JPH05133373A - 水封式真空ポンプの気密保持機構 - Google Patents
水封式真空ポンプの気密保持機構Info
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- JPH05133373A JPH05133373A JP31999991A JP31999991A JPH05133373A JP H05133373 A JPH05133373 A JP H05133373A JP 31999991 A JP31999991 A JP 31999991A JP 31999991 A JP31999991 A JP 31999991A JP H05133373 A JPH05133373 A JP H05133373A
- Authority
- JP
- Japan
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- water
- mechanical seal
- casing
- pump chamber
- vacuum pump
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- Pending
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C27/00—Sealing arrangements in rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C27/008—Sealing arrangements in rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids for other than working fluid, i.e. the sealing arrangements are not between working chambers of the machine
- F04C27/009—Shaft sealings specially adapted for pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 水封式真空ポンプにおいて、メカニカルシー
ル部よりの外気の進入を阻止して、真空ポンプの性能を
安定させる。 【構成】 ポンプ室２ａ内に流路２ｂを形成し、この流
路２ｂを介して封水の遠心力による圧力或いは動圧を、
第２ケーシング２に内設のメカニカルシールボックス２
ｄへ伝達する通水路２ｃを設けるとともに、メカニカル
シールボックス２ｄとインペラ５との間に、回転軸６を
介してマウスリング８を設ける。したがって、前記遠心
力による圧力或いは動圧（封水）によりメカニカルシー
ルボックス２ｄ内を正圧の状態とするので、外気の進入
を阻止できる。
ル部よりの外気の進入を阻止して、真空ポンプの性能を
安定させる。 【構成】 ポンプ室２ａ内に流路２ｂを形成し、この流
路２ｂを介して封水の遠心力による圧力或いは動圧を、
第２ケーシング２に内設のメカニカルシールボックス２
ｄへ伝達する通水路２ｃを設けるとともに、メカニカル
シールボックス２ｄとインペラ５との間に、回転軸６を
介してマウスリング８を設ける。したがって、前記遠心
力による圧力或いは動圧（封水）によりメカニカルシー
ルボックス２ｄ内を正圧の状態とするので、外気の進入
を阻止できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、水封式真空ポンプに
関するもので、更に詳細には真空ポンプ内へ外部から空
気の進入を防止するための気密保持機構に関するもので
ある。
関するもので、更に詳細には真空ポンプ内へ外部から空
気の進入を防止するための気密保持機構に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】周知のように、ケーシング内の液体（例
えば、水）をインペラによって回転させることにより、
その液体がインペラの半径方向へ移動するのに伴って気
