JPH05142243A - 衝撃センサ及び衝撃感知装置 - Google Patents
衝撃センサ及び衝撃感知装置Info
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- JPH05142243A JPH05142243A JP3334061A JP33406191A JPH05142243A JP H05142243 A JPH05142243 A JP H05142243A JP 3334061 A JP3334061 A JP 3334061A JP 33406191 A JP33406191 A JP 33406191A JP H05142243 A JPH05142243 A JP H05142243A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 複雑な信号処理回路が不要な衝撃センサを提
供する。 【構成】 枠型をしたフレーム１の中央にマス部２を配
設し、マス部２をフレーム１に２本のビーム３ａ，３ｂ
によって両持ち状に支持してある。このビーム３ａ，３
ｂは所定の大きさの衝撃で破損するように設計されてい
る。ビーム３ａ，３ｂ及びマス部２を通過させてフレー
ム１の一端から他端へかけて帯状の電極膜４を設けてあ
り、この電極膜４の導通状態を監視することにより、衝
撃を検知する。
供する。 【構成】 枠型をしたフレーム１の中央にマス部２を配
設し、マス部２をフレーム１に２本のビーム３ａ，３ｂ
によって両持ち状に支持してある。このビーム３ａ，３
ｂは所定の大きさの衝撃で破損するように設計されてい
る。ビーム３ａ，３ｂ及びマス部２を通過させてフレー
ム１の一端から他端へかけて帯状の電極膜４を設けてあ
り、この電極膜４の導通状態を監視することにより、衝
撃を検知する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、衝撃センサ及び衝撃感
知装置に関する。具体的には、例えば自動車等に加わる
衝撃を検出するために使用する衝撃センサと当該衝撃セ
ンサを用いた衝撃感知装置に関する。
知装置に関する。具体的には、例えば自動車等に加わる
衝撃を検出するために使用する衝撃センサと当該衝撃セ
ンサを用いた衝撃感知装置に関する。
【０００２】
【背景技術】従来は衝撃を検出するために加速度検出器
が用いられている。従来の静電容量型加速度検出器４０
を図４に示す。この加速度検出器４０は加速度センサＥ
と、センサ信号を所望の電気信号に変換して出力する信
号処理回路４８とからなる。
が用いられている。従来の静電容量型加速度検出器４０
を図４に示す。この加速度検出器４０は加速度センサＥ
と、センサ信号を所望の電気信号に変換して出力する信
号処理回路４８とからなる。
【０００３】加速度センサＥにあっては、枠型をしたフ
レーム４１の中央にマス部４２が配設されており、マス
部４２は４本の弾性を有するビーム４３によって両持ち
状にフレーム４１に支持されている。このマス部４２
は、ビーム４３の弾性変形によってマス部４２の厚さ方
向（図中Ｘ方向）に微小変位できるようになっている。
レーム４１の中央にマス部４２が配設されており、マス
部４２は４本の弾性を有するビーム４３によって両持ち
状にフレーム４１に支持されている。このマス部４２
は、ビーム４３の弾性変形によってマス部４２の厚さ方
向（図中Ｘ方向）に微小変位できるようになっている。
【０００４】また、フレーム４１の上面及び下面には絶
縁体で形成されたカバー４４，４５が重ねられ、周辺部
を接着剤等によってフレーム４１に接着されている。上
面側のカバー４４の内面には静止電極４６が設けられて
おり、これに対向させて、マス部４２の上面には可動電
極４７が設けられている。
縁体で形成されたカバー４４，４５が重ねられ、周辺部
