JPS5822982B2 - 一体形流体式角度速度検出器及びその製造方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は流体式角速度検出器に係り、特にその機械的
および電気的構造の改良に係る。

公知の流体式角速度検出器は米国特許第 ３．５８７，３２８号および同第３．６２６，７６５号
に開示されているものにより代表されている。

この流体式角速度検出器においては、不活性ガスのよう
な適当な流体が加圧されて、ノズルから一対の感温抵抗
素子に向って噴射されており、その相対的力量が感度面
内で（角回転時のように）変化すると、前記の一対の感
温抵抗素子が差動的に冷却される。

感温抵抗素子は典型的にタングステン組線であり、ノズ
ル孔の中心線上に、それと反対側に配設されている。

前記米国特許第３，５８７，３２８号によれば、二つの
圧電気結晶を貼り合わせた膜を有する振動膜式エンレイ
メント・ポンプが流体の加圧を行なっている。

この型式の流体式角速度検出器は、振動膜以外に可動部
分を有さず、また、いかなる回転部分も有していない。

したがって、この検出器は、製造コス１を低減し、始動
時間を短縮し、また長期保管後にも信頼性の高い作動を
行なう可能性を理論的に具備している。

しかし、実際には、このような検出器の製造と整合は難
しく、その保管中の経時変化さ温度の影響により作動特
性に変動を生ずること上相いまって、その理論的な可能
性を十分に発揮することができなかった。

製造コストの低減は、生産ラインにおける再作業（製造
中のばらつきの睦合による不良品の手直し、あるいは、
多数の需要家の仕様に合致させるだめの個別の整合校正
作業など）が不可能であるため、十分には達成されてい
ない。

本発明の目的は、角速度検出器をケ・−シングに密封す
る以前に試験すること、密封した後に修理あるいは再作
業のために開封すること、化較的簡卯な組立工程で製造
すること、電気部品の機械的配置による校正と誤差発生
の問題を緩和するこ吉、流体噴射ノズルと感温抵抗素子
が置かれている流体噴射室との整合の問題を解消するこ
と、および、感温抵抗素子と噴射ノズルとの整合の問題
を減少することである。

本発明によれば、流体噴射ノズルと流体噴射室とを一体
に形成しているノズル・ブロックと、それに正確かつ堅
固に装着された検出素子プラグ組立体とが検出用の一体
形部分組立体を成している３この一体構造により噴射ノ
ズルと噴射室との整合および感温抵抗素子と噴射ノズル
から噴射される流体との整合が容易になる。

また、この一体形部分組立体は、本発明によりケーシン
グに装着する以前に、その初期試験および／あるいは整
合を行なうことができる。

さらに本発明によれば、流体式角速度検出器の内部要素
は止めナツトから均等に加えられる押圧力によってケー
シングに装着されるようになっており、ケーシングを気
密に封する以ＭｉＪに内部要素をケーシングに装入して
試１験することができる。

これにより組立ラインにおける事前試験と再作業が容易
になり、また、製品の分解と修理も容易になる。

さらにまた本発明によれば、止めナツトの押圧力は、ば
ね機構を介して、ケーシング内の要素に加えられており
、製造−上の公差に起因して押圧力が不均等に加わるこ
とがないようになっている。

本発明によれは、さらに、流体式角速度検出器の内部要
素は市めナツトによってケーシングに機械的に固着され
るので、気密封じのための溶接部によって機械的一体化
を行なう必要はなく、小さな溶接リップと比較的小さな
溶接ビードにより気密溶接を行なっている。

したがって、容易に気密封じを除去し、内部要素をケー
シングから取りはずして、流体式角速度検出器の修理を
行なうことができる。

次に電気的構造について本発明によりは、角速度の電気
的指示を与えるよう感温抵抗素子の電気抵抗の差を測定
するために用いられる電気的ブリッジ回路の要素のすべ
ては、感温抵抗素子に隣接して直接に取り付けられてい
る。

こうして一体形要素のなかでブリッジ回路を完成してい
るので、そこから外部への配線の抵抗値が接続導線の温
度による影響あるいは半田付は個所の接続抵抗の大小な
どにより変化したとしても、ブリッジの平衡条件に狂い
を生じない。

もし、これらの配線がブリッジ回路の内部に含まれてい
たとすれば、配線の抵抗値の変化が感温抵抗素子の差動
的冷却による抵抗値の変化と同様にブリッジの不平衡出
力を生ずるという不都合をきたす。

