JPH0514238Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0514238Y2 JPH0514238Y2 JP1984182620U JP18262084U JPH0514238Y2 JP H0514238 Y2 JPH0514238 Y2 JP H0514238Y2 JP 1984182620 U JP1984182620 U JP 1984182620U JP 18262084 U JP18262084 U JP 18262084U JP H0514238 Y2 JPH0514238 Y2 JP H0514238Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- primary
- fluorescent
- ray
- rays
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
＜産業上の利用分野＞
本考案は一次Ｘ線を照射される試料面が円形と
なるように試料を試料セルに装着し、前記円形試
料面に対し斜め方向からＸ線管にて一次Ｘ線を照
射し、試料から発生する蛍光Ｘ線を検出器にて検
出するようにした蛍光Ｘ線分析装置に関する。
なるように試料を試料セルに装着し、前記円形試
料面に対し斜め方向からＸ線管にて一次Ｘ線を照
射し、試料から発生する蛍光Ｘ線を検出器にて検
出するようにした蛍光Ｘ線分析装置に関する。
＜従来の技術＞
蛍光Ｘ線分析装置において、本来、試料面に対
して蛍光Ｘ線取出し角φ（第５図参照）のみなら
ず一次Ｘ線照射角も90°となることが理想ではあ
るが、Ｘ線管１及び検出器２の物理的形状から、
第５図に示すように、試料面Ｓに対し一次Ｘ線照
射角が略45°となるようにＸ線管１が配置され
る。
して蛍光Ｘ線取出し角φ（第５図参照）のみなら
ず一次Ｘ線照射角も90°となることが理想ではあ
るが、Ｘ線管１及び検出器２の物理的形状から、
第５図に示すように、試料面Ｓに対し一次Ｘ線照
射角が略45°となるようにＸ線管１が配置され
る。
＜考案が解決しようとする問題点＞
ところが、従来のものは、コリメータ３の穴４
が円形であるため一次Ｘ線照射面Ｐが楕円形とな
り、次のような不都合があつた。
が円形であるため一次Ｘ線照射面Ｐが楕円形とな
り、次のような不都合があつた。
即ち、試料面Ｓが円形であるため、試料面Ｓ全
体に一次Ｘ線を照射すると、第６図に示すように
一次Ｘ線照射面Ｐが試料セル５部分にまではみ出
し、試料セル５に含まれる元素をＸ線が励起して
螢光Ｘ線が発生しバツクグランドが高くなる。例
えば、試料セル５がアルミニウム製の場合、アル
ミニウムの螢光Ｘ線が検出され、それがバツクグ
ランドとなる。
体に一次Ｘ線を照射すると、第６図に示すように
一次Ｘ線照射面Ｐが試料セル５部分にまではみ出
し、試料セル５に含まれる元素をＸ線が励起して
螢光Ｘ線が発生しバツクグランドが高くなる。例
えば、試料セル５がアルミニウム製の場合、アル
ミニウムの螢光Ｘ線が検出され、それがバツクグ
ランドとなる。
さらに、単位秒あたりに処理可能な螢光Ｘ線の
数（CPS）は限られているので、試料セル５から
の螢光Ｘ線を処理すると検出効率がそれだけ低下
する。本考案は簡単な構造改良を施すだけで上記
従来の問題点を解決するものである。
数（CPS）は限られているので、試料セル５から
の螢光Ｘ線を処理すると検出効率がそれだけ低下
する。本考案は簡単な構造改良を施すだけで上記
従来の問題点を解決するものである。
＜問題点を解決するための手段＞
本考案は、上記問題点を解決するため、試料セ
ルの円形の穴に試料が装着されて円形の試料面が
形成され、その円形試料面に対し斜め方向からＸ
線管の先端に取付けられるコリメータを介してＸ
線管からの一次Ｘ線を平行光線束にして照射し、
前記試料から発生する蛍光Ｘ線を検出器にて検出
するようにした蛍光Ｘ線分析装置において、前記
Ｘ線管の先端に取付けられるコリメータの穴の形
状を略卵形とし、もつて前記円形試料面と、試料
面に一次Ｘ線によつて形成される一次Ｘ線照射面
とを略一致させるように構成してある蛍光Ｘ線分
析装置である。
ルの円形の穴に試料が装着されて円形の試料面が
形成され、その円形試料面に対し斜め方向からＸ
線管の先端に取付けられるコリメータを介してＸ
線管からの一次Ｘ線を平行光線束にして照射し、
前記試料から発生する蛍光Ｘ線を検出器にて検出
するようにした蛍光Ｘ線分析装置において、前記
Ｘ線管の先端に取付けられるコリメータの穴の形
状を略卵形とし、もつて前記円形試料面と、試料
面に一次Ｘ線によつて形成される一次Ｘ線照射面
とを略一致させるように構成してある蛍光Ｘ線分
析装置である。
＜実施例＞
以下、本考案の一実施例を第１図ないし第４図
に基いて説明する。
に基いて説明する。
第１図において、１０はたとえばアルミニウム
製の試料セルで円形の穴１１が設けられており、
そこに試料１２が装着されて円形の試料面Ｓが形
成される。１３はＸ線発生源１４を内蔵する公知
構造のＸ線管であり、一次Ｘ線照射角が約45°
となるよう試料面Ｓに対し斜めに配置されてい
る。このＸ線管１３は従来品と異なり、その先端
に取付けられたコリメータ１５の穴１６が第３，
４図に示すように略卵形（第１，３，４図におけ
る上方部分が細く、下方部分が太い卵形）に形成
されている。１７は従来公知の検出器であつて試
料１２からの螢光Ｘ線取出し角φが約90°となる
ように試料面Ｓの上方に配置されている。
製の試料セルで円形の穴１１が設けられており、
そこに試料１２が装着されて円形の試料面Ｓが形
成される。１３はＸ線発生源１４を内蔵する公知
構造のＸ線管であり、一次Ｘ線照射角が約45°