を接着剤等によってフレーム４１に接着されている。上
面側のカバー４４の内面には静止電極４６が設けられて
おり、これに対向させて、マス部４２の上面には可動電
極４７が設けられている。
【０００５】しかして、ビーム４３に弾性支持されたマ
ス部４２が加速度を感じてＸ方向に変位すると、マス部
４２の変位量に応じて可動電極４７と静止電極４６の間
のギャップ量が変化して静電容量が変わる。両電極４
６，４７に接続された信号処理回路４８は、この静電容
量の変化から加速度を求める。この加速度検出器４０
が、衝撃検出用に用いられている場合には、信号処理回
路４８はさらに検出した加速度から所定レベルの衝撃で
あるか否かを判断する。
ス部４２が加速度を感じてＸ方向に変位すると、マス部
４２の変位量に応じて可動電極４７と静止電極４６の間
のギャップ量が変化して静電容量が変わる。両電極４
６，４７に接続された信号処理回路４８は、この静電容
量の変化から加速度を求める。この加速度検出器４０
が、衝撃検出用に用いられている場合には、信号処理回
路４８はさらに検出した加速度から所定レベルの衝撃で
あるか否かを判断する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな加速度検出器４０は、加速度を測定することを目的
としているため可動電極４７と静止電極４６の間の静電
容量の変化から加速度を演算し、さらに演算信号の加速
度が所定レベルの衝撃以上であるかどうかを判断しなけ
ればならず、複雑な信号処理回路４８が必要である。そ
のため、衝撃を検出するために用いる場合でも高価なも
のになっていた。
うな加速度検出器４０は、加速度を測定することを目的
としているため可動電極４７と静止電極４６の間の静電
容量の変化から加速度を演算し、さらに演算信号の加速
度が所定レベルの衝撃以上であるかどうかを判断しなけ
ればならず、複雑な信号処理回路４８が必要である。そ
のため、衝撃を検出するために用いる場合でも高価なも
のになっていた。
【０００７】本発明は、叙上の従来例の欠点に鑑みてな
されたものであり、その目的とするところは、複雑な信
号処理回路を用いることなく衝撃を検出することができ
る衝撃センサ及び衝撃感知装置を提供することにある。
されたものであり、その目的とするところは、複雑な信
号処理回路を用いることなく衝撃を検出することができ
る衝撃センサ及び衝撃感知装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の衝撃センサは、
所定の大きさの衝撃で破損するビームにより支持体にマ
ス部を支持させたことを特徴としている。
所定の大きさの衝撃で破損するビームにより支持体にマ
ス部を支持させたことを特徴としている。
【０００９】ビームの破損を検知するには、例えば、前
記ビームの表面に電極膜を設け、当該電極膜の両端間の
非導通状態を検出すると良い。
記ビームの表面に電極膜を設け、当該電極膜の両端間の
非導通状態を検出すると良い。
【００１０】本発明の衝撃感知装置は、上記衝撃センサ
と、発光素子と、衝撃センサのビームが破損したときに
当該発光素子を発光させる発光素子駆動回路とからなる
ことを特徴としている。
と、発光素子と、衝撃センサのビームが破損したときに
当該発光素子を発光させる発光素子駆動回路とからなる
ことを特徴としている。
【００１１】
【作用】本発明の衝撃センサにあっては、ビームにより
支持体にマス部を支持させ、前記ビームを所定の大きさ
の衝撃で破損させるようにしたので、衝撃によってマス
部が変位してビームを撓ませ、衝撃が所定の大きさに達
するとビームは破損に至る。従って、ビームの破損を検
出することにより所定の大きさの衝撃を検出することが
できる。
支持体にマス部を支持させ、前記ビームを所定の大きさ
の衝撃で破損させるようにしたので、衝撃によってマス
部が変位してビームを撓ませ、衝撃が所定の大きさに達