また、本発明によれは、ケーシングに封入する以前に、
完全なブリッジ回路の事前試験を行なうことができる。

本発明の上記および他の目的、特徴および利益は以下に
その好ましい実施例につき添付図面を参照しつつ詳細に
説明するなかで一層明らかとなろう。

第１図は本発明による流体式角速度検出器の機械的要素
の分解斜視図である。

また第２図はその側面図であり、一部は断面図、また一
部は切欠き図により図解している。

ただし、第２図の断面図は、本発明による検出器の各部
の関係を一層明白に図解するために、直径を厳密に横切
るものではなく、また、第１図と比較して、各部の相対
角度に関して完全に正確なものではない。

さて第１図および第２図を参照すると、本発明による流
体式角速度検出器あるいはジャイロは、第一の近接端部
１１および閉端部１２を有するケーシング１０に収納さ
れた内部要素を含み、また、肩部１３を境にして二つの
直径を有する一般的に薄肉の円筒部を含む。

肩部１３の内側には、後で詳記するように、絶縁電線を
傷一つける可能性を減するため而取り部１４が加工され
ている。

近接端部１１の付近Ｏこ、ケーシング１０は、後記する
ように、内部要素をケーシング内の位置に固定する止め
ナツト９０と螺合するための内側ねじ部１５を含む。

その閉端部１２において、ケーシング１０は端部カバー
１６（第２１図）を含み、その周縁には溝が加工されて
おり、溶接リップ１７を形成している。

この溶接リップにより端部カバー１６をケーシング１０
の円筒状壁部に最少の熱と材料で容易に溶接することが
でき、この溶接によって構造的一体化ばかりでなく気密
封じも行なっている。

近接端部１１において、ケーシングの外側直径はわずか
に小さくなっており、同様な溶接リップ１８を形成して
いる。

ケーシングおよび他の主要な一要素は、３００シリーズ
のステンレス鋼のように、比較的安全な温度で容易に溶
接される非磁性かつ耐食性の材料から成ることが好まし
い。

また溶接ビード１９により溶接を行なうことは、両端部
１１゜１２に再近接するための除去加工が容易な点で、
好ましい。

ここで主要素はノズル・ブロック２０であり、この実施
例では、一般的に円筒状を成し、ケーシング１０の二つ
の異なる内径に相い対する二つの異なる外径を有する。

ノズル・ブロック２０をケーシング１０のなかに正しい
姿勢で装入するため、ノズル・ブロック２０の周縁の一
対の高段部２２は正確な直径を有しているが、それらの
中間は低段部２１として逃げている。

ノズル・ブロック２０は主環状溝２３を有し、この溝は
ケーシング１０とともに流体供給マニホルド室２４を形
成している。

このマニホルド室２４には、環状ａ２３の壁に形成され
た流体供給ポート２５から加圧流体が供給される。

環状溝２３の一つの側面には肩部が残されており、この
肩部はケーシング１０の肩部１３の内壁と当接して、ノ
ズル・ブロック２０をケーシング１０に着座させる。

ノズル・ブロック２０にはいくつかの個所に流体供給孔
２６が穿孔されており、加圧流体は供給マニホルド２４
から孔２６を通って、ノズル・ブロック２０と端部カバ
ー１６の中間に形成されている人口マニホルド室２７に
導かれる。

また、ノズル・ブロック２０の主軸を軸としてノズル２
８と噴射室２９が形成されており、流体（典型的にヘリ
ウムのような不活性気体）はノズルから左方に向って噴
射室の内部に噴射される。

ノズル２８に隣接しッて複数個（たとえば４個あるいは
それ以上）の流体スリーブ・ポート３０が設けられてお
り、これらのポートはノズル２８により得られる噴流の
周りを運動する流体のスリーブあるいはカーテンを形成
するよう流体を噴射させ、それにより噴流のなかを運動
する流体の表向効果を緩和している。

ノズル・ブロック２０は四つの絶縁貫通端子３１〜３４
を有する。

その各々は、端子自体と金属製取付スリーブ３６の間に
融かし込んだガラス絶縁管を有しているので、ノズル・
ブロック２０に挿し込み、たとえば接着剤により接着す
ることにより容易に取り付けられる（第２図）。

ノズル・ブロック２０はポンプ取付フランジ３７を有し
、このフランジは内側端ぐり３８と、電線貫通孔３９と
、複数個のフライス加工の溝４０〜４３（後記のように
電線通路用あるいは整合キー用）と、ポンプ整合キー・
ノツチ４４（キー７８と係合、第１図）とを含んでいる
。

