JPH05125819A - 除振装置 - Google Patents
除振装置Info
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- JPH05125819A JPH05125819A JP3162233A JP16223391A JPH05125819A JP H05125819 A JPH05125819 A JP H05125819A JP 3162233 A JP3162233 A JP 3162233A JP 16223391 A JP16223391 A JP 16223391A JP H05125819 A JPH05125819 A JP H05125819A
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- JP
- Japan
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- plate
- vibration isolation
- vibration
- electromagnet
- floor
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
- G03F7/70858—Environment aspects, e.g. pressure of beam-path gas, temperature
- G03F7/709—Vibration, e.g. vibration detection, compensation, suppression or isolation
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- Floor Finish (AREA)
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 防振ゴムや空気ばねを用いた除振装置におい
ては、設置床からの振動は、そのバネ・マス系の共振周
波数以下では除振の効果が無い。また、水平方向の共振
周波数は鉛直方向と同等か高いので防振効果は一般に鉛
直方向よりも低く、特別な対策を必要とする場合もあ
る。本発明はこれらの問題点を解決することを目的とす
る。 【構成】 除振台床板の底面に導電性で非磁性体の板を
装着し、その板に対し電磁石によって交流磁束を垂直に
与え、発生する磁気反発力によって除振台床板を非接触
で支持する構成とする。
ては、設置床からの振動は、そのバネ・マス系の共振周
波数以下では除振の効果が無い。また、水平方向の共振
周波数は鉛直方向と同等か高いので防振効果は一般に鉛
直方向よりも低く、特別な対策を必要とする場合もあ
る。本発明はこれらの問題点を解決することを目的とす
る。 【構成】 除振台床板の底面に導電性で非磁性体の板を
装着し、その板に対し電磁石によって交流磁束を垂直に
与え、発生する磁気反発力によって除振台床板を非接触
で支持する構成とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造装置や電子
顕微鏡等、設置床からの振動または装置自身からの加振
力により製品の歩留まりや測定観測精度上に悪影響を与
える設備の設置床からの振動を遮断する除振装置に関す
るものである。
顕微鏡等、設置床からの振動または装置自身からの加振
力により製品の歩留まりや測定観測精度上に悪影響を与
える設備の設置床からの振動を遮断する除振装置に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造装置や電子顕微鏡等は、設置
床からの振動により製品の歩留まりや測定観測精度上に
悪影響を与えるので設置床の振動を遮断するために防振
装置を用いている。この防振装置としては除振台床板を
防振ゴムや空気バネで支持し、設置床の振動が除振台床
板に伝わらないものがあった。
床からの振動により製品の歩留まりや測定観測精度上に
悪影響を与えるので設置床の振動を遮断するために防振
装置を用いている。この防振装置としては除振台床板を
防振ゴムや空気バネで支持し、設置床の振動が除振台床
板に伝わらないものがあった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記のごとく、防振ゴ
ムや空気ばねを用いた除振装置においては、搭載した半
導体製造装置や電子顕微鏡等に対し、設置床の振動から
の振動をある程度遮断することができるが、その除振領
域は除振台を支持しているバネ・マス系の共振周波数以
上で、共振周波数以下では全く効果が無い。これは、台
の鉛直方向に限らず水平方向でもバネ・マス系を形成す
るので、同様に共振周波数以上の除振領域となる。ま
た、水平方向の共振周波数は鉛直方向と同等か高いの
で、除振効果は鉛直のそれよりも劣る。
ムや空気ばねを用いた除振装置においては、搭載した半
導体製造装置や電子顕微鏡等に対し、設置床の振動から
の振動をある程度遮断することができるが、その除振領
域は除振台を支持しているバネ・マス系の共振周波数以
上で、共振周波数以下では全く効果が無い。これは、台
の鉛直方向に限らず水平方向でもバネ・マス系を形成す