するとビームは破損に至る。従って、ビームの破損を検
出することにより所定の大きさの衝撃を検出することが
できる。
【００１２】例えば、ビームの表面に電極膜を設け、当
該電極膜の両端間の非導通状態を検出すれば、ビームが
破損して電極膜が破断したときに電極膜の両端間が非導
通状態になるので、これによりビームの破損を非常に簡
単に検知することができる。
該電極膜の両端間の非導通状態を検出すれば、ビームが
破損して電極膜が破断したときに電極膜の両端間が非導
通状態になるので、これによりビームの破損を非常に簡
単に検知することができる。
【００１３】また、本発明の衝撃感知装置にあっては、
上記衝撃センサのビームが破損したときに当該発光素子
を発光させるようにしているので、衝撃センサが破損し
た時には発光素子の発光によって衝撃センサの破損を知
らせることができる。従って、衝撃センサが破損してい
るのを知らずに使用し続けることを防止でき、直ちに衝
撃センサの交換を促すことができる。
上記衝撃センサのビームが破損したときに当該発光素子
を発光させるようにしているので、衝撃センサが破損し
た時には発光素子の発光によって衝撃センサの破損を知
らせることができる。従って、衝撃センサが破損してい
るのを知らずに使用し続けることを防止でき、直ちに衝
撃センサの交換を促すことができる。
【００１４】
【実施例】図１は本発明の一実施例による衝撃センサＡ
の斜視図である。この衝撃センサＡにあっては、枠型を
したフレーム１の中央にブロック状のマス部２を配設
し、比較的細い２本のビーム３ａ，３ｂによってマス部
２をフレーム１に両持ち状に支持してある。また、衝撃
センサＡの表面中央では、両ビーム３ａ，３ｂ及びマス
部２の表面を通過するようにしてフレーム１の両端に設
けられた電極パッド４ｂ間に帯状の電極膜４ａを設けて
ある。
の斜視図である。この衝撃センサＡにあっては、枠型を
したフレーム１の中央にブロック状のマス部２を配設
し、比較的細い２本のビーム３ａ，３ｂによってマス部
２をフレーム１に両持ち状に支持してある。また、衝撃
センサＡの表面中央では、両ビーム３ａ，３ｂ及びマス
部２の表面を通過するようにしてフレーム１の両端に設
けられた電極パッド４ｂ間に帯状の電極膜４ａを設けて
ある。
【００１５】このビーム３ａ，３ｂは、当該衝撃センサ
Ａに衝撃が加わるとマス部２の変位によって撓ませら
れ、所定の大きさ以上の衝撃を加えられると、ビーム３
ａ，３ｂが破損し、電極膜４が破断するように設計され
ている。
Ａに衝撃が加わるとマス部２の変位によって撓ませら
れ、所定の大きさ以上の衝撃を加えられると、ビーム３
ａ，３ｂが破損し、電極膜４が破断するように設計され
ている。
【００１６】また、電極膜４ａは、いずれかのビーム３
ａ，３ｂが破損すると、破断して容易に断線状態になる
よう、真空蒸着やスパッタリング等による金属薄膜から
なっている。なお、このフレーム１、マス部２及びビー
ム３ａ，３ｂはシリコンウェハに半導体製造プロセス技
術を適用して一体に形成したものであり、非常に小さな
ものを製造できる。
ａ，３ｂが破損すると、破断して容易に断線状態になる
よう、真空蒸着やスパッタリング等による金属薄膜から
なっている。なお、このフレーム１、マス部２及びビー
ム３ａ，３ｂはシリコンウェハに半導体製造プロセス技
術を適用して一体に形成したものであり、非常に小さな
ものを製造できる。
【００１７】図２は衝撃センサＡを利用した衝撃感知装
置２０の電気回路図である。この衝撃感知装置２０は衝
撃センサＡと信号処理回路（出力回路）５からなる。信
号処理回路５は、出力電圧がＶccの電源６に保護抵抗７
を接続し、この保護抵抗７の他端を衝撃センサＡの電極
膜４ａの一端（電極パッド４ｂ）に接続し、保護抵抗７
と衝撃センサＡの電極膜ａとの中点から出力端子８を取
