合手段に使用するエッチング
用ガスの供給装置の供給装置媒体通路部材側の構成を示
す部分縦断面図である。

【図２０】図１の高清浄度媒体圧力検出装置の媒体通路
部材とエッチング用ガスの供給装置の供給装置媒体通路
部材とを結合するときに使用する端部結合手段に係る第
四の構成例を説明するための部分縦断面図である。

【図２１】図１の高清浄度媒体圧力検出装置の媒体通路
部材とエッチング用ガスの供給装置の供給装置媒体通路
部材とを結合するときに使用する端部結合手段に係る第
五の構成例を説明するための部分縦断面図である。

【図２２】図１の高清浄度媒体圧力検出装置の媒体通路
部材とエッチング用ガスの供給装置の供給装置媒体通路
部材とを結合するときに使用する端部結合手段に係る第
六の構成例における供給装置媒体通路部材の構成を説明
するための部分縦断面図である。

【図２３】図１８の端部結合手段に作用するエッチング
用ガスの供給装置の供給装置媒体通路部材側の構成を説
明するための部分縦断面図である。

【図２４】従来のエッチング用ガスの供給装置の構造を
示す概略構成図である。

【図２５】従来のエッチング用ガスの供給装置に利用さ
れているブルドン管式圧力計の概略構造および作用原理
を示す原理構成図である。

【符号の説明】

１ 第一実施例の媒体通路部材 １ａ，１ｂ 両方の端部 ２ 媒体通路 ２ａ 内周面 ３ 起歪部 ４，４′ アクティブゲージ ５，５′ ダミーゲージ ６ ホイートストンブリッジ回路 ７ 部材 ７１ 接合面 ７２ 上側ケーシング ７３ 下側ケーシング ７４ ケーブル取り出し突起 ７５ 端子取り付け開口 １０ アンプ基板 １１ 各種補償電気抵抗器群 １２ アンプ １３ オペアンプ １４ ケージリード １５ 接続端子部材 １６ リード線 １７ 導出ケーブル １８ コネクタ部材 １９ ケーブルクランプ部材 ２０ ケーブル取り付け補強部材 ３０，３５，４０，４５，５０，５５ 端部結合手段 ３１，３６，４１，５１，５６ 供給装置媒体通路部材 ３１ａ，３６ａ 端部 ４１ａ 大径部 ３２，３７，４２，４７，４８ 溶接 ３６ｂ，４１ｂ，５１ｄ 段付き案内穴 ４６ 管状継ぎ手部材 ４６ａ 左側段付き案内穴 ４６ｂ 右側段付き案内穴 ５１ｂ，５６ｂ 外周鍔部 ５１ｃ 雌テーパー部 ５２，５８ ナット部材 ５２ｂ 内周鍔部 ５３ パッキング部材 ５６ｃ 雄テーパー部 ５７ 大径部 ５７ａ 雌テーパー部 １０１，１０１′第二および第三実施例の媒体通路部材 １０１ａ，１０１ｂ 端部 １０１Ａ，１０１′Ａ 左側領域 １０１Ｂ，１０１′Ｂ 右側領域 １０１Ｃ，１０１′Ｃ 中間領域 １０２，１０２′ 媒体通路 １０２ａ，１０２′ａ 内周面 １０３，１０３′ 起歪部 １０７ ケーシング部材 １７４ ケーブル取り出し突起 ２０１ 第四実施例の媒体通路部材 ２０２ 媒体通路 ２０２ａ 内周面 ２０３ 起歪部 ３０１ 第五実施例の媒体通路部材 ３０２ 媒体通路 ３０２ａ 内周面 ３０３ 起歪部 ４０１ 第六実施例の媒体通路部材 ４０２ 媒体通路 ４０３，４０３′ 起歪部 Ｔ トランジスタ Ｇ エッチング用ガス ６０１ 供給管路 ６０２ 流量コントローラ

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 媒体通路である内部空間の断面に断面急
   変部がない剛体製の管体として構成されると共に前記媒
   体通路の内周面が滑らかな面として形成され、且つ、両
   端部分において圧力検出対象機器の媒体通路と連通的に
   接続される媒体通路部材と、 この媒体通路部材の長さ方向の中間領域における周壁外
   周面に設定された起歪部と、 この起歪部の表面に添着され且つ自身の電気的出力を外
   部に取り出すためのゲージリードが接続された少なくと
   も１個のひずみゲージと、 少なくとも前記起歪部を覆い得るように前記媒体通路部
   材の周壁部分の全周面または一部の周面に結合され、且
   つ、前記ひずみゲージのリード線を外部に取り出すため
   のリード線導出部を自身の壁部に備えた中空状のケーシ
   ング部材と、を有するように構成したことを特徴とする
   高清浄度媒体圧力検出装置。
2. 【請求項２】 前記起歪部の表面が前記媒体通路部材の
   長さ方向の他領域の周壁外面よりも凹んだ状態に形成さ
   れ、且つ、前記起歪部の周壁厚さが前記媒体通路部材の
   長さ方向の他領域の周壁厚さ並びに前記長さ方向の中間
   領域における起歪部以外の部分の周壁厚さよりも薄く形
   成されていることを特徴とする請求項１に記載の高清浄
   度媒体圧力検出装置。
3. 【請求項３】 前記媒体通路部材が直線状の円筒状管体
   として形成され、しかも、前記起歪部の表面が前記媒体
   通路の中心軸に対して平行な平面になるように形成され
   ていることを特徴とする請求項２に記載の高清浄度媒体
   圧力検出装置。
4. 【請求項４】 前記媒体通路部材が直線状の円筒状管体
   として形成され、前記起歪部の表面が、前記媒体通路の
   中心軸に対して凹面を向け且つ前記媒体通路の内周面の
   曲率よりも緩い曲率の筒状曲面として形成されているこ
   とを特徴とする請求項２または３に記載の高清浄度媒体
   圧力検出装置。
5. 【請求項５】 前記媒体通路部材の中間領域における周
   壁の肉厚が前記媒体通路部材の長さ方向の他領域におけ
   る周壁の肉厚よりも厚く形成され、且つ、前記中間領域
   における前記起歪部の周壁部分の肉厚が、前記中間領域
   における前記起歪部以外の周壁部分の肉厚よりも薄く形
   成されていることを特徴とする請求項１ないし４に記載
   の高清浄度媒体圧力検出装置。
6. 【請求項６】 前記起歪部の近傍位置であって前記媒体
   通路部材の表面領域に、自身の電気的出力を外部に取り
   出すためのリード線が接続された少なくとも１個のダミ
   ーゲージを添着して成ることを特徴とする請求項１ない
   し５のいずれかに記載の高清浄度媒体圧力検出装置。