るので、同様に共振周波数以上の除振領域となる。ま
た、水平方向の共振周波数は鉛直方向と同等か高いの
で、除振効果は鉛直のそれよりも劣る。
【０００４】ところで建物の水平方向の固有振動は鉛直
方向よりも低く、地盤の水平方向常時微振動を伝達する
ので、半導体製造装置や電子顕微鏡などを設置するため
の除振台においては、特に水平方向の除振効果が要求さ
れている。また、水平方向あるいは鉛直方向の除振効果
の改善のため、空気ばねとともに電磁ソレノイドや空気
圧のシリンダをアクチュエータとして、能動制御を行っ
ている例もあるが、この場合はアクチュエータの特性か
ら、制御方向に対して直角な２方向に何らかの拘束を与
えることになり、制御方向以外の方向の除振効果を減殺
する。
方向よりも低く、地盤の水平方向常時微振動を伝達する
ので、半導体製造装置や電子顕微鏡などを設置するため
の除振台においては、特に水平方向の除振効果が要求さ
れている。また、水平方向あるいは鉛直方向の除振効果
の改善のため、空気ばねとともに電磁ソレノイドや空気
圧のシリンダをアクチュエータとして、能動制御を行っ
ている例もあるが、この場合はアクチュエータの特性か
ら、制御方向に対して直角な２方向に何らかの拘束を与
えることになり、制御方向以外の方向の除振効果を減殺
する。
【０００５】本発明は上述の点に鑑みてなされたもの
で、磁気反発力によって除振台床板を非接触で支持し、
設置床から除振台床板を絶縁することによって、高い除
振作用を有する除振装置を提供することを目的としてい
る。
で、磁気反発力によって除振台床板を非接触で支持し、
設置床から除振台床板を絶縁することによって、高い除
振作用を有する除振装置を提供することを目的としてい
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、除振装置を下記の様に構成した。
に本発明は、除振装置を下記の様に構成した。
【０００７】除振台床板の底面に導電性で非磁性体の板
を装着し、その板に対し電磁石によって交流磁束を垂直
に与え、発生する磁気反発力によって除振台床板を非接
触で支持し、設置床から除振台床板を絶縁することによ
って、床からの振動を遮断する事を特徴とする。
を装着し、その板に対し電磁石によって交流磁束を垂直
に与え、発生する磁気反発力によって除振台床板を非接
触で支持し、設置床から除振台床板を絶縁することによ
って、床からの振動を遮断する事を特徴とする。
【０００８】また、該除振装置に除振台床板の浮上位置
を検出するためのパラメトリック共振形変位検出器を装
着し、その検出器から出力される交流信号を除振台床板
を浮上させるための交流磁束を発生させる信号として使
った事を特徴とする。
を検出するためのパラメトリック共振形変位検出器を装
着し、その検出器から出力される交流信号を除振台床板
を浮上させるための交流磁束を発生させる信号として使
った事を特徴とする。
【０００９】また、除振台床板に発生した熱を放散させ
るために、床板側面にフィンを付けた事を特徴とした除
振装置となっている。
るために、床板側面にフィンを付けた事を特徴とした除
振装置となっている。
【００１０】
【作用】上記除振装置に於いて、磁気反発力によって除
振台床板を非接触で支持することにより、設置床から除
振台床板を絶縁し、高い除振効果を有する除振装置を実
現することが出来る。即ち、除振台床板の底面の導電性
で非磁性体の板には、電磁石によって与えられる交流磁
束のために渦電流が発生する。この渦電流によって生じ
る磁束が、磁気反発力を発生し、除振台床板を浮上さ
せ、除振台床板は設置床に対して、非接触となり、高い
除振効果が実現される。
振台床板を非接触で支持することにより、設置床から除
振台床板を絶縁し、高い除振効果を有する除振装置を実
現することが出来る。即ち、除振台床板の底面の導電性
で非磁性体の板には、電磁石によって与えられる交流磁
束のために渦電流が発生する。この渦電流によって生じ
る磁束が、磁気反発力を発生し、除振台床板を浮上さ
せ、除振台床板は設置床に対して、非接触となり、高い
除振効果が実現される。
【００１１】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を説明
する。図１は本発明に係る除振装置の一実施例を示す基
本構成図である。除振台床板１の底面には導電性で非磁
性体の板６が装着されている。除振台床板１の下には、
アクチュエータである電磁石２が設置床４に装備されて
いる。アクチュエータである電磁石２は、コントローラ
３に接続され、電磁石ドライブ回路１３により励磁され
る。コントローラ３は、電磁石ドライブ回路１３の他
に、除振台床板の位置を検出するためのセンサアンプ１
５、及び交流磁束の周波数と振幅を制御するコントロー
ラ１７を備えている。
する。図１は本発明に係る除振装置の一実施例を示す基
本構成図である。除振台床板１の底面には導電性で非磁
性体の板６が装着されている。除振台床板１の下には、
アクチュエータである電磁石２が設置床４に装備されて
いる。アクチュエータである電磁石２は、コントローラ
３に接続され、電磁石ドライブ回路１３により励磁され