となるよう試料面Ｓに対し斜めに配置されてい
る。このＸ線管１３は従来品と異なり、その先端
に取付けられたコリメータ１５の穴１６が第３，
４図に示すように略卵形（第１，３，４図におけ
る上方部分が細く、下方部分が太い卵形）に形成
されている。１７は従来公知の検出器であつて試
料１２からの螢光Ｘ線取出し角φが約90°となる
ように試料面Ｓの上方に配置されている。
上記構成によれば、第２図に示すように一次Ｘ
線照射面Ｐは略円形となつて試料面Ｓと略一致
し、試料面Ｓからはみだして試料セル１０部分に
まで一次Ｘ線が照射されるということがない。
線照射面Ｐは略円形となつて試料面Ｓと略一致
し、試料面Ｓからはみだして試料セル１０部分に
まで一次Ｘ線が照射されるということがない。
＜考案の効果＞
本考案は上述のように構成したので、一次Ｘ線
照射面が円形となつて円形の試料面のみに一次Ｘ
線が照射され、従つて、試料セルからの螢光Ｘ線
の発生を防止することができ、前述したバツクグ
ランドを低減できる。又、単位秒あたりに処理可
能な螢光Ｘ線は前述したごとく限られているが、
本考案では試料からの螢光Ｘ線のみを処理するの
で検出効率が向上する。
照射面が円形となつて円形の試料面のみに一次Ｘ
線が照射され、従つて、試料セルからの螢光Ｘ線
の発生を防止することができ、前述したバツクグ
ランドを低減できる。又、単位秒あたりに処理可
能な螢光Ｘ線は前述したごとく限られているが、
本考案では試料からの螢光Ｘ線のみを処理するの
で検出効率が向上する。
さらに、コリメータの穴の形状を略卵形にする
だけというように簡単な構造であり、既設の蛍光
Ｘ線分析装置のコリメータを取り替えるだけで上
記各効果を達成できる。
だけというように簡単な構造であり、既設の蛍光
Ｘ線分析装置のコリメータを取り替えるだけで上
記各効果を達成できる。
第１図は本考案装置の一実施例を示す概略説明
図、第２図は同上において、一次Ｘ線照射面と試
料面との関係を示す図、第３図はコリメータの側
面図、第４図は第１図Ａ−Ａ線矢視図、第５図は
従来装置を示す概略説明図、第６図は同上におい
て一次Ｘ線照射面と試料面との関係を示す図であ
る。 １０……試料セル、１２……試料、１３……Ｘ
線管、１５……コリメータ、１６……コリメータ
の穴、１７……検出器、Ｓ……試料面、Ｐ……一
次Ｘ線照射面。
図、第２図は同上において、一次Ｘ線照射面と試
料面との関係を示す図、第３図はコリメータの側
面図、第４図は第１図Ａ−Ａ線矢視図、第５図は
従来装置を示す概略説明図、第６図は同上におい
て一次Ｘ線照射面と試料面との関係を示す図であ
る。 １０……試料セル、１２……試料、１３……Ｘ
線管、１５……コリメータ、１６……コリメータ
の穴、１７……検出器、Ｓ……試料面、Ｐ……一
次Ｘ線照射面。
Claims (1)
- 試料セルの円形の穴に試料が装着されて円形の
試料面が形成され、その円形試料面に対し斜め方
向からＸ線管の先端に取付けられるコリメータを
介してＸ線管からの一次Ｘ線を平行光線束にして
照射し、前記試料から発生する蛍光Ｘ線を検出器
にて検出するようにした蛍光Ｘ線分析装置におい
て、前記Ｘ線管の先端に取付けられるコリメータ
の穴の形状を略卵形とし、もつて前記円形試料面
と、試料面に一次Ｘ線によつて形成される一次Ｘ
線照射面とを略一致させるように構成してある蛍
光Ｘ線分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984182620U JPH0514238Y2 (ja) | 1984-12-01 | 1984-12-01 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984182620U JPH0514238Y2 (ja) | 1984-12-01 | 1984-12-01 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6197750U JPS6197750U (ja) | 1986-06-23 |
| JPH0514238Y2 true JPH0514238Y2 (ja) | 1993-04-15 |
Family
ID=30740155
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1984182620U Expired - Lifetime JPH0514238Y2 (ja) | 1984-12-01 | 1984-12-01 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0514238Y2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57114135A (en) * | 1981-01-08 | 1982-07-15 | Toshiba Corp | X-ray stop-down device |
-
1984
- 1984-12-01 JP JP1984182620U patent/JPH0514238Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57114135A (en) * | 1981-01-08 | 1982-07-15 | Toshiba Corp | X-ray stop-down device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6197750U (ja) | 1986-06-23 |
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