JPH05127108A - ビデオクロツク信号発生装置 - Google Patents

ビデオクロツク信号発生装置

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JPH05127108A
JPH05127108A JP3291722A JP29172291A JPH05127108A JP H05127108 A JPH05127108 A JP H05127108A JP 3291722 A JP3291722 A JP 3291722A JP 29172291 A JP29172291 A JP 29172291A JP H05127108 A JPH05127108 A JP H05127108A
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JP
Japan
Prior art keywords
voltage
threshold voltage
spot light
clock signal
circuit
Prior art date
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Pending
Application number
JP3291722A
Other languages
English (en)
Inventor
Hisashi Okugawa
久 奥川
Hiroshi Nishida
浩 西田
Yoshinori Kuroiwa
義典 黒岩
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
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Publication date
Application filed by Nikon Corp filed Critical Nikon Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】適切なしきい値電圧を得る。また、簡単な構成
にしてコストを低減するとともに、光量の損失をなく
す。 【構成】リニアスケール14に、しきい値電圧設定基準
用の2つのパターン12,13を設け、両パターン1
2,13および刻線11にレーザ光を反射または透過さ
せて、第1の基準電圧、第2の基準電圧および電圧振幅
をそれぞれ得るように構成し、第1の基準電圧と第2の
基準電圧との差の電圧と、電圧振幅と第2の基準電圧と
の差の電圧との比率は、レーザ光のスポット径、刻線の
幅と前記両パターンの幅とのそれぞれの比、走査スピー
ド等から算出されて、一定であるため、第1の基準電圧
と第2の基準電圧とに基づいてしきい値電圧を発生する
ようにすれば、レーザ光源の光出力の変化等により前記
電圧振幅が変化した場合でも、前記比率に応じてしきい
値電圧を決定することにより、適切なしきい値電圧を得
ることができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザ光を振動させて
リニアスケールに入射し、該リニアスケールに形成され
た刻線にレーザ光を反射または透過させ、前記リニアス
ケールの刻線の数に応じたパルス信号を出力するように
したビデオクロック信号発生装置に関し、特に、ビデオ
クロック信号を作る際のしきい値の決定に関する。
【0002】
【従来の技術】従来のビデオクロック信号発生装置とし
ては、例えば、図6および図7にそれぞれ示すようなも
のがある。
【0003】すなわち、図6に示すものは、レーザ光の
光出力や信号検出用のディテクタ1の光電変換効率等か
ら予めしきい値を決めるもので、ディテクタ1からの検
知信号を増幅回路2で電流電圧変換および増幅し、定電
圧発生回路27から予め決められたしきい値電圧が発生
し、しきい値電圧と前記増幅した電圧とを比較回路28
で比較処理し、ビデオクロック信号を発生するようにし
たものである。
【0004】また、図7に示すものは、レーザ光を分割
して、ディテクタ1ばかりでなく、光量モニタ用のディ
テクタ29にも入射させ、ディテクタ29からの出力
が、増幅回路2を介して演算回路20に入力され、演算
回路20によりしきい値電圧が決められるものである。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来のビデオクロック信号発生装置では、前者にお
いては、レーザ光源の光出力が変動したり、温度変化等
によりディテクタ1の光電変換効率やオフセットが変動
したりする場合があり、予め決められたしきい値電圧で
は、それらの変動に応じることができないで、本来の機
能を発揮せず、所望のビデオクロック信号が得られない
場合があるという問題点があった。
【0006】後者では、信号検出用のディテクタ1と光
量モニタ用のディテクタ29とが必要となり、また、2
つのディテクタ1,29にレーザ光をそれぞれ振り分け
るための光学系が必要となる。さらに、レーザ光を振り
