JPH0512871B2 - - Google Patents

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JPH0512871B2
JPH0512871B2 JP58062162A JP6216283A JPH0512871B2 JP H0512871 B2 JPH0512871 B2 JP H0512871B2 JP 58062162 A JP58062162 A JP 58062162A JP 6216283 A JP6216283 A JP 6216283A JP H0512871 B2 JPH0512871 B2 JP H0512871B2
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JP
Japan
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film
solar cell
metal oxide
tin oxide
current
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JP58062162A
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English (en)
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JPS59188979A (ja
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Masaaki Okunaka
Mitsuo Nakatani
Haruhiko Matsuyama
Ataru Yokono
Tokio Isogai
Tadashi Saito
Kunihiro Matsukuma
Sumyuki Midorikawa
Satoru Suzuki
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/02Details
    • H01L31/0216Coatings
    • H01L31/02161Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
    • H01L31/02167Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for solar cells
    • H01L31/02168Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for solar cells the coatings being antireflective or having enhancing optical properties for the solar cells
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
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Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は光電変換効率の高い太陽電池に関す
る。
〔従来技術〕
太陽電池素子においては、SiあるいはGaAs表
面での太陽光の反射を防止するために、基板の受
光面に金属酸化膜をもうける方法がとられる。従
来、この金属酸化膜として酸化チタンあるいは酸
化チタンで酸化ケイ素の混合物の膜が用いられて
いたが、これらの膜を用いた場合には反射防止の
効果が十分に得られなかつた。すなわち、金属酸
化膜を形成すると理論的には40%以上の電流増加
が期待されるのに対し、上記した金属酸化膜では
35%程の電流増加しか得られなかつた。
〔発明の目的〕
本発明の目的は、電流増加が40%以上となるよ
うな金属酸化膜を形成した太陽電池素子を提供す
るにある。
〔発明の概要〕
上記目的を達成するために、本発明は金属酸化
膜として酸化チタンと酸化スズを用い、かつこれ
らの混合比が酸化チタン20〜90重量%と酸化スズ
10〜80重量%であることを特徴とする。本発明の
材料の金属酸化膜を形成することにより太陽電池
の光起電流を、金属酸化膜のない場合に比べ40〜
50%増加させることができることを見い出した。
本発明の酸化チタと酸化スズの混合物からなる
膜を形成する方法としては、(イ)スパツタ法、(ロ)蒸
着法、(ハ)金属錯体の塗布一焼成法、などが挙げら
れる。このうち、(ハ)の方法が最も低コスト、高速
に金属酸化膜を形成できる方法である。
酸化チタン酸化スズの混合比は、酸化スズが総
重量に対して10〜80wt%のときに最も大きな電
流増加が得られる。
〔発明の実施例〕
次に本発明を実施例により説明する。
実施例 1 PN接合を形成したシリコン基板3(この場合
は直径3インチの単結晶シリコン)の受光面にス
パツタリング法により酸化チタンと酸化スズの混
合膜を形成した。酸化スズの重量%は25wt%で
あつた。膜の屈折率は2.18、膜厚は630Åであつ
た。次に、第1図に示すように電極形成部の上記
混合膜をエツチングにより除去し、その部分にバ
スバー電極1、フインガー電極2を蒸着法により
形成した。裏面には全面に電極を蒸着法で形成し
た。この太陽電池素子の−特性を第2図の4
に示す。また、金属酸化膜を形成していない太陽
電池の−特性を同じく第2図の5に示す。本
発明の太陽電池素子は、金属酸化膜を形成しない
場合に比べ電流が46%増加した。
実施例 2 PN接合を形成した50mm角の多結晶シリコンの
受光面にEB蒸着法により酸化チタンと酸化スズ
の混合膜を形成した。酸化スズの重量%は35wt
%であつた。膜の屈折率は2.15、膜厚は640Åで
あつた。次に実施例1と同様にして電極を形成し
た。この太陽電池の短絡電流は0.75Aであつた。
金属酸化膜を形成しない場合(0.51A)に比べ47
%電流が増加した。
実施例 3 Ti(OC3H72(CH3COCHCOCH32(3.64g、10
mmol)、C4H9Sn(OH)(CH3COCHCOCH32
(1.96g、5mmol)とをエチルセロツルブ(15
g)に溶解した溶液を調製した。この溶液をPN
接合を形成した3インチ中の単結晶シリコンの受
光面に2500rpmの回転数で回転塗布した。次にこ
れを600℃で30分間焼成することにより酸化チタ
ンと酸化スズの混合膜を形成した。膜の屈折率は
2.02、膜厚は680Åであつた。次に実施例1と同
様にして電極を形成した。この太陽電池の短絡電
流は1.44Aであつた。金属酸化膜を形成しない場
合(0.98A)に比べて47%電流が増加した。
実施例 4 Ti(OC3H72(CH3COCHCOCH32、C4H9Sn
(OH)(CH3COCHCOCH32、およびエチルセル
ソルブを用いて、Ti化合物とSn化合物の混合比
の異なる種々の溶液を調製し、これらの溶液を用
いて実施例3と同様にして、PN接合を形成した
3インチφの単結晶シリコンの受光面に酸化スズ
の重量比の異なる種々の金属酸化膜を形成した。
形成した膜の屈折率は2.0〜2.1、膜厚は655〜690
Åであつた。次に実施例1と同様にして電極を形
成した。これら太陽電池の短絡電流を第3図に示
す。酸化チタンと酸化スズとの混合膜とすること
により電流が大きくなることが第3図からわか
る。また、混合物が酸化チタン20〜90重量%と酸
化スズ10〜80重量%とからなる場合に大きな電流
が得られた。
〔発明の効果〕
以上述べた如く、本発明の太陽電池は従来の太
陽電池よりも大きな電流が得られ、従つて効率が
高いという特徴があり、工業的意義が大きい。
【図面の簡単な説明】
第1図は受光面電極パターンを示す図、第2図
は実施例1の太陽電池素子の−特性を示す
図、第3図は酸化スズの重量%と短絡電流の関係
を示す図である。 1:バスバー電極、2:フインガー電極、3:
PN接合形成シリコン基板。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 太陽電池の受光面に金属酸化膜を設けた太陽
    電池素子において、金属酸化膜が酸化チタン20〜
    90重量%と酸化スズ10〜80重量%とからなる混合
    物であることを特徴とする太陽電池素子。
JP58062162A 1983-04-11 1983-04-11 太陽電池素子 Granted JPS59188979A (ja)

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JPS59188979A JPS59188979A (ja) 1984-10-26
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP4672973B2 (ja) * 2002-09-30 2011-04-20 昭和電工株式会社 酸化チタンを含む金属酸化物構造体及びその製造方法ならびにその用途

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JPS5185389A (ja) * 1975-01-20 1976-07-26 Matsushita Electric Ind Co Ltd
JPS5583272A (en) * 1978-12-19 1980-06-23 Nec Corp Solar battery unit and method of manufacturing the same
JPS583292A (ja) * 1981-06-29 1983-01-10 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 光電変換装置

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