る。コントローラ３は、電磁石ドライブ回路１３の他
に、除振台床板の位置を検出するためのセンサアンプ１
５、及び交流磁束の周波数と振幅を制御するコントロー
ラ１７を備えている。
【００１２】図２は本発明の除振装置の一実施例の平面
図及び側面図である。図２（Ａ）は除振装置の要部の平
面図であり、除振台の床板１の下部には、４つのアクチ
ュエータである電磁石２が配置されている。図２（Ｂ）
は除振装置の要部の側面図である。除振台の底面、即
ち、電磁石２の近傍の面には、導電性で非磁性体の板６
が装着されている。電磁石２により交流磁束７が、導電
性の板６に垂直方向に与えられる。導電性の板６の面内
には、渦電流が発生し、その渦電流により、電磁石２に
よる交流磁束７と逆位相の交流磁束が発生する。
図及び側面図である。図２（Ａ）は除振装置の要部の平
面図であり、除振台の床板１の下部には、４つのアクチ
ュエータである電磁石２が配置されている。図２（Ｂ）
は除振装置の要部の側面図である。除振台の底面、即
ち、電磁石２の近傍の面には、導電性で非磁性体の板６
が装着されている。電磁石２により交流磁束７が、導電
性の板６に垂直方向に与えられる。導電性の板６の面内
には、渦電流が発生し、その渦電流により、電磁石２に
よる交流磁束７と逆位相の交流磁束が発生する。
【００１３】その結果、導電性の板６と電磁石２の空隙
に磁気反発力８が発生し、除振台床板１がアクチュエー
タである電磁石２より浮上する。
に磁気反発力８が発生し、除振台床板１がアクチュエー
タである電磁石２より浮上する。
【００１４】図３は本発明による除振装置にパラメトリ
ック共振形変位センサを利用した制御システムの説明図
である。
ック共振形変位センサを利用した制御システムの説明図
である。
【００１５】前述したように本除振台は磁気反発力によ
って浮上し、その磁気力は供給される磁束の周波数に依
存する。この点に着目し、検出した変位に比例して周波
数が変化した交流信号を出力するパラメトリック共振現
象を利用した変位センサを採用した。図より除振台床板
１が下がるとセンサ部１１でのギャップが増加し変位セ
ンサ用アンプ１５から出力される信号の周波数が変位の
増加分だけ高くなる。この信号を励磁可能な周波数に分
周し、振幅を調整して電磁石ドライブ回路１３を介し電
磁石２を励磁する。よって、周波数が増加した分だけ磁
気反発力が増加し除振台が上がる。また、同センサに
は、周波数固定にして変位の増減を振幅で検出するタイ
プもあり、その場合は励磁する交流信号の振幅によって
台の浮上位置を変える。
って浮上し、その磁気力は供給される磁束の周波数に依
存する。この点に着目し、検出した変位に比例して周波
数が変化した交流信号を出力するパラメトリック共振現
象を利用した変位センサを採用した。図より除振台床板
１が下がるとセンサ部１１でのギャップが増加し変位セ
ンサ用アンプ１５から出力される信号の周波数が変位の
増加分だけ高くなる。この信号を励磁可能な周波数に分
周し、振幅を調整して電磁石ドライブ回路１３を介し電
磁石２を励磁する。よって、周波数が増加した分だけ磁
気反発力が増加し除振台が上がる。また、同センサに
は、周波数固定にして変位の増減を振幅で検出するタイ
プもあり、その場合は励磁する交流信号の振幅によって
台の浮上位置を変える。
【００１６】図４に除振台床板１の側面に放熱用フィン
９を付けた場合の構成を示す。防振台の床板１の底面に
は、導電性の板６が装着されており、磁気反発力による
浮上に必要な相当量の渦電流が流れるため、この渦電流
の抵抗損による熱を放散するためである。
９を付けた場合の構成を示す。防振台の床板１の底面に
は、導電性の板６が装着されており、磁気反発力による
浮上に必要な相当量の渦電流が流れるため、この渦電流
の抵抗損による熱を放散するためである。
【００１７】
【発明の効果】以上に述べたように、本発明は防振台床
板の底面に導電性で非磁性体の板を装着し、その板に対
し電磁石で交流磁界を与え、渦電流による磁気反発力に
よって、除振台床板を浮上せしめ、設置床から、非接触
で保持するものである。
板の底面に導電性で非磁性体の板を装着し、その板に対
し電磁石で交流磁界を与え、渦電流による磁気反発力に
よって、除振台床板を浮上せしめ、設置床から、非接触
で保持するものである。
【００１８】従って、従来の防振ゴム等の機械系の除振
台と比較して、バネ・マス系の共振周波数とは無関係に
あらゆる周波数領域になって、除振効果が達成できる。
又、従来の除振台の場合、水平方向の共振周波数は鉛直
方向と同等か高いので、防振効果は一般に鉛直方向より
も低く、特別な対策を必要とする場合もあったが、本発
明により、これらの問題点が解決された。
台と比較して、バネ・マス系の共振周波数とは無関係に
あらゆる周波数領域になって、除振効果が達成できる。
又、従来の除振台の場合、水平方向の共振周波数は鉛直
方向と同等か高いので、防振効果は一般に鉛直方向より
も低く、特別な対策を必要とする場合もあったが、本発
明により、これらの問題点が解決された。
【図１】本発明に係る除振装置の一実施例を示す基本構
成図。
成図。
【図２】本発明に係る除振装置の一実施例の要部の平面
図（Ａ）及び側面図（Ｂ）。
図（Ａ）及び側面図（Ｂ）。