またノズル・ブロック２０には、ノズル２８と正確に同
一軸を有する端ぐり４５が精密加工されており、この端
ぐり４５に検出素子プラグ組立体５０を嵌入することに
より一体形部分組立体（ノズル・ブロック組立体）を形
成している。

この構造によりノズルと噴射室２９のなかの検出素子と
を正確に整合させることができる。

検出素子プラグ組立体には複数個の排出ポート５１が設
けられており、そこを通って噴射流体を噴射室２９から
、ポンプ取付フランジ３７のなかに形成された排出室５
２（第２図）へ自由かつ容易に流すことができる。

本発明の流体式角速度検出器の実際の検出素子は、それ
ぞれ超アンバー製柱５６．５７および５８．５９にたと
えば合金溶着５５により取り付けられたタングステン細
線５３．５４のような−対の感温抵抗素子を含む。

超アンバー製柱５６〜５９はガラス６０（第２図）によ
り絶縁されて、検出素子プラグ糾立体５０に固着されて
いる。

感温抵抗線と外側部分との電気的接続は、超アンバー製
柱５９と貫通端子３１に半田付けされ、かつ、後に第３
図および第４図で説明されるようにエポキシ樹脂の小塊
６２により所定位置に保持されている電線により形成さ
れる（この電線は図解されている電線６１のように絶縁
されていることが好ましい）。

ポンプ組立体７０は、支持リング７４の縁部７３にたと
えば接着剤により適当に接着された膜７１を含み、この
膜７１は二つの圧電気結晶を貼り合わせたものであり、
また、そこにはポンプ・オリフィス７２があけられてい
る。

このポンプ組立体は、支持リング７４の膜と反対側の縁
部Ｔ５により、ノズル・ブロック２０の端ぐり３８に着
座している。

前記の米国特許第３，５８７，３２８号に記載されてい
るように、結晶膜７１の両側に交流電圧を印加すると、
この膜が振動して、支持リング７４の内部に形成されて
いるポンプ室７６のなかに大きな圧力脈動を生ずる。

この圧力脈動はポンプ・オリフィス７２を通って排出室
５２のなかの流体を加圧し、加圧流体は流体供給ポート
２５を通って流体供給マニホルド２４に至る。

そこから加圧流体は供給管２６を通って入口マニホルド
２７に至り、ノズル２８および噴流スリーブ・ポート３
０から噴射室２９に噴射される。

アンビル８０は結晶膜支持リング７４の支持縁部７５に
着座しており、それとポンプ組立体γ０の中間のポンプ
室７６に発生する大きな圧力脈動に耐え得るよう十分な
厚みを有している。

このアンビルには電線貫通孔８１があけられており、後
に詳記するように、結晶膜７１への電線接続が容易にな
っている。

またアンビル８０には、電線を通すための複数個の開溝
８２〜８５がフライス加工されており、これらはノズル
・ブロック２０にフライス加工された溝４０〜４３と相
補的になっている。

またアンビル８０には高段部８６が設けられており、円
錐形はね８８（往々ベルビルはねと呼ばれるもの）の位
置決めを容易にしている。

こうしてポンプ組立体７０とアンビル８０がポンプ手段
を構成している。

スパナ孔９２に適合する周知のスパナによりケーシング
１０の内側ねじ部１５のなかにねじ込まれ得る環状止め
ナツト９０によって円錐形はね８８に押圧力が加えられ
る。

もしこのばねを使用しない場合は、内側ねじ部１５と肩
部１３とが完全に整合していないと押圧力が不均等に加
わる結果となるが、このばねを使用することにより、た
とえそれらの整合がそれほど完全でないとしッても、止
めナツト９０からアンビル８０に伝達される押圧力が均
等化されるので、アンビル８０とポンプ組立体７０をノ
ズル・ブロックに確実に着座させることができる。

こうして止めナツト９０と円錐形はね８８が、内部要素
をゲージング１０に固着するための緊締手段を構成して
いる。

ケーシング１０はその近接端部１１において適当な金属
カバーたとえばガラス絶縁された端子ヘッダー９４によ
り完全に封じることができる。

このヘッダー９４は壁リップ９５を有し、それとケーシ
ング１０の壁リップ１８とをビード溶接１９することに
より、ヘッダーをケーシングに非常にわずかな熱で溶接
することができる（なぜならば、二つの溶接リップの熱
容量はケーシングあるいはヘッダーの厚み全体の熱容量
より小さいからである）。

