JPH05133387A - ドライ型真空ポンプ - Google Patents
ドライ型真空ポンプInfo
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- JPH05133387A JPH05133387A JP29292591A JP29292591A JPH05133387A JP H05133387 A JPH05133387 A JP H05133387A JP 29292591 A JP29292591 A JP 29292591A JP 29292591 A JP29292591 A JP 29292591A JP H05133387 A JPH05133387 A JP H05133387A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pump stage
- circumference
- outlet
- auxiliary pump
- inlet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/05—Shafts or bearings, or assemblies thereof, specially adapted for elastic fluid pumps
- F04D29/051—Axial thrust balancing
- F04D29/0513—Axial thrust balancing hydrostatic; hydrodynamic thrust bearings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D17/00—Radial-flow pumps, e.g. centrifugal pumps; Helico-centrifugal pumps
- F04D17/08—Centrifugal pumps
- F04D17/16—Centrifugal pumps for displacing without appreciable compression
- F04D17/168—Pumps specially adapted to produce a vacuum
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D23/00—Other rotary non-positive-displacement pumps
- F04D23/008—Regenerative pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】磁気軸受５等の腐食や排気ロスを防止し、且つ
モータ室４０からロータ部に付与するスラスト力を軽減
し、磁気軸受５を小形化して発熱を抑制する。 【構成】渦流ポンプ段３と隔壁９５との間に、円周方向
に圧力勾配をもたない遠心ポンプ段６１を配設して、そ
の出口側に、円周方向に沿ってほぼ均一で排気口９２の
圧力にほぼ等しい圧力域を形成し、モータ室４０と遠心
ポンプ段６１の出口側との間の連通部に、同じく円周方
向に圧力勾配をもたないネジ溝ポンプ段７１を配設し
て、遠心ポンプ段６１の出口側に向けてモータ室４０か
ら強制的に排気を行い、処理室のガスが流れる排気流路
からモータ室４０への漏れ及びその逆の漏れを共に防止
し、且つモータ室４０の圧力を低圧にした。
モータ室４０からロータ部に付与するスラスト力を軽減
し、磁気軸受５を小形化して発熱を抑制する。 【構成】渦流ポンプ段３と隔壁９５との間に、円周方向
に圧力勾配をもたない遠心ポンプ段６１を配設して、そ
の出口側に、円周方向に沿ってほぼ均一で排気口９２の
圧力にほぼ等しい圧力域を形成し、モータ室４０と遠心
ポンプ段６１の出口側との間の連通部に、同じく円周方
向に圧力勾配をもたないネジ溝ポンプ段７１を配設し
て、遠心ポンプ段６１の出口側に向けてモータ室４０か
ら強制的に排気を行い、処理室のガスが流れる排気流路
からモータ室４０への漏れ及びその逆の漏れを共に防止
し、且つモータ室４０の圧力を低圧にした。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、排気口に近い下段側の