り出したものであって、非常に簡単な構成となってい
る。また、衝撃センサＡの電極膜４ａの他端（電極パッ
ド４ｂ）は接地されている。
置２０の電気回路図である。この衝撃感知装置２０は衝
撃センサＡと信号処理回路（出力回路）５からなる。信
号処理回路５は、出力電圧がＶccの電源６に保護抵抗７
を接続し、この保護抵抗７の他端を衝撃センサＡの電極
膜４ａの一端（電極パッド４ｂ）に接続し、保護抵抗７
と衝撃センサＡの電極膜ａとの中点から出力端子８を取
り出したものであって、非常に簡単な構成となってい
る。また、衝撃センサＡの電極膜４ａの他端（電極パッ
ド４ｂ）は接地されている。
【００１８】この衝撃感知装置２０においては、ビーム
３ａ，３ｂが破損しておらず電極膜４ａが導通状態にあ
る場合には、出力端子８は電極膜４ａを通して接地され
ているから、出力端子８はグランド電位である。これに
対し、衝撃センサＡに衝撃が加わるとマス部２が大きく
変位してビーム３ａ，３ｂを撓ませ、衝撃センサＡに設
計値以上の衝撃が加わると、ビーム３ａ又は３ｂが破損
し、電極膜４ａが断線する。この場合には、出力端子８
の電位は電源６の出力電圧Ｖccと等しくなる。従って、
この出力端子８の電位を監視することにより、衝撃を検
知することができ、出力端子８の電位がＶccに上昇する
と所定レベル以上の衝撃が発生したと判断することがで
きる。
３ａ，３ｂが破損しておらず電極膜４ａが導通状態にあ
る場合には、出力端子８は電極膜４ａを通して接地され
ているから、出力端子８はグランド電位である。これに
対し、衝撃センサＡに衝撃が加わるとマス部２が大きく
変位してビーム３ａ，３ｂを撓ませ、衝撃センサＡに設
計値以上の衝撃が加わると、ビーム３ａ又は３ｂが破損
し、電極膜４ａが断線する。この場合には、出力端子８
の電位は電源６の出力電圧Ｖccと等しくなる。従って、
この出力端子８の電位を監視することにより、衝撃を検
知することができ、出力端子８の電位がＶccに上昇する
と所定レベル以上の衝撃が発生したと判断することがで
きる。
【００１９】このように、本実施例の衝撃センサＡを使
用すれば、衝撃センサＡの信号処理回路５は非常に簡単
なもので済む。すなわち、衝撃センサＡの信号処理回路
５は電極膜４ａが導通状態か否かを検知するだけで良
く、従来の加速度センサＥの信号処理回路４８のように
種々の信号変換や演算、判断処理等が必要ない。また、
センサ信号をアンプで増幅したりする必要がないので電
気的ノイズに対して強く、信頼性の高い、しかも安価な
衝撃感知装置２０を作製できる。
用すれば、衝撃センサＡの信号処理回路５は非常に簡単
なもので済む。すなわち、衝撃センサＡの信号処理回路
５は電極膜４ａが導通状態か否かを検知するだけで良
く、従来の加速度センサＥの信号処理回路４８のように
種々の信号変換や演算、判断処理等が必要ない。また、
センサ信号をアンプで増幅したりする必要がないので電
気的ノイズに対して強く、信頼性の高い、しかも安価な
衝撃感知装置２０を作製できる。
【００２０】上記の衝撃センサＡないし衝撃感知装置２
０は、衝撃を検出する種々の用途に用いることができ、
例えば自動車等に加わる衝撃を検知する用途に用いるこ
とができる。具体的にいうと、この衝撃センサ２０を車
載用のエアバッグシステムに取り付け、衝突事故等によ
る衝撃を感知することによりエアバッグシステムを作動
させ搭乗者を保護することができる。
０は、衝撃を検出する種々の用途に用いることができ、
例えば自動車等に加わる衝撃を検知する用途に用いるこ
とができる。具体的にいうと、この衝撃センサ２０を車
載用のエアバッグシステムに取り付け、衝突事故等によ
る衝撃を感知することによりエアバッグシステムを作動
させ搭乗者を保護することができる。
【００２１】図３に本発明の他の実施例による衝撃感知
装置３０の電気回路図を示す。この実施例は、特に車載