また、そこに形成された溶接ビードは容易に除去できる
ので、ケーシング１０の内部に近接することが容易であ
る（修理を要する時など）。

ヘッダー９４には複数個の絶縁貫通端子９６が設けられ
ており、その各々はガラス９７によりヘッダー９４に絶
縁支持された導電部を有している。

また、不可欠なわけではないがヘッダー９４に配設され
てよいものとして封入管９８がある。

この封入管９８は、ガラスを融か［ッ込んだスリーブの
なかに嵌められた周知のタイプのものであり、本発明に
より組立完了した角速度検出器にヘリウノ・のような不
活性気体を簡単に充満し、かつ簡単に封じるのに用いら
れる。

管９８を押しつぶす（第２図参照）過程において管の壁
が圧着されるような適当な材料、たとえば銀、で管９８
を作ることは好ましい。

また、圧着だけで検出器の保管および作動寿命中の密封
を保証しなくてよいように、管９８を半田付けすること
は好ましい。

さて第３図および第４図を参照すると、本発明の一つの
実施例における部品の配置が、中心軸の周りの位置に関
する限りは、正確に示されている。

一対の基準抵抗１０１，１０２はノズル・プロツり２０
の主環状溝２３のなかに取り付けられており、エポキシ
樹脂などの接着剤により溝２３の左側（第３図を見て）
の壁に接着されている。

基準抵抗１０１，１０２は、感温抵抗素子として作用す
るタングステン細線５３．５４とともに、標準的な測定
ブリッジ回路に接続されている。

このブリッジ回路はタングステン線５３．５４の抵抗の
差を正確に測定して、前記のように検出器の角速度の指
示を与えることができる。

このブリッジ回路は、第３図および第４図に示されてい
るようにタングステン線５３．５４および基準抵抗１０
１１０２から絶縁貫通端子３１〜３４への電気的接続に
より、実際に角速度検出器の内部に構成されている。

詳細には、タングステン線５３の一端は絶縁型ｍ１０６
により貫通端子３３に接続され、そこからさらに絶縁電
線１０７によりタングステン線５４の一端に接続されて
いるので、端子３３はブリッジの零点の一つとなってい
る。

同様に、両抵抗１０１，１０２は貫通端子３１に接続さ
れているので、端子３１はブリッジのもう一つの零点と
なっている。

一対の絶縁電線１０８．１０９はフランジ３７のフライ
ス加工溝４１さアンビル８０のフライス加工溝８３を通
って布線されており、ヘッダー９４の貫通端子９６のそ
れぞれ一つを通じて（その接続個所は第３図では市めナ
ツトにより隠されている）、ブリッジの零点３１゜３３
を図示の角速度検出要素の外部に取り付けられている検
出手段（たとえば増幅器）と相互接続されている。

この検出手段から角速度の指標となる電気的信号が得ら
れるか、このこ吉はすべて当技術分野において公知であ
り、また、前記の米国判・８乍に記載されて−いる。

クングスデン糸泉５３゜５４の他端は、基準抵抗１０１
，１０２の他端とともに、それぞれ絶縁電線１１０，１
１１により、対応する貫通端子３２．３４に接続されて
いる。

したがって貫通端子３２．３４はブリッジの駆動点とな
り、これらはそれぞれ絶縁電線１１２゜１１３により、
フランジ３７のフライス加工溝４３とアンビル８０のフ
ライス加工溝８５を通って、ヘッダー９４の対応する貫
通端−ｆ−９６と接続されている。

ブリッジの１駆動点はさらに貫西端子９６を通じて、図
示の装置の外部にある適当な直流電源と相互接続されて
いるが、このことは公知であり、また、前記米国特許に
Ｔｉｅ載されている。

こうして感温抵抗素子５３．５４および基準抵抗１０１
．１０２を含む全ブリッジ回路が検出器自体の内部で完
全に相互接続されているので、ヘッダー９４への接続電
線と相互接続における変動（線径、長さおよび温度特性
）は、在来公知の角速度検出器と異なり、ブリッジの平
衡状態に影響を及ぼさない。