ポンプ段に、一の円周上に入口部と出口部とをもち、円
周方向に沿って排気を行う渦流ポンプ段を配置し、モー
タに連動するロータ部を磁気軸受を介して浮動的に支持
したドライ型真空ポンプに関する。
ポンプ段に、一の円周上に入口部と出口部とをもち、円
周方向に沿って排気を行う渦流ポンプ段を配置し、モー
タに連動するロータ部を磁気軸受を介して浮動的に支持
したドライ型真空ポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種のドライ型真空ポンプは、
例えば特開平２−７８７９３号公報に開示され且つ図３
に示すように、ポンプハウジングＨの内部に、外周部に
羽根ＦをもつロータＲと、ステータＳに形成され、一の
円周上に入口部ａ及び出口部ｂをもつ環状排気流路Ｔと
を備えた渦流ポンプ段Ｐを多段に配設し、上位のポンプ
段から大気に開放する排気口Ｄに向けて順次排気を行う
と共に、モータＭに直結する駆動軸Ｗ及びこれに嵌合す
るロータボスＢをもつロータ部を磁気軸受Ｅを介して浮
動的に支持し、モータ室Ｃに潤滑油を溜めない無給油状
態での運転を行うようにしている。
例えば特開平２−７８７９３号公報に開示され且つ図３
に示すように、ポンプハウジングＨの内部に、外周部に
羽根ＦをもつロータＲと、ステータＳに形成され、一の
円周上に入口部ａ及び出口部ｂをもつ環状排気流路Ｔと
を備えた渦流ポンプ段Ｐを多段に配設し、上位のポンプ
段から大気に開放する排気口Ｄに向けて順次排気を行う
と共に、モータＭに直結する駆動軸Ｗ及びこれに嵌合す
るロータボスＢをもつロータ部を磁気軸受Ｅを介して浮
動的に支持し、モータ室Ｃに潤滑油を溜めない無給油状
態での運転を行うようにしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、以上の構造の
もので、渦流ポンプ段Ｐは、環状排気流路Ｔに沿う一の
円周上に入口部ａと出口部ｂとをもち、環状排気流路Ｔ
の円周方向に沿って入口部の低圧部から出口部の高圧部
に向けて順次圧力勾配がつくため、最下段に位置する渦
流ポンプ段Ｐとモータ室Ｃとの間で漏れが生じる問題が
ある。
もので、渦流ポンプ段Ｐは、環状排気流路Ｔに沿う一の
円周上に入口部ａと出口部ｂとをもち、環状排気流路Ｔ
の円周方向に沿って入口部の低圧部から出口部の高圧部
に向けて順次圧力勾配がつくため、最下段に位置する渦
流ポンプ段Ｐとモータ室Ｃとの間で漏れが生じる問題が
ある。
【０００４】即ち、最下段に位置する渦流ポンプ段Ｐと
モータ室Ｃとの間は、ステータＳの底部を利用した隔壁
部とロータ部との間の隙間を介してシールされているの
みであり、最下段の渦流ポンプ段Ｐにおける入口部の圧
力は低く、出口部の圧力は大気圧に近い高い値になって
いるため、モータ室Ｃから渦流ポンプ段Ｐの入口部に向
けて漏れが生じて、この最下段の渦流ポンプ段Ｐで排気
ロスを生じると共に、このようにモータ室Ｃから渦流ポ
ンプ段Ｐの入口部に向けて漏れが生じる分だけモータ室
Ｃが負圧となり、逆に大気圧に近い高い圧力となる渦流
ポンプ段Ｐの出口部からモータ室Ｃに向けて漏れが生
じ、特に半導体ウエハチャンバー等の処理室内を排気す
るような場合、腐食性の強いガスがモータ室Ｃ内に侵入
し、磁気軸受ＥやモータＭを腐食してしまう問題が起こ
るのである。
モータ室Ｃとの間は、ステータＳの底部を利用した隔壁
部とロータ部との間の隙間を介してシールされているの
みであり、最下段の渦流ポンプ段Ｐにおける入口部の圧
力は低く、出口部の圧力は大気圧に近い高い値になって
いるため、モータ室Ｃから渦流ポンプ段Ｐの入口部に向
けて漏れが生じて、この最下段の渦流ポンプ段Ｐで排気
ロスを生じると共に、このようにモータ室Ｃから渦流ポ
ンプ段Ｐの入口部に向けて漏れが生じる分だけモータ室
Ｃが負圧となり、逆に大気圧に近い高い圧力となる渦流
ポンプ段Ｐの出口部からモータ室Ｃに向けて漏れが生
じ、特に半導体ウエハチャンバー等の処理室内を排気す
るような場合、腐食性の強いガスがモータ室Ｃ内に侵入
し、磁気軸受ＥやモータＭを腐食してしまう問題が起こ
るのである。
【０００５】又、以上のようにモータ室Ｃから渦流ポン
プ段Ｐの入口部に漏れが生じる分だけ該渦流ポンプ段Ｐ