体（例えば、空気）を吸入排出し、圧送または排除する
水封式の真空ポンプは公知であり、このポンプを複数個
使用し、１段側ポンプの排気口と２段側ポンプの吸気口
を連通して一段のものよりも高い真空度を得られるよう
にした２段水封式真空ポンプも種々提案されている。
えば、水）をインペラによって回転させることにより、
その液体がインペラの半径方向へ移動するのに伴って気
体（例えば、空気）を吸入排出し、圧送または排除する
水封式の真空ポンプは公知であり、このポンプを複数個
使用し、１段側ポンプの排気口と２段側ポンプの吸気口
を連通して一段のものよりも高い真空度を得られるよう
にした２段水封式真空ポンプも種々提案されている。
【０００３】この種の水封式真空ポンプは、図６に示す
ようにポンプ部Ｐと軸受部２１からなり、ポンプ部Ｐは
吸気側ケーシング２２と排気側ケーシング２３との間に
介設した吸気側ポートプレート２４及び排気側ポートプ
レート２５により構成されており、このポンプ部Ｐはボ
ルト２６により軸受部２１に対して連結されている。前
期吸気側ポートプレート２４と排気側ポートプレート２
５との間にポンプ室２７を形成し、このポンプ室２７内
にインペラ２８を設けている。また、ポンプ室２７への
封水の供給は給水口２９より行う。
ようにポンプ部Ｐと軸受部２１からなり、ポンプ部Ｐは
吸気側ケーシング２２と排気側ケーシング２３との間に
介設した吸気側ポートプレート２４及び排気側ポートプ
レート２５により構成されており、このポンプ部Ｐはボ
ルト２６により軸受部２１に対して連結されている。前
期吸気側ポートプレート２４と排気側ポートプレート２
５との間にポンプ室２７を形成し、このポンプ室２７内
にインペラ２８を設けている。また、ポンプ室２７への
封水の供給は給水口２９より行う。
【０００４】しかしながら、上記従来の水封式真空ポン
プでは、図６に示すように、前期給水口２９より供給さ
れた封水は、インペラ２８の通水孔２８ａを経てメカニ
カルシール３０を収納するメカニカルシールボックス３
１および吸気側ケーシング２２の空間部を満たした後、
インペラ２８と各ポートプレート２４，２５の隙間から
ポンプ室２７内に流入する構造となっている。したがっ
て、ポンプ駆動時には給水量と隙間とのバランスによ
り、前期メカニカルシールボックス３１内は負圧とな
り、前期メカニカルシール３０の摺動部よ外気を吸引す
るため、ポンプ性能にバラツキが発生し結果的には性能
の低下を余儀なくされている。
プでは、図６に示すように、前期給水口２９より供給さ
れた封水は、インペラ２８の通水孔２８ａを経てメカニ
カルシール３０を収納するメカニカルシールボックス３
１および吸気側ケーシング２２の空間部を満たした後、
インペラ２８と各ポートプレート２４，２５の隙間から
ポンプ室２７内に流入する構造となっている。したがっ
て、ポンプ駆動時には給水量と隙間とのバランスによ
り、前期メカニカルシールボックス３１内は負圧とな
り、前期メカニカルシール３０の摺動部よ外気を吸引す
るため、ポンプ性能にバラツキが発生し結果的には性能
の低下を余儀なくされている。
【０００５】このようなメカニカルシール３０は、内部
より外部への液体の流出は阻止するが、外部より内部へ
の空気の進入は現状の汎用メカニカルシールでは防止で
きない。そこで対策として、耐真空性の良好なメカニカ
ルシールを使用するか、メカニカルシールの外側（大気
側）に水封室を設ける等の方法があるが、これらはいず
れもポンプが高価になるとともに、大型化するため実施
できない現状である。
より外部への液体の流出は阻止するが、外部より内部へ
の空気の進入は現状の汎用メカニカルシールでは防止で
きない。そこで対策として、耐真空性の良好なメカニカ
ルシールを使用するか、メカニカルシールの外側（大気
側）に水封室を設ける等の方法があるが、これらはいず
れもポンプが高価になるとともに、大型化するため実施
できない現状である。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、前述の問
題点に鑑み、メカニカルシールボックス内への封水の遠