ポンプ７０を駆動するため、一対の電線１１４゜１１５
が結晶膜７１の両面に半田付けされている。

この半田付は個所は、結晶膜７１の振動の減衰を最小に
とどめるよう、結晶膜の縁に近いことが好ましい。

電線１１４はアンビル８０の孔８１を通って布線される
が、（第３図に示されているように）孔８１は絶縁電線
１１４により実質的に充満されるような口径となってお
り、それによりポンプ室Ｔ６のなかの脈動気体の漏洩を
防止している。

同様に電線１１５はフランジ３７の孔３９を通って布線
されているが、孔３９は電線１１５により実質的に閉塞
されるような［−」径となっており、それにより流体供
給マニホルド室２４のなかの加圧気体がリシ出室５２に
漏洩するのを回道している。

ｍＭ１１５はフランジ３７の溝４０とアンビル８０の溝
８２を通って、１トめナツト９０の内部に形成されてい
る配線用空間に至り、そこで貫通端子９６の一つと接続
されている。

第３図および第４図において、溝４２はそこを通る電線
がないものとして図解されている。

もし弄望されれば、検出器の糸目立、易、にフランジ３
７とアンビル８０の対応する溝のなかの電線１０８，１
０９，１１２゜１１３および１１５の整合を容易にする
ため、フランジ３７の溝４２とアンビル８０の溝８４に
キ・−を挿入して、アンビル８０をノズル・ブロック２
０と正しく整合させることができる。

この整合およびポンプ・オリソイスフ２吉流体供給ポー
ト２５との整合は、ケーシング１０の内部に主要素を組
ケてる作業中にのみ必要な整合である。

感温タングステン線５３．５４吉端子３１〜３４の間を
相互接続する電線１０６，１０７および１１０，１１１
のイＤ線ルート（１、排出ポーＩ・５１（第４図）を通
る気体の自由な流れに干渉（７ないよう、また超アンバ
ー製朴５６〜５９に！与よる歪を緩和し、電線の温度に
よる伸縮によってこれらの柱に歪を及ぼさないよう、彎
曲したルートになっており、その位置にエポキシ樹脂６
２の小塊によって保持されている。

この小塊は図には非常に整った形で示されているが、そ
の形状は任意でよく、特定の形状に決める必要すらない
。

ノズル２８から噴射される気体によりタングステン細線
５３．５４が差動的に冷却されると、それに伴う抵抗変
化力ｓｅ＋１定されて、検出器の角速度が指示される。

この実施例のようにタングステン細線が配設されている
時、検出器の感度面は、第４図を只て左上から右下に４
５度に傾斜し、かつ紙面に垂直な平面である。

角速度検出器はなんらかのシャーシ、たとえば電源と検
出増幅器が取り付けられているシャーシ、に取り付ける
のが普通であるが、それに限らず、任意の装置に検出器
を取り付ける時の取付角度によって、所望の感度面と検
出器の感度面との整合を行なうことができる。

実際、三つの異なる平面（たとえば北、東および上刃、
あるいはピッチ、ロールおよびヨー）内の角速度を測定
し７得るよう、三個の角速度検出器を三つ組に取り付け
るのが普通である。

このことは公知であり、本発明の一部を成すものではな
い。

これまでに本発明の要素を詳細に説明してきたので、そ
の目的吉利益は一層容易に理解されよう。

本発明の第一の主要な特徴は、当初の製造および整合過
程中にも現場で使用後にも、修理のために検出器を分解
できることである。

このことは、内部要素を一括して固着する止めナツト９
０と、近接端部１１において比較的容易に再開放できる
よう簡単に検出器の気密封じを行なうビード溶接１９と
、の絹合わせにより達成されている。

止めナツト９０が機械的歪みのすべてを負相するので、
溶接部１９は気密」」じの役割だけを果せはよい。

近接端部１１における溶接ビード１９を旋盤加工により
除去すれは、ヘッダー９４あるいはケーシング１０を破
損するこさなく、内部要素に再び近接することができる
。

次に、止めナツト９０によ。る一括固着をｉ［能にして
いるのは、アンビル８０に均等な押圧力を加えるようベ
ルビルはね８８を用いていることと、ケーシング１０の
なかζこ固着されなけれはならない主要素が三つ（アン
ビル８０、ポンプ絹＼ｒ体γ０および検出ブロック絹ヴ
体２０ 、５０ ） Ｌかなく、その配列が筒中である
ことである。

さらに、この一括固着を可能にしているのは、ノズル・
ブロック２０の高段部２２の整合機能によりケーシング
１０のなかのノズノ１バブ０ツクの側力移動が防ＩＦさ
れており、これら三つの主要素を相互に正しく整合して
ケーシング内部に保持するのに接着を必要としないこと
である。