の出口部からモータ室Ｃに漏れが生じて、モータ室Ｃは
大気圧に近い圧力状態に維持されるため、上部の真空室
側からロータ部に作用する下向きのスラスト力に対し、
下部のモータ室Ｃ側からロータ部に作用する上向きのス
ラスト力が過大になり、ロータ部を所定の軸方向位置に
位置決めするには、磁気軸受Ｅが大型化したり、又、そ
の制御電流が過大になり、発熱量が増大する問題もあ
る。
プ段Ｐの入口部に漏れが生じる分だけ該渦流ポンプ段Ｐ
の出口部からモータ室Ｃに漏れが生じて、モータ室Ｃは
大気圧に近い圧力状態に維持されるため、上部の真空室
側からロータ部に作用する下向きのスラスト力に対し、
下部のモータ室Ｃ側からロータ部に作用する上向きのス
ラスト力が過大になり、ロータ部を所定の軸方向位置に
位置決めするには、磁気軸受Ｅが大型化したり、又、そ
の制御電流が過大になり、発熱量が増大する問題もあ
る。
【０００６】本発明では、下段側に位置する渦流ポンプ
段とモータ室との間の中間部の構成を工夫することによ
り、排気ロスを防止すると共にモータ室側に腐食ガスが
侵入するのを防止し、しかも、磁気軸受を小形化等する
ことができるドライ型真空ポンプを提供することを目的
とする。
段とモータ室との間の中間部の構成を工夫することによ
り、排気ロスを防止すると共にモータ室側に腐食ガスが
侵入するのを防止し、しかも、磁気軸受を小形化等する
ことができるドライ型真空ポンプを提供することを目的
とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】そこで、上記目的を達成
するため、吸気口９１と排気口９２をもつポンプハウジ
ング９を備え、該ハウジング９の内部で前記排気口９２
に近い下段側のポンプ段に、一の円周上に入口部と出口
部とをもつ渦流ポンプ段３を配設すると共に、前記渦流
ポンプ段３の軸方向反吸気口側に隔壁９５を介してモー
タ４を配設するモータ室４０を画成し、前記モータ４に
連動するロータ部を磁気軸受５を介して浮動的に支持し
たドライ型真空ポンプにおいて、前記渦流ポンプ段３と
隔壁９５との間の軸方向中間部に、一の円周上にこの一
の円周に沿って開口する入口部を、他の円周上にこの他
の円周に沿って開口する出口部を各々備える第一補助ポ
ンプ段６を配設して、この第一補助ポンプ段６の入口部
を前記渦流ポンプ段３の出口側に、この第一補助ポンプ
段６の出口部を前記排気口９２に各々連通させると共
に、前記モータ室４０と第一補助ポンプ段６の出口側と
の間の連通部に、一の円周上にこの一の円周に沿って開
口する入口部を、他の円周上にこの他の円周に沿って開
口する出口部を各々備える第二補助ポンプ段７を配設し
て、この第二補助ポンプ段７の入口部を前記モータ室４
０に、この第二補助ポンプ段７の出口部を前記第一補助
ポンプ段６の出口側に各々連通させた。
するため、吸気口９１と排気口９２をもつポンプハウジ
ング９を備え、該ハウジング９の内部で前記排気口９２
に近い下段側のポンプ段に、一の円周上に入口部と出口
部とをもつ渦流ポンプ段３を配設すると共に、前記渦流
ポンプ段３の軸方向反吸気口側に隔壁９５を介してモー
タ４を配設するモータ室４０を画成し、前記モータ４に
連動するロータ部を磁気軸受５を介して浮動的に支持し
たドライ型真空ポンプにおいて、前記渦流ポンプ段３と
隔壁９５との間の軸方向中間部に、一の円周上にこの一
の円周に沿って開口する入口部を、他の円周上にこの他
の円周に沿って開口する出口部を各々備える第一補助ポ
ンプ段６を配設して、この第一補助ポンプ段６の入口部
を前記渦流ポンプ段３の出口側に、この第一補助ポンプ
段６の出口部を前記排気口９２に各々連通させると共
に、前記モータ室４０と第一補助ポンプ段６の出口側と
の間の連通部に、一の円周上にこの一の円周に沿って開
口する入口部を、他の円周上にこの他の円周に沿って開
口する出口部を各々備える第二補助ポンプ段７を配設し
て、この第二補助ポンプ段７の入口部を前記モータ室４
０に、この第二補助ポンプ段７の出口部を前記第一補助
ポンプ段６の出口側に各々連通させた。
【０００８】又、この場合に、第一補助ポンプ段６を、
径方向内周部から外周部にかけて延びる複数の放射状排
気流路６１ａを備える遠心ポンプ段６１で構成し、前記