用のエアバッグシステム等に好適な衝撃感知装置であ
る。この衝撃感知装置３０は図１の衝撃センサＡと同じ
構成の３個の衝撃センサＡ，Ｂ，Ｃと信号処理回路９か
らなっている。なお、各衝撃センサＡ，Ｂ，Ｃは、それ
ぞれ異なる大きさの衝撃でビーム３ａ，３ｂが破損する
ものでも良いし、同じ大きさの衝撃でビーム３ａ，３ｂ
が破損するものでも良い。
装置３０の電気回路図を示す。この実施例は、特に車載
用のエアバッグシステム等に好適な衝撃感知装置であ
る。この衝撃感知装置３０は図１の衝撃センサＡと同じ
構成の３個の衝撃センサＡ，Ｂ，Ｃと信号処理回路９か
らなっている。なお、各衝撃センサＡ，Ｂ，Ｃは、それ
ぞれ異なる大きさの衝撃でビーム３ａ，３ｂが破損する
ものでも良いし、同じ大きさの衝撃でビーム３ａ，３ｂ
が破損するものでも良い。
【００２２】信号処理回路９にあっては、出力電圧がＶ
ccの直流電源１０に３個の保護抵抗１１，１１，１１を
接続し、各々の保護抵抗１１，１１，１１の他端を衝撃
センサＡ，Ｂ，Ｃの電極膜４ａ，４ｂ，４ｃの一端（電
極パッド４ｂ）に接続し、保護抵抗１１，１１，１１と
衝撃センサＡ，Ｂ，Ｃの電極膜４ａ，４ａ，４ａとの中
点にそれぞれ発光ダイオード１２ａ，１２ｂ，１２ｃの
アノードを接続し、各発光ダイオード１２ａ，１２ｂ，
１２ｃのカソードをＡＮＤ回路１３の各入力端子に接続
し、ＡＮＤ回路１３の出力端子を信号処理回路９の出力
端子１４とした構成となっている。また、衝撃センサ
Ａ，Ｂ，Ｃの電極膜４ａ，４ａ，４ａの他端（電極パッ
ド４ｂ）は接地されている。なお、９ａは発光ダイオー
ド駆動回路である。
ccの直流電源１０に３個の保護抵抗１１，１１，１１を
接続し、各々の保護抵抗１１，１１，１１の他端を衝撃
センサＡ，Ｂ，Ｃの電極膜４ａ，４ｂ，４ｃの一端（電
極パッド４ｂ）に接続し、保護抵抗１１，１１，１１と
衝撃センサＡ，Ｂ，Ｃの電極膜４ａ，４ａ，４ａとの中
点にそれぞれ発光ダイオード１２ａ，１２ｂ，１２ｃの
アノードを接続し、各発光ダイオード１２ａ，１２ｂ，
１２ｃのカソードをＡＮＤ回路１３の各入力端子に接続
し、ＡＮＤ回路１３の出力端子を信号処理回路９の出力
端子１４とした構成となっている。また、衝撃センサ
Ａ，Ｂ，Ｃの電極膜４ａ，４ａ，４ａの他端（電極パッ
ド４ｂ）は接地されている。なお、９ａは発光ダイオー
ド駆動回路である。
【００２３】しかして、例えば衝撃センサＡのビーム３
ａ，３ｂが破損していない場合には、発光ダイオード１
２ａのアノードはグランド電位であるから、発光ダイオ
ード１２ａは発光せず、発光素子１２ａのカソード電位
はＬ電位となる。これに対し、衝撃センサＡのビーム３
ａ，３ｂが破損した場合には、発光ダイオード１２ａの
アノード電位は電源１０の出力電圧Ｖccと等しくなるか
ら、発光ダイオード１２ａが発光し、発光ダイオード１
２ａのカソード電位は、Ｈ電位となる。同様に、衝撃セ
ンサＢが破損すると、発光ダイオード１２ｂが発光し、
発光ダイオード１２ｂのカソード電位はＨ電位となり、
衝撃センサＣが破損すると、発光ダイオード１２ｃが発
光し、発光ダイオード１２ｃのカソード電位はＨ電位と
なる。したがって、全ての衝撃センサＡ，Ｂ，Ｃが破損
し、全ての発光ダイオード１２ａ，１２ｂ，１２ｃのカ
ソード電位がＨ電位になった時、ＡＮＤ回路１３から検
出信号（Ｈ信号）が出力される。
ａ，３ｂが破損していない場合には、発光ダイオード１
２ａのアノードはグランド電位であるから、発光ダイオ
ード１２ａは発光せず、発光素子１２ａのカソード電位
はＬ電位となる。これに対し、衝撃センサＡのビーム３
ａ，３ｂが破損した場合には、発光ダイオード１２ａの
アノード電位は電源１０の出力電圧Ｖccと等しくなるか
ら、発光ダイオード１２ａが発光し、発光ダイオード１
２ａのカソード電位は、Ｈ電位となる。同様に、衝撃セ
ンサＢが破損すると、発光ダイオード１２ｂが発光し、