心力による圧力或いは動圧を供給し、インペラとの間に
マウスリングを設けて正圧とする構成の水封式真空ポン
プを提供することを目的とするものである。
題点に鑑み、メカニカルシールボックス内への封水の遠
心力による圧力或いは動圧を供給し、インペラとの間に
マウスリングを設けて正圧とする構成の水封式真空ポン
プを提供することを目的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明は、前期課題を
解決するためになされたものであって、第１ケーシング
と第２ケーシングとの間にポンプ室を形成し、このポン
プ室にインペラを内設した構成の水封式真空ポンプにお
いて、前記ポンプ室内に流路を形成し、この流路を介し
て封水の遠心力による圧力或いは動圧を、前記第２ケー
シングに内設のメカニカルシールボックスへ伝達する通
水路を設けるとともに、前記メカニカルシールボックス
と前記インペラとの間に、回転軸を介してマウスリング
を設けたことを特徴としている。又、請求項２は、第１
ケーシングの内側面に吸気ポートと排気ポートを共にポ
ンプ室に連通するように形成し、外側面には吸気口と排
気口を設けて、吸気ポートと吸気口、排気ポートと排気
口をそれぞれ連通したことを特徴としている。
解決するためになされたものであって、第１ケーシング
と第２ケーシングとの間にポンプ室を形成し、このポン
プ室にインペラを内設した構成の水封式真空ポンプにお
いて、前記ポンプ室内に流路を形成し、この流路を介し
て封水の遠心力による圧力或いは動圧を、前記第２ケー
シングに内設のメカニカルシールボックスへ伝達する通
水路を設けるとともに、前記メカニカルシールボックス
と前記インペラとの間に、回転軸を介してマウスリング
を設けたことを特徴としている。又、請求項２は、第１
ケーシングの内側面に吸気ポートと排気ポートを共にポ
ンプ室に連通するように形成し、外側面には吸気口と排
気口を設けて、吸気ポートと吸気口、排気ポートと排気
口をそれぞれ連通したことを特徴としている。
【０００８】
【作用】この発明によれば、ポンプ室内をインペラの回
転によって周回する封水の遠心力により発生する圧力或
いは動圧（封水）を、前記流路を介して第２ケーシング
に内設したメカニカルシールボックスへ通水路を経て流
入させる。流入した封水は、マウスリングと回転軸の隙
間において圧力損失が起こるので、メカニカルシールボ
ックス内を正圧の状態とする。したがって、メカニカル
シール部よりの外気の進入を阻止することができる。
転によって周回する封水の遠心力により発生する圧力或
いは動圧（封水）を、前記流路を介して第２ケーシング
に内設したメカニカルシールボックスへ通水路を経て流
入させる。流入した封水は、マウスリングと回転軸の隙
間において圧力損失が起こるので、メカニカルシールボ
ックス内を正圧の状態とする。したがって、メカニカル
シール部よりの外気の進入を阻止することができる。
【０００９】
【実施例】以下、この発明の具体的実施例を図面に基づ
いて詳細に説明する。図示の実施例は、一例として単段
の水封式真空ポンプについての説明である。
いて詳細に説明する。図示の実施例は、一例として単段
の水封式真空ポンプについての説明である。
【００１０】図１に示すように、水封式真空ポンプは、
ポンプ部Ｐと軸受部３からなり、ポンプ部Ｐは一方側か
ら吸気し、他方側へ排気するもので、第１ケーシング１
と第２ケーシング２により構成されており、このポンプ
部Ｐは、ボルト４により軸受部３に対して連結されてい
る。尚、第１ケーシングは、この実施例では反モーター
側に設けた吸気側を示し、第２ケーシングはモーター側
に設けた排気側を示す。
ポンプ部Ｐと軸受部３からなり、ポンプ部Ｐは一方側か
ら吸気し、他方側へ排気するもので、第１ケーシング１
と第２ケーシング２により構成されており、このポンプ
部Ｐは、ボルト４により軸受部３に対して連結されてい
る。尚、第１ケーシングは、この実施例では反モーター
側に設けた吸気側を示し、第２ケーシングはモーター側
に設けた排気側を示す。
【００１１】前記第１ケーシング１と第２ケーシング２