本発明の第一の特徴に関連するが、それとは別の第二の
主要な特徴は、ノズル・ブロック２０と検出素子プラグ
５０とが一体形要素を成していることである。

すなわち、検出素子プラグ組立体５０が、ケーシングそ
の他の要素により支持されることなく、ノズル・ブ爾ツ
ク２０の壁のなかに固着され得るので、この一体形要素
を適当な試験装置に取り付けて、ノズル２８から・＼リ
ウム・ガスを流すことにより、ノズルと完全なブリッジ
回路との作動的知合わせをケーシング１０の外部で試１
験できることである。

さらに、すべての要素をケーシング１０の内部に装入し
、止めナツト９０で緊締すれは、止めナツト９０とケー
シング１０とを気密封じのため溶接する以前に、ケーシ
ングに装入した状態での検出器の試験を行ない得るよう
な構造になっている。

本発明のその他の主要な特徴は、基準抵抗１０１．１０
２か検出素子５３．５４とともに一体形要素のなかに取
り付けられており、そこでブリッジ回路を完成している
ので、そこから外部への配線の抵抗値に変化があったと
しても、測定結果に本質的な影響を生じないこと、した
がってまた、検出器の各部をケーシングに封入する以前
に、ブリッジ回路についての試験を行ない得ることであ
る。

本発明のさらにその他の主要な特徴は、この角速度検出
器において最も厳密を要する検出素子５３．５４の整合
が、検出素子５３．５４を検出素子プラグ絹立体５０に
剛固に取り付け、次にこの検出素子プラグ糾立体を、精
密机下された端ぐり４５のなかに密に嵌入するという方
法により、長期にわたり確実に保証されていることであ
る。

これと対照的に、先行技術による角速度検出器において
は、検出素子プラグ糾立体５０吉噴射室２９とノズル２
８とが三つの別個の部分として形成されていたはかりで
なく、その各々がさらに他の部分に対して部分的に位置
決めされており、しかも接着剤により比較的小さな面積
で個別に付着されていたので、それらの相対的整合を検
出器の実質的寿命にわたり保持することができず、また
、衝撃や温度変化によるケーシングの歪に対して非常に
敏感であった。

本発明によれは、検出素子プラグ絹立体と噴射室とノズ
ルとを、ケーシングその他の内部要素により支持するこ
となく、部分組立体として単独に組み立てることができ
、また、ケーシング１０への装入以前に単独に試１験す
ることができる。

本発明の関連する特徴は、ノズル２８に対する検出素子
プラグ組立体５０の整合が、ノズル２８をノズル・ブロ
ック２０の全長に対してその軸に注意深く整合させるこ
とにより、達成されていることである。

換言すれば、ノズルがノズノ匹ブロック２０のなかに止
しく形成されており、ノズルが噴射室２９の軸に対して
傾斜する可能性がないことである（もし、この間に傾斜
があると、検出素子プラグ絹立体に到達する主噴射流体
の位置が横力向に著（７く変化する結果となる）。

他力、検出素子プラグ絹立体は、ノズル・ブロックの一
部として形成されるかわりに、その端壁に装着されてい
るが、もしその姿勢に傾斜があったとしても、ノズルの
姿勢の傾斜のようにノズル・ブロックの全長にわたり拡
大された大きな不整合を惹き起すことにはならないので
ある。