分けるために光量のロスがある。さらに、例えば、2つ
のディテクタ1,29のうち一方の光電変換効率が変動
したり、各ディテクタ1,29の光電変換効率の変動に
差があったりした場合には、結果的に、演算回路20か
ら発生するしきい値電圧が不適当なものになるという問
題点があった。
【0007】本発明は、このような従来の問題点に着目
してなされたもので、1つの信号検出用のディテクタだ
けを用いた簡単な構成にし、コストを低減するととも
に、光量の損失がなく、また、レーザ光源の光出力の変
動やディテクタのオフセット変動等に応じた適切なしき
い値電圧を得ることができるビデオクロック信号発生装
置を提供することを目的としている。
【0008】
【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
めの本発明の要旨とするところは、リニアスケール(1
4)の刻線(11)上でスポット光を振動させて、刻線
(11)の数に応じたパルス信号を出力するようにした
ビデオクロック信号発生装置において、前記刻線(1
1)のピッチ方向の両端部の少なくとも一方に、前記ス
ポット光の径より広い幅を有すると共に前記スポット光
に対して互いに異なる光学特性を有するしきい値電圧設
定基準用の第1および第2パターン(13,12)を設
け、前記第1パターン(13)と第2パターン(12)
とに前記スポット光が照射させた際に個々に得られる第
1および第2の電圧に基づいて、前記刻線(11)上に
前記スポット光が照射された際に得られる電圧と比較す
べきしきい値電圧を発生するしきい値電圧発生回路
(5)を備えたことを特徴とするビデオクロック信号発
生装置に存する。
【0009】前記しきい値電圧発生回路(5)は、前記
リニアスケール(14)を経由した前記スポットを受光
するディテクタ(1)を備え、前記しきい値電圧設定基
準用の第1および第2パターン(13,12)の一方
は、前記スポット光の該ディテクタ(1)への到達を許
容し、他方は前記スポット光の該ディテクタ(1)への
到達を妨げる光学特性をそれぞれ有する。
【0010】
【作用】レーザ光源からのレーザ光(51)が振動して
リニアスケール(14)に入射し、レーザ光(51)が
リニアスケール(14)の刻線(11)、しきい値電圧
設定基準用の第1パターン(13)およびしきい値電圧
設定基準用の第2パターン(12)に反射または透過す
る。
【0011】しきい値電圧設定基準用の第1パターン
(13)に反射または透過したレーザ光(51)の光量
に応じて第1の基準電圧(P1)が得られるとともに、
しきい値電圧設定基準用の第2パターン(12)に反射
または透過したレーザ光(51)の光量に応じて第2の
基準電圧(P2)が得られる。
【0012】しきい値電圧設定基準用の第1および第2
パターン(13,12)は、スポット光の径より広い幅
を有するので、第1および第2の基準電圧(P1,P
2)は、レーザ光(51)の走査スピードに無関係に一
定になる。また、レーザ光源の出力変動、ディテクタ
(1)の光電変換効率の変動、およびオフセットの変動
とは無関係に、しきい値電圧設定基準用の第1および第
2パターン(13,12)に反射または透過したレーザ
光(51)の光量と、刻線(11)に反射または透過し
たレーザ光(51)の光量との比率は一定になる。
【0013】それにより、刻線(11)にレーザ光(5
1)が反射または透過した際に得られる電圧値は、同じ
く一定の比率になり、レーザ光源の出力の変動、ディテ
クタ(1)の光電変換効率の変動、オフセットの変動、
および、走査スピードの変動に関わらず、常に、第1基
準電圧(P1)と第2基準電圧(P2)との差の電圧を
按分した値になる。
【0014】すなわち、第1基準電圧(P1)と第2基
準電圧(P2)との差の電圧を監視し、その電圧に応じ
たしきい値電圧を発生させれば、その発生したしきい値
電圧は常に適当なものとなる。
【0015】次に、前記しきい値電圧と、刻線(11)
にレーザ光(51)を反射または透過させた際に得られ
る電圧と比較すれば、所望のビデオクロック信号を得る
ことができる。
【0016】また、前記第1基準電圧(P1)および第
2基準電圧(P2)は、ビデオクロック信号がどこから
発生するかを判断するための基準にすることができる。
【0017】
【実施例】以下、図面に基づき本発明の各種実施例を説
明する。
【0018】図1〜図4は本発明の第1実施例を示して
いる。
【0019】図2に示すように、レーザ光源からのレー
ザ光51を振動させて、レンズ53を介してリニアスケ
ール14に入射させるスキャナミラー52が設けられて
いる。リニアスケール14を透過したレーザ光はレンズ
55によってディテクタ1上に集光される。ディテクタ
1にはSPD(silicone photo dio
de)が一般的に用いられる。
【0020】図4はリニアスケール14を概念的に示し
ている。リニアスケール14の略矩形状の基板には、長
手方向の中央部に刻線11,11…が一定のピッチで連
設されている。刻線11はレーザ光を透過するように形