発光ダイオード１２ｂのカソード電位はＨ電位となり、
衝撃センサＣが破損すると、発光ダイオード１２ｃが発
光し、発光ダイオード１２ｃのカソード電位はＨ電位と
なる。したがって、全ての衝撃センサＡ，Ｂ，Ｃが破損
し、全ての発光ダイオード１２ａ，１２ｂ，１２ｃのカ
ソード電位がＨ電位になった時、ＡＮＤ回路１３から検
出信号（Ｈ信号）が出力される。
【００２４】エアバッグシステム用に衝撃感知装置を用
いる場合、１台の衝撃センサで自動車の衝突時の衝撃を
検出していると、運転中に衝突以外の軽度の衝撃等によ
って衝撃センサが破損した時、エアバッグシステムが作
動すると極めて危険である。そのため、この実施例で
は、複数個の衝撃センサＡ，Ｂ，ＣとＡＮＤ回路１３を
用い、全ての衝撃センサＡ，Ｂ，Ｃが破損した場合にの
み検知信号を出力し、エアバッグシステムを作動させる
ようにしている。すなわち、衝突以外の軽度の衝撃や振
動等によって１個又は２個の衝撃センサが破損した場合
には、対応する発光ダイオードを発光させるだけでエア
バッグシステムは作動しない。一方、衝突によって全て
の衝撃センサＡ，Ｂ，Ｃが破損した場合には、エアバッ
グシステムを作動させて搭乗者を保護する。
いる場合、１台の衝撃センサで自動車の衝突時の衝撃を
検出していると、運転中に衝突以外の軽度の衝撃等によ
って衝撃センサが破損した時、エアバッグシステムが作
動すると極めて危険である。そのため、この実施例で
は、複数個の衝撃センサＡ，Ｂ，ＣとＡＮＤ回路１３を
用い、全ての衝撃センサＡ，Ｂ，Ｃが破損した場合にの
み検知信号を出力し、エアバッグシステムを作動させる
ようにしている。すなわち、衝突以外の軽度の衝撃や振
動等によって１個又は２個の衝撃センサが破損した場合
には、対応する発光ダイオードを発光させるだけでエア
バッグシステムは作動しない。一方、衝突によって全て
の衝撃センサＡ，Ｂ，Ｃが破損した場合には、エアバッ
グシステムを作動させて搭乗者を保護する。
【００２５】また、複数個の衝撃センサＡ，Ｂ，Ｃを備
えていても、軽度の衝撃等によって１又は２個の衝撃セ
ンサが破損していた場合、これを知らずに使用している
と、２個又は１個の衝撃センサしか無いのと同じであ
る。従って、最後の衝撃センサが運転中に振動等によっ
て破損すると、エアバッグシステムが作動し、極めて危
険である。このため、この実施例では、衝撃センサＡ，
Ｂ，Ｃのいずれかが破損した場合には、対応する発光ダ
イオード１２ａ，１２ｂ，１２ｃを発光させて衝撃セン
サＡ，Ｂ，Ｃの破損を知らせ、破損している衝撃センサ
の交換を促す。特に、発光している発光ダイオード１２
ａ，１２ｂ，２１ｃによって破損している衝撃センサ
Ａ，Ｂ，Ｃが分かるので、破損した衝撃センサＡ，Ｂ，
Ｃの交換を容易に行なえる。
えていても、軽度の衝撃等によって１又は２個の衝撃セ
ンサが破損していた場合、これを知らずに使用している
と、２個又は１個の衝撃センサしか無いのと同じであ
る。従って、最後の衝撃センサが運転中に振動等によっ
て破損すると、エアバッグシステムが作動し、極めて危
険である。このため、この実施例では、衝撃センサＡ，
Ｂ，Ｃのいずれかが破損した場合には、対応する発光ダ
イオード１２ａ，１２ｂ，１２ｃを発光させて衝撃セン
サＡ，Ｂ，Ｃの破損を知らせ、破損している衝撃センサ
の交換を促す。特に、発光している発光ダイオード１２
ａ，１２ｂ，２１ｃによって破損している衝撃センサ
Ａ，Ｂ，Ｃが分かるので、破損した衝撃センサＡ，Ｂ，
Ｃの交換を容易に行なえる。
【００２６】図３の実施例では、各発光ダイオード１２
ａ，１２ｂ，１２ｃの出力をＡＮＤ回路１３を介して出
力しているが、衝撃感知装置の用途によっては、複数個
の発光ダイオードの出力をＯＲ回路を介して出力しても
よい。
ａ，１２ｂ，１２ｃの出力をＡＮＤ回路１３を介して出
力しているが、衝撃感知装置の用途によっては、複数個