以上に本発明を一つの好ましい実施例について図解し、
説明してきたが、本発明の範囲から逸脱することなく、
種々の変更、省略および追加が行なわれてよいことは当
業者により理解されよう。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による流体式角速度検出器の機械的要素
の分解斜視図である。 第２図は第１図に示されている流体式角速度検出器の側
面図であり、一部は断面図、また一部は切欠き図により
図解している。 第３図は第１図に示されている流体式角速度検出器の側
面の一部分についての部分断面、部分切欠き図である。 第４図は第３図の線４−４に沿った正面断面図である。 １０・・・・・・ケーシング、１１・・・・・・同近接
端部、１２・・・・・・同閉端部、１３・・・・・・同
肩部、１４・・・・・・同面取り部、１５・・・・・・
同内側ねじ部、１６・・・・・・端部カバー、１７．１
８・・・・・・溶接リップ、１９・・・・・・溶接ビー
ド、２０・・・・・・ノズル・ブロック、２１・・・・
・・低段部、２２・・・・・・高段部、２３・・・・・
・主環状溝、２４・・・・・・流体供給マニホルド室、
２５・・・・・・流体供給ポート、２６・・・・・・流
体供給孔、２７・・・・・・人１−１マニホルド室、２
８・・・・・・ノズル、２９・・・・・・噴射室、３０
・・・・・・流体スリーブ・ポート、３１〜３４・・・
・・・絶縁貫通端子、３６・・・・・・取付スリーブ、
３７・・・・・・ポンプ取付フランジ、３８・・・・・
・同内側端ぐり、３９・・・・・・同電線貫通孔、４０
〜４３・・・・・・凹溝、４４・・・・・・同ノツチ、
４５・・・・・・ノズル・ブロックの端ぐり、５０・・
・・・・検出素子プラグ組立体、５１・・・・・・排出
ポート、５２・・・・・・排出室、５３．５４・・・・
・・タングステン細線（感温抵抗素子）、５５・・・・
・・溶着部、５６〜５９・・・・・・超アンバー製の柱
、６０・・・・・・ガラス、７０・・・・・・ポンプ組
立体、７１・・・・・・振動膜、７２・・・・・・ポン
プ・オリフィス、７４・・・・・・支持リング、７６・
・・・・・ポンプ室、８０・・・・・・アンビル、８１
・・・・・・同電線貫通孔、８２〜８５・・・・・・同
開溝、８．６・・・・・・同高段部、８８・・・・・・
円錐形ばね、９０・・・・・・止めナツト、９２・・・
・・・スパナ孔、９４・・・・・・ヘッダー、９５・・
・・・・同リップ、９６・・・・・・同貫通端了−１９
７・・・・・・ガラス、９８・・・・・・封入管、１０
１〜１０２・・・・・・基準抵抗、１０６〜１１５・・
・・・・絶縁電線。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 気体を充満して密封され性向部要素を内蔵するケー
   シング１０を有し、前記内部要素はノズル２８と、一つ
   の室２９内に一つの軸線に沿って気体流を生成すべく前
   記ノズルへ前記気体を加圧下にて供給するためめポンプ
   装置７０と、前記室内にあって前記気体流の流路に配置
   され流体式角速度検出器がその感度面内にて回転すると
   きその角速度の関数として前記気体流により差動的に冷
   却される感温抵抗素子５３，５４とを含んでいる如き流
   体式角速度検出器に於て、 前記ケーシング１０はその第一の端部１１の付近に内側
   ねじ部１５を有し、 前記ノズル２８と前記室２９とは一体の一片よりなるノ
   ズル・ブロック２０に形成され、前記感温抵抗素子５３
   ．５４は前記ノズル・ブロック２０に固定された検出素
   子プラグ５０に設けられ前記ケーシング１０内にあって
   前記第一の端部より前記ポンプにより隔てられて最も遠
   い位置にある一体形部分組立体をなしており、 前記ケーシングの前記内側ねじ部１５に係合する市めナ
   ツト９０と、該止めナツトと前記一体形部分組立体吉の
   間に配置され該一体形部分組立体に対しこれを前記ケー
   シングに固定すべき圧力を与える円錐形ばね８８とを含
   み、前１妃ポンプをＭｉ前記一体形部分組立体に対しま
   た該一体形部分組立体を前記ケーシングに対し押付ける
   ねじ市め手段を有することを特徴とする流体式角速度検
   出器。 ２、特許請求の範囲第１項の流体式角速度検出器に於て
   、前記ポンプ装置は環状支持部の−Ｌに配置された膜を
   含むエントレイメント・ポンプき、前記環状支持部と共
   にポンプ室を形成する別個の剛固なアンビルとを含んで
   おり、前記アンビルは前記ねじ止め手段及び前記環状支
   持部と接触し、前記環状支持部は前記一体形部分組立体
   と接触していることを特徴とする流体式角速度検出器。 ３ 特許請求の範囲第１項の流体式角速度検出器に於て