放射状排気流路６１ａの各入口部を、渦流ポンプ段３の
出口側を連通させる内周側環状室の円周上に該円周に沿
わせて開口すると共に、前記放射状排気流路６１ａの各
出口部を、排気口９２に連通させる外周側環状室の円周
上に該円周に沿わせて開口し、又、第二補助ポンプ段７
を、隔壁９５と該隔壁９５に貫通するロータ部との間に
形成する複数のネジ溝７１ａを備えるネジ溝ポンプ段７
１で構成し、前記ネジ溝７１ａの各入口部を、モータ室
４０側に臨む軸方向一側の円周上に該円周に沿わせて開
口すると共に、前記ネジ溝７１ａの各出口部を、第一補
助ポンプ段６側に臨む軸方向他側の円周上に該円周に沿
わせて開口するのが好ましい。
径方向内周部から外周部にかけて延びる複数の放射状排
気流路６１ａを備える遠心ポンプ段６１で構成し、前記
放射状排気流路６１ａの各入口部を、渦流ポンプ段３の
出口側を連通させる内周側環状室の円周上に該円周に沿
わせて開口すると共に、前記放射状排気流路６１ａの各
出口部を、排気口９２に連通させる外周側環状室の円周
上に該円周に沿わせて開口し、又、第二補助ポンプ段７
を、隔壁９５と該隔壁９５に貫通するロータ部との間に
形成する複数のネジ溝７１ａを備えるネジ溝ポンプ段７
１で構成し、前記ネジ溝７１ａの各入口部を、モータ室
４０側に臨む軸方向一側の円周上に該円周に沿わせて開
口すると共に、前記ネジ溝７１ａの各出口部を、第一補
助ポンプ段６側に臨む軸方向他側の円周上に該円周に沿
わせて開口するのが好ましい。
【０００９】
【作用】第一補助ポンプ段６により、該第一補助ポンプ
段６の出口側に、円周方向に沿ってほぼ均一で排気口９
２の圧力にほぼ等しい圧力域を形成でき、この圧力域に
向けてモータ室４０側から第二補助ポンプ段７を介して
強制的に排気が行えるため、処理室内のガスが流れる排
気流路側からモータ室４０への漏れを防止できると共に
モータ室４０から前記排気流路側への漏れを防止でき、
しかも、モータ室４０を積極的に低圧状態にすることが
でき、該モータ室４０側からロータ部の軸方向に付与す
るスラスト力を軽減でき、磁気軸受５を小形化あるいは
その制御電流を抑制することができる。
段６の出口側に、円周方向に沿ってほぼ均一で排気口９
２の圧力にほぼ等しい圧力域を形成でき、この圧力域に
向けてモータ室４０側から第二補助ポンプ段７を介して
強制的に排気が行えるため、処理室内のガスが流れる排
気流路側からモータ室４０への漏れを防止できると共に
モータ室４０から前記排気流路側への漏れを防止でき、
しかも、モータ室４０を積極的に低圧状態にすることが
でき、該モータ室４０側からロータ部の軸方向に付与す
るスラスト力を軽減でき、磁気軸受５を小形化あるいは
その制御電流を抑制することができる。
【００１０】第一補助ポンプ段６を前記遠心ポンプ段６
１で構成すると共に、第二補助ポンプ段７を前記ネジ溝
ポンプ段７で構成することにより、ロータ部の軸方向長
さを過剰に長くすることなく所期の目的を達成すること
ができる。
１で構成すると共に、第二補助ポンプ段７を前記ネジ溝
ポンプ段７で構成することにより、ロータ部の軸方向長
さを過剰に長くすることなく所期の目的を達成すること
ができる。
【００１１】
【実施例】図１に示すものは、吸気口９１と排気口９２
をもつポンプハウジング９の内部に、軸方向に近接配置
する回転円板１１と静止円板１２とを組合わせた二段の
ジグバーンポンプ段１と、外周に上下貫通形の羽根２１
をもつロータ２２とステータ２３に形成する環状排気流
路２４及びその内部に配置する円環コア２５を備える三
段のコア付き渦流ポンプ段２と、外周に上下非貫通形の
羽根３１をもつロータ３２とステータ３３に形成する環
状排気流路３４とを備える二段のコア無し渦流ポンプ段
３とを配設した複合式のものである。
をもつポンプハウジング９の内部に、軸方向に近接配置
する回転円板１１と静止円板１２とを組合わせた二段の
ジグバーンポンプ段１と、外周に上下貫通形の羽根２１
をもつロータ２２とステータ２３に形成する環状排気流
路２４及びその内部に配置する円環コア２５を備える三
段のコア付き渦流ポンプ段２と、外周に上下非貫通形の
羽根３１をもつロータ３２とステータ３３に形成する環
状排気流路３４とを備える二段のコア無し渦流ポンプ段
３とを配設した複合式のものである。