成され、刻線11の長手方向(走査方向)の幅は、レー
ザ光のスポット光15の径よりやや狭くなっている。隣
接する刻線11の間のスペースはレーザ光を反射または
吸収し、同じくスポット光15の径よりやや幅狭になっ
ている。
【0021】リニアスケール14の両端部には、しきい
値電圧設定基準用の第1パターン13が形成され、刻線
11と第1パターン13との間のスペースがしきい値電
圧設定基準用の第2パターン12に成っている。
【0022】第1パターン13は、刻線11と同じくレ
ーザ光を透過する光学特性を有し、スポット光15全体
がパターン13内に含まれ得るように、スポット光15
の径より十分に幅広に形成されている。反対に、第2パ
ターン12はレーザ光を反射または吸収する光学特性を
有し、スポット光15全体がパターン12に含まれ得る
ように、スポット光15の径より十分に幅広に形成され
ている。
【0023】スキャナミラー52は、スポット光15全
体が両端の第1パターン13に入る位置まで振動するよ
うに、スポット光15の振幅を制御する。
【0024】図1に示すように、ディテクタ1には、検
知した信号を電流電圧変換および増幅する増幅回路2が
接続され、増幅回路2の出力端には、最大値検出回路3
および最小値検出回路4がそれぞれ接続されている。最
大値検出回路3は、スポット光15全体が第1パターン
13上にあるときにディテクタ1に入射するレーザ光の
光量に応じた第1基準電圧を検出するものである。
【0025】同じく、最小値検出回路4は、スポット光
15全体が第2パターン12上にあるときにディテクタ
1に入射するレーザ光の光量に応じた第2基準電圧を検
出するものである。
【0026】最大値検出回路3および最小値検出回路4
は、必要に応じて、同一のタイミングで適当な間隔毎に
リセットできるように構成してもよい。
【0027】最大値検出回路3および最小値検出回路4
が、しきい値電圧発生回路である演算回路5にそれぞれ
接続されている。演算回路5は、検出された第1基準電
圧と第2基準電圧とから3つのしきい値電圧を算出する
ものである。
【0028】しきい値電圧Vth1は第1パターン13
による信号のみ検出できるレベルとし、しきい値電圧V
th2は第2パターン12による信号のみを検出できる
レベルとし、しきい値電圧Vth3は、刻線11による
信号を検出できるレベルとする。
【0029】増幅回路2の出力端には、比較回路6、比
較回路7および比較回路8がそれぞれ接続され、演算回
路5の出力端には、比較回路6、比較回路7および比較
回路比較回路8がそれぞれ接続されている。
【0030】比較回路6は、リニアスケール14にスポ
ット光15を走査した際に得られる検出信号(図3にそ
の波形を示す)と、しきい値電圧Vth1とを比較する
回路である。比較回路7は、同じく、前記検出信号とし
きい値電圧Vth2とを比較する回路である。比較回路
8は、同じく、前記検出信号としきい値電圧Vth3と
を比較する回路である。
【0031】比較回路6および比較回路7の各出力端が
ゲート回路9に接続されている。ゲート回路9は、比較
回路6からの信号aと、比較回路7からの信号bとをデ
ィジタル処理する回路であり、ゲート回路9でディジタ
ル処理することにより信号cが得られる。
【0032】ゲート回路9の出力端と比較回路8の出力
端とがANDゲート10に接続されている。ANDゲー
ト10は、前記信号cと、比較回路8からの信号dとを
ディジタル処理する回路であり、ANDゲート10でデ
ィジタル処理することにより所望のビデオクロック信号
eが得られる。
【0033】次に作用を説明する。リニアスケール14
上をレーザ光が走査すると、レーザ光のスポット光15
の透過光をディテクタ1が検出する。
【0034】このとき、リニアスケール14の両端位置
の第1パターン13にスポット光15全体が入るように
スキャナミラー52が制御されている。
【0035】ディテクタ1で検知した検出信号は、図3
に示すような波形になる。図3の波形は、第1パターン
13に対応して発生する大きいピークP1と、第2パタ
ーン12に対応して発生するボトムP2と、刻線11に
対応して発生する小さいピークP3とを有する。検出信
号は、増幅回路2で電流電圧変換および増幅され、その
後、最大値検出回路3で検出信号のピークP1の出力レ
ベルに対応した第1の基準電圧が検出され、最小値検出
回路4で検出信号のボトムP2の出力レベルに対応した
第2の基準電圧が検出される。
【0036】検出された第1の基準電圧と第2の基準電
圧とに基づき、演算回路5により3つのしきい値電圧を
得る。
【0037】しきい値電圧Vth1は第1の基準電圧よ
りやや低めの電圧値で比較回路6に入力される。同じ
く、しきい値電圧Vth2は第2の基準電圧よりやや高
めの電圧値で比較回路7に入力される。それにより、比
較回路6から信号aが出力され、比較回路7から信号b
が出力される。
【0038】さらに、信号aおよび信号bをゲート回路
9でディジタル処理することにより信号cが出力され