   、前記ケーシングはその附記一端部に配置された気密封
   じ手段を含み且薄いビード溶接により前記ケーシングに
   気密に溶接された薄い溶接リップを有する金属カバーを
   含んでおり、これによって前記内部要素と前記ねじ止め
   手段とを前記ケーシングの内側に封じていることを特徴
   とする特体弐角速度検出器。 ４ 気体を充満して密封され性向部夾素を内蔵するケー
   シングを有し、前記内部要素はノズルと、一つの室内に
   一つの軸線に沿って気体流を生成すべく前記ノズルへＭ
   ’Ｄｅ気体を加圧下にて供給するためのポンプ装置と、
   前配室内にあって前記気体流の流路に配置され流体式角
   速度検出器がその感度面内にて回転するときその角速度
   の関数として前記気体流により差動的に冷却されるよう
   検出ブリッジ回路に接続された感温抵抗素子とを含んで
   いる如き流体式角速度検出器に於て、 前記検出ブリッジ回路に接続された一対の基準抵抗は前
   記ケーシング内にて前記ポンプ装置より前記ノズルへ至
   る気体流の通路内にあって且前記感温抵抗素子に近接し
   て配置されており且これに直接接続されていることを特
   徴とする流体式角速度検出器。 ５ 特許請求の範囲第４項の流体式角速度検出器に於て
   、前記ノズルと前記室と前言己感温抵抗素子は一体形部
   分組立体を構成しており、該部分組立体はその中に主環
   状溝を有し、前記基準抵抗は前記主環状溝の中に収納さ
   れ且その一つの壁部に固着されているこ吉を特徴とする
   流体式角速度検出器。 ６ 気体を充満して密封され耳内部要素を内蔵するケー
   シングを有し、前記内部要素はノズルと、一つの室内に
   一つの軸線に沿って気体流を生成すべく前記ノズルへ前
   記気体を用カードにて供給するためのポンプ装置と、前
   記室内にあって前記気体流の流路に配置され流体式角速
   度検出器がその感度面内にて回転するときその角速度の
   関数と［ッて前記気体流により差動的に冷却される感温
   抵抗素子とを含んでいる如き流体式角速度検出器に於て
   、前記ノズルは前記室の壁の一つに一体的ｔこ形成され
   ており、前記室は前記ノズルが構成されている壁に対向
   する一端に前記軸線に沿で）で１９７′定の長さに互っ
   て延在する端ぐりを有しており、前記感温抵抗素子は前
   記端ぐりの直径と長さに実で↓的に等しい直径と長さを
   有し且該端ぐり内に配置された円形の検出素子プラグ組
   立体上に配置されており、附記検出素子プラグ絹立体は
   その内部に前記軸線と平行なガス通路を崩し、これによ
   って該検出素子プラグ組立体は前記室の一つの壁を形成
   し、その上に前記感温抵抗素子が配置されるようになっ
   ており、前記ノズルと前記室と前記感温抵抗素子とはこ
   れによって前記内部要素の一体物とＵ７て形成されてい
   ることを特徴とする流体式角速度検出器。 ７ 気体を充満して密封され耳内部要素を内蔵するケー
   シングを有し、前記内部要素はノズルと、一つの室内に
   一つの軸線に沿って気体流を生成すべく前記ノズルへ前
   記気体を圧カドにて供給するポンプ装置と、前記室内に
   あって前記気体流の流路に配置され流体式角速度検出器
   がその感度面内にて回転するときその角速度の関数とし
   て前記気体流により差動的に冷却されるよう検出ブリッ
   ジ回路に接続された感温抵抗素子とを含んでいる如き流
   体式角速度検出器を製造する方法に於て、第一に前記ノ
   ズルと前記室と前記感温抵抗素子とを含む一体形部分組
   立体を形成し、 第Ｎ−に前記一体形部分組立体を前記ケーシング内に挿
   入し、 第Ｎに前記一体形部分組入ｆ体を前記ケーシングに対し
   押付けてこれを前記ケーシングに固定し、第四に前記ケ
   ーシングの開「１端を溶接リップを有しきつく係合する
   全国カバーにて閉じ、前記溶接リップと前記ケーシング
   とに薄いビード溶接を与えて前；）１１ゲージングを前
   記カバーにより気密に封じる各講程を有するこ吉を特徴
   さする方法。 ８ 特１１′［請求の範囲第７項の方法に於て、前記第
   三の過程は前記ポンプ装置を前記一体形部分組立体と力
   伝達関係にＡｉＪ記ケーシング内へ挿入し、この力を前
   記ポンプ装置へ与える過程を含んでいることを特徴とす
   る方法。 ９ 特許請求の範囲第７項の方法に於て、前記第一の過
   程は前記ノズルと前記室と前記感温抵抗素子と該感温抵
   抗素子に検出ブリッジ回路の構造に電気的に接続された
   一対の基準抵抗とを含む一体形部分、ｌ−１ヶ体を形成
   する過程を含むことを特徴とする方法。