との間にポンプ室２ａが形成されており、このポンプ室
２ａ内にはインペラ５が回転自在に設けられている。こ
のインペラ５は、回転軸６にキーおよびバネを介してＣ
型止め輪により固定してある。そして、前記軸受部３に
は、回転軸６を回転自在に支持する軸受と駆動モータ
（図示省略）を配置している。
との間にポンプ室２ａが形成されており、このポンプ室
２ａ内にはインペラ５が回転自在に設けられている。こ
のインペラ５は、回転軸６にキーおよびバネを介してＣ
型止め輪により固定してある。そして、前記軸受部３に
は、回転軸６を回転自在に支持する軸受と駆動モータ
（図示省略）を配置している。
【００１２】第１ケーシング１は、図１および図２に示
すように、略円板形状で中心に給水口１ａを形成してお
り、斜上方には吸気口１ｂを形成し、この吸気口１ｂよ
り吸気流路１ｃを介して吸気ポート１ｄに連通してい
る。この吸気ポート１ｄは、前記吸気口１ｂの背面側
に、略青竜刃状に形成してあって、前記第２ケーシング
２に内設のポンプ室２ａに連通している。
すように、略円板形状で中心に給水口１ａを形成してお
り、斜上方には吸気口１ｂを形成し、この吸気口１ｂよ
り吸気流路１ｃを介して吸気ポート１ｄに連通してい
る。この吸気ポート１ｄは、前記吸気口１ｂの背面側
に、略青竜刃状に形成してあって、前記第２ケーシング
２に内設のポンプ室２ａに連通している。
【００１３】第２ケーシング２は、図１および図３に示
すように、略円板形状で中心にメカニカルシール７を収
納するメカニカルシールボックス２ｄを形成している。
前記第１ケーシング１と対面する側面に、中心より所定
量偏心したポンプ室２ａを形成し、前記メカニカルシー
ルボックス２ｄの回りに排気ポート２ｅが形成してあっ
て、この排気ポート２ｅに連通する排気流路２ｆと排気
口２ｇが設けられている。
すように、略円板形状で中心にメカニカルシール７を収
納するメカニカルシールボックス２ｄを形成している。
前記第１ケーシング１と対面する側面に、中心より所定
量偏心したポンプ室２ａを形成し、前記メカニカルシー
ルボックス２ｄの回りに排気ポート２ｅが形成してあっ
て、この排気ポート２ｅに連通する排気流路２ｆと排気
口２ｇが設けられている。
【００１４】この発明に係る気密保持機構は、図１およ
び図３に示すように前記ポンプ室２ａの排気ポート２ｅ
側の、しかも内周壁に接した所定の位置に流路２ｂを形
成し、この流路２ｂに連通する通水路２ｃを前記メカニ
カルシールボックス２ｄに連通するように形成する。そ
して、マウスリング８をメカニカルシールボックス２ｄ
のインペラ５の近傍の所定の位置に嵌入し穴用Ｃ型止め
輪９にて固定する。尚、マウスリング８の内径は、前記
回転軸６の外径部と若干の隙間１０を有する寸法に形成
してある。図中１１は、プラグで前記通水路２ｃを封止
する。
び図３に示すように前記ポンプ室２ａの排気ポート２ｅ
側の、しかも内周壁に接した所定の位置に流路２ｂを形
成し、この流路２ｂに連通する通水路２ｃを前記メカニ
カルシールボックス２ｄに連通するように形成する。そ
して、マウスリング８をメカニカルシールボックス２ｄ
のインペラ５の近傍の所定の位置に嵌入し穴用Ｃ型止め
輪９にて固定する。尚、マウスリング８の内径は、前記
回転軸６の外径部と若干の隙間１０を有する寸法に形成
してある。図中１１は、プラグで前記通水路２ｃを封止
する。
【００１５】インペラ５は、図１および図４に示すよう
に、略放射状に配置した羽根５ａにより構成されてお
り、中心に回転軸６用の穴５ｂを形成し、その回りには
通水孔５ｃを形成している。図中の矢印はインペラ５の
回転方向を示す。
に、略放射状に配置した羽根５ａにより構成されてお
り、中心に回転軸６用の穴５ｂを形成し、その回りには
通水孔５ｃを形成している。図中の矢印はインペラ５の
回転方向を示す。
【００１６】次に、この水封式ポンプの作動及び作用を
説明する。給水口１ａから水を供給し、図示しないモー
タにより回転軸６を回転してインペラ５を回転すると、
ポンプ室２ａ内の水はポンプ室の内周壁に沿って流れ、
環状になって周回する。インペラ５の中心はポンプ室２