る。信号cにおいては、しきい値電圧Vth1より高い
電圧の部分およびしきい値電圧Vth2より低い電圧の
部分が出力L−レベルで表されている。
【0039】第1の基準電圧と第2の基準電圧との差の
電圧(振幅)と、しきい値電圧Vth3と第2の基準電
圧との差の電圧との比率が一定であることから、しきい
値電圧Vth3は、第1の基準電圧と第2の基準電圧に
基づいて決定することができる。
【0040】このとき、必要に応じて最大値検出回路3
および最小値検出回路4を、同一のタイミングで適当な
間隔毎にリセットすれば、レーザ光源の光出力の変動な
どに適宜応じることができ、その結果、適切な第1の基
準電圧と第2の基準電圧とを常に得ることができる。
【0041】次に、比較回路8でディジタル処理するこ
とにより信号dが出力される。
【0042】さらに、信号cおよび信号dがANDゲー
ト10に入力され、でディジタル処理することによりビ
デオクロック信号eが得られる。
【0043】図5は本発明の第2実施例を示している。
【0044】本実施例では、前記リニアスケール14に
対して反射または透過が反対のパターンになってるリニ
アスケールディテクタ19を示したものである。
【0045】すなわち、刻線16およびしきい値電圧設
定基準用の第1パターン18が反射または吸収パターン
であり、しきい値電圧設定基準用の第2パターン17が
透過パターンになっている。
【0046】前記実施例においては、リニアスケール1
4,19の両端部にしきい値電圧設定基準用の第1パタ
ーン13,18等をそれぞれ設けたものを示したが、両
端部の少なくとも一方に設ければ足りる。
【0047】
【発明の効果】本発明にかかるビデオクロック信号発生
装置によれば、リニアスケールに、スポット光の径より
幅広でかつスポット光に対して互いに異なる光学特性を
有するしきい値電圧設定基準用の第1および第2パター
ンをそれぞれ設け、両パターンおよび刻線にレーザ光を
照射させた際に得られる第1および第2基準電圧と低基
準電圧とに基づいてしきい値電圧を発生するようにした
ので、レーザ光源の光出力の変化やオフセットの変動な
どに応じた適切なしきい値電圧を得ることができる。ま
た、1つの信号検出用のディテクタだけを用いた簡単な
構成になり、コストを低減することができるとともに、
光量の損失をなくすことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例を示すビデオクロック信号
発生装置のブロック図である。
【図2】本発明の第1実施例を示すリニアスケールの配
置状態を示す説明図である。
【図3】本発明の第1実施例を示す検出信号の波形図で
ある。
【図4】本発明の第1実施例を示すリニアスケールの正
面図である。
【図5】本発明の第2実施例を示すリニアスケールの正
面図である。
【図6】従来例を示すビデオクロック信号発生装置のブ
ロック図である。
【図7】他の従来例を示すビデオクロック信号発生装置
のブロック図である。
【符号の説明】
1…ディテクタ 2…増幅回路 3…最大値検出回路 4…最小値検出回路 5…演算回路 6,7,8…比較回路 9…ゲート回路 10…ANDゲート 11…刻線 12…しきい値電圧設定基準用の第2パターン 13…しきい値電圧設定基準用の第1パターン 14…リニアスケール 15…スポット光 52…スキャナミラー

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】リニアスケールの刻線上でスポット光を振
    動させて、刻線の数に応じたパルス信号を出力するよう
    にしたビデオクロック信号発生装置において、 前記刻線のピッチ方向の両端部の少なくとも一方に、前
    記スポット光の径より広い幅を有すると共に、前記スポ
    ット光に対して互いに異なる光学特性を有するしきい値
    電圧設定基準用の第1および第2パターンを設け、 前記第1パターンと第2パターンとに前記スポット光が
    照射された際に個々に得られる第1および第2の電圧に
    基づいて、前記刻線上に前記スポット光が照射された際
    に得られる電圧と比較すべきしきい値電圧を発生するし
    きい値電圧発生回路を備えたことを特徴とするビデオク
    ロック信号発生装置。
  2. 【請求項2】前記しきい値電圧発生回路は、前記リニア
    スケールを経由した前記スポット光を受光するディテク
    タを備え、前記しきい値電圧設定基準用の第1および第
    2パターンの一方は、前記スポット光の該ディテクタへ
    の到達を許容し、他方は前記スポット光の該ディテクタ
    への到達を妨げる光学特性をそれぞれ有することを特徴
    とする請求項1記載のビデオクロック信号発生装置。
JP3291722A 1991-11-07 1991-11-07 ビデオクロツク信号発生装置 Pending JPH05127108A (ja)

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