【００１２】各渦流ポンプ段２，３に備える環状排気流
路２４，３４は、それぞれの排気流路に沿う一の円周上
に入口部と出口部とを備え、図中点線矢印で示すように
上段の出口部と下段の入口部とを相互に連通させてい
る。
路２４，３４は、それぞれの排気流路に沿う一の円周上
に入口部と出口部とを備え、図中点線矢印で示すように
上段の出口部と下段の入口部とを相互に連通させてい
る。
【００１３】又、下段に位置する渦流ポンプ段３の軸方
向反吸気口側には、隔壁９５を介してモータ４を配設す
るモータ室４０を画成しており、モータ４と各ポンプ段
の回転部を連結する駆動軸４１は、ラジアル磁気軸受５
１，５２及びスラスト磁気軸受５３をもつ磁気軸受５を
介して浮動的に支持している。尚、９３，９４は定常運
転時に非接触となるタッチダウン軸受である。
向反吸気口側には、隔壁９５を介してモータ４を配設す
るモータ室４０を画成しており、モータ４と各ポンプ段
の回転部を連結する駆動軸４１は、ラジアル磁気軸受５
１，５２及びスラスト磁気軸受５３をもつ磁気軸受５を
介して浮動的に支持している。尚、９３，９４は定常運
転時に非接触となるタッチダウン軸受である。
【００１４】以上の構成で、最下段に位置する渦流ポン
プ段３と隔壁９５との間の軸方向中間部に、図２に明示
するように、円板ロータ６１ｂと、その上面に形成さ
れ、径方向内周部から外周部にかけて旋回状に延びる複
数の凹溝から成る放射状排気流路６１ａとを備えるジグ
バーン型の遠心ポンプ段６１から成る第一補助ポンプ段
６を配設して、前記放射状排気流路６１ａの内周側各入
口部を、渦流ポンプ段３の出口側を連通させる内周側環
状室８１の円周上に該円周に沿わせて開口すると共に、
前記放射状排気流路６１ａの外周側各出口部を、排気口
９２に連通させる外周側環状室８２の円周上に該円周に
沿わせて開口する。
プ段３と隔壁９５との間の軸方向中間部に、図２に明示
するように、円板ロータ６１ｂと、その上面に形成さ
れ、径方向内周部から外周部にかけて旋回状に延びる複
数の凹溝から成る放射状排気流路６１ａとを備えるジグ
バーン型の遠心ポンプ段６１から成る第一補助ポンプ段
６を配設して、前記放射状排気流路６１ａの内周側各入
口部を、渦流ポンプ段３の出口側を連通させる内周側環
状室８１の円周上に該円周に沿わせて開口すると共に、
前記放射状排気流路６１ａの外周側各出口部を、排気口
９２に連通させる外周側環状室８２の円周上に該円周に
沿わせて開口する。
【００１５】又、図１に示すように、モータ室４０と第
一補助ポンプ段６の出口側との間の連通部に、ロータ部
を構成する駆動軸４１に一体化する径大部４２の外面に
形成し、隔壁９５に設ける貫通穴９６の内面に臨ませる
複数のネジ溝７１ａを備えるネジ溝ポンプ段７１から成
る第二補助ポンプ段７を配設して、前記ネジ溝７１ａの
下端側各入口部を、モータ室４０側に臨む軸方向一側の
円周上に該円周に沿わせて開口すると共に、前記ネジ溝
７１ａの上端側各出口部を、第一補助ポンプ段６側に臨
む軸方向他側の円周上に該円周に沿わせて開口する。
一補助ポンプ段６の出口側との間の連通部に、ロータ部
を構成する駆動軸４１に一体化する径大部４２の外面に
形成し、隔壁９５に設ける貫通穴９６の内面に臨ませる
複数のネジ溝７１ａを備えるネジ溝ポンプ段７１から成
る第二補助ポンプ段７を配設して、前記ネジ溝７１ａの
下端側各入口部を、モータ室４０側に臨む軸方向一側の
円周上に該円周に沿わせて開口すると共に、前記ネジ溝
７１ａの上端側各出口部を、第一補助ポンプ段６側に臨
む軸方向他側の円周上に該円周に沿わせて開口する。
【００１６】こうして、第一補助ポンプ段６構成する遠
心ポンプ段６１の駆動により、該ポンプ段６１の出口側
に、円周方向に沿ってほぼ均一で排気口９２の圧力にほ
ぼ等しい圧力域を形成でき、この圧力域に向けてモータ
室４０側から第二補助ポンプ段７を構成するネジ溝ポン
プ段７１を介して強制的に排気が行えるため、処理室内
のガスが流れる排気流路側からモータ室４０への漏れを
防止できると共にモータ室４０から前記排気流路側への
漏れを防止でき、磁気軸受５やモータ４の腐食を防止で
きると共に排気ロスを防止でき、しかも、モータ室４０
を積極的に低圧状態にすることができ、該モータ室４０