ａの内周壁の中心に対して偏心しているので、下側に空
間部が生じ、この空間部が回転によって膨張収縮するこ
とにより空気を吸入排出する。
説明する。給水口１ａから水を供給し、図示しないモー
タにより回転軸６を回転してインペラ５を回転すると、
ポンプ室２ａ内の水はポンプ室の内周壁に沿って流れ、
環状になって周回する。インペラ５の中心はポンプ室２
ａの内周壁の中心に対して偏心しているので、下側に空
間部が生じ、この空間部が回転によって膨張収縮するこ
とにより空気を吸入排出する。
【００１７】一方、空気の流れを説明すると、吸気口１
ｂからの空気は吸気流路１ｃを通過し吸気ポート１ｄか
らポンプ室２ａ内に吸い込まれる。ポンプ室２ａから排
出される空気は、排気ポート２ｅから排気流路２ｆを通
過し排気口２ｇを介して外部に排出されることになる。
ｂからの空気は吸気流路１ｃを通過し吸気ポート１ｄか
らポンプ室２ａ内に吸い込まれる。ポンプ室２ａから排
出される空気は、排気ポート２ｅから排気流路２ｆを通
過し排気口２ｇを介して外部に排出されることになる。
【００１８】この発明に係る気密保持機構について説明
すると、図３に示すように、ポンプ室２ａの排気ポート
２ｅ側に設けた流路２ｂに、インペラ５の回転によって
周回する封水の遠心力による圧力（封水）を導入し、こ
の封水を通水路２ｃを介してメカニカルシールボックス
２ｄ内に流入する。流入した封水は、メカニカルシール
ボックス２ｄ内に設けたマウスリング８の内径と、回転
軸６の外径との間の若干の隙間１０よりポンプ室２ａ内
に少量は流入するが、そのほとんどは前記通水路２ｃと
メカニカルシールボックス２ｄ内を正圧の状態としてい
る。したがって、メカニカルシール７の摺動部より外気
の進入を阻止することができる。
すると、図３に示すように、ポンプ室２ａの排気ポート
２ｅ側に設けた流路２ｂに、インペラ５の回転によって
周回する封水の遠心力による圧力（封水）を導入し、こ
の封水を通水路２ｃを介してメカニカルシールボックス
２ｄ内に流入する。流入した封水は、メカニカルシール
ボックス２ｄ内に設けたマウスリング８の内径と、回転
軸６の外径との間の若干の隙間１０よりポンプ室２ａ内
に少量は流入するが、そのほとんどは前記通水路２ｃと
メカニカルシールボックス２ｄ内を正圧の状態としてい
る。したがって、メカニカルシール７の摺動部より外気
の進入を阻止することができる。
【００１９】以上の実施例は、インペラ５の回転によっ
て周回する遠心力による圧力を導入する流路２ｂについ
て説明したが、これをインペラ５の回転方向に沿って、
ポンプ室２ａの内周壁に流路を形成すれば、遠心力によ
る圧力と動圧を同時に通水路を介してメカニカルシール
ボックス２ｄに導入することができるので、より高い封
水の圧力でメカニカルシールボックス２ｄを正圧にする
ことができる。（図示省略）
て周回する遠心力による圧力を導入する流路２ｂについ
て説明したが、これをインペラ５の回転方向に沿って、
ポンプ室２ａの内周壁に流路を形成すれば、遠心力によ
る圧力と動圧を同時に通水路を介してメカニカルシール
ボックス２ｄに導入することができるので、より高い封
水の圧力でメカニカルシールボックス２ｄを正圧にする
ことができる。（図示省略）
【００２０】つぎに、上記実施例にかわる実施例につい
て説明する。図５に示すように、第１ケーシング１の内
側面に吸気ポート１ｄと排気ポート１ｅを共にポンプ室
２ａに連通するように形成し、外側面には吸気口１ｂと
排気口１ｆを設けて、吸気ポート１ｄと吸気口１ｂ、排
気ポート１ｅと排気口１ｆをそれぞれ連通させたもので
あって、中心部には給水口１ａを設けた構成としてい
る。この実施例の水封式真空ポンプは、ポンプ室２ａへ
の吸気およびポンプ室２ａからの排気を片方側だけで行
うので、加工、組立が容易となる。尚、その他の構成お
よび作用は図１の実施例と重複するので説明を省略す
る。
て説明する。図５に示すように、第１ケーシング１の内
側面に吸気ポート１ｄと排気ポート１ｅを共にポンプ室
２ａに連通するように形成し、外側面には吸気口１ｂと