の発光ダイオードの出力をＯＲ回路を介して出力しても
よい。
【００２７】
【発明の効果】本発明の衝撃センサによれば、マス部を
支持しているビームが所定の大きさの衝撃で破損するよ
うにしたので、ビームの破損を検出することにより所定
の大きさの衝撃を簡単に検出することができる。
支持しているビームが所定の大きさの衝撃で破損するよ
うにしたので、ビームの破損を検出することにより所定
の大きさの衝撃を簡単に検出することができる。
【００２８】例えば、ビームの表面に電極膜を設け、電
極膜の両端間の非導通状態を検出すれば、ビームが破損
して電極膜が破断したときに電極膜の両端間が非導通状
態になるので、これによりビームの破損を非常に簡単に
検知することができる。従って、従来例のように複雑な
信号処理回路が必要なく、衝撃センサの構成を簡単にし
て製造コストを安価にできる。また、電極膜の導通、非
導通によって一定以上の衝撃を検知するので、出力をア
ンプ等で増幅する必要がなく、電気的ノイズによって誤
検出ないし誤作動する恐れが少なくなる。
極膜の両端間の非導通状態を検出すれば、ビームが破損
して電極膜が破断したときに電極膜の両端間が非導通状
態になるので、これによりビームの破損を非常に簡単に
検知することができる。従って、従来例のように複雑な
信号処理回路が必要なく、衝撃センサの構成を簡単にし
て製造コストを安価にできる。また、電極膜の導通、非
導通によって一定以上の衝撃を検知するので、出力をア
ンプ等で増幅する必要がなく、電気的ノイズによって誤
検出ないし誤作動する恐れが少なくなる。
【００２９】また、用途によっては衝撃センサの破損を
知らずに使用し続けると危険な場合がある。本発明の衝
撃感知装置にあっては、衝撃センサが破損した場合には
発光素子を発光させて知らせるので、直ちに破損した衝
撃センサを新しい衝撃センサに交換することができる。
従って、破損した衝撃センサを知らずに使用し続けるこ
とを防止でき、使用上の安全性と信頼製を高めることが
できる。
知らずに使用し続けると危険な場合がある。本発明の衝
撃感知装置にあっては、衝撃センサが破損した場合には
発光素子を発光させて知らせるので、直ちに破損した衝
撃センサを新しい衝撃センサに交換することができる。
従って、破損した衝撃センサを知らずに使用し続けるこ
とを防止でき、使用上の安全性と信頼製を高めることが
できる。
【図１】本発明の一実施例による衝撃センサの斜視図で
ある。
ある。
【図２】同上の衝撃センサを利用した衝撃感知装置の電
気回路図である。
気回路図である。
【図３】本発明の他の実施例による衝撃感知装置の電気
回路図である。
回路図である。
【図４】衝撃感知用に用いられている従来例の加速度検
出器の構成図である。
出器の構成図である。
１ フレーム ２ マス部 ３ａ，３ｂ ビーム ４ 電極膜
Claims (3)
- 【請求項１】 所定の大きさの衝撃で破損するビームに
より支持体にマス部を支持させた衝撃センサ。 - 【請求項２】 前記ビームの表面に電極膜を設け、当該
電極膜の両端間の非導通状態を検出することにより前記
ビームの破損を検知する請求項１に記載の衝撃センサ。 - 【請求項３】 請求項１又は２に記載の衝撃センサと、
発光素子と、衝撃センサのビームが破損したときに当該
発光素子を発光させる発光素子駆動回路とからなる衝撃
感知装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3334061A JPH05142243A (ja) | 1991-11-22 | 1991-11-22 | 衝撃センサ及び衝撃感知装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3334061A JPH05142243A (ja) | 1991-11-22 | 1991-11-22 | 衝撃センサ及び衝撃感知装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05142243A true JPH05142243A (ja) | 1993-06-08 |