側からロータ部の軸方向に付与するスラスト力を軽減で
き、磁気軸受５を小形化あるいはその制御電流を抑制す
ることができて、発熱量を抑制することができるのであ
る。
心ポンプ段６１の駆動により、該ポンプ段６１の出口側
に、円周方向に沿ってほぼ均一で排気口９２の圧力にほ
ぼ等しい圧力域を形成でき、この圧力域に向けてモータ
室４０側から第二補助ポンプ段７を構成するネジ溝ポン
プ段７１を介して強制的に排気が行えるため、処理室内
のガスが流れる排気流路側からモータ室４０への漏れを
防止できると共にモータ室４０から前記排気流路側への
漏れを防止でき、磁気軸受５やモータ４の腐食を防止で
きると共に排気ロスを防止でき、しかも、モータ室４０
を積極的に低圧状態にすることができ、該モータ室４０
側からロータ部の軸方向に付与するスラスト力を軽減で
き、磁気軸受５を小形化あるいはその制御電流を抑制す
ることができて、発熱量を抑制することができるのであ
る。
【００１７】又、以上のように、第一補助ポンプ段６を
遠心ポンプ段６１で、又、第二補助ポンプ段７をネジ溝
ポンプ段７で構成したから、最下段の渦流ポンプ段３と
隔壁９５との間の軸方向長さの増大を抑制できると共
に、隔壁９５とロータ部との貫通部分の構造を有効利用
することができ、全体としてロータ部の軸方向長さを過
剰に長くすることなく所期の目的を達成することができ
るのである。
遠心ポンプ段６１で、又、第二補助ポンプ段７をネジ溝
ポンプ段７で構成したから、最下段の渦流ポンプ段３と
隔壁９５との間の軸方向長さの増大を抑制できると共
に、隔壁９５とロータ部との貫通部分の構造を有効利用
することができ、全体としてロータ部の軸方向長さを過
剰に長くすることなく所期の目的を達成することができ
るのである。
【００１８】もっとも、ロータ部の軸方向長さを問わな
いならば、第一補助ポンプ段６をネジ溝ポンプ段で、第
二補助ポンプ段７を遠心ポンプ段で各々構成してもよ
い。
いならば、第一補助ポンプ段６をネジ溝ポンプ段で、第
二補助ポンプ段７を遠心ポンプ段で各々構成してもよ
い。
【００１９】
【発明の効果】以上、本発明によれば、第一補助ポンプ
段６と第二補助ポンプ段７とにより、処理室内のガスが
流れる排気流路側からモータ室４０への漏れ及びモータ
室４０から前記排気流路側への漏れを防止でき、磁気軸
受５やモータ４の腐食を防止できると共に排気ロスを防
止でき、しかも、モータ室４０側からロータ部の軸方向
に付与するスラスト力を軽減でき、磁気軸受５を小形化
あるいはその制御電流を抑制することができて、発熱量
を抑制することができる。
段６と第二補助ポンプ段７とにより、処理室内のガスが
流れる排気流路側からモータ室４０への漏れ及びモータ
室４０から前記排気流路側への漏れを防止でき、磁気軸
受５やモータ４の腐食を防止できると共に排気ロスを防
止でき、しかも、モータ室４０側からロータ部の軸方向
に付与するスラスト力を軽減でき、磁気軸受５を小形化
あるいはその制御電流を抑制することができて、発熱量
を抑制することができる。
【００２０】又、第一補助ポンプ段６を遠心ポンプ段６
１で構成すると共に第二補助ポンプ段７をネジ溝ポンプ
段７１で構成する場合には、ロータ部の軸方向長さを過
剰に長くすることなく所期の目的を達成することができ
る。
１で構成すると共に第二補助ポンプ段７をネジ溝ポンプ
段７１で構成する場合には、ロータ部の軸方向長さを過
剰に長くすることなく所期の目的を達成することができ
る。
【図１】本発明に係るドライ型真空ポンプの断面図。
【図２】同第一補助ポンプ段の平面図。
【図３】従来例の断面図。
３ 渦流ポンプ段 ４ モータ ５ 磁気軸受 ６ 第一補助ポンプ段 ７ 第二補助ポンプ段 ９ ポンプハウジング ４０ モータ室 ６１ 遠心ポンプ段 ７１ ネジ溝ポンプ段 ９１ 吸気口 ９２ 排気口 ９５ 隔壁 ６１ａ 放射状排気流路 ７１ａ ネジ溝
Claims (2)
- 【請求項１】吸気口９１と排気口９２をもつポンプハウ
ジング９を備え、該ハウジング９の内部で前記排気口９
２に近い下段側のポンプ段に、一の円周上に入口部と出
口部とをもつ渦流ポンプ段３を配設すると共に、前記渦
流ポンプ段３の軸方向反吸気口側に隔壁９５を介してモ
ータ４を配設するモータ室４０を画成し、前記モータ４