排気口１ｆを設けて、吸気ポート１ｄと吸気口１ｂ、排
気ポート１ｅと排気口１ｆをそれぞれ連通させたもので
あって、中心部には給水口１ａを設けた構成としてい
る。この実施例の水封式真空ポンプは、ポンプ室２ａへ
の吸気およびポンプ室２ａからの排気を片方側だけで行
うので、加工、組立が容易となる。尚、その他の構成お
よび作用は図１の実施例と重複するので説明を省略す
る。
【００２１】この発明は、前記実施例の単段水封式真空
ポンプに適用する以外に、２段水封式真空ポンプにも全
く同様に適用することができる。即ち、図６に示すよう
に、ポートプレート５１と排気側ケーシング５２との間
に連通プレート５３を介設し、ポートプレート５１側に
１段側ポンプ室５４を、排気側ケーシング５２側に２段
側ポンプ室５５をそれぞれ形成し、この２段側ポンプ室
５５内に単段と同様の流路５６を形成する。又、排気側
ケーシング５２に前記流路５６と連通する通水路５７を
設け、圧力或いは動圧（封水）をメカニカルシールボッ
クス５８内に導入する。そして、メカニカルシールボッ
クス５８の２段側ポンプ室５５側の所定の位置に回転軸
６０を介してマウスリング５９を設け、穴用Ｃ型止め輪
によりマウスリング５９を固定する。尚、以上のほかの
構成及び作用は、前述の単段水封式真空ポンプと同様で
あるので説明を省略する。
ポンプに適用する以外に、２段水封式真空ポンプにも全
く同様に適用することができる。即ち、図６に示すよう
に、ポートプレート５１と排気側ケーシング５２との間
に連通プレート５３を介設し、ポートプレート５１側に
１段側ポンプ室５４を、排気側ケーシング５２側に２段
側ポンプ室５５をそれぞれ形成し、この２段側ポンプ室
５５内に単段と同様の流路５６を形成する。又、排気側
ケーシング５２に前記流路５６と連通する通水路５７を
設け、圧力或いは動圧（封水）をメカニカルシールボッ
クス５８内に導入する。そして、メカニカルシールボッ
クス５８の２段側ポンプ室５５側の所定の位置に回転軸
６０を介してマウスリング５９を設け、穴用Ｃ型止め輪
によりマウスリング５９を固定する。尚、以上のほかの
構成及び作用は、前述の単段水封式真空ポンプと同様で
あるので説明を省略する。
【００２２】
【発明の効果】この発明は以上のように構成したので次
のような効果がある。即ち、メカニカルシールボックス
内のポンプ室側にマウスリングを設けたので、ポンプ室
内を周回する封水の遠心力による圧力或いは動圧（封
水）を、ポンプ室の排気ポート側に設けた流路を介して
通水路およびメカニカルシールボックス内を正圧の状態
とする。したがって、メカニカルシールの摺動部よりの
外気の進入を阻止し、ポンプ性能を安定させることがで
きる。
のような効果がある。即ち、メカニカルシールボックス
内のポンプ室側にマウスリングを設けたので、ポンプ室
内を周回する封水の遠心力による圧力或いは動圧（封
水）を、ポンプ室の排気ポート側に設けた流路を介して
通水路およびメカニカルシールボックス内を正圧の状態
とする。したがって、メカニカルシールの摺動部よりの
外気の進入を阻止し、ポンプ性能を安定させることがで
きる。
【図１】この発明を適用した水封式真空ポンプの断面図
である。
である。
【図２】図１の第１ケーシングの正面図である。
【図３】図１の第２ケーシングの正面図である。
【図４】図１のインペラの正面図である。
【図５】図１の実施例にかわる水封式真空ポンプの断面
図である。
図である。
【図６】従来の水封式真空ポンプの断面図である。
【図７】この発明を適用した２段水封式真空ポンプの断
面図である。
面図である。
１ 第１ケーシング １ｂ 吸気口 １ｄ 吸気ポート １ｅ 排気ポート １ｆ 排気口 ２ 第２ケーシング ２ａ ポンプ室 ２ｂ 流路 ２ｃ 通水路 ２ｄ メカニカルシールボックス ５ インペラ ６ 回転軸 ８ マウスリング
Claims (2)
- 【請求項１】 第１ケーシング１と第２ケーシング２と
の間にポンプ室２ａを形成し、このポンプ室２ａにイン
ペラ５を内設した構成の水封式真空ポンプにおいて、前
記ポンプ室２ａ内に流路２ｂを形成し、この流路２ｂを