Family
ID=18273071
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3334061A Pending JPH05142243A (ja) | 1991-11-22 | 1991-11-22 | 衝撃センサ及び衝撃感知装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05142243A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6539798B1 (en) | 1996-08-30 | 2003-04-01 | Fraunhofer-Gesellschaft Zur Forderung Der Angewandten Forschung E.V. | Acceleration threshold sensor |
| JP2004134763A (ja) * | 2002-08-30 | 2004-04-30 | Stmicroelectronics Srl | 故障しきい値を有する慣性センサの製造プロセス |
| JP2004264281A (ja) * | 2002-08-30 | 2004-09-24 | Stmicroelectronics Srl | 故障しきい値を有する慣性センサ |
| JP2009216509A (ja) * | 2008-03-10 | 2009-09-24 | Panasonic Corp | センサー部材、および衝撃検出装置 |
| JP2011158275A (ja) * | 2010-01-29 | 2011-08-18 | Fanuc Ltd | 電動機または電動機によって駆動される機器に取付けられるエンコーダ |
-
1991
- 1991-11-22 JP JP3334061A patent/JPH05142243A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6539798B1 (en) | 1996-08-30 | 2003-04-01 | Fraunhofer-Gesellschaft Zur Forderung Der Angewandten Forschung E.V. | Acceleration threshold sensor |
| JP2004134763A (ja) * | 2002-08-30 | 2004-04-30 | Stmicroelectronics Srl | 故障しきい値を有する慣性センサの製造プロセス |
| JP2004264281A (ja) * | 2002-08-30 | 2004-09-24 | Stmicroelectronics Srl | 故障しきい値を有する慣性センサ |
| JP4667731B2 (ja) * | 2002-08-30 | 2011-04-13 | エスティーマイクロエレクトロニクスエス．アール．エル | 故障しきい値を有する慣性センサの製造プロセス |
| JP2009216509A (ja) * | 2008-03-10 | 2009-09-24 | Panasonic Corp | センサー部材、および衝撃検出装置 |
| JP2011158275A (ja) * | 2010-01-29 | 2011-08-18 | Fanuc Ltd | 電動機または電動機によって駆動される機器に取付けられるエンコーダ |
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