に連動するロータ部を磁気軸受５を介して浮動的に支持
したドライ型真空ポンプにおいて、前記渦流ポンプ段３
と隔壁９５との間の軸方向中間部に、一の円周上にこの
一の円周に沿って開口する入口部を、他の円周上にこの
他の円周に沿って開口する出口部を各々備える第一補助
ポンプ段６を配設して、この第一補助ポンプ段６の入口
部を前記渦流ポンプ段３の出口側に、この第一補助ポン
プ段６の出口部を前記排気口９２に各々連通させると共
に、前記モータ室４０と第一補助ポンプ段６の出口側と
の間の連通部に、一の円周上にこの一の円周に沿って開
口する入口部を、他の円周上にこの他の円周に沿って開
口する出口部を各々備える第二補助ポンプ段７を配設し
て、この第二補助ポンプ段７の入口部を前記モータ室４
０に、この第二補助ポンプ段７の出口部を前記第一補助
ポンプ段６の出口側に各々連通させていることを特徴と
するドライ型真空ポンプ。 - 【請求項２】第一補助ポンプ段６が、径方向内周部から
外周部にかけて延びる複数の放射状排気流路６１ａを備
える遠心ポンプ段６１から成り、前記放射状排気流路６
１ａの各入口部を、渦流ポンプ段３の出口側を連通させ
る内周側環状室の円周上に該円周に沿わせて開口してい
ると共に、前記放射状排気流路６１ａの各出口部を、排
気口９２に連通させる外周側環状室の円周上に該円周に
沿わせて開口しており、又、第二補助ポンプ段７が、隔
壁９５と該隔壁９５に貫通するロータ部との間に形成す
る複数のネジ溝７１ａを備えるネジ溝ポンプ段７１から
成り、前記ネジ溝７１ａの各入口部を、モータ室４０側
に臨む軸方向一側の円周上に該円周に沿わせて開口して
いると共に、前記ネジ溝７１ａの各出口部を、第一補助
ポンプ段６側に臨む軸方向他側の円周上に該円周に沿わ
せて開口している請求項１記載のドライ型真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29292591A JPH05133387A (ja) | 1991-11-08 | 1991-11-08 | ドライ型真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29292591A JPH05133387A (ja) | 1991-11-08 | 1991-11-08 | ドライ型真空ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05133387A true JPH05133387A (ja) | 1993-05-28 |
Family
ID=17788186
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29292591A Pending JPH05133387A (ja) | 1991-11-08 | 1991-11-08 | ドライ型真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05133387A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009257213A (ja) * | 2008-04-17 | 2009-11-05 | Ebara Corp | ターボ型真空ポンプ |
| EP2088325A3 (en) * | 2008-02-05 | 2012-08-29 | Ebara Corporation | Turbo vacuum pump |
-
1991
- 1991-11-08 JP JP29292591A patent/JPH05133387A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2088325A3 (en) * | 2008-02-05 | 2012-08-29 | Ebara Corporation | Turbo vacuum pump |
| JP2009257213A (ja) * | 2008-04-17 | 2009-11-05 | Ebara Corp | ターボ型真空ポンプ |
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