【図３】本発明に係る除振装置の一実施例の制御システ
ムの説明図。
ムの説明図。
【図４】本発明に係る除振装置の他の実施例の平面図
（Ａ）及び側面図（Ｂ）。
（Ａ）及び側面図（Ｂ）。
１ 除振台床板 ２ 電磁石（アクチュエータ） ３ コントローラ ４ 設置床 ６ 導電性の板 ７ 交流磁束 ８ 反発力 ９ フィン １１ センサ部 １３ 電磁石ドライブ回路 １５ センサアンプ １７ コントローラ
フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０１Ｈ 17/00 Ｚ 8117−2Ｇ Ｈ０１Ｌ 21/027
Claims (3)
- 【請求項１】 除振台床板の底面に導電性で非磁性体の
板を装着し、その板に対し電磁石によって交流磁束を垂
直に与え、発生する磁気反発力によって除振台床板を非
接触で支持し、設置床から除振台床板を絶縁することに
よって、床からの振動を遮断する除振装置。 - 【請求項２】 該除振装置に除振台床板の浮上位置を検
出するためのパラメトリック共振形変位検出器を装着
し、その検出器から出力される交流信号を除振台床板を
浮上させるための交流磁束を発生させる信号として使っ
たことを特徴とした請求項１記載の除振装置。 - 【請求項３】 除振台床板に発生した熱を放散させるた
めに、床板側面にフィンを付けた事を特徴とした請求項
１記載の除振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3162233A JPH05125819A (ja) | 1991-06-06 | 1991-06-06 | 除振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3162233A JPH05125819A (ja) | 1991-06-06 | 1991-06-06 | 除振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05125819A true JPH05125819A (ja) | 1993-05-21 |
Family
ID=15750504
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3162233A Pending JPH05125819A (ja) | 1991-06-06 | 1991-06-06 | 除振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05125819A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002128346A (ja) * | 2000-10-20 | 2002-05-09 | Shinko Electric Co Ltd | 非磁性体材の搬送装置 |
| JP2002345229A (ja) * | 2001-05-17 | 2002-11-29 | Shinko Electric Co Ltd | 加力装置、加力方法、搬送装置および搬送方法 |
| WO2005099079A1 (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Tesla Co., Ltd | 誘導反発装置 |
| WO2010083666A1 (zh) * | 2009-01-21 | 2010-07-29 | 福州市规划设计研究院 | 磁悬浮防振结构 |
| CN107061613A (zh) * | 2017-05-03 | 2017-08-18 | 武汉理工大学 | 多维主动控制减振装置和方法 |
-
1991
- 1991-06-06 JP JP3162233A patent/JPH05125819A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002128346A (ja) * | 2000-10-20 | 2002-05-09 | Shinko Electric Co Ltd | 非磁性体材の搬送装置 |
| JP2002345229A (ja) * | 2001-05-17 | 2002-11-29 | Shinko Electric Co Ltd | 加力装置、加力方法、搬送装置および搬送方法 |
| WO2005099079A1 (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Tesla Co., Ltd | 誘導反発装置 |
| WO2010083666A1 (zh) * | 2009-01-21 | 2010-07-29 | 福州市规划设计研究院 | 磁悬浮防振结构 |
| JP2012514162A (ja) * | 2009-01-21 | 2012-06-21 | 福州市規劃設計研究院 | 磁気浮上型防振構造体 |
| CN107061613A (zh) * | 2017-05-03 | 2017-08-18 | 武汉理工大学 | 多维主动控制减振装置和方法 |
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