介して封水の遠心力による圧力或いは動圧を前記第２ケ
ーシング２に内設のメカニカルシールボックス２ｄへ伝
達する通水路２ｃを設けるとともに、前記メカニカルシ
ールボックス２ｄと前記インペラ５との間に、回転軸６
を介してマウスリング８を設けたことを特徴とする水封
式真空ポンプの気密保持機構。 - 【請求項２】 第１ケーシング１の内側面に吸気ポート
１ｄと排気ポート１ｅを共にポンプ室に連通するように
形成し、外側面には吸気口１ｂと排気口１ｆを設けて、
吸気ポート１ｄと吸気口１ｂ、排気ポート１ｅと排気口
１ｆをそれぞれ連通したことを特徴とする請求項１に記
載の水封式真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31999991A JPH05133373A (ja) | 1991-11-06 | 1991-11-06 | 水封式真空ポンプの気密保持機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31999991A JPH05133373A (ja) | 1991-11-06 | 1991-11-06 | 水封式真空ポンプの気密保持機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05133373A true JPH05133373A (ja) | 1993-05-28 |
Family
ID=18116624
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31999991A Pending JPH05133373A (ja) | 1991-11-06 | 1991-11-06 | 水封式真空ポンプの気密保持機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05133373A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5464329A (en) * | 1994-05-25 | 1995-11-07 | Miura Co., Ltd. | Water ring type pump with sidewall water reflux passage |
| CN109268268A (zh) * | 2018-11-27 | 2019-01-25 | 中国船舶重工集团公司第七0四研究所 | 船用汽轮机一体式集成水环真空泵 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS517843A (ja) * | 1974-07-08 | 1976-01-22 | Omron Tateisi Electronics Co |
-
1991
- 1991-11-06 JP JP31999991A patent/JPH05133373A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS517843A (ja) * | 1974-07-08 | 1976-01-22 | Omron Tateisi Electronics Co |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5464329A (en) * | 1994-05-25 | 1995-11-07 | Miura Co., Ltd. | Water ring type pump with sidewall water reflux passage |
| CN109268268A (zh) * | 2018-11-27 | 2019-01-25 | 中国船舶重工集团公司第七0四研究所 | 船用汽轮机一体式集成水环真空泵 |
| CN109268268B (zh) * | 2018-11-27 | 2023-09-19 | 中国船舶重工集团公司第七0四研究所 | 船用汽轮机一体式集成水环真空泵 |
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